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ロードロック方式 スパッタリング装置 SPH-2500-Ⅱ型

製品カタログ

二種類の膜を両面に成膜可能なスパッタリング装置

このカタログについて

ドキュメント名 ロードロック方式 スパッタリング装置 SPH-2500-Ⅱ型
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 511.2Kb
登録カテゴリ
取り扱い企業 株式会社昭和真空 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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スパッタリング装置 SPH シリーズ ロー ドロック方式 スパッタリング装置 SPH-2500-Ⅱ カソード比較 従来型カソード 新型カソード 昭和真空は、約 15 年の実績を誇るベストセラー装置 SPH-2500 のフルモデルチェンジを 行いました。従来装置の特徴を受け継ぎつつ最新のテクノロジーを採用し、あらゆる面で 従来機を超える性能を達成致しました。 特徴 ◆ 膜厚分布:トレー内 ±1.2%、トレー間 ±1.5%を達成しました。 ◆ 外形:W1200×D2500×H1440 設置面積はそのままに大幅に低背化を実現しました。 ◆ カソードを改良することによりターゲット使用効率が44%まで大幅にUPしました。 ◆ ラック&ピニオン方式を採用しローラーの滑りなどによる搬送不具合を解消致しました。
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外観図 特徴紹 介 ラッ ク&ピニオン方式採用 優れたターゲット使用効率 操作性の向上 7 従フ来ェラ品イト 6 HY8G新型カソード 5 4 3 2 1 0 警報発生時のトラブルシューティングを画面上0 25 50 75 100 125 位置 [mm] に表示します。 ラック &ピニオン方式採用により カソードの改良によりターゲット 各トレーにレシピ設定が可能で10レイヤー/ト 搬送 不具合の発生を抑えます 使用効率が 44%に UP しました レーまで成膜が可能です。 装置構 成・性能 ●装 置構成 ●性能 装置 サイズ W2500×D1200×H1440 膜厚分布 トレイ内 ±1.2% 構成 ストッカー + 仕込室 + SP室 トレイ間 ±1.5% インターバック式 ターゲット 44%(最大) スパ ッタ方式 DCマグネトロン 使用効率 カ ソード 5インチ×7インチ 2対 タクト 3分/サイクル (うち1対が高使用効率カソード) ※1枚目を除く D C電源 800V, 3.75A(MAX1.5kW) 到達圧力 仕込室 1.0×10 -3Pa以下 トレ イサイズ L350mm×H210mm SP室 1.0×10-3Pa以下 基板 搬送方式 ラック&ピニオン搬送 排気時間 仕込室 2.0×10 -2Pa迄 3分以内 ス トッカー 10トレイ収納 SP室 1.2×10-2Pa迄 10分以内 排 気系 ターボ分子ポンプ 2式 基板加熱温度 150℃以上を確認 油回転ポンプ 2式 ※本仕様・ 外観については、改良のため予告なく変更することがあります。あらかじめご了承下さい。 ご質問・詳細につきまして お問合 せ先 は、営業部までお気軽に TEL:042-764-0370 FAX:042-764-0377 【営業 部】 お問合せ下さい。 E-Mail:sales-pamphlet@showashinku.co.jp 本社・相模原工場 〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名 3062-10 TEL:042-764-0321 URL http://www.showashinku.co.jp 本製品は、 外国為替並びに外国貿易管理法の規定により、戦略物資等輸出規制品に該当する場合があります。従って、日本国外に該当品を持ち出す際は、 日本国政府 への輸出許可申請等、必要な手続きをお取りください。 【Mar-2012】 IQJ08401-1203 エロージョン深さ [mm]