カーボンコータ

CADEシリーズ カーボンコータ 製品カタログ 2021年03月現在 購入後も万全のサポートをお約束 ご購入後も安心してご使用いただけるよう、高品質なサポートをご提供致します。 また、豊富な経験を持つ技術者が装置の状況に合わせた最適なメンテナンスを 実施いたします。 お困りのことがありましたらお気軽にお問合せください。 CADEシリーズラインナップ 型　式 CADE-4T CADE-E CADE チャンバー寸法 φ140×165mm 試料ステージ寸法 φ90mm φ80mm 蒸着源 特殊処理高純度炭素ファイバー コート時間 1.7秒 プラズマ放電 なし 実装 なし 放電時間 － 15秒 － 真空ポンプ容量 136L/min 消費電力量 AC 100V　最大15A（真空ポンプの起動含む） 本体外形寸法 360（W）×350（D）×410（H）mm メイワフォーシス 株式会社 製品、その他お問合せ先 本 社 : TEL (03)5379-0051 FAX (03)5379-0811 〒160-0022 新宿区新宿1-14-2 KI御苑前ビル 大 阪 本 部 : TEL (06)6212-2500 FAX (06)6212-2510 〒542-0074 大阪市中央区千日前1-4-8 千日前M’sビル9F 名 古 屋 営 業 所 : TEL (052)686-4794 FAX (052)686-5114 〒464-0075 名古屋市千種区内山3-10-18 PPビル3F 仙 台 営 業 所 技 術 開 発 セ ン ター : TEL (022)218-0560 FAX (022)218-0561 〒981-3133 仙台市泉区泉中央1-28-22 プレジデントシティビル3F テ ク ノ ロ ジ ー ラ ボ : 〒135-0064 東京都江東区青海2-4-10 東京都立産業技術研究センター 製品開発支援ラボ318　 慶應義塾大学-メイワフォーシス ナ ノ 粒 子 計 測 技 術 ラ ボ : 〒223-8522 神奈川県横浜市港北区日吉3-14-1 慶應義塾大学 矢上キャンパス理工学部中央試験所 36棟213号室 ※テクノロジーラボ、ナノ粒子計測技術ラボへの連絡は本社までお願いいたします。※外見・仕様・その他について、予告なしに変更をする場合がございます。

主な特徴 高い膜厚均一性 真空圧を３Ｐａに固定し、蒸着源からの距離を変えてそれぞれ5点ずつ弊社エリプソメーター「FS-1」を用いて測定しました。 結果、非常に高い膜厚均一性となっています。 抜群の作業性と再現性 回り込み性の向上 3Pa 距離別面内膜厚 測定位置 20mm (※CADE-4T 4 端子モデル ) ② ③ 測定位置 ①　　　　　　②　　　　　　③　　　　　　④　　　　　　⑤ ① 薄膜の積層が手間なく簡単 薄膜、厚膜制御が可能 ④ ⑤ ※ 真空引き クリーニング CADE正面 3分 15秒 ※ コーティング 親水化処理 1.7秒 15秒 排気 ５分で 1分 完 了 (※クリーニング・親水化処理はCADE-E のみ ) 再現性の高い膜厚コントロール コーティング電極比較 真空度や試料ステージの距離で膜厚のコントロールが容易に行えます。コート時間が1.7秒と一定なので、あらかじめ真空度 や試料ステージの距離を決めておくことで、どなたが処理を行っても再現性高く、同じ膜厚にすることができます。 ＮＥＷ CADE-4T (4端子モデル) CADE膜厚指標（1端子蒸着時） 隙間のないコーティングによりチャージアップを防ぎ、2箇所の蒸着源から成膜するこ 4Paで蒸着時 とでカーボン粒子の回り込み性が向上しました。 40mm 20.0nm 薄膜、厚膜制御が可能でWデポダメージを防ぎ、FIB保護膜にも最適です。 50mm 17.5nm 同一真空下で重ねて成膜することが可能となり、より簡便に厚膜を成膜できます。 膜 60mm 10.0nm 厚 70mm 8.5nm (nm) 80mm 6.0nm 90mm 4.0nm CADE-E CADE 100mm 3.0nm 同一真空下で試料表面の親水 SEM前処理コーティングだけでなく、TEMグリッド支持膜、補強膜作 120mm 2.0nm 化処理が可能です。 成にも対応。 140mm 1.0nm 蒸着前の試料表面を親水化処 接点式ではなくファイバー全体が蒸着源となる為、回り込み良好で 理することでカーボン膜の密着 再現性の高い薄膜作成が可能です。 蒸着源からの距離 (mm) 性を向上させます。 コーティング時のスパークも発生しません。 ※ロングチャンバーを使用することでより薄膜での成膜が可能となります。 1 2 膜厚(nm)

CADEシリーズ 特 長 地球深部探査船「ちきゅう」で使用されています カーボンロッド式の問題点を解決 世界初のライザー掘削が可能な科学調査船 カーボンロッド式では多くの問題点が発生して であり、国際深海科学採掘計画(IODP)の主力 いましたが、カーボンファイバーを使用するこ 船として地球規模の環境変動や海底資源の とで、より簡単に、お手を煩わせることなく処理 解明など、最先端の研究が行われています。 をすることが可能となりました。 カーボンファイバー 作動カーボンロッド 海底下数千メートルから「ちきゅう」船上で掘 固定カーボンロッド 削された岩石試料のSEM観察にCADE-Eが使 用されています。 カーボンファイバー カーボンロッド式 SEMに使用されているCADE-E 地球深部探査船「ちきゅう」 セット時 電極に挟んではさみで切るだけ。 ロッドのセットが難しく、折れやすい。 低電流(35A程度)・短時間(1.7秒)での コーティング時のスパーキングで、 蒸着時 コーティングで、熱ダメージはありません。 サンプルへの熱ダメージが発生。 蒸着後 1 回使い切りのため、不純物の残渣がありません。 繰り返し使うため、残ったロッドに酸化物が残り、 超高純度カーボンファイバー 不純物を含む膜になってしまいます。 蒸着源は2000℃で高温処理をした純度 の高い黒鉛に、さらに特殊な薬品処理をし 5分で全工程が完了 真空引き クリーニング コーティング た超高純度カーボンファイバーを使用。 3分 15秒 1.7秒 プリヒート機能（予備加熱）によってコーテ 蒸着源のファイバーは取り付けが簡単。 (CADE-E のみ ) ィング前にさらに高純度化して使用します。 さらに136L/minの大容量ポンプを使用し また、1回使い切りのため不純物の残渣は ているため、非常に短時間で処理すること 親水化処理 排気 ありません。 ができます。 15秒 1分 超高純度（99.995％）炭素ファイバー プリヒート機能 (CADE-E のみ ) オプション ロングチャンバー 同一真空下でクリーニング・蒸着・親水化処理 ロングチャンバーを使用することで蒸着源と試料の距離を離し、さらに薄膜の作成が可能になります。 (CADE-E のみ） また、熱の影響を受けやすい有機膜、フィルムサンプルなどは蒸着源からの熱のダメージのない成膜ができます。 世界で唯一、プラズマ処理機能を搭載。 通常チャンバーとの差は 5.5cm 同一真空下でプラズマ処理とカーボン蒸 着ができるため、コーティング後の親水化 処理を連続工程で行えます。また、コーティ ング前にプラズマクリーニングすることで、 大気に触れずにコートでき、コンタミのな い分析ができます。 カーボンコート つまみを回してシャッターを 親水化処理 試料ステージ上にセット 3 4