カーボンコータ

CADEシリーズ カーボンコータ 製品カタログ 2024年04月現在 電子顕微鏡・元素分析 帯電防止膜の決定版 SEM, EDS, FIB, EBSD 各種前処理に対応 １回のコーティングでクリアな観察 セット～コーティング完了までわずか 5分の圧倒的早さ。 極薄膜～厚膜まで、幅広いコーティングなら CADEを。

主な特徴 抜群の作業性と再現性 回り込み性の向上 (※CADE-4T 4 端子モデル ) 薄膜の積層が手間なく簡単 薄膜、厚膜制御が可能 ※ 真空引き クリーニング 3分 15秒 ※ コーティング 親水化処理 1.7秒 15秒 排気 ５分で 1分 完 了 (※クリーニング・親水化処理はCADE-E のみ ) コーティング電極比較 ＮＥＷ CADE-4T (4端子モデル) 隙間のないコーティングによりチャージアップを防ぎ、2箇所の蒸着源から成膜するこ とでカーボン粒子の回り込み性が向上しました。 薄膜、厚膜制御が可能でWデポダメージを防ぎ、FIB保護膜にも最適です。 同一真空下で重ねて成膜することが可能となり、より簡便に厚膜を成膜できます。 CADE-E CADE 同一真空下で試料表面の親水 SEM前処理コーティングだけでなく、TEMグリッド支持膜、補強膜作 化処理が可能です。 成にも対応。 蒸着前の試料表面を親水化処 接点式ではなくファイバー全体が蒸着源となる為、回り込み良好で 理することでカーボン膜の密着 再現性の高い薄膜作成が可能です。 性を向上させます。 コーティング時のスパークも発生しません。 1

高い膜厚均一性 真空圧を３Ｐａに固定し、蒸着源からの距離を変えてそれぞれ5点ずつ弊社エリプソメーター「FS-1」を用いて測定しました。 結果、非常に高い膜厚均一性となっています。 3Pa 距離別面内膜厚 測定位置 20mm ② ③ 測定位置 ① ② ③ ④ ⑤ ① ④ ⑤ CADE正面 再現性の高い膜厚コントロール 真空度や試料ステージの距離で膜厚のコントロールが容易に行えます。コート時間が1.7秒と一定なので、あらかじめ真空度 や試料ステージの距離を決めておくことで、どなたが処理を行っても再現性高く、同じ膜厚にすることができます。 CADE膜厚指標（1端子蒸着時） 4Paで蒸着時 40mm 20.0nm 50mm 17.5nm 膜 60mm 10.0nm 厚 70mm 8.5nm (nm) 80mm 6.0nm 90mm 4.0nm 100mm 3.0nm 120mm 2.0nm 140mm 1.0nm 蒸着源からの距離 (mm) ※ロングチャンバーを使用することでより薄膜での成膜が可能となります。 2 膜厚(nm)

CADEシリーズ 特 長 地球深部探査船「ちきゅう」で使用されています 世界初のライザー掘削が可能な科学調査船 であり、国際深海科学採掘計画(IODP)の主力 船として地球規模の環境変動や海底資源の 解明など、最先端の研究が行われています。 海底下数千メートルから「ちきゅう」船上で掘 削された岩石試料のSEM観察にCADE-Eが使 用されています。 SEMに使用されているCADE-E 地球深部探査船「ちきゅう」 超高純度カーボンファイバー 蒸着源は2000℃で高温処理をした純度 の高い黒鉛に、さらに特殊な薬品処理をし た超高純度カーボンファイバーを使用。 プリヒート機能（予備加熱）によってコーテ ィング前にさらに高純度化して使用します。 また、1回使い切りのため不純物の残渣は ありません。 超高純度（99.995％）炭素ファイバー プリヒート機能 同一真空下でクリーニング・蒸着・親水化処理 (CADE-E のみ） プラズマ処理機能を搭載。 同一真空下でプラズマ処理とカーボン蒸 着ができるため、コーティング後の親水化 処理を連続工程で行えます。また、コーティ ング前にプラズマクリーニングすることで、 大気に触れずにコートでき、コンタミのな い分析ができます。 カーボンコート つまみを回してシャッターを 親水化処理 試料ステージ上にセット 3

カーボンロッド式の問題点を解決 カーボンロッド式では多くの問題点が発生して いましたが、カーボンファイバーを使用するこ とで、より簡単に、お手を煩わせることなく処理 をすることが可能となりました。 カーボンファイバー 固定カーボンロッド 作動カーボンロッド カーボンファイバー カーボンロッド式 セット時 電極に挟んではさみで切るだけ。 ロッドのセットが難しく、折れやすい。 低電流(35A程度)・短時間(1.7秒)での コーティング時のスパーキングで、 蒸着時 コーティングで、熱ダメージはありません。 サンプルへの熱ダメージが発生。 繰り返し使うため、残ったロッドに酸化物が残り、 蒸着後 1 回使い切りのため、不純物の残渣がありません。 不純物を含む膜になってしまいます。 5分で全工程が完了 真空引き クリーニング コーティング 3分 15秒 1.7秒 蒸着源のファイバーは取り付けが簡単。 さらに136L/minの大容量ポンプを使用し (CADE-E のみ ) ているため、非常に短時間で処理すること 親水化処理 排気 ができます。 15秒 1分 (CADE-E のみ ) オプション ロングチャンバー ロングチャンバーを使用することで蒸着源と試料の距離を離し、さらに薄膜の作成が可能になります。 また、熱の影響を受けやすい有機膜、フィルムサンプルなどは蒸着源からの熱のダメージのない成膜ができます。 通常チャンバーとの差は 5.5cm 4

CADEシリーズ アプリケーション カーボン蒸着 白金パラジウム蒸着 観察倍率：100,000 倍 観察倍率：100,000 倍 蒸着源から90mm離して10万倍で観察しました。粒状性の見られる白金パラジ チャージアップ ウムコートの画像と比較すると、カーボンコートは蒸着粒子が小さいため粒状 S i基板 性がなく、チャージアップもないクリアな画像が得られます。 なしの信頼性 ※カーボン蒸着の画像はフォーカスがあっていることが確認できるよう、異物 の付着している部分を撮影しました。 観察倍率：1,000 倍 観察倍率：10,000 倍 複雑な表面構造の酸化物粉体も、回り込み良くコーティングができるため、1回の EDS/SEM観察 コーティングでチャージアップのないクリアなSEM画像を得ることができます。 酸化物粉体 帯電膜防止膜に さらに、99.995％の高純度カーボンファイバーを、1回使い切りでコーティングを 行うので、EDS分析でもコンタミを検出することはありません。 5

FIBやスパッターダメージの Wデポ 保護膜に最適 Cコート （10nm×10回コート） ガラス基板 ITO SiO2 FIB保護膜はFIB装置内でタングステン(W)や白金(Pt) コートの際、スパッターによるダメージが入ります が、予めカーボンコートすることによりダメージを Glass 防ぎ、本来の形状を観察できます。 右図はカーボン膜を積層させた後、タングステンを コートし、各層が縞模様のように確認できます。 しかしタングステン膜付近はタングステンコート時の ダメージにより縞模様が見られなくなっています。 短時間で簡単に Label A: Counts SiK 再現性の高いコーティング 855 760 665 シュードタキライト 570 OK 475 1回のコーティングでチャージアップすることなく 380 シュードタキライトのSEM画像が得られております。 285 また、厚みムラのない薄膜でのコーティングができる 190 AlK ため、シュードタキライトにおける気泡もはっきりと 95 CK KK 確認できます。 1.00 2.00 3.00 4.00 5.00 6.00 7.00 8.00 9.00 10.00 KeV 観察倍率：500倍 観察倍率：2,500 倍 6

購入後も万全のサポートをお約束 ご購入後も安心してご使用いただけるよう、高品質なサポートをご提供致します。 また、豊富な経験を持つ技術者が装置の状況に合わせた最適なメンテナンスを 実施いたします。 お困りのことがありましたらお気軽にお問合せください。 CADEシリーズラインナップ 型　式 CADE-4T CADE-E CADE チャンバー寸法 φ140×165mm 試料ステージ寸法 φ90mm φ80mm 蒸着源 特殊処理高純度炭素ファイバー コート時間 1.7秒 プラズマ放電 なし 実装 なし 放電時間 － 15秒 － 真空ポンプ容量 136L/min 消費電力量 AC 100V　最大15A（真空ポンプの起動含む） 本体外形寸法 360（W）×350（D）×410（H）mm 本社 大阪事業所 名古屋事業所 23年10月移転 福岡事業所 23年10月開設 仙台事業所 TEL (03)5379-0051 TEL (06)6212-2500 TEL (052)854-7500 TEL (092)688-2229 TEL (022)218-0560 FAX (03)5379-0811 FAX (06)6212-2510 FAX (03)5379-0811 FAX (03)5379-0811 FAX (022)218-0561 meiwanet.co.jp 〒160-0022 〒542-0074 〒460-0003 〒819-0388　 〒981-3133 メイワフォーシス株式会社 新宿区新宿1-14-2 大阪市中央区千日前1-4-8 名古屋市中区錦1-5-11 福岡市西区九大新町5-5 仙台市泉区泉中央1-28-22 KI御苑前ビル 千日前M’sビル9F 名古屋伊藤忠ビル 712号室 いとLab+ 305 プレジデントシティビル3F meiwanet 検索 Lab 本社4F「テクノロジーラボ」／慶應義塾大学内「ナノ粒子計測技術ラボ」／京都工芸繊維大学内 「表面解析ユニット」 ※テクノロジーラボ、ナノ粒子計測技術ラボ、表面解析ユニットへの連絡は本社までお願いいたします。※外見・仕様・その他について、予告なしに変更をする場合がございます。