ハイブリッド制御システム αSTEP搭載 電動スライダ／電動シリンダ

AZシリーズ搭載 電動スライダ 電動シリンダ

AZシリーズ搭載 電動スライダ・電動シリンダ 電動スライダ EZSシリーズ EASシリーズ 全機種電磁ブレーキ付を 一部機種を除き電磁ブレーキ付を ご用意しています。 ご用意しています。 ✽ 偏平 高剛性 簡易防塵 構造 ✽ 薄幅 小型 高剛性 定価：102,000円 ～ 定価：98,200円 ～ ●モーター取付方向 ●モーター取付方向 ストレートタイプ 折り返しタイプ ストレートタイプ 折り返しタイプ ●クリーンルーム対応 ●テーブル方向 Xテーブル Yテーブル 駆動テーブル 駆動テーブル ●センサレールの有無 センサレール付 センサレールなし センサレール 駆動モーターは AZシリーズ 電動スライダ・電動シリンダの駆動モーターは、 AZシリーズを搭載しています。 小　型 高トルク 高応答 低振動 ハンチングレス 高効率 ■ バッテリレス アブソリュートセンサ搭載 　 AZシリーズ • バッテリレスのアブソリュートセンサ とは？ 内蔵、外部センサ不要でモーター位置 は“オープンループ制御”と“クローズドループ制御”の利点 情報を常時監視 をハイブリッドした独自制御をおこなう、ステッピングモーターベース • クローズドループ制御による高信頼性 バッテリレス のモーターです。通常時はオープンループ制御で高応答性を発揮。過 アブソリュートセンサ • 高効率化により、モーター発熱低減、 負荷時はクローズドループ制御でモーター位置を補正しながら運転を （ABZOセンサ） 省エネルギー 継続します。 2

モーター、フレーム、ガイドレール、ガイドブロック、ボールねじなどを選定・組み付け済みのため、 お客様の設計時間や装置立ち上げ時間短縮が可能です。 また、独自のハイブリッド制御をおこなう AZシリーズを駆動モーターとして搭載し、 使いやすさと信頼性を両立しました。 電動シリンダ EZSHシリーズ EACシリーズ 全機種電磁ブレーキ付を 一部機種を除き電磁ブレーキ付を ご用意しています。 ご用意しています。 ✽ 高速 高精度 ロング 簡易防塵 ストローク 構造 ✽ 小型 高剛性 高推力 定価：192,700円 ～ 定価：88,300円 ～ 繰り返し ±0.005mm 位置決め精度 ●モーター取付方向 アップしました ±0.01mm ストレートタイプ 折り返しタイプ ●ガイド種類 標準 シャフトガイド付 シャフトガイドカバー付 ✽定価はメカ、ドライバ、ケーブル（1m）を含んだ定価です。 ■ 多彩な組み合わせドライバ 電動スライダ、電動シリンダと組み合わせる、ドライバ、ケーブルは AZシリーズと共通です。 位置決め機能内蔵タイプ RS-485通信付き パルス列入力タイプ ネットワーク対応 多軸ドライバ 位置決めデータをドライバに設 パルス列入力タイプ 位置決めユニット（パルス発振 ・DC電源入力のアクチュエータ 定（256点）。ネットワークコン RS-485通信でモーターの位 器）からモーターをコントロー と接続可能 バータ（別売）を使用すること 置、速度、トルク、アラーム、温 ル。 ・2軸、3軸、4軸接続できる で、FAネットワーク制御が可能。 度のモニタが可能。 　ドライバをご用意 ■ AZシリーズは、個別カタログをご用意しています。 製品の選定にあたっては、個別カタログ（V-184）を合わせて お使いください。 3

電 動スライダ セレクション 型番 リード ストローク 最高速度 シリーズ名 ［mm］ ［mm/s］ タイプ名 幅×高さ 電源電圧 ［mm］ 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1500 200 400 600 800 2000 EZSシリーズ 12 50∼700 800 　　　　　AZ搭載 AC電源入力 ストレートタイプ 6 50∼700 400 EZSM3 54×50mm 12 50∼700 600 DC電源入力 6 50∼700 300 12 50∼700 800 折返しタイプ AC電源入力 6 50∼700 400 ✽2 EZSM4 74×50mm 12 50∼700 600 DC電源入力 ✽2 6 50∼700 300 クリーンルーム対応 12 50∼850 800 AC電源入力 6 50∼850 400 EZSM6 74×66.5mm 12 50∼850 600 DC電源入力 6 50∼850 300 EASシリーズ 6 50∼300 300 2.5 　　　　　AZ搭載 EASM2 DC電源入力 ✽1 ストレートタイプ 30×38mm 3 50∼300 150 12 50∼700 800 AC電源入力 6 EASM4 50∼700 400 ✽2 45×60mm✽1 12 50∼700 600 DC電源入力 6 50∼700 300 ✽2 折返しタイプ 12 50∼850 800 AC電源入力 6 50∼850 400 EASM6 62×83mm✽1 12 50∼850 600 DC電源入力 6 50∼850 300 EZSHシリーズ 　　　　　AZ搭載 30 200∼1300 1800 EZSHM6 66.4×64mm AC電源入力 20 200∼1300 1200 ✽ 1 センサレールなしの値です。　 ✽ 2（ 　　）内は、折返しタイプの値です。 4

上段：動的許容モーメント［N·m］ 水平可搬質量 垂直可搬質量 繰り返し 下段：静的許容モーメント［ ］ ［ ］ ［ ］ 位置決め精度 定価［円］ 掲載 N·m kg kg ページ MP MY MR 10 20 30 40 50 60 70 80 10 20 30 ［mm］ 7.5 3.5 4.2 4.2 10.5 30 26.4 26.4 52.0 15 7 ±0.02 61,300∼ 7.5 3.5 4.2 4.2 10.5 31 26.4 26.4 52.0 15 7 15 7 8 8 27.8 51.2 42.5 176 32∼33 30 14 ✽2 (12.5) ±0.02 64,600∼ 15 7 8 8 27.8 34∼35 51.2 42.5 176 ✽2 30 14(12.5) 30 15 45.7 37.5 55.6 36 290 187 340 60 30 ±0.02 87,000∼ 30 15 45.7 37.5 55.6 37 290 187 340 60 30 7.5 2.5 2.4 1.5 4.6 ±0.02 57,500∼ 62 4.0 4.0 7.7 15 5 15 7 63∼64 30 14(12.5) ✽2 16.3 4.8 15.0 ±0.02 64,600∼ 58.3 16.0 53.3 15 7 65∼66 30 14(12.5) ✽2 30 15 67 60 30 31.8 10.3 40.6 ±0.02 87,000∼ 86.0 34.0 110.0 30 15 68 60 30 15 7.5 88 27.3 21.8 45.8 ±0.005 137,500∼ 335 276 440 25 12.5 88 ■ 多彩な組み合わせドライバ 電動スライダ、電動シリンダと組み合わせる、ドライバ、ケーブルは AZシリーズと共通です。 位置決め機能内蔵タイプ RS-485通信付き パルス列入力タイプ ネットワーク対応 多軸ドライバ 位置決めデータをドライバに設定 パルス列入力タイプ 位置決めユニット（パルス発振器）か ・DC電源入力のアクチュエータ （256点）。ネットワークコンバータ RS-485通信でモーターの位置、速 らモーターをコントロール。 と接続可能 （別売）を使用することで、FAネット 度、トルク、アラーム、温度のモニタ ・2軸、3軸、4軸接続できる ワーク制御が可能。 が可能。 　ドライバをご用意 定価[円]：42,900∼ 定価[円]：42,900∼ 定価[円]：37,400∼ 定価[円]：48,400∼ 定価[円]：88,000∼ 5

電動シリンダ セレクション 型番 ストローク 最高速度 シリーズ名 リード ［mm］ ［mm/s］ 推力 タイプ名 幅×高さ 電源電圧 ［mm］ ［N］ 100 200 300 400 100 200 300 400 500 600 700 800 EACシリーズ 6 50∼150 300 25 EACM2 AZ搭載 DC電源入力 28 × 28mm ストレートタイプ 3 50∼150 150 50 12 50∼300 600 ∼70 AC電源入力 6 50∼300 300 ∼140 (125) ✽ ✽ EACM4 42 × 42mm 12 50∼300 600 ∼70 DC電源入力 折返しタイプ 6 50∼300 300 ∼140 ( ) ✽ ✽125 12 50∼300 600 ∼200 AC電源入力 6 50∼300 300 ∼400 (360) ✽ EACM6 60 × 60mm 12 50∼300 600 ∼200 DC電源入力 6 50∼300 300 ∼400 (360) ✽ EACシリーズ AZ搭載 ストレートタイプ シャフトガイドカバー付 6 50∼150 300 25 EACM2W × DC電源入力 28 86mm 折返しタイプ シャフトガイドカバー付 3 50∼150 150 50 12 50∼300 600 ∼70 ストレートタイプ AC電源入力 シャフトガイド付 6 50∼300 300 ∼140 ( ✽ 125) ✽ EACM4W 42 × 114mm 12 50∼300 600 ∼70 DC電源入力 6 50∼300 300 ∼140 (125) ✽ ✽ 折返しタイプ 12 50∼300 600 ∼200 シャフトガイド付 AC電源入力 6 50∼300 300 ∼400 (360) ✽ EACM6W 60 × 156mm 12 50∼300 600 ∼200 DC電源入力 6 50∼300 300 ∼400 (360) ✽ ✽（ 　　）内は、折返しタイプの値です。 6

水平可搬質量 垂直可搬質量 押し当て力 繰り返し ［kg］ ［kg］ 掲載 ［N］ 位置決め精度 定価［円］ ページ 10 20 30 40 50 60 200 400 10 20 30 ［mm］ 40 7.5 2.5 ±0.02 47,600∼ 105 80 15 5 100 15 7 107～108 ✽ 200 30 14(12.5) ✽ ±0.02 49,400∼ 100 15 7 109～110 ✽ 200 30 14(12.5) ✽ 400 30 15 111～112 ✽ 500 60 30 ±0.02 56,600∼ 400 30 15 113～114 ✽ 500 60 30 40 7.5 2.0 ±0.02 68,000∼ 106 80 15 4.5 100 15 6 115～116 ✽ 200 30 13(11.5) ✽ ±0.02 69,800∼ 100 15 6 117～118 ✽ 200 30 13(11.5) ✽ 400 30 13 119～120 ✽ 500 60 28 ±0.02 80,600∼ 400 30 13 121～122 ✽ 500 60 28 ■ 多彩な組み合わせドライバ 電動スライダ、電動シリンダと組み合わせる、ドライバ、ケーブルは AZシリーズと共通です。 位置決め機能内蔵タイプ RS-485通信付き パルス列入力タイプ ネットワーク対応 多軸ドライバ 位置決めデータをドライバに設定 パルス列入力タイプ 位置決めユニット（パルス発振器）か ・DC電源入力のアクチュエータ （256点）。ネットワークコンバータ RS-485通信でモーターの位置、速 らモーターをコントロール。 と接続可能 （別売）を使用することで、FAネット 度、トルク、アラーム、温度のモニタ ・2軸、3軸、4軸接続できる ワーク制御が可能。 が可能。 　ドライバをご用意 定価[円]：42,900∼ 定価[円]：42,900∼ 定価[円]：37,400∼ 定価[円]：48,400∼ 定価[円]：88,000∼ 7

上位システムに合わせて 選べるドライバ。 位置決め機能内蔵タイプ AC DC 運転データをドライバに設定し、上位から運転データの選択、実行 基本設定（出荷時設定） 運転データ設定　パラメータ変更 をするタイプです。上位との接続、制御はI/O、Modbus（RTU）、 サポートソフト（MEXE02） RS-485通信、FAネットワークのいずれかでおこなえます。ネット ワークコンバータ（別売）を使用することにより、CC-Link通信や MECHATROLINK通信で制御できます。 モーターまたは 電動アクチュエータ ドライバ ●RS-485通信による設定も可能です。 FLEX（フレックス）とは、I/O制御、Modbus（RTU）制御、 ネットワークコンバータ経由でのFAネットワーク制御に対応した製品の総称です。 I/Oで コンピュータまたは シリアル通信で FAネットワークで 制御する場合 タッチパネルから 制御する場合 制御する場合 制御する場合 CPU 位置決め CPU CPU 電源 ユニット 電源 シリアル通信 電源 FA ネットワーク I/O 不要 ユニット ユニット FAネットワーク I/O Modbus（RTU） Modbus（RTU） ネットワーク コンバータ（別売） RS-485 モーターの運転に必要な情報をドライバに持たせるため、上位PLCの負担が軽減します。複数軸制御の場合の システム構成がシンプルになります。サポートソフト、もしくはRS-485通信による設定となります。 RS-485通信付き パルス列入力タイプ AC DC ドライバに対してパルスを入力することで運転を実行するタイプ 基本設定（出荷時設定） I/O割付変更　パラメータ変更 です。お客様がご用意する位置決めユニット（パルス発振器）から サポートソフト（MEXE02） モーターの制御を行います。RS-485通信を使用することで、 モーターのステータス情報（位置、速度、トルク、アラーム、温度など） をモニタすることができます。 モーターまたは 電動アクチュエータ ドライバ サポートソフト（MEXE02）を使用 することで、アラーム履歴の確認 や各種状態のモニタができます。 コンピュータまたは タッチパネルから 位置、速度 制御する場合 パルス列入力 CPU 電源 シリアル通信 ユニット 位置決め ユニット Modbus(RTU) モーターのステータス情報 8

AC ：単相100-120V、単相／三相200-240V入力 DC ：DC24/48V入力 パルス列入力タイプ AC DC ドライバに対してパルスを入力することで運転を実行するタイプ 基本設定（出荷時設定） I/O割付変更　パラメータ変更 です。お客様がご用意する位置決めユニット（パルス発振器）から サポートソフト（MEXE02） モーターのコントロールをおこないます。サポートソフト （MEXE02）を使用することで、アラーム履歴の確認や各種状態 のモニタができます。 モーターまたは 電動アクチュエータ ドライバ サポートソフト（MEXE02）を使用 することで、アラーム履歴の確認 や各種状態のモニタができます。 CPU 電源 I/O 位置決め 位置、速度 ユニット パルス列入力 ネットワーク対応ドライバ AC DC EtherNet/IP、EtherCAT、PROFINET通信に対応したドライバです。ネットワーク上からの直接制御が可能です。 上位制御機器とドライバを通信ケーブル1本で接続するため、省配線を実現します。 上位制御機器 ネットワーク対応多軸ドライバ DC SSCNET III/H、MECHATROLINK-III、EtherCATドライブプロファイルに対応した 多軸ドライバです。AZシリーズDC電源入力のモーターと、それらを搭載している電動 AZシリーズ 多軸ドライバ DC電源入力 SSCNETⅢ /H対応 4軸タイプ MECHATROLINK-Ⅲ対応 アクチュエータを接続できます。２軸、３軸、４軸接続できるドライバをご用意しています。 EtherCAT ドライブプロファイル対応 AZシリーズDC電源入力のモーターと、それらを搭載している 電動アクチュエータを接続できる多軸ドライバです。 3軸タイプ 2軸タイプ SSCNETⅢ /H、MECHATROLINK-Ⅲ、EtherCATドライブプロファ イルに対応した製品をそれぞれご用意しています。 ✽製品の詳細は、多軸ドライバの個別カタログに掲載しています。 上位ネットワークに直結し、最大4軸を同時制御できる多軸ドライバ ドライバ1台で複数軸を制御できます。上位ネットワークや電源との接続がドライバ1台に集約され、省配線やコストダウンにも貢献します。 上位制御機器 ドライバを 1台に凝縮するメリット 省スペース、省配線 コストダウン AZシリーズ DC電源入力 AZシリーズ搭載 AZシリーズ搭載 AZシリーズ搭載 AZシリーズ 多軸ドライバ DC電源入力 モーター 中空ロータリーアクチュエータ 電動スライダ EASシリーズ 電動グリッパ EHシリーズ DG　シリーズ DC電源入力 DC電源入力 DC電源入力 ● 接続しているモーター、電動アクチュエータは代表例です。 ● EtherCAT対応製品用に、ESIファイルをご用意しています。当社WEBサイトからダウンロードできます。 単軸ドライバを並べるより、コンパクトで省スペースに（2軸タイプ・4軸タイプ） ネットワーク対応の単軸ドライバを並べる 90mm 180mm より、設置スペースを省略することができ ます。 複単 数軸 台ド 使ラ 用イ すバ るを 場 ●　　　　　　 は三菱電気株式会社の登録商標または商標です。 合 使多 2軸 4軸 用軸 ●　　　　 はCC-Link協会、　　　　　　　はMECHATROLINK協会、　　　　　　　はODVAの登録商標です。 すド るラ -10mm -33mm 場イ 合バ を ● 　　　　　 は、Beckhoff Automation GmbH(ドイツ)よりライセンスを受けた特許取得済み技術であり登録商標です。 ● 上記のドライバは、EtherCAT ドライブプロファイルに対応している、AZシリーズの単軸ドライバと多軸ドライバのサイズ比較です。 ● は、PROFIBUS Nutzerorganisation e.V（. PNO）の商標または登録商標です。 個別カタログ 9

AZシリーズならではの サポートソフトMEXE02 MEXE02 サポートソフトは、当社WEBサイトから かんたん設定、便利な機能。 ダウンロードできます。 AZシリーズ かんたん設定・かんたん動作 サポートソフトMEXE02で運転データの編集やパラメータの設定など、基本的な設定ができます。 また、シーケンス機能により、簡単な入力で高度な動きを実現します。 ● 単位系設定ウィザード ● リカバリーデータファイルの作成 移動量や速度などを、任意の単位で表示・入力するための機能です。 メンテナンスで製品を交換するときや、製品が破損したときに備えて、 使用する機構に合わせた単位（mm、deg）に表示・設定ができるので、 製品の出荷時設定を保存したファイルを最初に作成します。 単位換算の手間を省き、運転データの入力が簡単です。 電動アクチュエータをお使いの場合は、必ずリカバリーデータファイ ルを作成してください。 リカバリーデータファイル 製品交換や破損時、 リカバリーデータファイルから 情報を読み出せます ● シーケンス機能によりメインプログラムを簡略化 AZシリーズのストアードデータ運転には、連結運転や運転間のタイマ設定、 条件分岐、ループ回数などの豊富なシーケンス機能を搭載しています。 上位システムのシーケンスプログラムを簡略化できます。 位置決め機能内蔵タイプの場合 使い方ナビのご紹介 ● 位置決め運転データ設定数（最大256点） 当社WEBサイトでは、　　　　　AZシリーズの便利な機能・使い方を動画で ● 汎用入出力点数（入力10点、出力6点） わかりやすく紹介しています。是非ご利用ください。 ● 通信用入出力点数（入力16点、出力16点） トップ START 技術情報・事例 使い方ナビ ストアード データ運転 または、 オリエンタルモーター使い方ナビ 検索 出力 位置決め運転① 外部機器 https://www.orientalmotor.co.jp/tech/ video_navi/ 待ち時間設定 入力 条件の設定 外部センサ 繰り返し 回数設定 位置決め運転② END 10

テスト機能 モーターを単独で運転させたり、上位システムとの接続確認ができる機能です。 装置立ち上げ時に活用することで、時間短縮につながります。 ● ティーチング・リモート運転 立ち上げ時に ● Ｉ／Ｏテスト 立ち上げ時に 運転時に サポートソフト上から、簡単に原点設定やモーターを駆動させることが可能 入力信号のモニタと、出力信号の強制出力をおこなえます。上位システムと です。上位システムと接続する前に、ティーチングや試運転などがおこなえるた の結線や、リモートＩ/Ｏの動作を確認するときに便利な機能です。 め、装置の立ち上げ時間短縮に貢献します。 ステータス簡易モニタ テスト運転 ティーチング JOG運転 FREE操作 各種モニタ機能 ● 波形モニタ 立ち上げ時に ● アラームモニタ 立ち上げ時に オシロスコープのようなイメージで、モーターの運転状態や出力信号の状態 異常が発生したときに、異常の内容や発生時の運転状態、対処方法が確認で をモニタすることができます。装置の立上げ・調整時などにご使用ください。 きます。 ● ステータスモニタ 立ち上げ時に ● マルチモニタリング対応 運転時の速度、モーター、ドライバの温度、負荷率のモニタのほか、使用開始 データ設定・テスト運転・モニタなど複数の設定画面を同時に別画面で開い 時からの積算回転量などもモニタできます。それぞれの項目について、任意 て使うことができます。装置立ち上げ・調整などがおこないやすくなってい に信号を出力させることができるので、効率的なメンテナンスにも有効です。 ます。 ①指令位置に対して実際の ① 位置を検出します。 ② ③ ②指令速度に対して実際の 速度を検出します。 ③モーターのエンコーダ部、 ④ ドライバ内部の温度を検出 します。 ④回転中の速度における出力 トルクを100％として、現 在の負荷率を表示します。 11

電動スライダの概要 電動スライダは、 AZシリーズのモーターを採用し、フレーム、ガイドレール、ガイドブロック、ボー ルねじで構成した位置決め用スライダです。ボールねじの回転とガイドにより、正確で精密な直線駆動が可能 です。 ■高精度な位置決め運転ができます モーターでボールねじを回転させることにより、ボールねじナットに固定されたテーブルが駆動します。 ガイドレールが正確な直線運動を案内し、かつ、ワークの荷重を支えるため、大きなワークでも高精度な位置決めが可能となります。 モーター テーブル カップリング ボールねじナット ベアリング ボールねじ ガイドブロック ガイドレール 12

■ 電動スライダの種類と特徴 電動 ● EZSシリーズ AZシリーズ搭載 スライダ EZSシリーズ AZシリーズ搭載 クリーンルーム対応 ボールリテーナ入りLMガイド✽をフレームに採用した、小型で軽量なスライダです。スライダは高精度なLMガイドを基準として取り付け AZ搭載 EZS るため、走り平行度0.03mm以下が可能。ステンレスシート&ローラー構造により、スライダ内部の摺動による粉塵を抑えます。 クリーンルーム対応製品は、EZSシリーズの機能、性能がそのままです。 ✽「 ボールリテーナ」「 AZ搭載 LMガイド」はTHK株式会社の登録商標です。 EAS ● ボールねじ採用 ● 繰り返し位置決め精度　±0.02mm AZ搭載 EZSH テーブル 吸引用継手 ボールねじ 電動 （クリーンルーム シリンダ 対応製品のみ） ボールねじナット AZ搭載 ガイドブロック EAC ガイドレール ストレートタイプ ドライバ / 接続ケーブル 周辺機器 折返しタイプ（右折返し／左折返し） ● 写真は左折返し クリーンルーム対応（吸引継手右方向／吸引継手左方向） ● 写真は吸引継手左方向 クリーンルーム対応はストレートタイプのみ ● EASシリーズ AZシリーズ搭載 ボールねじを使用し、ガイドにTHK製のボールリテーナ入りLMガイド✽を採用した電動スライダです。高精度なLMガイド部を直接お客 様の筐体ベースに取り付けるため、走り平行度を要求する用途に適しています。（走り平行度0.03mm以下） また小型ながら高剛性で、高可搬質量を実現しました。 ✽「 ボールリテーナ」「LMガイド」はTHK株式会社の登録商標です。 ● ボールねじ採用 ● 繰り返し位置決め精度　±0.02mm テーブル ボールねじ ボールねじナット サイドカバー ガイドブロック ガイドレール ストレートタイプ 折返しタイプ（右折返し／左折返し） ● 写真は右折返し 13

● EZSHシリーズ AZシリーズ搭載 THK製アウターレール（鉄）を採用した電動スライダです。 高剛性なフレームを採用しているため、取付板を使用しないコンパクトな設計が可能です。 ハイリードボールねじによる高速位置決め、繰り返し位置決め精度±0.005mmの高精度位置決めが可能です。 ボールねじ軸の大径化によるロングストロークを実現しました。 更に、ステンレスシートによる簡易防塵構造により外部からの異物混入を防ぎます。 ● ボールねじ採用 ● 繰り返し位置決め精度　±0.005mm アウターレール（鉄） 14

■組み合わせ一覧 電動 スライダ ● AC電源入力 種類 シリーズ 品名 （搭載モーター品名） AZ搭載 EZS EZSM3 ■ ■ □ □ □AZAC（AZM46AC） EZSM3 ■ ■ □ □ □AZMC（AZM46MC） AZ搭載 ■ ■ EZSシリーズ EZSM4 □ □ □AZAC（AZM46AC） EAS EZSM4 ■ ■ □ □ □AZMC（AZM46MC） EZSM6 ■ ■ □ □ □AZAC（AZM66AC） EZSM6 ■ ■ □ □ □AZMC（AZM66MC） AZ搭載 電動スライダ EZSH EASM4 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZAC（AZM46AC） EASM4 ■ ■ ■ ■ EAS □ □ □ シリーズ AZMC（AZM46MC） EASM6 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZAC（AZM66AC） 電動 EASM6 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZMC（AZM66MC） シリンダ EZSHシリーズ EZSHM6 ■ □ □ □AZAC（AZM66AC） EZSHM6 ■ □ □ □AZMC（AZM66MC） AZ搭載 + EAC 種類 タイプ 品名 位置決め機能内蔵タイプ AZD-AD、AZD-CD ドライバ / RS-485通信付きパルス列入力タイプ AZD-AX、AZD-CX 接続ケーブル パルス列入力タイプ AZD-A、AZD-C ドライバ EtherNet/IP対応 AZD-AEP、AZD-CEP 周辺機器 EtherCATドライブプロファイル対応 AZD-AED、AZD-CED PROFINET対応 AZD-APN、AZD-CPN + 種類 タイプ 品名 モーター/エンコーダ用：CC◇◇◇VZF 接続ケーブルセット モーター/エンコーダ /電磁ブレーキ用： 接続ケーブルセット／ CC◇◇◇VZFB 可動接続ケーブルセット モーター/エンコーダ用：CC◇◇◇VZR 可動接続ケーブルセット モーター/エンコーダ /電磁ブレーキ用： CC◇◇◇VZRB ● 品名中の記号には、以下の種類を表す文字や数字が入る場合があります。 ■： モーター取付方向または吸引継手方向 ■： センサレール ■： テーブル ■： リード □：ストローク ◇：ケーブル長さ 15

● DC電源入力 種類 シリーズ 品名 （搭載モーター品名） EZSM3 ■ ■ □ □ □AZAK（AZM46AK） EZSM3 ■ ■ □ □ □AZMK（AZM46MK） EZSシリーズ EZSM4 ■ ■ □ □ □AZAK（AZM46AK） EZSM4 ■ ■ □ □ □AZMK（AZM46MK） EZSM6 ■ ■ □ □ □AZAK（AZM66AK） 電動スライダ EZSM6 ■ ■ □ □ □AZMK（AZM66MK） EASM2 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZAK（AZM24AK） EASM4 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZAK（AZM46AK） EASシリーズ EASM4 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZMK（AZM46MK） EASM6 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZAK（AZM66AK） EASM6 ■ ■ ■ ■ □ □ □AZMK（AZM66MK） + 種類 タイプ 品名 位置決め機能内蔵タイプ AZD-KD RS-485通信付きパルス列入力タイプ AZD-KX パルス列入力タイプ AZD-K ドライバ EtherNet/IP対応 AZD-KEP EtherCATドライブプロファイル対応 AZD-KED PROFINET対応 AZD-KPN + 種類 タイプ 品名 接続ケーブルセット CC◇◇◇VZ2F2 EASM2用 可動接続ケーブルセット CC◇◇◇VZ2R2 モーター/エンコーダ用：CC◇◇◇VZF2 接続ケーブルセット／ EZSM3、 接続ケーブルセット モーター/エンコーダ /電磁ブレーキ用： 可動接続ケーブルセット EZSM4、 CC◇◇◇VZFB2 EZSM6、 EASM4、 モーター/エンコーダ用：CC◇◇◇VZR2 EASM6用 可動接続ケーブルセット モーター/エンコーダ /電磁ブレーキ用： CC◇◇◇VZRB2 ● 品名中の記号には、以下の種類を表す文字や数字が入る場合があります。 ■： モーター取付方向または吸引継手方向 ■： センサレール ■： テーブル ■： リード □：ストローク ◇：ケーブル長さ 16

仕様表の見方 電動 スライダ 電動スライダの仕様を例にして、仕様表の見方を以下にご紹介します。 AZ搭載 EZS ■電動スライダ仕様 AZ搭載 ① リード EAS mm 12 6 ② 電磁ブレーキ（無励磁作動型） 付 なし 付 なし ③ 駆動方式 ボールねじ AZ搭載 ④ 繰り返し位置決め精度 mm ±0.02 EZSH ⑤ 最小移動量 mm 0.01 ⑥ 走り平行度 mm 0.03 電動 動的許容モーメント MP:16.3 MY:4.8 MR:15.0 ⑦ 許容モーメント シリンダ N·m 静的許容モーメント MP:58.3 MY:16.0 MR:53.3 水平 ∼15 ∼30 ⑧ 可搬質量 kg 垂直 ∼7 − ∼ AZ搭載 14 − EAC ⑨ 推力 N ∼70 ∼140 ⑩ 押し当て力 N 100 200 ⑪ 保持力 N 70 140 ドライバ / 接続ケーブル 50∼500mm 800 400 550mm 650 320 ストローク別 ⑫ 最高速度 600mm mm/s 550 270 周辺機器 650mm 460 220 700mm 400 200 ● 製品によっては、使い方に制限や注意が必要な場合もあります。詳細は各製品ページの 注記をご覧ください。 ①リード ⑧可搬質量 モーターが1回転することによりテーブルが直線方向に進む距 ● 水平方向 離です。 電動スライダを水平方向で使用する場合、仕様の運転性能で動 かすことのできる質量です。 ②電磁ブレーキ（無励磁作動型） ● 垂直方向 製品には無励磁作動型の電磁ブレーキが付いたタイプと、付い 電動スライダを垂直方向で使用する場合、仕様の運転性能で動 ていないタイプがあります。垂直方向の駆動にご使用の場合は、 かすことのできる質量です。 電磁ブレーキ付をお選びください。（EASM2を除く） ⑨推力 ③駆動方式 等速運転時、テーブルが負荷を推し進められる力です。 回転動作を直線動作に変換する機構方式をいいます。 ⑩押し当て力 ④繰り返し位置決め精度 押し当て運転中に、負荷に押し当たった時の加圧力です。 同じ位置に同じ方向から繰り返し位置決めをおこなったときに、 どれだけの誤差が生じるかを表した値です（精度は一定温度、一 ⑪保持力 定負荷での値です）。 通電時、モーター停止時の保持力および、電磁ブレーキ動作状 態の保持力の値です。 ⑤最小移動量 テーブルが移動する最小の移動量です。（出荷時） ⑫ストローク別最高速度 最大可搬質量を搬送できる最高速度です。ストロークの長さに ⑥走り平行度 よって速度の上限が制約されます。 電動スライダ取付面からテーブル上面までの高さおよび横方向 の振れ幅です。 ⑦許容モーメント テーブル中心よりワークの位置がオフセットしているとリニア ガイドに負荷モーメントが作用します。 作用方向はオフセットの位置によりピッチング（MP）、ヨーイン グ（MY）、ローリング（MR）方向に作用します。 動的許容モーメントは、動作中に許容できるモーメントのこと です。 静的許容モーメントは、停止中に許容できるモーメントのこと です。 17

電動スライダ この製品に関する技術資料、 EZSシリーズ 法令・規格については当社 AZシリーズ搭載 WEBサイトをご覧ください。 EZSシリーズは、小型、高剛性、簡易防塵構造の電動ス ライダです。 モーター部に AZシリーズを搭載。ステッピン グモーター同様の、高応答、低振動、ハンチングなしの 動きを電動スライダで実現。ストレートタイプ、折返 しタイプと装置スペースに合わせて選べるバリエーショ ンをご用意しました。 ● 高剛性で薄型ガイド ストレートタイプ 折返しタイプ ● モーター折返しによる省スペース化 ● 簡易防塵構造で異物の侵入を防止、発塵を抑制 ● クリーンルーム対応 ■特徴 設置スペース、環境に合わせて選べる豊富な製品バリエーション 薄型・高精度・高強度のスライダに、全長の短い折返しタイプもラインアップ。 モーターは、標準モーターのAZシリーズを搭載。豊富な製品バリエーションを取り揃えています。 搭載モーター 電動スライダ AZ シリーズ ストレートタイプ ● バッテリレス アブソリュートセンサ内蔵 ● センサ不要で位置情報を把握 ● クローズドループ制御による高信頼性 ● 高効率化により、モーター発熱低減、省エネルギー 折返しタイプ （右折返し／左折返し） ● 写真は左折返し 位置決め機能内蔵タイプ パルス列入力タイプ クリーンルーム対応 （ 吸引継手右方向／ 吸引継手左方向） ● 写真は吸引継手左方向 ネットワーク対応 ● 写真はEZSM6（幅74mm×高さ66.5mm）です。 　FLEX（フレックス）とは FLEXとは、I/O制御、Modbus（RTU）制御、ネットワーク コンバータ経由でのFAネットワーク制御に対応した製品の 総称です。 かんたん接続、かんたん制御を可能にし、システム構築の トータルリードタイム短縮を実現します。 18

高剛性・高精度 省スペース 電動 スライダ 剛性の高いガイドを採用することで、小型ながら高い許容モーメ ワークとの干渉がないためスペースを最大限に使用することがで ントを実現しました。 きます。密着配置も可能です。 AZ搭載 EZS ● 高剛性、高精度ガイド 密着配置が可能 ワークと製品の干渉無し ガイドにはTHK製のボールリテーナ入りLMガイド✽を採用してい ワーク AZ搭載 ます。薄型のステンレスガイドで高いモーメントを受けられます。 EAS 精度も優れたガイドで走り平行度を0.03ｍｍ以下に抑えることが できました。 AZ搭載 ✽「 ボールリテーナ」「LMガイド」はTHK株式会社の登録商標です。 EZSH テーブル ● ケーブル引出口変更可能 吸引継手 電動 ボールねじ モーターの取付方向は4方向✽に変更することができるので、設置 （ クリーンルーム ボールねじナット シリンダ 場所に合わせてケーブルの引出口を自由に変えることができます。 対応のみ） ガイドブロック ✽ 折返しタイプは3方向です。 ガイドレール AZ搭載 EAC 90° ドライバ / 走り平行度　0.03ｍｍ以下 接続ケーブル 薄型ながら高可搬質量を実現 周辺機器 テーブル面の高さ 30 kg 60 kg 15 kg 50 mm 50 mm 66.5 mm ● 折返しタイプ EZSM3 EZSM4 EZSM6 折返しタイプはストレートタイプに比べ全長が最大136.4mm短い ため装置の省スペースに貢献します。 ● 高許容モーメント EZSM6電磁ブレーキ付　ストローク200mm 小型でありながら高いモーメントを実現しました。 MR ● ストレートタイプ 562.1 mm 340N✽ 張り出し長さ 1 m ● 折返しタイプ ✽ 荷重の値はEZSM6の静的許容モーメント340N·mより算出した値です。 ● ローリング方向の許容モーメント値　［N·m］ 最大 型番 静的許容モーメント✽1 動的許容モーメント✽2 136.4mm✽ EZSM3 52.0 10.5 短縮可能 EZSM4 176 27.8 425.7 mm EZSM6 340 55.6 ✽ 電磁ブレーキ付の場合 ✽ 1 停止中にリニアガイドが許容できる負荷モーメント ✽ 2 動作中にリニアガイドが許容できる負荷モーメント 19 薄薄型型

簡易防塵構造 クリーンルーム対応 テーブル部にステンレスシートとローラー構造を採用した簡易防 低発塵のローラー構造に加え低発塵クリーングリースの採用によ 塵構造によって異物の侵入を防止し、発塵も抑制します。 り、ISO規格 クラス3✽（FED規格クラス1相当）のクリーン度を実 異物侵入防止 現しました。 ステンレスシート使用によ る簡易防塵構造により外 部からの異物の侵入を防 ぎます。 発塵抑制 テーブル部に低発塵のローラー構 造を採用することでステンレスシー トとの摩擦で摩耗粉がでることがあ りません。 吸引継手 ● 低発塵のローラー構造（特許取得済み ) 吸引ポンプなどで吸引することで ISO規格 テーブル部に低発塵のローラー構造を搭載し、ステンレスシート クラス3のクリーン度を達成できます。 と転がり接触することで、摩耗粉の発生を防ぎます。発塵を抑え ✽ ISO規格 クラス3について るだけでなく、ステンレスシートの耐久性向上につながります。 ［ISO規格　クラス3］ 粒子径［μm］ 0.1 0.3 0.5 発塵量［個 /m3］ 1000以下 102以下 35以下 ● 低発塵クリーングリース使用 ローラー ステンレスシート ボールねじやガイド、ベアリングなどに低発塵クリーングリース を採用しています。 テーブル部ローラーのベアリング ボールベアリング ローラーの構造 ボールねじとガイド部 低発塵クリーングリース採用 ● 少ない吸引量でクラス3のクリーン度を実現 例えばEZSM3の場合、約20ℓ/min以上の内部吸引量で ISO規格 クラス3のクリーン度を可能にします。 ● 発塵量と吸引量の相関図 例 EZSM3CLD050／EZSM3CRD050 100 000 000 粒子径 0.1 μm以上 10 000 000 粒子径 0.3 μm以上 1 000 000 粒子径 0.5 μm以上 100 000 10 000 ストローク： 500mm 1 000 設置条件： 水平 運転速度： 800mm/s 100 加速度： 20m/s2 10 搬送質量： 0kg 運転duty： 50% 1 0 10 20 30 40 50 内部吸引量 [I/min] 使用する吸引ポンプを最小限に抑える ことができ、消費電力も削減できます。 ● ISO規格　クラス3を満たすための内部吸引量 型式 EZSM3 EZSM4 EZSM6 内部吸引量［l/min］ 20 30 30 ● EZSM4、EZSM6の発塵量と吸引量の相関図は47ページをご覧ください。 20 発塵量 [個/m3]