独自の駆動機構で半導体製造を支える | ウェハ搬送ロボット

ロボットディビジョン 問い合わせ先 主要拠点 東 京 〒105-8315 東京都港区海岸1-14-5 東 京 本 社 〒105-8315 東京都港区海岸1-14-5 Tel. 03-3435-2501 Fax. 03-3437-9880 明 石 工 場 〒673-8666 兵庫県明石市川崎町1-1 小・中型汎用 愛 知 〒480-1115 愛知県長久手市菖蒲池105 西神戸工場 〒651-2239 兵庫県神戸市西区櫨谷町松本234 ～80kg Tel. 0561-63-6800 Fax. 0561-63-6808 大型汎用 兵 庫 〒650-0044 兵庫県神戸市中央区東川崎町1-5-7 ～300kg Tel. 080-4140-7750 超大型汎用 広 島 〒732-0802 広島県広島市南区大州1-4-4 海外関係会社 ～1500kg Tel. 082-286-1711 Fax. 082-286-1007 共存 福 岡 〒811-3135 福岡県古賀市小竹847-1 アメリカ／イギリス／ドイツ／韓国／中国／台湾／タイ／インド／ シンガポール 防爆塗装 Tel. 092-940-2310 Fax. 092-940-2311 シーリング 川崎重工 ロボットディビジョンサイト Kawasaki Robot アーク溶接 https://kawasakirobotics.com/jp/ パレタイズ ウェハ搬送ロボット 医薬 ピッキング カワサキロボットサービス株式会社 ウェハ搬送 https://www.khi.co.jp/corp/krs/ 自走式ロボット 専用コールセンター 受付時間　平日 8:30～17:30 まで ロボットの専門的な知識を持ったスタッフが対応します。 ※自動車・塗装・クリーン以外の産業用ロボット 自動車組立ロボットサービス Tel. 050-3000-4332 一般産機ロボットサービス Tel. 050-3000-4347 塗装ロボットサービス Tel. 050-3000-4333 クリーンロボットサービス Tel. 050-3000-4335 24時間ヘルプデスク スクール総合案内 部品修理 夜間・休日にトラブル等が起こったお客様へ ロボットスクールをご検討されているお客様へ ロボット部品の修理をご検討されているお客様へ Tel. 078-990-3550 Tel. 050-3000-4344 Tel. 050-3000-4339 サービスセンター 東北サービスセンター 関東サービスセンター 南関東サービスセンター 〒023-1131 岩手県奥州市江刺愛宕宿152 〒326-0831 栃木県足利市堀込町116-3 〒252-0815 神奈川県藤沢市石川2-19-16 豊橋サービスセンター 名古屋サービスセンター 彦根サービスセンター 〒441-8039 愛知県豊橋市西橋良町29 〒498-0066 愛知県弥富市楠3-20-3 〒522-0201 滋賀県彦根市高宮町762-1 関西サービスセンター 玉津サービスセンター 広島サービスセンター 〒651-2271 兵庫県神戸市西区高塚台2-1-9 〒651-2145 兵庫県神戸市西区玉津町居住92-1 〒732-0802 広島県広島市南区大洲1-4-4 九州サービスセンター 〒811-3135 福岡県古賀市小竹847-1 ●Kawasaki Robotのご使用に際しては、必ず取扱説明書、その他付属図書などをすべて熟読し、正しくご使用い ただくようお願いいたします。 ●このカタログに記載の製品は、一般産業用ロボットです。本製品の故障や誤動作により、人体に危害を及ぼす恐 安全上の れがある用途にご使用される場合は、必ず当社営業窓口にご相談ください。 注意 ●このカタログに記載している写真は、安全柵など法令法規で定められた安全性のための機器、装置などを取り除 いて撮影している場合があります。 ※このカタログに記載の内容は、改良のため、予告なく改訂・変更することがあります。 ※このカタログに記載の製品は、日本国内向けです。海外設置の場合は、仕様が異なりますので、別途ご相談ください。 ※このカタログに記載の製品には、“外国為替及び外国貿易法”で定められた規制貨物に該当する製品（または技術）が含まれています。 　該当製品を輸出する際には、同法に基づく輸出許可等が必要ですのでご注意ください。 Cat. No. 3L2518 Sep ’25

NX NX420/NX411 シリーズ 標準仕様 ウェハ搬送ロボット 型式 NX420 NX411 コンパクトなアーム設計により、 構造 水平多関節 自由度（軸） 5 省スペースでの設置が可能 θ1軸（回転・JT2）（ °） +313 - −323 動 Z軸 （上下・JT3）（mm） 330 ■ 世界トップシェアを誇るウェハ搬送ロボット。 作 θ2軸（回転・JT4）（ °） +180 - −150 範 F軸 （回転・JT5）（ °） ■ 川崎重工独自の駆動機構により、高精度・高剛性な動作を実現。 - ±∞ 【適用用途】 囲 H1軸（回転・JT6）（ °） ±190 ■ SEMI-F47およびSEMI-S2に準拠し、4FOUPまでのEFEMに走行装置無しで対応が可能です。 H2軸（回転・JT7）（ °） ±190 - 最大リーチ（mm） 736（ ハンド長320mm時） ■ リングフレームや基板搬送にも対応。 最小回転半径（mm） R284 　　※詳細は各地区営業担当までお問い合わせください。 対応FOUP数 最大 2 位置繰り返し精度＊（1 mm） ±0.05 クリーン度＊2 class 1 ウェハ搬送 エッジグリップハンド バキュームハンド 把持タイプ エッジグリップ/バキューム エッジグリップ NTJ NTJ10/NTJ20/NTJ11 対応コントローラ/電源容量 F60/0.5kVA シリーズ ＊1: 当社測定条件かつ当社標準ハンドのウェハセンター位置(ISO 9283:1998/JIS B 8432:1999)での 標準仕様 計測による。　＊2: 当社クリーンブース内での計測による 型式 NTJ10 NTJ20 NTJ11 独自の駆動構造により、 構造 水平多関節 自由度（軸） 4 5 コントローラ 高精度かつなめらかな動きを実現 θ1軸（回転・JT2）（ °） ±170 動 Z軸 （上下・JT3）（mm） 470 標準仕様 作 θ2軸（回転・JT4）（ °） ±170 範 F軸 （回転・JT5）（ °） - ±∞ 寸法（ mm） W320×D300×H130 【適用用途】 囲 H1軸（回転・JT6）（ °） ±190 F60 構造 開放型 直接冷却方式（IP20相当） H2軸（回転・JT7）（ °） - ±190 - 制御軸数（ 軸） 最大6（ロボット5軸、アライナ1軸） 最大リーチ（mm） 1,067.2（ ハンド長350mm時） メモリ容量（ MB） 16 最小回転半径（mm） R500 外部操作信号 非常停止、外部ホールド信号など 対応FOUP数 最大 3 I/O信号 汎用入力（点） 16 位置繰り返し精度＊（1 mm） ±0.05 汎用出力（点） 16 クリーン度＊2 class 1 ケーブル長 分離ハーネス（m） 5 ウェハ搬送 エッジグリップハンド バキュームハンド 把持タイプ エッジグリップ/バキューム エッジグリップ ティーチペンダント（m） 5 対応コントローラ/電源容量 F60/0.5kVA 質量（kg） 9（最大） ＊1: 当社測定条件かつ当社標準ハンドのウェハセンター位置(ISO 9283:1998/JIS B 8432:1999) 特長 電源仕様 AC200 - AC230V ±10%、50/60Hz、1Φ での計測による。　＊2: 当社クリーンブース内での計測による 最大1.5KVA コンパクトかつ軽量な設計 設置環境 周囲温度（℃） 0 - 45 相対湿度（%） 35 - 85（ 結露なきこと） TTJ TTJ10/TTJ20 Ethernet通信を標準装備し、高速通信が可能 LCD液晶表示、 シリーズ ティーチペンダント（オプション） 非常停止スイッチ、ティーチロックスイッチ、 標準仕様 SEMI規格、欧州指令に準拠　 イネーブルスイッチ 操作ボックス（オプション） ティーチ/リピート切替スイッチ 型式 TTJ10 TTJ20 テレスコピック機構を採用し、 構造 水平多関節 自由度（軸） 5 低位置へのパスラインと高位置への搬送を両立 θ1軸（回転・JT2）（ °） ±170 Z軸 （上下・JT3）（mm） 740 ソフトウェア 動作範囲 θ2軸（回転・JT4）（ °） ±170 【適用用途】 H1軸（回転・JT6）（ °） ±190 H2軸（回転・JT7）（ °） - ±190 動作パス設計 コントローラの 最大リーチ（mm） 1,067.2（ ハンド長350mm時） ソフトウェア設定 ティーチング 動作確認 最小回転半径（mm） R500 対応FOUP数 最大 3 位置繰り返し精度＊（1 mm） ± K-Fast 0.05 KRET KMTerm KSUtility Lite クリーン度＊2 class 1 ウェハ搬送 エッジグリップハンド バキュームハンド 把持タイプ エッジグリップ/バキューム 装置内でのレイアウト、 コントローラと接続してパラメータ設定/ Host PCからロボット操作が 対応コントローラ/電源容量 F60/0.5kVA 動作検討を容易に実現する 動作パス設計が容易に可能。 情報表示/データバックアップが可能。 可能。 ＊1: 当社測定条件かつ当社標準ハンドのウェハセンター位置(ISO 9283:1998/ 　 JIS B 8432:1999)での計測による。 ソフトウェアでロボット導入を ＊2: 当社クリーンブース内での計測による サポートします。 KR3D KSUtility オフラインでロボットの Hostからのロボット操作が 動作確認が容易に可能。 容易に可能。 NTHシリーズ NTH20 標準仕様 シミュレーションイメージ 型式 NTH20 回転中心をずらしたロングアームにより、 構造 水平多関節 自由度（軸） 5 走行装置無しで4FOUP装置に対応 θ1軸（回転・JT2）（ °） ±170 Z軸 （上下・JT3）（mm） 470 動作範囲 θ2軸（回転・JT4）（ °） ±170 アライナ（オプション） H1軸（回転・JT6）（ °） ±190 【適用用途】 H2軸（回転・JT7）（ °） ±190 最大リーチ（mm） 1,226.6（ ハンド長350mm時） 最小回転半径（mm） R500 特長 対応FOUP数 最大 4 位置繰り返し精度＊（1 mm） ±0.05 クリーン度＊2 class 1 高速アライメント（アライメントのみの時間は2.5秒） ウェハ搬送 エッジグリップハンド バキュームハンド 把持タイプ エッジグリップ/バキューム 対応コントローラ/電源容量 F60/0.5kVA ガラスウェハ等にも対応 ＊1: 当社測定条件かつ当社標準ハンドのウェハセンター位置(ISO 9283:1998/ 　 JIS B 8432:1999)での計測による。 01 ＊2: 当社クリーンブース内での計測による 02