オゾン分解ユニット

ASM503

エキシマ装置やプラズマ装置などで発生したオゾンを分解し安全な作業環境をご提供いたします。
高濃度オゾン除去用に開発されたハニカムオゾンフィルターを採用。
分解率を向上させた反応型触媒タイプのため、劣化が少なく、寿命の長いフィルターです。
不燃タイプですので、安心してご使用頂けます。

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オゾン分解ユニットの情報・製品仕様

主な用途	【導入事例】他社製エキシマ照射装置向けに、排気ブロワー付属タイプ。他社製110W紫外線洗浄表面改質装置用途コロナ放電装置（数10ppm）に排気ブロワー付属タイプ。 UV硬化装置向け（約1ppm、高排気風量）用途。プラズマ表面改質装置（約100ppm）用途。専用排気設備の導入を避けるために、分解装置を導入。量産用エキシマ装置への排気用用途。
URL	https://www.asumigiken.co.jp/ozone/

主な用途

【導入事例】
他社製エキシマ照射装置向けに、排気ブロワー付属タイプ。
他社製110W紫外線洗浄表面改質装置用途
コロナ放電装置（数10ppm）に排気ブロワー付属タイプ。
UV硬化装置向け（約1ppm、高排気風量）用途。
プラズマ表面改質装置（約100ppm）用途。
専用排気設備の導入を避けるために、分解装置を導入。
量産用エキシマ装置への排気用用途。

URL

https://www.asumigiken.co.jp/ozone/