除振台 アクティブ除振関連コンテンツ：ステージフィードフォワード制御
ステージ移動荷重の作用は大きく分けて２つあります。
１つ目は、ステージ質量とステージ位置変化量の積に比例する回転モーメントです。
２つ目は、ステージ質量とステージ加速度の積に比例する加振力です。
これらは、ステージ質量、ステージ位置変化量、ステージ加速度が大きいと大変大きな応答変位を発生させます。
柔らかいパッシブ除振台で支持する時には、その揺れは空気ばねの許容変位量を超えて接触を生じる場合もあります。
アクティブ除振台のFB制御効果は、加速度FB制御が振動を小さく、短い時間に収束させます。
このため、装置の位置決め精度の向上やタクトタイムの短縮が計れます。（図２参照）
更に、ステージ位置変化量とステージ加速度のリアルタイム測定値をVAAVコントローラにアナログ接続することにより、SFF制御を行うことが出来ます。
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