H-811
■最小ヘキサポッド真空オプションあり
■トラベルレンジ 34mm/42°
■耐荷重 5Kg
■アクチュエーター分解能 40nm
■最小インクリメンタルモーション 0.2μm
■再現性± 0.1μm
■ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む
■ピボットポイント(回転中心)の任意設定が可能
主な用途 | ● 光位置合わせ ●オートメーション ● 品質保証試験 ● 試験機器 |
---|---|
URL | http://www.pi-japan.jp/products_category_6axis_stage_smallhex.html |
PI(Physik Instrumente)社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...
〒 212-0013
神奈川県川崎市幸区堀川町580 ソリッドスクエア西館17F