パラレルキネマティック・ヘキサポッド
H-811
コンパクトで正確!CIPA認定品ヘキサポッド
■最小ヘキサポッド真空オプションあり
■トラベルレンジ 34mm/42°
■耐荷重 5Kg
■アクチュエーター分解能 40nm
■最小インクリメンタルモーション 0.2μm
■再現性± 0.1μm
■ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む
■ピボットポイント（回転中心）の任意設定が可能
| 主な用途 | ● 光位置合わせ ●オートメーション ● 品質保証試験 ● 試験機器 |
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| URL | http://www.pi-japan.jp/products_category_6axis_stage_smallhex.html |
企業情報
ピーアイ・ジャパン株式会社
PI（Physik Instrumente）社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...
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