PILine®ピエゾモーターXY軸ステージ

M-686

薄型!顕微鏡検査における自動位置決めアプリケーション用に最適!

ピーアイ・ジャパン株式会社

■ 内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動に
より、100mm/sの高速化を実現
■ ストローク:25×25mm
■ 分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵
■ コンパクトな設計:断面高さ32mm、
設置面積170×170mm
■ センター開口部:78×78mm、66×66mm
(最高位置)
■ 静止時に自動ロック
■ PIピエゾナノポジショニング/
スキャニングステージに適合

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主な用途 ● バイオテクノロジー
● 顕微鏡による検査
● 走査型顕微鏡
● 共焦点顕微鏡
● 半導体試験
● ハンドリング
URL http://www.pi-japan.jp/products_category_pztpos_microscope_longxy.html

ピーアイ・ジャパン株式会社

PI(Physik Instrumente)社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...

〒 212-0013
神奈川県川崎市幸区堀川町580 ソリッドスクエア西館17F

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