Q-Motion スティックスリップピエゾリニアステージ

Q-545

サブナノメートルの分解能を持つピエゾスティックスリップモーターステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

■ サブナノメートルの分解能を持つ
  ピエゾスティックスリップモーター
■ トラベルレンジ:13mm あるいは26mm
■ 一方向再現性:0.018μm
■ 耐荷重:1kg
■ 最大速度:10mm/ 秒
■ エンコーダー分解能:1nm
■ 光学式リニアスケール内蔵
■ わずか45mm幅の小型ステージ

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主な用途 ● 高精度位置決め
● 真空非磁性アプリケーション
● 計測
URL http://www.pi-japan.jp/products_category_motorrized_1axis_smallpztmotor.html

ピーアイ・ジャパン株式会社

PI(Physik Instrumente)社はドイツ・カールスルーエを本拠地とし、弊社ピーアイジャパンは、日本で30年以上に渡り、半導体、計測測定、顕微鏡、機械加工、天体観測など様々なお客様に高精度...

〒 212-0013
神奈川県川崎市幸区堀川町 ソリッドスクエア西館17F

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