自動短寸法測定機 μーMasterシリーズ
LCDのTFTアレイプロセス、及びカラーフィルタープロセスでのCD・オーバーレイ測定に対応する短寸法測定専用モデル。精密座標測定機で培った高いステージ位置決め技術と、高解像度光学顕微鏡、そして進化した専用測定ソフトウェアが、有機ELディスプレイのバックプレーンとしても注目されるLTPS*1の微細なCD・オーバーレイ測定にも完全に対応。さらに高精細フォトマスクの線幅測定までターゲットとしています。
| 主な用途 | ＬＴＰＳパネル ＴＦＴパネル カラーフィルター ＯＬＥＤパネル フォトマスク |
|---|---|
| URL | http://sinto-sp.co.jp/products/mumaster.html |
企業情報
新東Ｓプレシジョン株式会社
・精密座標測定機、その他精密測定機器の開発・製造・販売及びメンテナンス ・精密加工装置の開発・製造・販売及びメンテナンス
〒 243-0036
神奈川県厚木市長谷260-63