デジタル指示調節計（プロセス・温度調節計）
HA400,HA900
サンプリング周期0.025秒・精度0.1%の高精度・高速サンプリングのプロセス・温度調節計
速い制御系に対応するサンプリング周期０.０２５秒の高速デジタル指示調節計です。
精度、±０.１％，２チャネル制御対応，マルチメモリエリア機能、プログラムコントロール機能，カスケード制御機能，パワーフィードフォワード機能，２系統通信ポートなど、多彩な機能を付加することができます。サイズは48X96mm, 96X96mmの２種類を用意。入力は、熱電対・白金測温抵抗体・直流電圧・直流電流に対応しています。
高速な温度制御が求められる半導体製造プロセスにおけるRTP(Rapid Thermal Process：急速加熱処理)工程などの温度調節計（温度調節器）として最適です。
豊富な入出力
デジタル入力７点、デジタル出力５点・リモート設定入力・アナログ伝送出力・通信機能を付加できます。
1台で２チャネルの制御
１台で２チャネルの制御が可能です。１ループ/２ループ制御モード、カスケード制御がモードから選択できます。また、チャネルごとに入力の種類を指定でき、温湿度制御などが可能です。
マルチメモリエリア機能
温度設定値・ＰＩＤ定数・イベント設定値等を16種類まで登録できます。わずらわしい設定変更が、一発でできます。また、オプションの外部接点入力によるマルチメモリエリアの切換が可能です。
企業情報
理化工業株式会社
温度制御機器 温湿度制御機器 半導体製造用制御装置 各種プロセス制御装置 各種簡易計装システム 樹脂圧力計 各種センサーなどの開発・製造・販売およびアフターサービス
〒 146-8515
東京都大田区久が原5-16-6