小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。
OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン・2D材料（遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料）などの成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。
MiniLab-026/00-GBでは、PCD/CVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省スペース環境で実現。
【特徴】
◉ CVD/PVD成膜、スピンコート塗布・ホットプレートベーキングなど一連の作業を外気に晒すことなく、GB内でシームレスに行うことができます。
◉ 省スペース：背面にチャンバーがせり出しませんので、スペースを取りません。
【MiniLab対象】
◉ MiniLab-026（26ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリング、RF/DCエッチング、アニール
◉ MiniLab-090（90ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリング、RF/DCエッチング、アニール
【GB対応 MiniLab-026/090主仕様】
◉ チャンバ：SUS製（*090はスライドドア式, 背面メンテナンスドア）
◉ 19inch制御ラックは作業ベンチ下に収納
◉ MLチャンバー内成膜モジュール：
・抵抗加熱蒸着源（最大4源）
・有機蒸着源（最大4源）
・Φ2"マグネトロン（最大3基）
・RF/DCエッチング（最大Φ6inchステージ）
・基板加熱ステージ（最大Φ6inchステージ）などを搭載
◉ 高精度膜厚制御
◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（クライオポンプ, ドライポンプオプション）
◉ 豊富なオプション
＊その他の詳細仕様は当社へお問い合わせ下さい。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 【MiniLab-026/090】グローブボックス薄膜実験装置 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.6Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | テルモセラ・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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MiniLab series deposition system
MiniLab-GB_ Glovebox Integrated system
【MiniLab-GB】 グローブボックス薄膜実験装置
本装置は、MiniLab シリーズのチャンバー部をグローブボックス作業ベンチ内に、制御ラック部をベンチ下
に収納した装置です。スパッタ・真空蒸着などの成膜装置とグローブボックス設置エリアを一体化した、ラボ
内の限られたスペースを有効活用できる省スペース装置です。スピンドライヤー , ホットプレートなどへの受
け渡しなど、試料を外気に晒すことなくグローブボックス内で一連の作業をシームレスに行うことができます。
【MiniLab（ミニラボ）】 MiniLab-026-GB グローブボックス薄膜実験装置
【MiniLab（ミニラボ）】 MiniLab-090-GB グローブボックス薄膜実験装置
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App Note
薄膜装置構成 MiniLab-GB :System Overview
・対応機種：MiniLab-026（チャンバー容積26ℓ）及びMiniLab-090（容積90ℓ）
・真空薄膜： 真空蒸着 , スパッタ ,EB蒸着（*090のみ）, RF/DCドライエッチング , アニール
・作業エリア内雰囲気：不活性ガス（N2, Ar）
特 徴 MiniLab-GB :Key Features
・省スペース：グローブボックス本体寸法内に成膜装置が収まります。
・成膜後の試料を大気に露出せず、GBの管理雰囲気内で試料を取扱う事ができる。
・同様のMiniLabチャンバーを収納したGBをパスボックスで連結し、連続したシームレスな作業が可能。
【MiniLab-S090A（スパッタリング）-GBシステム設置例】
*下図はグローブボックスx2モジュール式の事例です。1モジュールも可能です。
● 酸素濃度計・水分計 ● MiniLabシステム制御HMI
● ガス精製装置
● MiniLab 制御ユニット
【MiniLab-090チャンバー背面図（*前面スライドドア部のみ収納）】
裏面開閉ドアを開閉し、チャンバー内部にアクセス。容易にメンテナンスができます。
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App Note
Application Case MiniLab-GBシステム:応用事例
【Top View】
MiniLab
スパッタ
RFエッチ CVD
ホットプレート スピンコーターなど、その他作業機器
グローブ グローブ グローブ
*例）PVD thin lm deposition → RF surface cleaning → Spin Coat →Baking
※ 一連の作業を、試料を外気に晒す事無く、GB内でシームレスに行うことができます。
※ 省スペース：背面にチャンバーがせり出しませんので、スペースを取りません。
Components MiniLab-GBシステム:主要コンポーネンツ
MiniLab-090 Slide Door (*Front) MiniLab-090 Slide Door (*Rear) MiniLab-026-GB (*Hinged Top)
TE-1抵抗加熱蒸着源 LTE-1有機蒸着源 マグネトロンカソード
MiniLab-026-”Anneal/Etch Station”
ML-026チャンバーに、基板加熱ステージ、RFエッチン
グステージを組込んだ小型ユニットです。アニール , エッ
チングステージ ,もしくは両方同時に組込可能。
●写真右
Max1000℃ SiCコーティングヒーター加熱ステージ
●写真左
RFエッチング（左）/ 1000℃加熱ステージ（右）
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Product Update
Software & Control MiniLab-GBシステム:制御システム
Overview: Software & Control
SQC310薄膜コントローラー
タッチスクリーン HMI *ラップトップPC操作オプション有
‘Intellidep’システムコントローラー （Windows 10）
メインメニュー グラフ表示メニュー
Above: Screenshots from the touchscreen HMI software through which
MiniLab 090 general control is carried out.
Outline of system control:
膜厚モニター/コントローラー
IntelliDepシステムコントローラー 7inchタッチスクリーン HMI
各制御装置（バルブ・MFC等）
Windows PC
*IntelliNet PCソフトウエア CSV（USBデータ出力）
● 7” タッチスクリーン
手動又は自動システム制御のプログラム設定及びシステム診断を行うユーザーインターフェイス
● IntelliDepシステムコントローラー
MiniLabシステムに搭載されるメインコントロールユニット
● 膜厚モニター/コントローラー
SQC160, SQC310（Inficon）などの膜厚コントローラを搭載します（*装置構成による）。
● IntelliNet Windows PCソフトウエア（オプション）
リモート診断 , レシピ作成及びレシピアップロード&ダウンロード
Glove Box Feature MiniLab-GBシステム:グローブボックス仕様特徴
仕様 仕様
標準外形寸法 1,500(W) x 750(D) x 900(H)mm (*MiniLab装置部) ガス循環フィルター HEPA H13
グローブポート 3ポート（標準） 耐腐食性強化アルミニウム 内径Φ200mm ソレノイドパージバルブ クイックパージバルブ（圧力リリーフバルブ兼用）
グローブ ブチルゴム製グローブ 真空ポンプ ターボ分子（標準）, or クライオポンプ+ロータリーポンプ
アンテチャンバー Oリングシール, 内径Φ370 x L600mm, 着脱スライドトレー システムコントローラー 7”高解像度タッチパネルスクリーン PLC自動制御システム
ミニアンテチャンバー Oリングシール, 内径Φ150 x L300mm パージバルブ N2（Ar）用
窓 耐衝撃性, 耐腐食性ガラス採用 背面フィードスルーポート 4箇所（内1箇所は電源用） KF-40キャップ付属
ボックス内棚 2段式 x 2箇所, ボックス背面パネル設置 設置 高さ調整式キャスター, レベルジャッキ（オプション）
リークレート ＜0.001Vol% /hr（ ISO 10648-2） 精製装置 ガス循環精製装置, 酸素濃度計・水分濃度計付属
テルモセラ・ジャパン株式会社