ショットキー電界放出形電子顕微鏡　JEOL SEMシリーズ

Scientific / Metrology Instruments JEOL SEM シリーズ SEM Series

ショットキー電界放出形電子顕微鏡 JSM-IT810は、次世代型電子光学制御システム“Neo Engine”と、ZeromagやEDSインテグレーションなどの 高い操作性を実現する“SEM Center”を搭載しています。さらに、自動観察・分析機能“Neo Action”や自動校 正機能は、効率性や生産性の向上に貢献するだけでなく、労働力不足の解消にも寄与します。 対物レンズの種類として、汎用FE-SEM用のハイブリッドレンズ〈HL〉、より高分解能での観察や分析が可能な スーパーハイブリッドレンズ〈SHL〉、対物レンズの下部に強力な磁場レンズを形成するセミインレンズ〈SIL〉 が用意されており、様々なお客様のニーズに対応した装置を提供します。 また、JSM-IT810には、シンチレーター反射 電子検出器（SBED）と多目的反射電子検出器 （VBED）が搭載可能です。SBEDでは、応答性 に優れた低入射電圧での材料コントラスト像の 取得が可能で、VBEDでは、3Dや凹凸、材料 コントラスト像の取得ができるため、これま で得られなかった情報の取得や、難しかった 測定の改善が期待できます。 J S M - I T 8 1 0 <S HL> <SIL> <HL> STANDARD PRIME STANDARD PRIME 0.7 nm（ 20 kV） 0.6 nm（ 15 kV） 0.5 nm（ 15 kV） 0.5 nm（ 15 kV） 分解能 1.3 nm（ 1 kV） 1.1 nm（ 1 kV） 0.7 nm（ 1 kV） 0.6 nm（ 15 kV） 1.0 nm（ 1 kV） 0.7 nm（ 1 kV） 3.0 nm（ 15 kV、5 nA、WD 10 mm） 3.0 nm（ 15 kV、5 nA、WD 10 mm） 0.9 nm（ 0.3 kV） 3.0 nm（ 5 kV、5 nA、WD 10 mm） 3.0 nm（ 15 kV、5 nA、WD 8 mm） 3.0 nm（ 15 kV、5 nA、WD 8 mm） 倍率 写真倍率：×10 ～ ×2,000,000（ 128 × 96 mm 表示時） 写真倍率：×25 ～ ×2,000,000（ 128 × 96 mm 表示時） 表示倍率：×27 ～ ×5,480,000（ 1,280 × 960 画素表示時） 表示倍率：×69 ～ ×5,480,000（ 1,280 × 960 画素表示時） 入射電圧 0.01 ～ 30 kV ステージバイアス電圧 - 0.1 ～ - 2 kV - 0.1 ～ - 5 kV - 0.1 ～ - 2 kV - 0.1 ～ - 5 kV 最大照射電流 300 nA（ 30 kV） 500 nA（ 30 kV） 300 nA（ 30 kV） 500 nA（ 30 kV） 100 nA（ 5 kV） 100 nA（ 5 kV） 100 nA（ 5 kV） 100 nA（ 5 kV） 電子銃 インレンズショットキー Plus電界放出電子銃 開き角最適化レンズ（ACL） 組込み 対物レンズ ハイブリッドレンズ ／ HL スーパーハイブリッドレンズ ／ SHL セミインレンズ ／ SIL 長焦点距離（LDF）モード 組込み 省エネルギーモード 組込み 排気系 SIP × 2、TMP、RP × 1 1

■ 対物レンズ ハイブリッドレンズ スーパーハイブリッドレンズ セミインレンズ UED UED UED USD UHD UID BED SED BED SED BED SED ー 二次電子 ー 高角度反射電子 ー 中低角度反射電子 ー 極低角度反射電子 ■ 試料交換方式 ●大型試料の交換に適したドローアウト 光学像の取得は両方の交換方式に対応 ドローアウト使用時 最大試料サイズ：直径170 mm 真空排気：3 〜 5分 光学像取得サイズ：120 mm × 120 mm ●スピーディーでクリーンな試料の出し入れを可能にする試料交換室 予備排気室使用時 最大試料サイズ：直径 100 mm 真空排気：60 秒以内 光学像取得サイズ：70 mm × 70 mm ※試料や設置環境により真空排気時間および大気開放時間は変化します。　 ※光学像の利用にはオプションのステージナビゲーションシステム (SNS) が必要です。 ※試料交換室はオプションです。 <S HL> <SIL> <HL> STANDARD PRIME STANDARD PRIME 0.7 nm（ 20 kV） 0.6 nm（ 15 kV） 0.5 nm（ 15 kV） 0.5 nm（ 15 kV） 分解能 1.3 nm（ 1 kV） 1.1 nm（ 1 kV） 0.7 nm（ 1 kV） 0.6 nm（ 15 kV） 0.7 nm（ 1 kV） 3.0 nm（ 15 kV、5 nA、WD 10 mm） 3.0 nm（ 15 kV、5 nA、WD 10 mm） 0.9 nm（ 0.3 kV） 1.0 nm（ 1 kV） 3.0 nm（ 5 kV、5 nA、WD 10 mm） 3.0 nm（ 15 kV、5 nA、WD 8 mm） 3.0 nm（ 15 kV、5 nA、WD 8 mm） 倍率 写真倍率：×10 ～ ×2,000,000（ 128 × 96 mm 表示時） 写真倍率：×25 ～ ×2,000,000（ 128 × 96 mm 表示時） 表示倍率：×27 ～ ×5,480,000（ 1,280 × 960 画素表示時） 表示倍率：×69 ～ ×5,480,000（ 1,280 × 960 画素表示時） 入射電圧 0.01 ～ 30 kV ステージバイアス電圧 - 0.1 ～ - 2 kV - 0.1 ～ - 5 kV - 0.1 ～ - 2 kV - 0.1 ～ - 5 kV 最大照射電流 300 nA（ 30 kV） 500 nA（ 30 kV） 300 nA（ 30 kV） 500 nA（ 30 kV） 100 nA（ 5 kV） 100 nA（ 5 kV） 100 nA（ 5 kV） 100 nA（ 5 kV） 電子銃 インレンズショットキー Plus電界放出電子銃 開き角最適化レンズ（ACL） 組込み 対物レンズ ハイブリッドレンズ ／ HL スーパーハイブリッドレンズ ／ SHL セミインレンズ ／ SIL 長焦点距離（LDF）モード 組込み 省エネルギーモード 組込み 排気系 SIP × 2、TMP、RP × 1 ※SHLとSILには、STANDARDとPRIME、2種類のグレードがあります。 2

ベーシック SEM モデル ベーシックモデルは、誰でも観察・分析ができることを目指し設計されています。 Wフィラメントは交換ナビゲーション付きで初心者でも安心して交換可能です。 一部機種は目的に応じてFE電子銃やLaB6電子銃を搭載可能です。 Zeromag　（光学像からSEM像へそのまま移行） Live Analysis　（観察しながら元素分析ができる） SMILE VIEWTM Lab　（全てのデータを一元管理） これらはすべてのベーシックモデルで共通機能です。 J C M -7 0 0 0 J S M - I T 2 1 0 光学像からSEM観察、元素分析まで 先進SEMを 高い操作の壁を破る卓上SEM。 あなたのラボに。 JCM-7000 JSM-IT210 JSM-IT510 JSM-IT710HR 電子銃 熱電子銃 熱電子銃 熱電子銃 / LaB6電子銃 インレンズショットキー電界放出電子銃 分解能 8.0 nm (15 kV) 3.0 nm (30 kV) / 8.0 nm (3 kV) / 15 nm (1 kV) 熱電子銃 　3.0 nm (30 kV) / 15.0 nm (1 kV) 1.0 nm（ 20 kV） / 3.0 nm（ 1 kV） LaB6電子銃 　2.0 nm (30 kV) / 12.5 nm (1 kV) 3.0 nm（ 分析時条件 15 kV、3 nA） 倍率 ×10 ～×100,000 ×５～×300,000 ×5 ～×600,000 入射電圧 5, 10, 15 kV 0.3 ～ 30 kV 0.3 ～ 30 kV 0.5 ～ 30 kV 試料サイズ（最大径） 80 mm 150 mm 200 mm ステージ稼働範囲 X：40 mm　Y：40 mm　Z：-　R：※　T：※ X：80 mm　Y：40 mm　Z：48 mm　R：360°　T： -10 ～ 90° X：125 mm　Y：100 mm　Z：80 mm　 R：360°　T：-10 ～ 90° 試料移動方式 2軸（X, Y）モーター駆動 5軸（X, Y, Z, R, T）モーター駆動 高真空モード 標準搭載 低真空モード 標準搭載 LV / LAに標準搭載 標準搭載 EDS 分析機能 ※ A / LAに標準搭載 LAに標準搭載 EDS 検出器面積 30 mm² 30 / 60 mm² 30 / 60 / 100 mm² 拡張機能 ー EBSD WDS / EBSD / CL 3

■ 試料交換方式 JSM-IT710HRシリーズ JCM-7000 JSM-IT210シリーズ JSM-IT510シリーズ 最大試料サイズ 最大試料サイズ 最大試料サイズ 80 mm径 × 50 mmH 150 mm径 × 48 mmH 200 mm径 × 80 mmH J S M - I T 5 1 0 JSM-IT710HR 先進SEMを 必要なデータをいつだって 見えるから、 あなたのラボに。 シンプルに。 追求したい。 JCM-7000 JSM-IT210 JSM-IT510 JSM-IT710HR 電子銃 熱電子銃 熱電子銃 熱電子銃 / LaB6電子銃 インレンズショットキー電界放出電子銃 分解能 8.0 nm (15 kV) 3.0 nm (30 kV) / 8.0 nm (3 kV) / 15 nm (1 kV) 熱電子銃 　3.0 nm (30 kV) / 15.0 nm (1 kV) 1.0 nm（ 20 kV） / 3.0 nm（ 1 kV） LaB6電子銃 　2.0 nm (30 kV) / 12.5 nm (1 kV) 3.0 nm（ 分析時条件 15 kV、3 nA） 倍率 ×10 ～×100,000 ×５～×300,000 ×5 ～×600,000 入射電圧 5, 10, 15 kV 0.3 ～ 30 kV 0.3 ～ 30 kV 0.5 ～ 30 kV 試料サイズ（最大径） 80 mm 150 mm 200 mm ステージ稼働範囲 X：40 mm　Y：40 mm　Z：-　R：※　T：※ X：80 mm　Y：40 mm　Z：48 mm　R：360°　T： -10 ～ 90° X：125 mm　Y：100 mm　Z：80 mm　 R：360°　T：-10 ～ 90° 試料移動方式 2軸（X, Y）モーター駆動 5軸（X, Y, Z, R, T）モーター駆動 高真空モード 標準搭載 低真空モード 標準搭載 LV / LAに標準搭載 標準搭載 EDS 分析機能 ※ A / LAに標準搭載 LAに標準搭載 EDS 検出器面積 30 mm² 30 / 60 mm² 30 / 60 / 100 mm² 拡張機能 ー EBSD WDS / EBSD / CL ※オプション 4

SEM 周辺機器 エ ネルギー 分 散 形 X 線 分 析 装 置 シリーズ SEM観察時に試料から発生する特性X線を検出し、試料に含まれる 新開発のドライSDTM Gather-Xは、JSM-IT810/IT800に搭載可能な 元素を定性、定量、マッピング分析します。 WindowlessタイプのEDSです。 自動分析や粒子解析などのソフトウェアも充実しています。 Li-K (54 eV)に代表される低エネルギー特性X線を含んだ全エネルギー 液体窒素不要のペルチェ冷却機構搭載したドライSDTM検出器により、 帯域での高感度X線分析が可能。 手軽で迅速な元素分析を可能にします。 さらに、JSM-IT810/IT800と連動した安全機能とSEM/EDS統合ソフト ウェアにより、使う方を選ばない安心・快適な操作性を提供します。 軟X線発光分光器 （SXES：Soft X-ray Emission Spectrometer） 光学顕微鏡/走査電子顕微鏡リンクシステム S X E S S e r i e s m i X c r o s c o p y TM 光学顕微鏡 走査電子顕微鏡 ※装着可能機種につきましては弊社営業担当にお問い合わせください。 専用設計された回折格子と CCD カメラを用いることで、高感度・ 高エネルギー分解能でスペクトルが取得可能です。 Li, B といった軽元素から遷移金属などの化学結合状態に関する 分析ができます。 光学顕微鏡とSEMの試料ホルダーを共通化し、ステージ情報を 専用ソフトウェアで管理することで、光学顕微鏡とSEMで同一視野 を観察することが可能です。 5

断面試料作製装置 断面試料作製装置 クロスセクションポリッシャTM（CP） 冷却クロスセクションポリッシャTM（CP） I B -1 9 5 4 0 C P I B -1 9 5 5 0 C C P IB-19540CPは、ハイスループットイオンソースを標準装備している クロスセクションポリッシャTM に試料冷却機能を付加した断面加工 ため、加工レート1.2 mm/h（1時間加工、Si換算、エッジ距離 装置です。自動冷却・昇温機能により冷却後の開始操作や、加工終 100 μm）の断面加工が可能です。ネットワークに接続することでWeb 了後の昇温操作が必要ありません。-120 ～ 0 ℃でステージ温度を ブラウザを通じて装置へアクセスすることが可能となり、離れた 制御しながら長時間の加工が可能です。冷却用導体を挿抜して冷却 場所から加工状況の確認や操作ができます。また、平面ミリングでは 温度を制御するため、液体窒素の消費を抑制できます。また、液体 直径約20 mmまでの広い領域で加工することができます。 窒素を充填した状態でも試料のセットや取り出しが可能です。 試料コーティング装置 エキシマUVクリーナー カーボンコーター S M - 9 2 1 0 0 E U V C E C - 3 2 0 1 0 C C 電子顕微鏡で観察していると、画像が徐々に暗く不明瞭になることがあります。 試料表面にカーボン膜をコーティングする装置です。主に元素分析 これは、試料や残留ガス中に含まれる炭化水素化合物が、照射された電子ビ 用の試料に用います。 ームとの作用により試料表面上で重合し固着（コンタミネーション）するため と考えられています。エキシマUVクリーナーはキセノン（Xe）の励起二量体 （エキシマ）から発光する波長172 nmの紫外線を用いて、試料表面の有機化合物 による汚れや電子線によるコンタミネーションを除去することができます。 また、試料表面の洗浄や改質により、親水化処理を行うことも可能です。 試料コーティング装置 試料コーティング装置 オートファインコーター スマートコーター J E C - 3 0 0 0 F C D I I - 2 9 0 1 0 S C T R 白金や金などの導電性膜を試料表面にコーティングする装置です。 SEMにおける非導電性試料の観察を容易にします。 6

※外観・仕様は改良のため、予告なく変更することがあります。 No. 1506K518C (Kp)