顕微鏡ユニット 対物レンズ（紫外・近紫外・可視・近赤外域）

顕微鏡ユニット 対物レンズ 光 （紫外・近紫外・可視・近赤外域） 学 機 器 Catalog No.14020(9)

ミツトヨ独自開発の光学技術と長年培ってきた精密加工技術による 幅広い顕微鏡ユニット・対物レンズラインアップ 様々な用途で世界中のお客様にご愛用いただいております 使用例： 半導体・電子・液晶関連などの生産 品質管理システム・実験研究装置向けの光学系 外観検査システムの組込光学ユニット 微生物等の動体観察　など * 本カタログに掲載されていない標準品以外の特注対応もいたしますので、お気軽にご相談ください 微小生物図鑑 “Microbio-World　Ver.7” >（http://elfe.miyakyo-u.ac.jp/opac/2008/03/cd_2.html）より 1 2

光学機器アプリケーション例 Contents 広視野光学検査 白色光干渉解析 オートフォーカス顕微鏡ユニット 装置組込顕微鏡ユニット VMU ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 5 白色光干渉光学ユニット 　 WLI-Unit ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1 5 顕微鏡ユニット FS70 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1 9 明視野用対物レンズ（長作動距離） M Plan Apo ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 2 5 明視野用対物レンズ（ガラス厚補正） G Plan Apo ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 2 7 明暗視野対物レンズ（長作動距離） WIDE VMU-HR WLI-U＋ 干渉対物レンズ LAF搭載のWIDE VMU-HR BD Plan Apo ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 2 8 ※固定スタンド・ステージ システム例 協力：iCore株式会社 明視野・暗視野・偏光・近赤外・高解像などさまざまな観察法に対応するラ 白色光干渉による非接触高精度微細表面性状解析をコンパクトに実現 明視野用対物レンズ（近赤外域） インアップ ⇒ 3D形状測定 M Plan Apo NIR ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 2 9 広視野対応モデルによる検査工程の効率向上 明視野用対物レンズ（液晶ガラス厚補正 近赤外域） LCD Plan Apo NIR ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・3 0 レーザ微細加工 赤外解析検査 明視野用対物レンズ（近紫外域） M Plan Apo NUV ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3 1 明視野用対物レンズ（液晶ガラス厚補正 近紫外域） LCD Plan Apo NUV ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3 2 明視野用対物レンズ（紫外域） M Plan UV ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3 3 明視野用対物レンズ（液晶ガラス厚補正 紫外域） ポリイミド膜の剥離 LCD Plan UV ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・3 4 AF搭載のWIDE VMUｰHR 協力：株式会社フローベル 結像（チューブ）レンズ MT ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・WIDE VMU-HR 3 5 ＋ NIR対物レンズ ・装置組込顕微鏡ユニットをAF化 測定顕微鏡用対物レンズ VMU-L4BによるUVレーザ加工 （写真提供：㈱ブイ・テクノロジー） ML ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ NIRシリーズ対物レンズと対応する顕微鏡ユニットとの組合せで赤外解析検査 ・微細部や平面への高速AFを実現 3 6 カラーフィルターの加工 が可能 心出し顕微鏡用対物レンズ YAGレーザ（1064 nm・532 nm・355 nm・266 nm）対応対物レンズとの組合せで 　★シリコン材の透過解析 CF ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3 7 高精度・高品位加工が可能 　★MEMS内部の非破壊評価 小型ラマン顕微鏡ユニット 広視野接眼レンズ /レチクル 　★保護膜・有機膜等の剥離 　★半導体パッケージ（IC）の内部観察/ウエハ接合ボイド評価 　★金・アルミ等の金属配線カット、下層パターンの露出 WF ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・3 8 　★赤外分光特性解析　など 　★フォトマスクやFPDの微細修正　など 解説：対物レンズねじ規格 　　 ミツトヨ対物レンズの光学特性 ・・・・・・・・・・・・・・・・・ 3 9 2倍率顕微鏡（2カメラ搭載） 全焦点画像生成 解説：レーザの使用方法と注意事項 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・4 0 2/3型カメラ 解説：光学用語 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 4 1 （低倍率側） 1/2型カメラ （高倍率側） 各製品のCADデータと透過特性＆像側 焦点位置データをダウンロードいただ けます。 詳細につきましては、弊社ホームペー TAGLENS-T1 ジをご確認ください。 ラマンユニット搭載のVMU-V 協力：メタセンシング株式会社 https://sensing.mitutoyo.co.jp/ VMU-LB/L4Bのレーザマウント部に定倍観察用 低倍レンズから高倍レンズの焦点距離を超高速可変、合焦時の機械的な上下駆動 マウント装着で2カメラ搭載可能 がなく、任意面の画像取得が可能 ・弊社NIR光学系をラマンシステム化 ⇒ 同一箇所を異なる倍率で同時観察可能 ※詳細は、No.14025 TAGLENSカタログをご参照ください ・素材解析に応用 （低倍率側：2/3型カメラ、高倍率側：1/2型カメラ など） 3 4

こちらから動画をご覧いただけます。 装置組込顕微鏡ユニット https://bcove.video/3H2MhkA VMU VMU-S VMU-V VMU-H VMU-LB VMU-L4B WIDE VMU-HR WIDE VMU-BD WIDE VMU-BDV WIDE VMU-BDH （受注製作品） ※対物レンズはオプションです ※対物レンズはオプションです ■特長 ■特長 ■特長 ■特長 ■特長 ・ 超小型 /軽量 ・ 小型 /軽量 ・ YAGレーザ（UV・NUV・VIS・NIR）による微細加工に対応 ・ 超広視野観察対応（ 像側視野ø30 mm） ・ 超広視野観察対応（像側視野ø30 mm） ・ 広視野撮像（VMU-V比約4倍） ・ 近赤外観察（透過）に対応※ ・ 顕微鏡本体の剛性や総合性能を強化 ・ 高分解能対物レンズHRシリーズに対応（ 瞳径ø16.8 mm設計） ・ 異物やキズ検査に適した暗視野観察に対応 ※近赤外域光源や対応カメラが別途必要 ・2カメラ搭載で同一箇所の観察可能※ ・ 視野周辺の明るさが大幅向上（ 配光特性の依存低減） （ 照明光源のON/OFFで瞬時に明視野⇔暗視野の切替が可能） ※定倍観察用カメラマウント（No.378-087）併用 ・ 近赤外観察（透過）に対応※ ・コンパクト仕様（WIDE VMU-BD） ・ コンパクト仕様（外観寸法図はP.8をご参照ください） ※近赤外域光源や対応カメラが別途必要 ■仕様 品名 VMU-S VMU-V VMU-H VMU-LB VMU-L4B コード No. 378-404 378-505 378-506 378-513 378-514 カメラ取付け方向 垂直方向 水平方向 垂直方向（回転可能） 観察像 明視野 /正立像 明視野 /反転像 明視野 /正立像 光学系 倍率：1×　可視光 カメラ Cマウント ポート マウント部 Cマウント（ 同焦・調心 独立調整機構） （同焦・調心 独立調整機構） グリーンフィルタ切換機能付 結像倍率 0.5× 1× 結像 レンズ 補正波長 可視 可視～近赤外 近紫外～可視～近赤外 紫外～可視～近赤外 鏡筒 焦点距離 100 mm 200 mm 光学系 倍率：1× 倍率：1× 明視野 赤外 暗視野 波長：355/532/1064 nm 波長：266/355/532/1064 nm レーザ ポート － YAGレーザ発振器 YAGレーザ発振器 マウント部 （ 基本・第 2・3高調波）搭載可（ 基本・第 2・3・4高調波）搭載可 ■仕様 同焦調整機構付 明視野観察対応 明暗視野観察対応 偏光ユニット※1 － 装着可 装着可（レーザ加工可） 品名 WIDE VMU-HR WIDE VMU-BD※1 WIDE VMU-BDV WIDE VMU-BDH 観察用 M Plan Apo、M Plan Apo SL、 M Plan Apo、M Plan Apo HR（50X, 100X）、M Plan Apo SL、G Plan Apo コード No. 378-519 － 378-517 378-518 G Plan Apo※2 NIRシリーズ カメラ取付け方向 垂直方向 垂直方向 水平方向 対物レンズ レーザ NIRシリーズ 観察像 明視野 / 正立像 明暗視野 / 正立像 明暗視野 / 反転像 （ 必須オプション）加工用 － NIRシリーズ NUVシリーズ NUVシリーズ UVシリーズ カメラ 光学系 倍率：1×　可視～近赤外光 倍率：1×　可視光 ポート 白色光干渉 マウント部 Fマウント、Cマウント（調心・同焦調整機構付） 測定用 WLI Plan Apoシリーズ － 鏡筒 結像（チューブ） レンズ 1×（可視～近赤外補正）内蔵 1×（可視補正）内蔵 適用カメラ 2/3型以下 CCDカメラ（Cマウント仕様） 像側視野 ø30 mm 落射照明光学系 開口絞り付　テレセントリック照明 偏光ユニット※2 装着可 照明鏡筒 明視野 / LEDアダプタ（標準付属） 明視野 /ファイバアダプタ（標準付属）、LEDアダプタ（オプション）No.02AVB662 対物レンズ（必須オプション） M Plan Apo、M Plan Apo HR、M Plan Apo SL、G Plan Apo、 NIRシリーズ BD Plan Apo 照明装置（オプション） LED光源※3 ファイバ照明装置（LED） No.176-386 本体質量 適用カメラ 対角 400 g 650 g 750 g 1270 g 1300 g 30 mm以下（APS-Cフォーマット相当） 落射照明光学系 開口絞り付　テレセントリック照明（瞳径 ø16.8 mm） テレセントリック照明、明暗視野照明鏡筒（2ポートファイバ照明） ※1：M Plan Apo 1×をご使用の際、観察対象によってフレアが発生する可能性があるため偏光ユニット（No.378-710または378-715）の併用推奨　　 光源 ON/OFFによる明暗視野切換 ※2：ネジ変換アダプタ（RMS⇒W26） No.02AZG975併用 照明鏡筒 明視野照明鏡筒（回転可能）※3、 明視野照明鏡筒（回転可能）※3、 ※3：装着の際は取付寸法（P.7）をご確認ください LEDアダプタ及びファイバーアダプタ標準付属 ファイバーアダプタ標準付属 注）VMU-LBまたは-L4BにYAGレーザ発振器を取付けてご使用される際、 照明装置（オプション） ファイバ照明装置（LED）（No.176-386） 　・レーザ入力値やエネルギー密度等にご注意ください。光学系に損傷を与えるおそれがあります 本体質量 1400 g 1600 g 2000 g 2150 g 　・レーザ発振器の重量をご確認ください。また、高速・高加減速装置に搭載の際はご相談ください ※1：受注製作品 ※2：明視野照明による偏光観察が可能 ※3：ファイバ（光源）取付け部の方向が変更可能 5 6

VMU外観寸法図 単位：mm 単位：mm ø14 +0.1 +0.0（5 他社ファイバ適合） ø14 +0.1 +0.0（5 他社ファイバ適合） ファイバ ø10 +0.1 +0.05（当社ファイバ適合） ø10 +0.1 ファイバ +0.05（当社ファイバ適合） LED ø14 +0.1 LED ø14 +0.1 +0.05 +0.05 アダプタ スペーサ アダプタ スペーサ ファイバクランプ用 ø8.2 ø8.2 六角穴付止ねじM4 LED光源クランプ用 LED光源クランプ用 六角穴付止めねじM4 六角穴付止めねじM4 ファイバ端面位置 ø8.2 LED光源端面位置 LED光源端面位置 （ファイバ有効径ø5以上）(有効径ø5以上 ) (有効径ø5以上 ) ■VMU-S ファイバ端面位置 ø8.2 ø8.2 61 （ファイバ有効径ø5以上） 45 LED光源取付け部 ファイバ取付け部（VMU） LED光源取付け部 ファイバ取付け部（WIDE VMU）38 38 3 4-M4×0.7深さ8 4-M4×0.7深さ8 （反対側同位置同数） 29 28 ■VMU-V 59.5 6.5 ■VMU-H ■WIDE VMU-HR ■WIDE VMU-BD 43.5 32 146.5 3 47 50 6-M4×0.7深さ6 60 70.5 中間像位置 Cマウント 80.5 59.5 6.5 （反対側同位置同数） 32 83.5 17.5 63 43.5 ファイバ 60 3 64 Fマウント 4-M4×0.7深さ6 64 中間像位置 中間像位置 （反対側同位置同数）50 取付け部 6-M4×0.7深さ6 ファイバ 3 47 Cマウント Fマウント ファイバ取付け部 （反対側同位置同数） 27 取付け部 （エンブレム） 光源取付部 4-M4×0.7深さ6 （明視野用） 4-M4×0.7深さ6 4-M4×0.7深さ6 64 （反対側同位置同数） 64 ファイバ取付け部 （暗視野用） 27 （エンブレム） 27 27 27 27 （エンブレム） ø43 ø43 対物レンズ座 対物レンズ座 対物レンズ 対物レンズ （オプション） （オプション） 対物レンズ 対物レンズ （オプション） （オプション） 物体面 物体面 物体面 物体面 ■VMU-LB ■VMU-L4B ■WIDE VMU-BDV ■WIDE VMU-BDH 中間像位置 中間像位置 中間像位置 中間像位置 32 146.5 25.07 25.07 60 70.5 3 64 ø56 ø3 ø56 ø3 レーザマウント レーザマウント 中間像位置 中間像位置 ø50 ø50 Fマウント 110 146.5 中間像位置 中間像位置 Cマウント 中間像位置 中間像位置 Cマウント 46.5 63.5 60 70.5 3 64 50 Fマウント 6-M4×0.7深さ6 50 49.5 49.5 6-M4×0.7深さ6 （反対側同位置同数） （反対側同位置同数） 4-M4×0.7深さ6 4-M4×0.7深さ6 ファイバ ファイバ 取付け部 取付け部 （反対側同位置同数） （反対側同位置同数） 3 47 3 47 ファイバ取付け部 ファイバ取付け部 （明視野用） （明視野用） （エンブレム） （エンブレム） ファイバ取付け部 ファイバ取付け部 27 27 64 （暗視野用） 64 （暗視野用） 27 （エンブレム） 27 （エンブレム） 対物レンズ座 対物レンズ座 ø43 43.5 43 43.5 対物レンズ 対物レンズ （オプション） （オプション） 120 59.5 6.5 120 59.5 6.5 対物レンズ座 対物レンズ座 物体面 物体面 物体面 物体面 対物レンズ 対物レンズ （オプション） （オプション） 物体面 物体面 物体面 物体面 7 8 247.5 109 95（同焦距離） 152.5 17.5 213.5 19.5 76 94.5 101.5 17.5 27 27 46 24 20.5 104 17.5 106 51 14 20.5 76 27 27 106 95（同焦距離） 213.4 13.6 265 308.4 79.6 12 8 214.5 94.5 102.5 17.5 95（同焦距離） 113.5 89.5 ø35 中間像位置 12 19 10 (2) 20.5 27 27 20.5 76 76 27 27 106 106 95（同焦距離） 213.4 13.6 308.4 79.6 380.2 95（同焦距離） 85 54 146.2 46.5 283.5 95（同焦距離） 85 27 76.5 46.5 50 167.9 188.5 50 92.5 164.2 85 27 285.2 330 426.7 12 8 221.7 中間像位置 283.5 95（同焦距離） 85 27 76.5 46.5 95（同焦距離） 85 54 50 50 92.5 92.5 164.2 12 19 164.2 188.5 10 (2) 253.7 85 27 348.7 330

VMUシステム構成 ■VMU ■WIDE VMU Cマウント対応のアナログカメラ またはデジタルカメラ Fマウント対応のアナログカメラ またはデジタルカメラ Cマウント対応のアナログカメラ またはデジタルカメラ 例）ImageX PRO 7000 例）ImageX PRO 7000 各社YAGレーザ発振器※5 2×TVアダプタユニット 定倍観察用カメラマウント Cマウントアダプタ（標準付属） （378-703） 　　 （ 378-087） P.12 ※4 0.5×TVアダプタユニット （378-704） ※1 P.12 WIDE VMU-HR WIDE VMU-BDV/BDH （378-519） （378-517/378-518） VMU-S VMU-V/H VMU-LB/L4B （378-404） （378-505/378-506） （ ※9 378-513/378-514） ※9 ※9 ※9 フォーカシング ユニットC （378-718） P.12 各社LED スポット照明 マニュアルレボルバ（明視野用）※2 偏光ユニット 偏光ユニット 明視野（BF）用レボルバ 偏光ユニット（C） 明暗視野（BD）用レボルバ 簡易スタンド 対物レンズ用スキャナ※7 （378-707） （378-710） （378-715） （378-724） （378-719） （378-725） （378-730） （378-717） P.12 P.12 P.11 4穴 P.12 P.11 4穴 P.24 P.11 4穴 ねじ変換アダプタ 明視野（BF）用電動レボルバ 明暗視野（BD）用電動レボルバ 調心電動レボルバ（明視野用）※3 （RMS→W26） （378-726-10） （378-727-10） （02AZG975） （378-713-10） ファイバ照明装置 LEDアダプタ P.11　　5穴 P.11　　4穴 P.11 （LED）（176-386） （02AVB662） 透過照明ユニット （378-736）5穴 P.12 P.24 P.24 各社LED スポット照明 対物レンズ（WLI測定用）※8 対物レンズ（観察用） 対物レンズ（レーザ加工用） 対物レンズ 対物レンズ WLI Plan Apo シリーズ M Plan Apo シリーズ NIR シリーズ P.29～30 M Plan Apo シリーズ BD Plan Apo シリーズ （観察用）：全機種 P.25～27 （観察用）：全機種 P.28 （観察用）：全機種 P.16 （観察用）：全機種 P.25～27 （基本波・第2高調波レーザ加工用） （近赤外観察用） G Plan Apo シリーズ G Plan Apo シリーズ （観察用）：全機種 P.27 （観察用）：全機種 P.27 NUV シリーズ P.31～32 （第2・第3高調波レーザ加工用） NIR シリーズ P.29～30 （基本波・第2高調波レーザ加工用） VMU-S用 UV シリーズ P.33～34 VMU-V/H/LB/L4B用 （第2・第4高調波レーザ加工用） （近赤外観察用） LEDアダプタ ファイバ照明装置 X-Yステージ（50×50 mm） 各社X-Y電動ステージ （02AVB662） （LED）（176-386） （378-020） （50×50 mm）※1 （標準付属） 簡易スタンド P.12 （378-730） P.24 P.24 P.24 各社LED フォーカシング フォーカシング フォーカシング スポット照明 ユニットD 透過照明ユニット X-Yステージ（50×50 mm） 各社X-Y電動ステージ ユニットA ユニットB※2 （378-720） P.12 （378-736） （378-020） （50×50 mm）※6 （378-705） P.12 （378-706） P.12 P.24 P.24 ※1 1/2型以下のCマウントカメラに対応します。 ※4 レーザポートを使って、Cマウントカメラを取付ける際に使用します。 ※2 フォーカシングユニット（B 378-706）は、取付け位置とVMU本体との間隔を 2/3型以下のカメラでご使用ください。 極力小さくしたい時にご使用ください。 ※5 弊社では扱っておりませんのでご相談ください。 　 マニュアルレボルバ（378-707）を併用する場合、レボルバはVMU本体の ※6 取付け時に別途アダプタが必要になる場合がありますのでご相談ください。 正面方向に取付けてください。取付けについては、P.13をご参照ください。 ※7 VMU-SとWLI Plan ApoレンズごとZ方向にスキャン可能時は不要 ※3 フォーカシングユニットB（378-706）との併用はできません。 ※8 WLI測定を行うにはスキャン機構の他、画像取得及び干渉信号処理のソフトウェアが必要 ※1 取付け時に別途アダプタが必要になる場合がありますのでご相談ください。 取付け方法については、P.13をご参照ください。 ※9 Cマウントアダプタ（VMU-V/H/LB/L4B標準付属）：No.02AKF170 9 10 POWER T UR R E T S T AT US POWER A B C D A B C D E

VMUオプション ■手動レボルバ ■フォーカシングユニット 対物レンズを4本まで装着できます。 マニュアルフォーカシング用です。A及び Cを簡易スタンドに装着した場合、簡易スタンドのステージ中央と光軸が一致します。 No.378-724 No.378-725 写真：378-717 VMU-Vへの装着例 写真：378-724 WIDE VMU-HRへの装着例 写真：VMU-Vとの装着例（フォーカシングユニットA） 写真： WIDE VMU-HRとの装着例（フォーカシングユニットC） 　　　※対物レンズはオプションです ※対物レンズはオプションです 品名 明視野用レボルバ 明暗視野用レボルバ 品名 フォーカシングユニット A フォーカシングユニット B （薄形タイプ） フォーカシングユニット C フォーカシングユニット D コード No. 378-707 378-717 378-724 378-725 観察方法 明視野観察 明視野観察 明暗視野観察 コード No. 378-705 378-706 378-718 378-720 対物レンズ取付け穴数 4（固定穴） 4（固定穴1、調心・同焦機構付き穴3） 4（固定穴） 4（固定穴） 全移動範囲 50 mm 質量 780 g 990 g 825 g 755 g ハンドル移動量 粗動：3.8 mm/1回転　微動：0.1 mm/1回転 適用機種 VMU-V、VMU-H、VMU-LB、VMU-L4B WIDE VMU-HR WIDE VMU-BDV 鏡筒部積載可能質量 約 17.4 kg 約 17.7 kg 約 17.4 kg WIDE VMU-BDH 質量 2.9 kg 2.7 kg 2.9 kg 適用機種 VMU-V、VMU-H、VMU-LB、VMU-L4B WIDE VMU-HR、WIDE VMU-BDV、 WIDE VMU-BDH VMU-S ■電動レボルバ ■偏光ユニット 明視野用電動レボルバは対物レンズを5本装着できます。 簡易偏光観察時に使用しますが、低倍率対物レンズ使用時にコントラストを高める場合にもお奨めします。 明暗視野用電動レボルバは対物レンズを4本まで装着できます。 No.378-710 No.378-715 No.378-719 品名 偏光ユニット 偏光ユニット（C） コード No. 378-710 378-715 378-719 適用機種 VMU-V、VMU-H VMU-LB、VMU-L4B WIDE VMU-HR、WIDE VMU-BDV、WIDE VMU-BDH ■T Vアダプタユニット No.378-726-10 No.378-727-10 写真：378-713-10 VMU-Vへの装着例 写真：378-726-10 WIDE VMU-HRへの装着例 　　　※対物レンズはオプションです Cマウント部に組み入れることで、結像倍率を変更できます。 品名 明視野用電動レボルバ 明暗視野用電動レボルバ 品名 2× TVアダプタユニット 0.5× TVアダプタユニット コード No. 378-713-10 378-726-10 378-727-10 コード No. 378-703 378-704 観察方法 明視野観察 明暗視野観察 結像倍率 2× 0.5× 対物レンズ取付け穴数 5（基準穴 1 、調心機構付き穴4） 4（固定穴） 適応カメラ 2/3型以下 1/2型以下 視野調整範囲 ± 0.5 mm － 質量 約 25 g 位置決め精度（繰返し停止精度） 2 σ＝3 µm － 適用機種 VMU-V、VMU-H No.378-703 No.378-704 駆動寿命（耐久性） 100万ポジション － 駆動方式 DCモータ － 入力電源 AC100 V～ 240 V　最大消費電力 約10 W AC100 V～ 240 V　最大消費電力 約 6 W 外部入出力インターフェース※1 RS-232C（パソコンによる外部制御に使用） ■定倍観察用カメラマウント ■LEDアダプタ 単位：mm 付属ケーブル長 2.9 m※（2 電動レボルバ部とコンソールボックスの接続） レーザポートマウントに取付ければ 2カメラポート仕様になり、 ø14 +0.1 +0.05 外観寸法：W×H×D（mm）、質量 本体部：130×47×186、約 1.8 kg 本体部：164×65×137、約 1.8 kg 品名 LEDアダプタ ø8.2 コンソールボックス：108× コンソールボックス：108×72×193、約 同一箇所を2カメラで観察できます。 LED光源クランプ用 63× 176、約 810 g 810 g コード No. 02AVB662 六角穴付止めねじM4 適用機種 VMU-V、VMU-H、VMU-LB、VMU-L4B WIDE VMU-HR WIDE VMU-BDV、WIDE VMU-BDH 質量 約 12 g ※1：接続の際は【RS-232C ケーブル（12AAA807）】をご利用ください。 品名 定倍観察用カメラマウント VMU-V、VMU-H、 LED光源端面位置 （有効径ø5以上） ※2： 付属ケーブル長でのご使用をお願いいたします。延長ケーブル等を使用しケーブル長さを変更した際の動作保証はいたしかねます。 コード No. 378-087 適用機種 VMU-LB、VMU-L4B、 WIDE VMU-HR※適応カメラ 2/3型以下（Cマウント） 質量 約 180 g ※WIDE VMU-HRは標準付属 No. 02AVB662 適用機種 VMU-LB、VMU-L4B No. 378-087 11 12 12 8

VMU共通オプション外観寸法図 単位：mm 単位：mm ■手動レボルバ ■フォーカシングユニット ・ 明視野用レボルバ（378-707/378-717） ・ 明視野用レボルバ（378-724） 117 （37） 117 (37) 本体取付け穴位置 上下移動量 229 5-M4深8 MAX 130※ MAX 78※ 229 5-M4深8 MAX 130 MAX 78 76.5 63.5 63.5 76.5 27 27 27 シングルマウント部 23.5 56.5 73 1 63.5 32 48 73 1 63.5 94 （4） 80 94 (4) マウント部 80 102 102 フォーカシングユニットA フォーカシングユニットC 87.6 （37） 本体取付け穴位置 5-M4深8 物体面 ※M Plan Apo HR100×（378-815-4）使用時 物体面 5-M4深8 注1： レボルバはシングルマウント部を外して装着しますが、WIDE VMU本体 上下移動量 229 63.5 VMU-V・Hの場合 取付け位置とステージの距離は変わりません。 63.5 注1：レボルバを取付ける際、マウント部を外して使用してください。 注2：レボルバの取付け方向は図示された方向に限定されます。 注2：レボルバの向きは取付面に対し自由に設定可能です。 MAX 126※ MAX 77※ 78 108 ・ 明暗視野用レボルバ（378-725） MAX 132 MAX 81 76.5 19 61 73 1 63.5 27 23.5 26.5 73 1 63.5 80 94 (4) 94 （4） 27 50 102 102 フォーカシングユニットB フォーカシングユニットD 27 ■偏光ユニット ■偏光ユニット（C） 28 中間鏡筒 マウント部 開口絞り付 シングルマウント部 落斜照明 ユニット 本体部 5 カメラ鏡筒部 物体面 アナライザ ※M Plan Apo NIR HR100×（378-864-5）使用時 物体面 ユニット 照明鏡筒部 アナライザユニット VMU-LB・L4Bの場合 アナライザユニット 照明鏡筒部 注1： レボルバを取付ける際、 物体面からVMU本体の取付けねじまでの距離を 注1： レボルバはシングルマウント部を外して装着しますが、WIDE VMU本体 カバーリング 30 6 ポラライザユニット 一定とするため、中間鏡筒とマウント部を外して装着してください。 取付け位置とステージの距離は変わりません。 ポラライザ 注2：レボルバの向きは取付面に対し自由に設定可能です。 注2：レボルバの取付け方向は図示された方向に限定されます。 ユニット ポラライザユニット ■電動レボルバ 物体面 ・ 明視野用電動レボルバ（378-713-10） ・ 明視野用電動レボルバ（378-726-10） VMU-V・Hの場合 注：アナライザユニットは、照明鏡筒部を外して装着します。 MAX 130 MAX 78 ポラライザユニットは、開口絞り付落射照明ユニットを外して装着します。 87 注：ポラライザユニットは、照明鏡筒部のカバーリングを緩めて装着します。 アナライザユニットは、カメラ鏡筒部を外して装着します。 27 M20×0.5 アナライザ 開口絞り付 本体部 ユニット 落斜照明 27 ユニット シングルマウント部 カバー リング 物体面 物体面 88.6 87 136 ポラライザ ユニット MAX130※ MAX78※ 注1： レボルバはシングルマウント部を外して装着しますが、WIDE VMU本体 ※M Plan Apo HR100×（378-815-4）使用時 取付け位置とステージの距離は変わりません。 VMU-LB・L4Bの場合 VMU-V・Hの場合 注：アナライザユニットは、カバーリングをゆるめて装着します。 物体面 注1：レボルバを取付ける際、マウント部を外して使用してください。 注2：レボルバの取付け方向は図示された方向に限定されます。 ポラライザユニットは、開口絞り付落射照明ユニットを外して装着します。 注2：レボルバの向きは取付面に対し自由に設定可能です。 ・ 明暗視野用電動レボルバ（378-727-10） MAX 132 MAX 80 27 88 ■TVアダプタユニット ■定倍観察用カメラマウント ■LEDアダプタ 27 中間像位置 中間像位置 75 ø14 +0.1 +0.05 Cマウント Cマウント 中間像位置 ø8.2 2×アダプタ 0.5×アダプタ LED光源クランプ用 M20×0.5 27 レンズユニット レンズユニット 六角穴付止めねじM4 中間鏡筒 LED光源端面位置 （有効径ø5以上） マウント部 ø38 +0.05 物体面 物体面 シングルマウント部 0 88.6 87 136 ø56 MAX126※ MAX77※ 2×TVアダプタユニット装着時 0.5×TVアダプタユニット装着時 ※M Plan Apo NIR HR100×（378-864-5）使用時 VMU-LB・L4Bの場合 注1： レボルバを取付ける際、 物体面からVMU本体の取付けねじまでの距離を 注1： レボルバはシングルマウント部を外して装着しますが、WIDE VMU本体 一定とするため、中間鏡筒とマウント部を外して装着してください。 取付け位置とステージの距離は変わりません。 注2：レボルバの向きは取付面に対し自由に設定可能です。 注2：レボルバの取付け方向は図示された方向に限定されます。 13 14 95（同焦距離） 76 27 27 95（同焦距離） 76 27 27 32 32 95 76 27 27 53.7 53.7 95 76 27 27 （同焦距離） 32 （同焦距離） 32 95（同焦距離） 76 95 76 27 27 （同焦距離） 27 27 41.5 27 41.5 27 95 76 27 27 95 76 27 27 （同焦距離） （同焦距離） 95 85 54 95 85 54 （同焦距離） 95 85 27 （同焦距離） 95 85 27 29.1 （同焦距離） 29.1 （同焦距離） 29.1 29.1 95 85 54 95 85 27 95 85 54 95 85 27 （同焦距離） （同焦距離） （同焦距離） （同焦距離） 148 25 25 148 25 25 89.5 27 27 4.5 89.5 27 27 4.5 68.5 170.7 17.5 20.5 （ アダプタレンズユニットを 使用しない時との寸法差：18.2 mm） 20.5 41.5 15 56 56 ø70 ø70 ø69 ø69 247.5 95 152.5 152.5 17.5 （同焦距離） 76 27 27 （ アダプタレンズユニットを 使用しない時との寸法差：0 mm） 7.5 126.5 7.5 126.5 140 （4） 140 （4） 144 144 60.5 17.5 25 25 25 25 149 157 64.2 91.9 24 33.1 98.5 27 31.5 41.5 27 95 76 27 27 （同焦距離） 56 ø70 12 8 41 2 7.5 126.5 140 (4) 144 ø45 ø69 7.5 126.5 140 (4) 144

白色光干渉光学ユニット　 白色干渉測定用対物レンズ WLI-Unit WLI Plan Apo WLI-Unit ■特長 ・WLI-Unitに併せた新設計 ・長作動距離を確保、小型・軽量化を実現（同焦60 mm） ・高NA、高解像 ・プラン・アポクロマート仕様 2025年日刊工業新聞社 ・干渉縞調整機構標準 （第55回）機械工業デザイン賞IDEA ※対物レンズはオプションです ■外観寸法図 単位：mm ■特長 WLI Plan Apo 2.5× WLI Plan Apo 5× WLI Plan Apo 10× WLI Plan Apo 25× WLI Plan Apo 50× ・ 白色光干渉による非接触高精度微細表面性状計測が可能※・・・ 3D形状測定 58.5 ø40 ø40 ø40 ø40 ø35 M20.32/36山 M20.32/36山 M20.32/36山 M20.32/36山 ・ 光学倍率に依存しない高さ測定精度 　 低倍率レンズでも高いZ分解能で測定可能 ・ 高アスペクト比測定 22.1 　 光学系のNAに依存しない検出による高アスペクト比形状測定に対応 ・ 外乱振動に対する高ロバスト性 ・ 小型軽量 ※観察対象物の形状や表面性状の影響を受ける場合があります。 ø38 ø38 ø38 ø38 ■仕様 ■レンズ仕様 コードNo. 554-001 554-002 554-003 開口数 作動距離 焦点距離 分解能 同焦距離 FOV（mm） 対応結像 鏡筒長 質量 品名 WLI-Unit-003 WLI-Unit-005 WLI-Unit-010 品　名 コードNo. レンズ（取付ネジ 最外径 取付けネジ NA WD（mm）（f mm） R（µm） （mm） WLI-Unit 2/3型カメラ （ 縦×横） （f mm） 部除く） （g） ケーブル長（m） 3 5 10 適応対物レンズ　　※オプション選択 WLI Plan Apoシリーズ WLI Plan Apo 結像倍率 WLI-Unitセンサヘッド 1× WLI Plan Apo 2.5× 378-400 0.14 13.0 40 2.0 60 2.94× 2.25 2.64× 3.52 100 47 36.4（干渉ユニット除く） 58.5（最大） 320 焦点距離 （f mm） 100 スキャン機構 自社製対物レンズスキャナー WLI Plan Apo 5× 378-005 0.28 8.0 20 0.98 60 1.46× 1.12 1.32× 1.76 100 52 40 RMS / 20.32 mm 210 サイズ / 重量 108 x 68 x 191 mm / 1.7 kg WLI Plan Apo 10× 378-401 0.38 6.0 10 0.72 60 0.73× 0.56 0.66× 0.88 100 54 40 × 36 TP 220 WLI Plan Apo 25× 378-402 0.50 3.6 4 0.55 60 0.29× 0.22 0.26× 0.35 100 57 40 290 Z移動レンジ 8000 µm WLI Plan Apo 50× 378-403 0.70 2.0 2 0.39 60 0.14× 0.11 0.13× 0.18 100 58 40 300 測定モード 高スループット 標準 高解像度 WLI測定 WLI測定Zレンジ 2100 µm 1900 µm 1700 µm ●上記仕様欄の分解能は、基準波長（λ＝0.55 µm）をもとに算出した値になります。 （WLI-Unit-003/005/010共通） スループット ●倍率は結像レンズ（焦点距離100 mm）と組合せの場合 @20 µm レンジ 3.0 s 4.0 s 6.0 s Z分解能 － 0.1 nm※ Z繰返し精度（σ） － 3 nm※ I/F WLI-Unitセンサヘッド用端子 / 停止用コネクタ / GigaBit Ethernet：2CH 定格電圧 WLI-Unitコントローラ AC100～240 V / 50, 60 Hz 最大消費電力 20 W サイズ / 重量 196 x 180 x 108 mm / 2.3 kg WLIPAK WLI-Unit制御ライブラリ（SDK）、サンプルコード、WLIPAK Sample GUI ソフトウェア WLI-Unit Calibration SW ピクセルキャリブレーション 解析ソフトウェア（推奨オプション） MCubeMap その他 フレームグラバー / PC Matroxフレームグラバ / PC別途 ※弊社測定環境における代表値 ■推奨PC仕様 　OS：Windows 10Pro 64bit / Windows 11Pro 64bit、CPU：Xeon Processor 8 Core（2.0GHz以上）、メモリ：8GB以上、ストレージ：25GB以上、 　光学ドライブ：DVD-ROMドライブ（ソフトウェアインストール用）、通信ポート：RJ-45×1ポート（EtherNET）、拡張スロット：PCI Express 3.0×8 以上　 15 16 ø20 （作動距離） 13 47 60（同焦距離） 5 （作動距離） 8 52 60（同焦距離） 5 （作動距離） 6 54 60（同焦距離） 5 （作動距離） 3.6 56.4 60（同焦距離） 5 （作動距離） 2 58 60（同焦距離） 5

WLI測定例 WLIシステム構成（スタンド・手動ステージ・除振台でのシステム例） スタンド PC ■粗さ標準ピース 3 um ■半導体テストパターン（TEG） WLI-Unit センサヘッド WLIPAK SampleGUI MCubeMap WLI 測定を実施 各種解析を実施 WLI-Unit コントローラ ※画像はイメージです Ex）3D表示 除振台 ㈱ウォルツ様、㈱アスカインデックス様ご提供 ■外観寸法図 単位：mm WLI-Unitセンサヘッド WLI-Unit コントローラ ■Cuパターン（基材ガラス） ■金属加工面（アルミ） 108 45 108 196 ø2 +0 . 0 01 取付け用ねじ ガイド用ピン穴 2×1/4-20UNC 深さ6 深さ4 45 2+0.01 0 ø2 +0 . 0 01 取付け用ねじ 45 ガイド用ピン穴 2×1/4-20UNC 深さ6 深さ4 2+0.01 0 背面取付け部 45 17 18 67.8 43 191 127 50 53 67.8 50 43 43 191 127 50 53 4 50 43 113.5 180 4

顕微鏡ユニット FS70外観寸法図 単位：mm FS70 ■FS70Z（FS70ZD） ■FS70L FS70Z FS70L FS70L4 ■特長 ※接眼レンズ・レボルバ・対物レンズは、オプションです ・接眼観察部付きコンパクト顕微鏡ユニット 324 324 154 154 （観察対象は、金属表面・半導体・液晶・樹脂など様々） 中間像位置 中間像位置 324 324 レーザマウント ・YAGレーザ（近赤外・可視・近紫外・紫外）による微細加工対応※1 ø38 上下1移54動量 ø38 154 上下移動量 （半導体回路のカット /トリミング /修正 /マーキング、薄膜＜絶縁膜＞の除去 /加工、液晶カラーフィルタのリペアなど） 中間像位置 25 中間像位置 25 25 レ2ー5ザマウント ・赤外観察に対応※2 ø38 上下移動量 ø38 上下移動量 25 25 ・多彩な観察法に対応した機種をラインアップ 25 25 （明視野 /暗視野 /簡易偏光） 対物レンズ 対物レンズ ・落射照明光学系に開口絞り付ケーラ照明を標準装備 取付け面 取付け面 ・顕微鏡下での高い操作性 対物レンズ 対物レンズ 取付け面 取付け面 （インワードレボルバ、長作動距離対物レンズ） MAX MAX130 MAX MAX130 ※ 78 15（3 取付け面） 1 78 1：レーザ発振器搭載システムの総合性能及び安全性は保証いたしかねます。 15（3 取付け面） 1 ※ 154 154 2：近赤外域光源や対応カメラが別途必要 MAX MAX130 MAX MAX130 78 15（3 取付け面） 1 78 15（3 取付け面） 1 154 154 ■仕様 標準接眼仕様 品名 FS70Z － FS70ZD FS70L FS70L4 コード No. 378-165-1 － お問い合わせください 378-166-1 378-167-1 27.2 ティルティング 品名 － FS70Z-TH FS70ZD-TH FS70L-TH FS70L4-TH 4-M4 深さ8 接眼仕様 コード No. － 378-165-3 お問い合わせください 378-166-3 378-167-3 ■FS70L4 27.2 正立像 4-M4 深さ8 観察像 明視野 ● ● ● ● 明暗視野 ● 簡易偏光 ● ● ● ● ● 接眼レンズ（必須オプション） 10×（視野数 24）・15×（視野数 16）・20×（視野数 12） 324 視野数 24 154 63.5 眼幅調整 ジーデントップ型、調整範囲：51～ 76 mm 中間像位置 94 324 ティルト角度 レーザマウント 0～ 20（°-THのみ）、アイポイント移動量約 114 mm ø38 154 切換式 上下移動量 63.5 固定式※1 切換式 中間像位置 25 94 三眼鏡筒 光路 固定式 （接眼 / TV＝ 50% / 50%） （接眼 /直筒＝ 100%/ 0%： レ2ー5ザマウント 0% / 100%） （接眼 / TV＝ 50% / 50%） （接眼 /直筒＝ 100%/ 0%：0% / 100%） ø38 上下移動量 本体取付け用穴位置（全機種共通） カメラポート 25 ø10 +0.1 +0.05 Cマウント（アダプタ B※2使用） Cマウント仕様 Cマウント仕様 25 ø7.5 ファイバ端面位置 鏡筒 マウント部 アダプタBで同焦調整 （ 同焦調整機構） （グリーンフィルタ切換機構付） （同焦調整機構） ø10 +0.1 +0.05 防護フィルタ － レーザ光カットフィルタ内蔵 対物レンズ ø7.5 取付け面 ファイバ端面位置 結像（チューブ） レンズ 1～2×（可視補正）ズーム内蔵 1×（近赤外～可視～近紫外 補正）内蔵 1×（可視・紫外補正）内蔵 対物レンズ 倍率：1× 波長： 取付け面 レーザ 光学系 波長：266/532 nm MAX MAX130 ポート － 355/532/1064 nm 倍率：1× 78 マウント部 YAGレーザ発振器 YAGレーザ発振器 15（3 取付け面） 1 （基本・第 2・3高調波）搭載可 （ 第 2・4高調波）搭載可 154 MAX MAX130 合焦部 粗微動 一軸粗微動（粗動：3.8 mm/ 1回転、微動：0.1 mm/ 1回転） 78 移動量 15（3 取付け面） 1 50 mm、左右ハンドル 154 落射照明光学系 明視野落射照明（ケーラ照明・開口絞り付） 照明装置（オプション） ファイバ照明装置（LED）（No.176-386）、150 W ファイバ照明装置（No.176-316）無段階ボリューム調光式、ライトガイド長 =1500 mm ファイバ取付け部（全機種共通） レボルバ（必須オプション） 調心同焦マニュアルレボルバ4穴 マニュアルレボルバ 4穴 調心同焦マニュアルレボルバ 4穴 /調心電動レボルバ 5穴 /電動レボルバ 4穴 /調心電動レボルバ 5穴 M Plan Apo M Plan Apo 観察用 M Plan Apo HR M Plan Apo HR 対物レンズ M Plan Apo SL BD Plan Apo M Plan Apo SL （必須オプション） G Plan Apo G Plan Apo レーザ NIRシリーズ 加工用 － NUVシリーズ UVシリーズ ※レーザ発振器の使用波長から選択 鏡筒部積載可能質量※3 約 14 kg（-TH：約 13.2 kg） 約 13.9 kg（-TH：約 13.1 kg） 外観寸法 P20参照 本体質量 6.6 kg（-TH：7.4 kg） 6.7 kg（-TH：7.5 kg） ※1：FS70ZD-THは切換式になります。　※2：オプション装着になります。　※3：レボルバ・対物レンズ・接眼レンズの各々の質量は含まれません。 注）対物レンズ M Plan Apo 1×をご使用の際は、偏光装置（No.378-092または 378-094）の併用をお奨めします。 注）FS70L、FS70L4に YAGレーザ発振器を取付けてご使用される際、 　 ・レーザ入力値やエネルギー密度等にご注意ください。光学系に損傷を与えるおそれがあります。 　 ・レーザ発振器の重量をご確認ください。また、高速・高加減速装置に搭載の際はご相談ください。 19 20 353 353 353 353 95 95 （同焦距離） 95 95 （同焦距離） （同焦距離）（同焦距離） 93.4 93.4 38 38 93.4 93.4 82 82 212 21231.7 79.631.7 79.6 63.5 16032.5 631.052 63.5 82 82 212 212 40.4 79.640.4 79.6 63.5 16032.5 631.052 63.5 229 229 229 229 208 208 14 11049 3010951 30 51 353 353 7.5 1276.5.5 126.5 95 95 （同焦距離）（同焦距離） 10 14 10 14 93.4 93.4 82 82 212 21231.7 79.631.7 79.6 63.5 16032.5 631.052 63.5 229 229

FS70共通オプション ■システム構成 ■マニュアルレボルバ ■電動レボルバ Cマウント対応のアナログカメラ またはデジタルカメラ 各社YAGレーザ発振器※1 例）ImageX PRO 7000 0.5×TVアダプタユニット （375-054） P.22 コンソールボックス 写真：No.378-016-10 接眼レンズ　　 P.38 アダプタB 偏光装置 偏光装置 WF10×/24（378-866） （378-042） P.22 （378-092） （378-094） 品名 明視野マニュアルレボルバ 明暗視野マニュアルレボルバ 品名 明視野電動レボルバ 明暗視野電動 WF15×/16（378-857） コード No. 378-018 176-211 レボルバ P.22 P.22 WF20×/12（378-858） 観察方法 明視野観察 明暗視野観察 コード No. 378-216-10 378-016-10 176-212-10 対物レンズ 4 観察方法 明視野観察 明暗視野観察 取付け穴数 （基準穴 1、調心・同焦機構穴 3） 4 対物レンズ取付け穴数 5（基準穴1 、 4（基準穴1 、 視野調整範囲 ± 0.5 mm － 調心機構穴4） 調心機構穴 3） 4 同焦調整範囲 ± 視野調整範囲 ± 0.5 mm － 0.5 mm － 質量 位置決め精度（繰返し停止精度） 980 g 1.2 kg 2 σ＝3 µm － － 駆動寿命（耐久性） 100万ポジション － － 駆動方式 DCモータ 入力電源 AC100 V～ 240 V AC100 V～ 240 V 最大消費電力約10 W 最大消費電力約6 W FS70ZD FS70Z FS70L FS70L4 外部入出力インターフェース※1 RS-232C（パソコンによる外部制御に使用） （378-165-1） （378-166-1） （378-167-1） ■偏光装置 付属ケーブル長 2.9 m※（2 電動レボルバ部とコンソールボックスの接続） 本体部： 本体部： 簡易偏光観察時に使用しますが、 外観寸法：W×H×D（mm）、 130×47×186、約1.7 kg 164×65×137、約 1.4 kg 低倍率対物レンズ使用時にコント 質量 コンソールボックス： コンソールボックス： 108×63×176、約 810 g 108×72×193、約 810 g ラストを高める場合にもお奨めし ※1：接続の際は【RS-232C ケーブル（12AAA807）】をご利用ください。 ます。 ※2： 付属ケーブル長でのご使用をお願いいたします。延長ケーブル等を使用しケーブル長さ FS70ZD-TH FS70Z-TH FS70L-TH FS70L4-TH を変更した際の動作保証はいたしかねます。 （378-165-3） （378-166-3） （378-167-3） FS70Z用 FS70L・FS70L4用 簡易スタンド コードNo.378-092 コードNo.378-094 （378-730） マニュアルレボルバ 電動レボルバ（明暗視野用） 調心同焦マニュアルレボルバ 調心電動レボルバ（明視野用） P.24 （明暗視野用） （176-212-10） （明視野用） 4穴（378-016-10） （176-211） P.22 4穴 （378-018） 5穴（378-216-10） P.22 4穴 P.22 4穴 P.22 5穴 透過照明ユニット （378-736） ■アダプタB ■0.5×TVアダプタ P.24 Cマウント仕様のカメラを装着する 0 . 5×縮小リレー光学系により、 対物レンズ 対物レンズ 場合に使用します。 モニタ上において広視野観察 BD Plan Apo シリーズ M Plan Apo シリーズ （実視野 2倍）できます。 （観察用）：P.28 （観察用）：P.25～27 コードNo.378-042 単位：mm G Plan Apo ファイバ照明装置 シリーズ 像視野：ø11 mm対応 ø45 コードNo.375-054 単位：mm （観察用）：P.27 （LED）（176-386） 質量：170 g 中間像位置 像視野：ø11 mm対応 ø45 23 ファイバ照明装置 NIR シリーズ P.29～30 質量：300 g （LED）（176-386） （基本波・第2高調波レーザ加工用） P.24 （近赤外観察用） P.24 NUV シリーズ P.31～32 注）アダプタ Bと （第2・第3高調波レーザ加工用） 併用使用します。 ø38 ＋0.05 UV シリーズ P.33～34 0　 X-Yステージ（50×50 mm） 各社 （第2・第4高調波レーザ加工用） X-Y ø54 （378-020） 電動ステージ 74.1 （50×50 mm）※2 ※1 弊社では扱っておりませんので、ご相談ください。 P.24 ※2 取付け時に別途アダプタが必要になる場合がありますので、ご相談ください。 21 22 62.1 17.5 67.3 122.6 A B C D E POWER T UR R E T S T AT US POWER A B C D

FS70共通オプション外観寸法図 顕微鏡用各種オプション ■マニュアルレボルバ 単位：mm ■電動レボルバ 単位：mm ■簡易スタンド ■XYステージ 単位：mm コードNo.378-018 コードNo.378-216-10 VMU・WIDE VMU・FS70を取付けるためのスタンドです。XYステージや 110 4-5キリø8ザグリ 透過照明ユニットを組合せると、透過照明観察も可能な小形顕微鏡として 70 4-M4深さ10 お使いいただけます。 コードNo. 378-730 質量 6.7 kg 96 32 A B C D E 180 59 13 7 コードNo. 378-020 移動範囲（X・Y軸）50×50 mm （50.7） 108 ハンドル送り量 約34 mm/1回転 （130） T溝部 詳細図 質量 3.3 kg コードNo.176-211 コード No.176-212-10/378-016-10 写真：FS70Z及び XYステージ装着例 ※1軸駆動になります。 （ 接眼レンズ・対物レンズ・レボルバ・ 照明装置はオプションです） 346 単位：mm ■透過照明ユニット 単位：mm POWER T UR R E T 95 156 95 S T AT US POWER ※ 簡易スタンドのベース部に装着し て透過照明する場合に使います。 A B C D 光源は下記のファイバ照明装置 をお使いください。 （48） ステージガラス上面 185 （164） 176-212-10 135 コードNo. 378-736 ※ 378-016-10 質量 は、この穴径 0.8 kg ■対物レンズ変換アダプタ ■同焦調整シムセット が異なります。 明暗視野用レボルバに明視野用対物レンズが装着できる、ねじ変換アダ コード No. 用 途 詳 細 328 ファイバー差し込み口 プタです。明暗視野用対物レンズと併用した場合も同焦点になります。 378-089 明視野レボルバ用 50 µm・30 µm・20 µm厚の 114 361 SUSリング各5枚で構成。 コード No. 378-026-1 378-090 明暗視野レボルバ用 弊社製レボルバに対応。 明暗視野用マニュアルレボルバまたは 対応機種 電動レボルバを搭載した顕微鏡 （ WIDE VMU-BDV/H・MF-U・HyperMF-U） ■手動フォーカスユニット ■ファイバ照明装置（LED） 単位：mm S M Plan Apo、M Plan Apo SL、 対応対物レンズ G Plan Apo、M Plan Apo NIR、 手動フォーカスユニットSは標準フォーカスユニットに比べ、アイポイント M Plan Apo NUV、M Plan UV 位置を変えずに68 mm上方に取付けることができるユニットです。下記 10 25 コードNo.は、本フォーカスユニットがあらかじめ組み込まれたFS70本体 となります。 ■FS70ティルティングヘッド 324 324 単位：mm 154 154 顕微鏡の接眼レンズを覗く際、体格が違う場合でも最適なアイポイントに接眼 78 200 レンズを調整できるティルティング接眼仕様をラインアップしています。 単位：mm 451 154 中間像位置 上下移動量 25 25 153 1 153 1 コード No. 176-386 標準フォーカスユニット　　　 手動フォーカスユニットS取付け時 光源 ラ白イト色ガ、イラドン長プ：寿L=1命50300m,0m00時間※1、6,500 K（typ.）※2 入力電圧 AC100 V-AC240 V ±10% 対物レンズ取付け面 品名 FS70Z-S FS70L-S FS70L4-S 消費電力 20 W コード No. 378-165-2 378-166-2 378-167-2 ライトガイド 長さ 1,500 mm、ファイバ結束径 ø5 mm 全移動量 50 mm 明るさ調整 ボリューム調光式 MAX130 ハンドル移動量 粗動：3.8 m m / 1回転　微動：0.1 m m / 1回転 ※1：寿命は、使用環境で異なることがあります。保証するものではありません。 153（取付け面） 1 鏡筒部積載可能質量※1 約 14.0 kg 約 13.9 kg 約 13.9 kg ※2：色温度（参考値）になります。 154 写真：FS70Z-TH 本体質量 6.6 kg 6.7 kg 6.7 kg 　　　（接眼レンズ・対物レンズ・レボルバはオプションです） ※1：レボルバ、対物レンズ及び接眼レンズの質量は含まれません。 ※ 手動フォーカスユニットSタイプのティルティングヘッドをご要望の場合は、最寄りの営業所 へお問い合わせください。 23 24 355 ø108 ø111 95 （同焦距離） 93.4 31.5 82 212 79.6 89.5 126.5 294 68（89.5） （65） （47）（157.5）（126.5） （294） 147.7 ø10 ø7 15 132 100.7 15 437 200 452 58 47 110 70 44 23 25 6.5 40 3 96 76.4 ø39 152 120 ø50 ø50

明視野用対物レンズ M Plan Apo / M Plan Apo HR VMU WIDE VMU FS70 MF-U Hyper MF-U ■特長 ・明視野観察 ■仕様 ・ 波長補正範囲　436～656 nm （基本波長 開口数 作動距離 焦点距離 分解能 対物レンズ単体 実視野 FOV（mm） 587 nm設計） 質量 品　名 コード No. の 焦点深度 NA WD（mm） （f mm） R（ µm） 可視域 2/3型カメラ ± D.F（. µm） 視野数 ø30 （縦×横） （g） ・無限遠補正 ・長作動距離 M Plan Apo ・プラン・アポクロマート仕様 M Plan Apo 1× ※1 378-800-12 0.025 11.0 200 11.0 440 30 6.6× 8.8 380 ・HR：高分解能仕様（解像力：標準比向上） M Plan Apo 2× ※2 378-801-12 0.055 34.0 100 5.0 91 15 3.3× 4.4 240 M Plan Apo 5× 378-802-12 0.14 36.5 40 2.0 14 6 1.32× 1.76 270 M Plan Apo 7.5× 378-807-3 0.21 35.0 26.67 1.3 6.2 4 0.88× 1.17 280 M Plan Apo 10× 378-803-3 0.28 34.0 20 1.0 3.5 3 0.66× 0.88 250 ■外観寸法図 単位：mm M Plan Apo 20× 378-804-3 0.42 20.0 10 0.7 1.6 1.5 0.33× 0.44 330 M Plan Apo 50× 378-805-3 0.55 13.0 4 0.5 0.9 0.6 0.13× 0.18 350 M Plan Apo 1× M Plan Apo 10× M Plan Apo HR 3× （作動距離） M Plan Apo 100× 378-806-3 0.70 6.0 2 0.4 0.6 0.3 0.07× 0.09 400 11 1/4波長板 （作動距離） （作動距離） 2 34 34 M Plan Apo HR M Plan Apo HR 3× ※3 お問い合わせ 0.126 34.0 66.7 2.2 17.3 10 2.20× 2.93 270 M Plan Apo HR 5× ※3 378-787-16 0.21 27.0 40 1.3 6.2 6 1.32× 1.76 310 M Plan Apo HR 10× ※3 378-788-15 0.42 15.0 20 0.7 1.60 3 0.66× 0.88 470 84 61 61 M Plan Apo HR 50× 378-814-4 0.75 5.2 4 0.4 0.49 0.6 0.13× 0.18 410 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） M Plan Apo HR 100× 378-815-4 0.90 1.3 2 0.3 0.34 0.3 0.07× 0.09 460 ●上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は基準波長（λ＝0.55 µm）をもとに算出した値になります。 M Plan Apo 2× M Plan Apo 20× M Plan Apo HR 5× ※1 反射率が低い被検物を観察する場合は、ご使用になる顕微鏡に対応した偏光装置の併用をお奨めします。 （作動距離） （作動距離） （作動距離） ※2 反射率が低い被倹物を観察する場合は、1/4波長板A（No.02ALN370）と偏光装置の併用をお奨めします。注）作動距離が4 mm短くなります。 1.4 34 1.5 20 2 27 ※3 対 物レンズ単体装着時の仕様となります（装着する顕微鏡によっては表記仕様を満たさない場合があります）。 　 単体で垂直落射照明でご使用の場合は、対物レンズへの入射照明光束を16.8 mm（対物レンズ瞳径）以上としてください。 61 75 68 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） M Plan Apo 5× M Plan Apo 50× M Plan Apo HR 10× （作動距離） （作動距離） （作動距離） 36.5 1.5 13 7.7 15 58.5 82 80 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） M Plan Apo 7.5× M Plan Apo 100× M Plan Apo HR 50× （作動距離） （作動距離） （作動距離） 35 4.7 6 2 5.2 60 89 89.8 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） M Plan Apo HR 100× （作動距離） 2 1.3 93.7 5 95（同焦距離） 25 26 ø34 ø34 ø34 ø34 ø24 ø32.2 ø24.7 ø38 ø25 ø27.5 ø41 ø32.2 ø32.2 ø34 ø34 ø34 ø34 ø17.8 ø29.2 ø29.2 ø28.2 ø29.2 ø32.2 ø32.2 ø32.2 ø32.2 ø34 ø34 ø39 ø34 ø34 ø28.2 ø28.2 ø26 ø28.2 ø28.2 ø37 ø32.2 ø32.2ø32.2 ø32.2

明視野用対物レンズ 明暗視野用対物レンズ M Plan Apo SL BD Plan Apo VMU WIDE VMU FS70 MF-U Hyper MF-U WIDE VMU FS70 MF-U Hyper MF-U ■特長 ・明視野観察 ■特長 ・明視野 /暗視野観察 ・波長補正範囲　436～656 nm（基本波長 587 nm設計） ・波長補正範囲　436～656 nm（基本波長 587 nm設計） ・無限遠補正 ・無限遠補正 ・超長作動距離（スーパーロング仕様） ・長作動距離 ・プラン・アポクロマート仕様 ・プラン・アポクロマート仕様 ■外観寸法図 M Plan Apo SL20× M Plan Apo SL50× M Plan Apo SL100× 単位：mm ■外観寸法図 単位：mm （作動距離） （作動距離） （作動距離） 1.5 30.5 20.5 1.4 13 BD Plan Apo 2× BD Plan Apo 10× BD Plan Apo 100× （作動距離） （作動距離） （作動距離） 4 34 4 34 10 6 64.5 74.5 82 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） ■仕様 61 61 89 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 開口数 作動距離 焦点距離 ンズ単体 実視野 FOV（mm） 質量 品　名 コード 分解能 対物レ 焦点深度 No. の NA WD（ mm） （f mm） R（µm） 可視域 2/3型カメラ ± BD Plan Apo5× BD Plan Apo 20× BD Plan Apo HR 50× D.F（. µm） 視野数 ø30 （ 縦×横） （g） （作動距離） （作動距離） （作動距離） M Plan Apo SL 4 34 7 20 4.8 5.2 M Plan Apo SL 20× 378-810-3 0.28 30.5 10 1.0 3.5 1.5 0.33× 0.44 290 M Plan Apo SL 50× 378-811-15 0.42 20.5 4 0.7 1.6 0.6 0.13× 0.18 340 M Plan Apo SL100× 378-813-3 0.55 13.0 2 0.5 0.9 0.3 0.07× 0.09 360 ●上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ＝ 0.55 µm）をもとに算出した値になります。 61 75 89.9 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 明視野用対物レンズ BD Plan Apo 7.5× BD Plan Apo 50× BD Plan Apo HR 100× （作動距離） （作動距離） （作動距離） G Plan Apo 4 34 8.5 13 4.7 1.3 VMU WIDE VMU FS70 MF-U Hyper MF-U ■特長 61 ・明視野観察 82 93.7 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） ・波長補正範囲　436～656 nm（基本波長 587 nm設計） ・無限遠補正 ・長作動距離 ・プラン・アポクロマート仕様 ■仕様 ・ ガラス厚　3.5 mm（材質：BK7）を通した観察に適する 補正設計 開口数 作動距離 焦点距離 分解能 対物レンズ単体 実視野 FOV（mm） 質量 　※厚み・材質・屈折率に応じた設計製作致します 品　名 コード No. の焦点深度 NA WD（mm） （f mm） R（µm） 可視域 2/3型カメラ ± D.F（. µm） 視野数 ø30 （ 縦×横） （g） ■外観寸法図 BD Plan Apo G Plan Apo 20× G Plan Apo 50× 単位：mm BD Plan Apo 2× ※1 378-831-13 0.055 34.0 100 5.0 91 15 3.3× 4.4 340 （作動距離）：ガラス厚3.5 mm （作動距離）：ガラス厚3.5 mm BD Plan Apo 5× 378-832-12 0.14 34.0 40 2.0 14 6 1.32× 1.76 370 1.58 30.6 2 15.08 BD Plan Apo 7.5× 378-830-7 0.21 34.0 26.67 1.3 6.2 4 0.88× 1.17 370 BD Plan Apo 10× 378-833-7 0.28 34.0 20 1.0 3.5 3 0.66× 0.88 350 BD Plan Apo 20× 378-834-7 0.42 20.0 10 0.7 1.6 1.5 0.33× 0.44 420 BD Plan Apo 50× 378-835-7 0.55 13.0 4 0.5 0.9 0.6 0.13× 0.18 450 65.59 ガラス 81.11 ガラス BD Plan Apo 100× 378-836-7 0.70 6.0 2 0.4 0.6 0.3 0.07× 0.09 510 5 96.19 5 96.19 ■仕様 ●上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ＝0.55 µm）をもとに算出した値になります。 ※1 反射率が低い被倹物を観察する場合は、1/4波長板B（No.02ALN380）と偏光装置の併用をお奨めします。　注）作動距離が4 mm短くなります。 開口数 作動距離 焦点距離 分解能 対物レンズ単体 実視野 FOV（mm） 質量 品　名 コード No. WD（mm） の 焦点深度 NA 可視域 2/3型カメラ （空気換算） （f mm） R（µm） ± D.F（. µm） 視野数 ø30 （ 縦×横） （g） G Plan Apo G Plan Apo 20×（t3.5） 378-847 0.28 29.42 10 1.0 3.5 1.5 0.33× 0.44 310 G Plan Apo 50×（t3.5） 378-848-3 0.50 13.89 4 0.6 1.1 0.6 0.13× 0.18 380 ●上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ＝ 0.55 µm）をもとに算出した値になります。 27 28 ø34 ø34 ø24 ø24.8 ø32.2 ø24 ø25 ø32.2 ø34 ø23.8 ø32.2 ø34 ø34 ø28.2 ø32.2 ø22 ø23.9 ø32.2 ø44 ø44 ø44 ø37 ø37 ø37 ø40 ø40 ø40 ø42 ø42 ø42 ø44 ø44 ø44 ø32 ø32 ø37 ø40 ø40 ø40 ø42 ø42 ø42 ø44 ø44 ø44 ø32 ø32 ø31.5 ø40 ø40 ø40 ø42 ø42 ø42

明視野用近赤外域補正　対物レンズ 明視野用液晶近赤外域補正　対物レンズ M Plan Apo NIR / LCD Plan Apo NIR / M Plan Apo NIR HR / LCD Plan Apo NIR HR M Plan Apo NIR B VMU WIDE VMU FS70 VMU WIDE VMU FS70 ■特長 ・明視野観察 /近赤外観察 /レーザ加工 ■特長 ・明視野観察 /近赤外観察 /レーザ加工 ・波長補正範囲　480～1800 nm ・波長補正範囲　 ・無限遠補正 480～1800 nm（ B：420～1064 nm） ・無限遠補正 ・長作動距離 ・長作動距離 ・プラン・アポクロマート仕様 ・プラン・アポクロマート仕様 ・ ガラス厚　0.7 mmまたは 1.1 mm（材質：BK7）を通した ・ 観察に適する補正設計 HR：高分解能仕様（解像力：標準比向上） ※厚み・材質・屈折率に応じた設計製作致します ・B：超長作動距離仕様＆高透過率仕様 ・HR：高分解能仕様（解像力：標準比向上） ■外観寸法図 単位：mm ■外観寸法図 単位：mm M Plan Apo NIR 5× M Plan Apo NIR 50× M Plan Apo NIR HR 20× M Plan Apo NIR B 20× LCD Plan Apo NIR 20×（t1.1） LCD Plan Apo NIR 50×（t1.1） LCD Plan Apo NIR HR 50×（t0.7） （作動距離） （作動距離） （作動距離） （作動距離） （作動距離） （作動距離） （作動距離） 37.5 17 12 25.5 20.35 17.4 9.84 57.5 78 83 69.5 75.02 ガラス 77.97 ガラス 85.4 ガラス 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95.37 5 95.37 5 95.24 M Plan Apo NIR 10× M Plan Apo NIR 100× M Plan Apo NIR HR 50× M Plan Apo NIR B 50× LCD Plan Apo NIR 20×（t0.7） LCD Plan Apo NIR 50×（t0.7） LCD Plan Apo NIR HR 100×（t0.7） （作動距離） （作動距離） （作動距離） （作動距離） （作動距離） （作動距離） （作動距離） 31 12 10 25.5 20.24 17.2 10.11 64 83 85 69.5 75 ガラス 78.04 ガラス 85.13 ガラス 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95.24 5 95.24 5 95.24 M Plan Apo NIR 20× M Plan Apo NIR HR 100× LCD Plan Apo NIR 100×（t0.7） （作動距離） （作動距離） （作動距離） 20 10 12.3 75 85 82.94 ガラス 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95.24 ■仕様 ■仕様 開口数 作動距離 焦点距 分解能 対物レンズ単体 実視野 FOV（mm） 質量 品　名 コード 開口数 作動距離 No 焦点距離 分解能 対物レンズ単体の焦点 実視野 FOV（mm） 質量 . NA WD（mm） （ 品　名 コード f mm） R（µm） 深度 ± D.F（. µm） 可視域・近赤外域 視野数 （ ø30 2/3型カメラ（ 縦×横） g） No. WD（mm） 離 の焦点深度 NA 可視域・近赤外域 2/3型カメラ （空気換算） （f mm） R（µm） ± D.F（. µm） 視野数 ø30 （ 縦×横） （g） M Plan Apo NIR LCD Plan Apo NIR M Plan Apo NIR 5× 378-822-5 0.14 37.5 40 2.0 14.0 6 1.32× 1.76 260 LCD Plan Apo NIR 20×（t1.1） 378-827-16 0.40 19.98 10 0.7 1.7 1.5 0.33× 0.44 320 M Plan Apo NIR 10× 378-823-15 0.26 31.0 20 1.1 4.1 3 0.66× 0.88 270 LCD Plan Apo NIR 20×（t0.7） 378-821-16 0.40 20.00 10 0.7 1.7 1.5 0.33× 0.44 320 M Plan Apo NIR 20× 378-824-16 0.40 20.0 10 0.7 1.7 1.5 0.33× 0.44 320 LCD Plan Apo NIR 50×（t1.1） 378-828-17 0.42 17.03 4 0.7 1.6 0.6 0.13× 0.18 360 M Plan Apo NIR 50× 378-825-17 0.42 17.0 4 0.7 1.6 0.6 0.13× 0.18 360 M Plan Apo NIR 100× 378-826-15 0.50 12.0 2 0.6 1.1 0.3 0.07× 0.09 380 LCD Plan Apo NIR 50×（t0.7） 378-829-17 0.42 16.96 4 0.7 1.6 0.6 0.13× 0.18 360 M Plan Apo NIR HR LCD Plan Apo NIR 100×（t0.7） 378-754-15 0.50 12.06 2 0.6 1.1 0.3 0.07× 0.09 380 M Plan Apo NIR HR 20× 378-854 0.60 12.0 10 0.46 0.8 1.5 0.33× 0.44 470 LCD Plan Apo NIR HR M Plan Apo NIR HR 50× 378-863-5 0.65 10.0 4 0.4 0.7 0.6 0.13× 0.18 530 LCD Plan Apo NIR HR 50×（t0.7） 378-869-5 0.65 9.6 4 0.4 0.7 0.6 0.13× 0.18 520 M Plan Apo NIR HR 100× 378-864-15 0.70 10.0 2 0.4 0.6 0.3 0.07× 0.09 520 LCD Plan Apo NIR HR 100×（t0.7） 378-870-15 0.70 9.87 2 0.4 0.7 0.3 0.07× 0.09 520 M Plan Apo NIR B ●上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ＝ 0.55 µm）をもとに算出した値になります。 M Plan Apo NIR B 20× 378-867-5 0.40 25.5 10 0.7 1.7 1.5 0.33× 0.44 370 M Plan Apo NIR B 50× 378-868-5 0.42 25.5 4 0.7 1.6 0.6 0.13× 0.18 390 ●上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ＝ 0.55 µm）をもとに算出した値になります。 注）使用する波長が 1100 nm以上になるとガラスの分散の変化や屈折率などの測定に誤差が生じ、可視光のピント位置より多少ずれることがあります。 29 30 ø34 ø34 ø34 ø23 ø32.2 ø32.2 ø23.8 ø32.2 ø34 ø34 ø32.2 ø32.2 ø39 ø39 ø39 ø37 ø37 ø37 ø37 ø37 ø37 ø37 ø34 ø34 ø32.2 ø32.2 ø34 ø34 ø34 ø32.2 ø32.2 ø32.2 ø39 ø39 ø37 ø37

明視野用近紫外域補正　対物レンズ 明視野用液晶近紫外域補正　対物レンズ M Plan Apo NUV / LCD Plan Apo NUV / M Plan Apo NUV HR LCD Plan Apo NUV HR VMU FS70 VMU FS70 ■特長 ・明視野観察 /近紫外観察 /レーザ加工 ■特長 ・明視野観察 /近紫外観察 /レーザ加工 ・波長補正範囲　355～620 nm ・波長補正範囲　355～620 nm ・無限遠補正 ・無限遠補正 ・長作動距離 ・長作動距離 ・プラン・アポクロマート仕様 ・プラン・アポクロマート仕様 ・HR：高分解能仕様（解像力：標準比向上） ・ ガラス厚　0.7 mm（材質：BK7）を通した観察に適する 補正設計 ※厚み・材質・屈折率に応じた設計製作致します ・HR：高分解能仕様（解像力：標準比向上） ■外観寸法図 単位：mm ■外観寸法図 単位：mm M Plan Apo NUV 10× M Plan Apo NUV 50× M Plan Apo NUV HR 50× LCD Plan Apo NUV 20×（t0.7） LCD Plan Apo NUV HR 50×（t0.7） （作動距離） （作動距離） （作動距離） （作動距離） （作動距離） 30.5 15 10 17.2 10.24 64.5 80 85 78.04 ガラス 85 ガラス 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95.24（同焦距離） 5 95.24（同焦距離） M Plan Apo NUV 20× M Plan Apo NUV 100× LCD Plan Apo NUV 50×（t0.7） （作動距離） （作動距離） （作動距離） 17 11 14.9/15 78 84 80.47/80.24 ガラス 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95.37/95.24（同焦距離） ■仕様 ■仕様 開口数 開口数 作動距離 品　名 コード 作動距離 焦点距離 分解能 対物レンズ単体 実視野 FOV（mm） 質量 No. の 品　名 コード No. WD（ 焦点 分解 mm） 距離 能 対物レンズ単体 実視野 FOV（mm） 質量 の焦点深度 NA WD（mm） f（mm） R（ 焦点深度 µm） 可視域 近紫外域 2/3型カメラ ± D.F（. µm） 視野数 ø30 視野数 ø16 （ 縦×横） （g） NA （空気換算） f（mm） R（µm） 可視域 近紫外域 2/3型カメラ ± D.F（. µm） 視野数 ø30 視野数 ø16 （ 縦×横） （g） M Plan Apo NUV LCD Plan Apo NUV M Plan Apo NUV 10× 378-809-5 0.28 30.5 20 1 3.5 3 1.6 0.66× 0.88 270 LCD Plan Apo NUV 20×（t0.7） 378-890-8 0.42 16.96 10 0.7 1.6 1.5 0.8 0.33× 0.44 360 M Plan Apo NUV 20× 378-817-8 0.42 17.0 10 0.7 1.6 1.5 0.8 0.33× 0.44 360 LCD Plan Apo NUV 50×（t0.7） 378-820-8 0.44 14.76 4 0.6 1.4 0.6 0.32 0.13× 0.18 410 M Plan Apo NUV 50× 378-818-8 0.44 15.0 4 0.6 1.4 0.6 0.32 0.13× 0.18 410 LCD Plan Apo NUV HR M Plan Apo NUV 100× 378-819-15 0.50 11.0 2 0.6 1.1 0.3 0.16 0.07× 0.09 430 LCD Plan Apo NUV HR 50×（t0.7） 378-891-6 0.65 9.76 4 0.4 0.7 0.6 0.32 0.13× 0.18 570 M Plan Apo NUV HR ●上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ＝ 0.55 µm）をもとに算出した値になります。 M Plan Apo NUV HR 50× 378-888-6 0.65 10.0 4 0.42 0.65 0.6 0.32 0.13× 0.18 570 ●上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ＝ 0.55 µm）をもとに算出した値になります。 31 32 ø34 ø34 ø24.8 ø32.2 ø25.2 ø32.2 ø34 ø34 ø32.2 ø32.2 ø39 ø37 ø34 ø34 ø32.2 ø32.2 ø39 ø37

明視野用紫外域補正　対物レンズ 明視野用液晶紫外域補正　対物レンズ M Plan UV LCD Plan UV VMU FS70 VMU FS70 ■特長 ・明視野観察 /紫外観察 /レーザ加工 ■特長 ・明視野観察 /紫外観察 /レーザ加工 ・波長補正　266＆ 550 nm ・波長補正　266＆ 550 nm ・無限遠補正 ・無限遠補正 ・長作動距離 ・長作動距離 ・プラン仕様 ・プラン仕様 ・ ガラス厚　0.7 mm（材質：sio2）を通した観察に適する 補正設計 ※厚み・材質・屈折率に応じた設計製作致します ■外観寸法図 単位：mm ■外観寸法図 単位：mm M Plan UV 10× （作動距離） M Plan UV 50× （作動距離） LCD Plan UV 20×（作動距離） LCD Plan UV 50×（作動距離） 20 12 15.22 12.62 75 83 80 ガラス 82.6 ガラス 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） 5 95.22（同焦距離） 5 95.22（同焦距離） M Plan UV 20× （作動距離） M Plan UV 80× （作動距離） 15 10 ■仕様 開口数 作動距離 焦点距離 対物レンズ単体 実視野 FOV（mm） 質量 80 85 品　名 コード f（mm） 分解能 No. WD（mm） の 焦点深度 NA 5 95（同焦距離） 5 95（同焦距離） （空気換算） f R（µm） ± D.F（. µm） 可視域 紫外域 2/3型カメラ （g） 266 f 550 視野数 ø30 視野数 ø16 （ 縦×横） LCD Plan UV LCD Plan UV 20×（t0.7） 378-892-8 0.37 14.98 10 10.4 0.7 2.0 0.8 0.8 0.33× 0.44 400 ■仕様 LCD Plan UV 50×（t0.7）　 378-893-8 0.41 12.38 4 4.2 0.7 1.6 0.32 0.32 0.13× 0.18 400 焦点距離 ●顕微鏡とYAGレーザを併用し、試料上にマスク像を投影した場合、マスク像の大きさは縮小投影されて f /200（当社チューブレンズ、焦点距離 f＝ 200 mm）倍、すなわち f550＞ f266で 開口数 作動距離 （mm） 分解能 対物レンズ単体 実視野 FOV（mm） 質量 あることから紫外光（波長 266 nm）での加工面積は可視光（波長 550 nm）でのマスク像に比べ若干小さくなります。 品　名 コード f No. の焦点深度 NA WD（mm） ●上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ＝ 0.55 µm）をもとに算出した値になります。 f R（µm） 266 f 5 ± D.F（. µm） 可視域 紫外域 2/3型カメラ （g） 50 視野数 ø30 視野数 ø16 （ 縦×横） M Plan UV M Plan UV 10× 378-844-15 0.25 20.0 20 20.3 1.1 4.4 3 1.6 0.66× 0.88 350 M Plan UV 20× 378-837-8 0.37 15.0 10 10.4 0.7 2.0 1.5 0.8 0.33× 0.44 390 M Plan UV 50× 378-838-8 0.41 12.0 4 4.2 0.7 1.6 0.6 0.32 0.13× 0.18 400 M Plan UV 80× 378-839-5 0.55 10.0 2.5 2.9 0.5 0.9 0.375 0.2 0.08× 0.11 430 ●顕微鏡とYAGレーザを併用し、試料上にマスク像を投影した場合、マスク像の大きさは縮小投影されて f /200（当社チューブレンズ、焦点距離 f＝ 200 mm）倍、すなわち f550＞ f266で あることから紫外光（波長 266 nm）での加工面積は可視光（波長 550 nm）でのマスク像に比べ若干小さくなります。 ●上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ＝ 0.55 µm）をもとに算出した値になります。 33 34 ø34 ø34 ø32.2 ø32.2 ø34 ø34 ø22.7 ø32.2 ø32.2 ø34 ø32.2 ø34 ø32.2

結像（チューブ）レンズ 測定顕微鏡用対物レンズ MT ML ■収差補正範囲 MF Hyper MF MT-1, 2,40 ：可視域（435.8～656.3 nm） MT-L ：近紫外域（355 nm）から近赤外域（1800 nm）まで MT-L4 ：紫外域（266 nm）から可視域（620 nm）まで ■外観寸法図 単位：mm MT-1 MT-2 MT-40 MT-L MT-L4 ■特長 ・明視野測定用 ・波長補正範囲　436～656 nm（基本波長587 nm設計） ø36 ø36 ・有限遠補正（物像間距離280 mm） 3- 3- （ 2. 4 ・長作動距離 12 キ 0 （ 2. 4 ° リ 等 1 配 2 キ 0° リ 等配 中間像位置 ） 中間像位置 ） 中間像位置 中間像位置 中間像位置 ・テレセントリック光学系採用（10×以下） ø21 ø35 ø35 ø33g 6 －0.009 －0.025 ø33g 6 －0.009 －0.025 ■外観寸法図 単位：mm ø30 -0.01 -0.05 ø30 -0.01 ø34 -0.05 半透鏡 半透鏡 （落射照明用） （落射照明用） ML対物レンズ 1× ML対物レンズ 5× ML 20× ML 100× ø35 ø35 対物レンズ 対物レンズ 対物レンズ 対物レンズ 取付け部 取付け部 取付け部 取付け部 （下記参照） 物体側焦点位置 （下記参照） （下記参照） （下記参照） 物体面 物体面 物体面 物体面 物体面 49 61 49 61 90 20 104 6 10 110（作動距離） 10 110（作動距離） 14.5 110 14.1 110 （同焦距離） （同焦距離） （同焦距離） （同焦距離） 物体側焦点位置 物体側焦点位置 物体側焦点位置 物体側焦点位置 ■仕様 ML対物レンズ 3× ML対物レンズ 10× ML 50× コード No. /パーツ No. 品名 焦点距離 射レンズ径 外観寸法 質量 f（mm） 結像倍率 像視野 入 （mm） （mm） （mm） （g） 970208 MT-1 200 1× ø30 ø24.0 ø40× 32.5 43 970209 MT-2 400 2× ø30 ø18.0 ø40× 32.0 42 378-010 MT-40 200 1× ø24 ø11.2 ø34× 27.5 45 33 77 59 51 97 13 378-008 MT-L 200 1× ø24 ø22.0 ø35× 32.0 30 10 　11　0（ 作動距離） 10 110（作動距離） 14.7 110 378-009 MT-L4 200 1× ø24 ø23.0 ø35× 30.6 30 （同焦距離） （同焦距離） （同焦距離） 注：MT-1, MT-2における※寸法 76.5 mmは像視野 ø30を満足する（ケラレがない）寸法であり、像視野 ø24または 2/3型カメラの像視野 ø11で設計されるときは、下記の式（1）（, 2）に ※同焦距離は、設計値となります。 数値を代入して計算すると目的の値が求められます。 対物レンズと結像レンズの配置 ■仕様 VMU・WIDE VMU・FS70は対物レンズと結像（チューブ）レンズで像を作る無限遠補正光学系を採用しています。 開口数 作動距離 実視野 FOV（mm） 質量 品　名 コード 分解能 対物レンズ単体の No. 焦点深度 NA WD（mm） （R µm） 対物レンズと結像レンズ間の光束が平行光線となり、落射照明用ハーフミラーによるゴースト・プリズム・フィルタなどの像位置変化を抑えた ± D.F（. µm） ø24接眼 1/2型 カメラ（ （ 縦×横） g） ML 1× 61.0 9.2 306 24 4.8× 6.4 80 光学系となります。弊社製対物レンズを利用して光学系を設計される際は、上記の結像（チューブ）レンズをお使いください。 375-036-2 0.03 ML 3× 375-037-1 0.09 77.0 3.06 34 8 1.6× 2.1 55 弊社長作動距離対物レンズは結像レンズを指定寸法に配置したとき、像視野を ø30 mm（MT-1/2）, ML 5× 375-034-1 0.13 61.0 2.12 16.3 4.8 0.96× 1.28 75 ø ø24 mm（MT-40/L/L4）までカバーするように設計しております。しかし、独自の照明光学系やその他の 像面 ML 10× 375-039 0.21 51.0 1.31 6.2 2.4 0.48× 0.64 95 光学素子を挿入するため、指定寸法以上でご使用のときは、以下の式でおよその寸法を求められます。 ML 20× 375-051 0.42 20.0 0.65 1.6 1.2 0.24× 0.32 370 ML 50× 375-052 0.55 13.0 0.5 0.9 0.48 0.10× 0.13 390 ø1 ： 対物レンズの射出瞳径〔mm〕 ℓ ML 100× 375-053 0.70 6.0 0.4 0.6 0.24 0.05× 0.06 440 ＝（ø2－ ø1）・f 2/ø〔mm〕 ・・・・・・・・・（1） ø2 ： 結像レンズの入射レンズ径〔mm〕 ●上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ＝ 0.55 µm）をもとに算出した値になります。 ø1 ＝ 2・f・NA〔mm〕 ・・・・・・・・・・・・・・（2） f 2 ： 結像レンズの焦点距離〔mm〕 ø ： 像視野〔mm〕 （例）M Plan Apo 10×とMT-1を像視野 ø24で使用するとき、ℓをどれだけ離してもよいですか？ 結像レンズ f 2 （2）より ø1 ＝ 2× 20× 0.28 ø2 ＝ 11.2〔mm〕 　　※ 26ページの仕様欄よりM Plan Apo 10×の焦点距離 f＝ 20 mm、開口数 NA]＝ 0.28 （1）より ℓ＝（24－ 11.2）×200/24 ＝ 106.6〔mm〕 ø1 対物レンズ f 1 　　 ℓ＝ 106 mm離しても像視野 ø24ではケラレのない像を作ることができます。 　　※上記の仕様欄よりMT-1の入射レンズ径 ø2＝24 mm、焦点距離 f2＝200 mm NA また逆に対物レンズと結像レンズを指定寸法以下でご使用のときは、光学性能に影響はありません。 物体面 なお、その他詳細についてはお問い合わせください。 35 36 95（同焦位置） 76.5 16.4 4.5 28 166.4 240.2 95（同焦位置） 76.5 16.4 2.5 29.5 704.2 240.2 95（同焦位置） 15 12.5 ±1.5 26山36 26山36 JI S B 714 1参照 JIS B 714 1参照 243.31 170 95（同焦位置） 134 M32×0.5 本体 3.5 3.5 取付けリング 25 3 225.8 176.4 95（同焦位置） 134 M32×0.5 本体 3.5 3.5 取付けリング 23.6 3 226.5 176.4 ø30 ø30 ø18 ø16.5 ø25 ø31.5 ø28 ø30 ø30 ø14.5 ø17 ø30 ø25 ø28 ø39 ø39 ø33 ø33 ø39 ø33

心出し顕微鏡用対物レンズ 広視野接眼レンズ CF WF CF MF MF-U Hyper MF Hyper MF-U FS70 ■特長 ・有限遠補正（物像間距離 280 mm） ■特長 ・広視野タイプの接眼レンズ WF ・明視野測定用　 ・外焦式光学系を採用・・・目的に応じた各種レチクル装着可 ・長作動距離　 ■外観寸法図 単位：mm ■外観寸法図 WF 10×/24 WF 20×/12 単位：mm 10 10 アイポイント 中間像位置 アイポイント 中間像位置 CF 1× CF 3× CF 10× 43.9 17 14.6 17 36.3 73.7 32.2 77.8 66 44 （作動距離） （作動距離） （作動距離） 10倍接眼レンズ 20倍接眼レンズ 5 110 5 110 8 110 （同焦距離） （同焦距離） （同焦距離） ■仕様 CF 2× CF 5× コード No. 品 名 倍率 視野数 視度調整 ハイアイポイント レチクル取付け 質量 （g） 378-866 　広視野接眼レンズ WF10×/ 24 10× 24 －10D～＋5D ○ 可 150 18 92 49 61 378-858 　広視野接眼レンズ WF20×/ 12 20× 12 －8D～＋5D － 可 55 （作動距離） （作動距離） ●上記レンズは、２個セット組になります。 12 110 10 110 （同焦距離） （同焦距離） ※同焦距離は、設計値となります。 ■仕様 レチクル 開口数 作動距離 分解能 対物レンズ単体の 実視野 FOV（mm） 質量 品 名 コード No. 焦点深度 NA WD（mm） R（µm） 1/2型 ± D.F（. µm） ø24接眼 カメラ（縦×横） （ g） CF 1× 375-031 0.03 73.7 9.2 306 24 4.8× 6.4 45 ■特長 ・接眼レンズ（中間像位置）に挿入し、簡易的に寸法測定が可能・・・No.378-866・378-857・378-858で対応 CF 2× 375-032 0.06 92.0 4.6 76 12 2.4× 3.2 35 ・レチクル線幅 10 µm・・・No.516576のみ 7 µm CF 3× 375-033 0.07 77.8 3.9 56 8 1.6× 2.1 35 ・外径 ø25 mm、厚さ 1 mm CF 5× 375-034-1 0.13 61.0 2.12 16.3 4.8 0.96× 1.28 75 CF 10× 375-035 0.18 44.0 1.5 8 2.4 0.48× 0.64 100 ●上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ＝ 0.55 µm）をもとに算出した値になります。 ■外観寸法図 No.516848 No.516576 No.516578 No.516577 No.516849 No.516850 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 ■仕様 コード No. 516848 516576 516578 516577 516849 516850 仕 様 90°実線 90°、 字線付同心円 十字線付目盛線 目盛線 目盛線 60°鎖線 十 (P＝ø1.2/ø1.2～18 mm) (P＝0.1/20 mm) (P＝0.1/10 mm) (P＝0.05/5 mm) 37 38 ø30 ø30 ø22 ø26 ø25 ø25 ø30 ø17 ø30 ø25 ø25 ø28 ø30 ø25 ø41.4 WF 10×/24 ø30 ø38 ø32 WF 20×/12 ø30 ø38