2022年12月14日発行のFA・自動化の専門メディア「オートメーション新聞」PDF版です。

２０２２年（令和４年） 12 14 第311号（水曜日発行） Automation News 発行所：©ものづくり.jp株式会社　〒231-0062　神奈川県横浜市中区桜木町1-101-1　クロスゲート7階　TEL：050-3503-9311 とらに川シはク　 げ期０スー　 見２研　 出移２県ョ、トフ 神 が）２・カＦ 需要分野別の業況判断DI 通３究日 荷転０川ン「（エ 、の２コーＡ フ し年所本 た長業２実　 体す２崎セデ横ニ 過グ年ンの・ 売 」のが政 設 めいを１際２ 制る３市ンィ浜ッ 奈 去ロ度タ独Ｐ エ に中公策 る目は年は０ 日 の。年かタス市ク 最ー（ク・Ａ よ小表金 備 １でじ・原２ 好 迅在１らート港ス 川 高バ22トフ制 ニ る企し融 投 年みめ22材３ 速庫月同」リ ・ のル 社エ御 と業た公 にる設年料年 燃原 本 化の20大をビ北コ 35売年はニ機 が拡日和神ュ区ン ・ 大 億り12、ッ器 ッ 、の「庫 なと備に価は 中景２総 る右投比格コ 公 狙充か市奈ー）タ ８上月２クメ 過上 小況０合 資 。肩資べやロ 油材景 和 上やて燃ナ １　て出をた　い ％億たな億０ 去 ク ６悪の企 自 が自低料禍 高料 庫 月ない庫導セ特。 増５。る円０ ・化業業 り動成コも ６おる作入ミに 加０前こ：０ ス ３、況に の化長スだ 総 日、。業しオ人 市 し０年と１万 最 ・ か実判お 動 成、にトい 騰や気 〜移 のてーと に た０度をユーロユーロ コ ら績断け 長デとのぶ 20転 実、ト機 こ万売明１（ 23）Ｄる 路ジど高収 研 日に 現効メ械 とユーロり ４約 年はＩ２ 車 線タま騰ま 「 ま伴 を率ーを 移 にか上ら３５ 高ン は、（０ にルりなっ でい 目的シ連 ならげか転 円１ ５ 22改２ あ化そどて 23 落 出 指なョ携 る約のに）０ 高 ・年善３ 、 り、う不景 解 2023 荷年 し入ンし 。20 29しに０ 36 タ ３の―年 食 、電だ安気 ０林―大ョ　・ ーデ 　績を％ど独 前 ク ひ化。要回 シ ３かでに とへし素復 年 ０間１和ン新受 ィ 同を示前、、 ト 業況判断（前年比） 品 とら大低 は まのかはが 決 ８４　市セデけ ョ 社拡し後主欧 良大き下 ず需し解期 ち ス 中 ）階Ｓ中ンィ入 ント は大ての要州 年億 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（3）　　　２０２２年（令和４年）１２月１４日 FA業界掲示板 ■オ ムロン、FAクイックチャット利用者限 ーエレJAPANでは「安全・安心」「電動 規格・認証のポイントとは？～」の見逃し配 　立花エレテックは、12月22日にオンライン 定プレゼントキャンペーン 化」「開発環境」をテーマとし、最適な半導 信を12月23日まで実施する。 セミナー「これは必見！　生まれ変わったル 　オムロンは、有人チャットで技術相談がで 体・デバイスに、技術ノウハウ・ソフトウエ 　日本の機械や装置は世界中からニーズが高 ネサス、幅広いポートフォリオのソリューシ きる技術相談サービス「オムロンFAクイッ アを組み合わせて提案する。 いが、そのまま輸出できるわけではなく、現 ョン提案！～ルネサス製品を組み合わせたウ クチャット」について、利用者限定でプレゼ 地の規格や認証に合わせる必要がある。それ ィニングコンビネーションの提案から大好評 ントキャンペーンを実施している。応募者の セミナー・イベント情報 に対して北米向けのアプリケーションと電源 無線対応センサ導入ツール　EGNA-B（え なかから総勢500人に、オリジナルステンレ グサイトで行われる「スマート工場EXPO」 ラインに着目し、北米向けに知見のある機器 ～がなB）まで～」を開催する。 スボトルをプレゼントする。対象期間は、第 に出展する（ブースにし2ホール61-1）。 ■フ エニックス・コンタクト、WEBセミナ ・盤の3メーカーと、ゲストとして安全評価 　ルネサスの組み込みシステム用デバイス、 1弾は12月5日から2023年2月28日まで、第2弾 　「i³-Mechatronicsによるスマートなもの ー見逃し配信「北米向け生産設備の「安 機関を迎え、意外と知られていない規格や認 アナログ、電源、コネクティビティ製品等の が2023年3月1日から5月31日まで。 づくりの実現～データ活用による製造現場の 心」電源ライン」 証のポイントと最適なソリューションを紹介 幅広い製品ポートフォリオを活用したソリュ ■ ECADソリューションズ、ECAD DCXによ DX～」をテーマに、製造業で求められている 　フエニックス・コンタクトと富士電機機器 する。 ーション提案をわかりやすく紹介。設計検証 るタカシマエンジニアリング（山形市）の 様々な経営課題に対して、「i³-Mechatronics」 制御、布目電機は、11月29日に3社合同で実 ■立 花エレテック、12月22日オンラインセミ 済のため、設計の加速、製品開発サイクルの 業務効率化事例を掲載 コンセプトのもと、ITとOTを連携させた生 施したWEBセミナー「北米向け生産設備の ナー「ルネサス製品群を活用したソリュー 短縮に貢献し、製品市場投入におけるリスク 　ECADソリューションズは、ECAD DCX 産ラインの構築を紹介する。 「安心」電源ライン～意外と知られていない ション」 の軽減をサポートする。 を使ったタカシマエンジニアリング（山形 　メイン展示では「i³-Mechatronicsを具現 市）の業務効率化事例を掲載した。 化した生産セル」を展示し、データをリアル シリーズ」、ターミナルリレー「G6B-4シリ 　推奨代替品は、「NB5Q-TW01B-V1（」2023 　同社は、高低圧配電盤・自動制御盤・キュ タイムで分析し、生産現場へフィードバック 生産終了 ーズ」、パワーリレー「G7Jシリーズ」、パワー 年3月発売予定）、「NB3Q-TW01B-V1（」2023 ービクル設計および製造、販売まで手掛け、 するOTとITの連携を実現し、安川電機コン リレー「G7Xシリーズ」、パワーリレー「G7Zシ 年3月発売予定）。 ECAD DCXを導入し業務効率化を進めた。 ポーネント統合による生産セルを紹介。この ■ エニイワイヤ、省配線システム「AnyWire リーズ」、小形パワーリレー「MKシリーズ」、 ■ オムロン、2023年11月でプログラマブルタ インタビューでは、部品マスタを構築するコ ほかAIとロボットの連携により人手で行っ ASLINK system」の8型式を生産中止 パワーリレー「MMシリーズ」、ラッチング ーミナル「NV3W-M□□0(L)-V1」生産終了 ツやキャビスタ連携について触れており、製 ていた検査工程・不良品除去作業の自動化、 　エニイワイヤは、省配線システム「Any リレー「G7Kシリーズ」、ラッチングリレー 　オムロンは、2023年11月でプログラマブル 造業の現場でモノ不足が深刻な今の時代なら カメラやセンサーのデータを取り込み、ロボ WireASLINK system」の8型式を生産中止 「MMKシリーズ」、ミニパワーリレー「MYK ターミナル「NV3W-M□□0(L)-V1」を生産 ではの、ECADの強みも紹介している。 ットを自律的に稼働する製造ライン構築など する。対象となるのは、BM-K1117G-S04-1K、 シリーズ」、セーフティリレー「G7Sシリー 終了する。最終受注は2023年11月末、最終出 ■横 河電機と石油化学、素材、鉄鋼メーカー を出品する。 BM-K1117G-S05-1K、BM-K1117G-M04-1K、 ズ」、セーフティリレー「G7SAシリーズ」、バ 荷は2024年1月末、修理対応終了は2028年11 など10社、カーボンニュートラルなコンビ ■福 西電機、1月25日～東京ビッグサイト BM-K1117G-M05-1K、BM-K1117G-S04- イパワーリレー「LYシリーズ」、I/Oリレータ 月末。 ナート共同検討 「インターネプコン」出展 3012、BM-K1117G-S05-3012、BM-K1117G-M ーミナル「G7TCシリーズ」、リレー回路ユニ 　推奨代替品は、プログラマブルターミナル 　横河電機と岩谷産業、宇部マテリアルズ、 04-3012、BM-K1117G-M05-3012。受注締切 ット「MYAシリーズ」、I/Oリレー「P7T(F)シ 「NB3Q-TW01B-V1（」2023年3月発売予 ＫＨネオケム、コスモ石油、ＪＦＥスチー 日は2023年3月31日、生産中止日は2023年4月 リーズ」、共用ソケット「PYシリーズ」。最終受 定）。 ル、ＪＮＣ、デンカ、丸善石油化学、ＵＢＥ 30日。 注は2023年12月末、最終出荷は2024年3月末。 ■ オムロン、2023年12月で変位センサ「Z4W- エラストマーら10社は、千葉県市原市五井地 ■相 原電機、トランス標準品の一部を2022年 　推奨代替品はなし。 V25Rシリーズ」生産終了 区と千葉市蘇我地区のコンビナートにおける 12月28日で生産・販売終了 ■オ ムロン、2023年12月で変位センサ「Z4W- 　オムロンは、2023年12月で変位センサ カーボンニュートラルの実現に向けた共同検 　相原電機は、トランス標準品の一部を、12 V25Rシリーズ」生産終了 「Z4W-V25Rシリーズ」を生産終了する。最 討を実施する。 月28日の注文を最終締め切りとして生産・販 　オムロンは、2023年12月で変位センサ 終受注は2023年12月末、最終出荷は2024年3 　同地区は国内最大規模の素材・エネルギー 売を中止する（指定納期については2023年2 「Z4W-V25Rシリーズ」を生産終了する。最 月末。 産業の集積地である京葉臨海コンビナートの 　福西電機は、2023年1月25日から27日にか 月28日まで）。 終受注は2023年12月末、最終出荷は2024年3 　推奨代替品は変位センサ「ZX1-LD50A61 一部。共同検討では、①CO2排出を最小化す けて東京ビッグサイトで行われる「インター 　生産中止対象機種は4YSB、8YSB、CA、 月末。 シリーズ」。 る産業間連携エネルギーマネジメントシステ ネプコンジャパン」に出展する（ブース東2 FB、FR、N38A、N42A、NSR、NYS18、 　推奨代替品は変位センサ「ZX1-LD50A61 ■オ ムロン、2023年12月で圧力センサ／流量 ムの導入、②産業間連携によるCO2回収と有 ホール14-18)。 NYS19、NYS21、SD、SLA、SW、UP、 シリーズ」。 センサ「E8FC-25シリーズ」ほか生産終了 効活用、③既存プロセスからの水素などを含 　産機営業本部FAソリューション事業が取 WTの各シリーズの一部型式。 ■ オムロン、2023年6月に多軸モーションコ 　オムロンは、圧力センサ／流量センサ む副生ガスを産業間連携で活用することによ り扱う4分野の製品・技術を展示し、コント 　代替品は、必要な仕様を確認の上、標準品 ントローラ「3-3766C□-201□-□00000」 「E8FC-25シリーズ」「E8PC-010シリー るCO2排出量の削減に取り組み、2030年頃ま ローラではアドバンテック等の産業用PC、 代替え又は特注品製作の提案を行う。 生産終了 ズ」「E8PC-100シリーズ」「E8PC-400シリ でに事業化の検討、2050年の同地区コンビナ パネルコンピュータ、IoTゲートウェイ、ネ ■C KD日機電装、2024年10月末でサーボド 　オムロンは、2023年6月に多軸モーション ーズ」を生産終了する。最終受注は2023年12 ートのカーボンニュートラル実現に必要な施 ットワーク・セキュリティではフエニックス ライバVCⅡシリーズ生産終了 コントローラ「3-3766C□-201□-□00000」 月末、最終出荷は2024年3月末。 策を検討する。 ・コンタクトやMOXA等の産業用ネットワ 　CKD日機電装は、2024年10月末でサーボ を生産終了する。最終受注は2023年6月末、 　推奨代替品は、「E8FC-25Sシリーズ」 ■コ ンテック、価格改定　2023年2月1日受注 ーク周辺機器・ネットワークセキュリティ、 ドライバVCⅡシリーズ「NCR-DD*-*型」 最終出荷は2023年12月末、修理対応終了は 「E8PC-010Sシリーズ」「E8PC-100Sシリ 分から約15%値上げ 「フィールドバス」ではRFID HF帯/LF帯 「NCR-CD*-*型」の生産を終了する。受注 2030年12月末。 ーズ」「E8PC-400Sシリーズ」。 　コンテックは、2023年2月1日受注分から価 リーダー、「ビジョン・AI」では異常検知 受付終了は2024年1月末。 　推奨代替品は「3-3766C□-201□-□00000 ■ オムロン、2023年12月で超音波センサ 格改定を行う。一部製品を除く全製品を対象 AI、AI画像解析、制御用AI、スマートカメ 　推奨代替品はサーボドライバVPHシリー 3-4112A□U-□□0-B00000」または「3- 「E4E2-TS50C2 2M」生産終了 とし、約15％の値上げとなる。 ラなどを出品する。 ズ。 4241BEU-□□□-B00000」 　オムロンは、2023年12月で超音波センサ ■日 東工業、リニモラッピング車両「ソーラ ■菱 電商事、1月25日～東京ビッグサイト ■ NKKスイッチズ、ディップスライドスイ ■オ ムロン、2023年6月に多軸モーションコ 「E4E2-TS50C2 2M」生産終了する。最終受注 イオン号」動画公開 「スマート工場EXPO」と「カーエレ ッチJS04シリーズ生産中止 ントローラ「Turbo PMAC2 Ethernet は2023年12月末、最終出荷は2023年12月末。 　日東工業は、藤が丘駅（名古屋市）から八 JAPAN」同時出展 　NKKスイッチズは、ディップスライドス Ultraliteシリーズ」生産終了 　推奨代替品は、超音波センサ、ファイバセ 草駅（豊田市）までを結ぶ日本初の磁気浮上 　菱電商事は、2023年1月25日から東京ビッ イッチ「JS04シリーズ」標準品全機種を生 　オムロンは、2023年6月に多軸モーション ンサ「E4E2-TS50C2 2M E4E2-TS50C1 2M」 式鉄道（リニアモーターカー）について、同 グサイトで開催される「スマート工場EXPO」 産中止する。受注停止は2023年6月30日、販 コントローラ「Turbo PMAC2 Ethernet または「E3X-ZV11 2M（ファイバアンプ）」 社のイメージキャラクターのソーライオンが と「カーエレJAPAN（国際カーエレクトロ 売中止は2023年12月31日。代替品はなし。 Ultraliteシリーズ」生産終了する。最終受注 ＋「E32-LR11NP 2M（ファイバユニット）」 全面に描かれたラッピング車両「ソーライオ ニクス技術展）」に2展同時出展する。（スマー ■ オムロン、2023年12月でリレー、接続・省 は2023年6月末、最終出荷は2023年12月末、 ＋「E39-RP1（反射板）」。 ン号」の動画を公開した。車両の中には毎年 ト工場EXPO西63-16、カーエレJAPAN東42- 配線機器、共用ソケットなどの特殊品22商 修理対応終了は2030年12月末。 ■オ ムロン、2023年12月で画像センサ「3Z4S- 工場見学を実施している、長久手市の小学生 42） 品生産終了 　推奨代替品はなし。 LTIDGB-50M2-L01-L」など生産終了 が描いた「日東工業の紹介ポスター」を掲示 　「ヒト×技術のRYODENがカタチにする 　オムロン、2023年12月でリレー、接続・省 ■オ ムロン、2023年6月でプログラマブルタ 　オムロンは、2023年で画像センサ「3Z4S- している。 サステナブルな社会」をコンセプトに、「環 配線機器、共用ソケットなどカタログ未掲載 ーミナル「NV4W-M□□1」「NV3Q-□□ LT IDGB-50M2-L01-L」「3Z4S-LT IDGB- 境・安心・安全」でサステナブルな社会の実 の特殊品22商品の生産を終了する。対象はソ □1」生産終了 150M4-L01-L」を生産終了する。最終受注 展示会出展 現に貢献する技術を紹介する。スマート工場 リッドステートリレー「G3PAシリーズ」、CT 　オムロンは、2023年6月でプログラマブル は2023年12月末、最終出荷は2024年1月末、 EXPOは「環境・脱炭素・省エネ」「自動化 内蔵ソリッドステートリレー「G3PFシリー ターミナル「NV4W-M□□1」「NV3Q-□ 修理対応終了は2024年1月末。 ■安 川電機、2023年1月25日～東京ビッグサ ・省人化」「AI・DX」をテーマとし、省人 ズ」、単相電力調整器「G3PWシリーズ」、 □□1」を生産終了する。最終受注は2023年6 　推奨代替品は、「FLV-ATC21024」また イト「スマート工場EXPO」に出展 省力のロボットをはじめ、データ活用ソリュ ラチェットリレー「G4Qシリーズ」、パワーリ 月末、最終出荷は2023年8月末、修理対応終 は「FLV-TCC4」、「FLV-ATC41024」ま 　安川電機は、2023年1月25日から東京ビッ ーションなどの付加価値システムを提案。カ レー「G2Rシリーズ」、ミニパワーリレー「MY 了は2028年6月末。 たは「FLV-TCC4」。 ●

２０２２年（令和４年）１２月１４日　　　（4） セミコン・ジャパン2022 主要FA企業ブース・展示内容紹介　東１・２ホール ■THK（ブース：1004） 　ウエハマッピングセンサ「ASW-SGシリーズ」は、 ■ハイウィン（ブース：1915） 線自動検査装置（AXI）や、光学自動検査装置（AOI） 　THKの出品する高機能非磁性製品は、磁気をほとん SiCウエハ・サファイアウエハ・シリコンウエハ・半透 　ハイウィンは、半導体製造装 を紹介する。 ど帯びない特殊合金「THK-NM1」を使用した製品 明ウエハなどを安定検出でき、超音波センサ「USAシ 置で活躍するDDモーター搭載の ■日本トムソン（ブース：2305） で、。磁気をほとんど帯びない「高水準の非磁性」で半 リーズ」はティーチング機能を装備したアンプ内蔵形と ウエハ搬送ロボットや、協働ロ 　日本トムソンは、 導体製造装置に適し、優れた「耐荷重性」と「耐食性」 なる。エッジ検出用超音波センサ「US-U30AN」はコ ボットにもすぐ使える電動グリ 潤滑部品Cルーブを を持っている。またピック＆プレース用に最適化された ントローラレスで面倒な設定は不要で使え、パッシブ式 ッパ―などを展示。このほか電 内蔵し、長期メンテ ロボット「PPR」は、駆動・センサ・電磁弁・制御モ カラーセンサ「CS-R85/CST-R85」はLEDを分光検出 子半導体・LEDや小型パネル産 ナンスフリーを実現 ジュールがオールインワン。電子部品のような小さく壊 直流点灯からパルス点灯までの光源に対応している。 業での搬送に最適な搬送ロボッ し、滑らかな走行が れやすい製品を素早く優しく運ぶことができる。 ■アイエイアイ（ブース：1630） トや、ピックアンドプレース・ でき、地球環境に貢 ■ソニーセミコンダクタソリューションズ 　アイエイアイは、「簡単」で好評のエレシリンダーの 梱包・整列・組立・樹脂塗布・ 献する「Cルーブ・ 　（ブース：1042） 新ラインナップをはじめ、多彩なアプリケーションデモ 段積み・測定検査などに適した メンテナンスフリー 　ソニーセミコンダクタソリューションズは、多種多様 機を展示する。 スカラロボット、厚さ22㍉の業 シリーズ」を中心 なイメージセンサーの半導体製造における活用事例を紹 　エレシリンダーは、2点位置決めに特化し「簡単」を 界最薄クラスのDDモーターシリ に、ニードルベアリング、直動案内機器およびメカトロ 介する。SWIRイメージセンサーIMX990を用いたデモ 極めた電動シリンダー。A（加速度）V（速度）D（減 ーズ」などを展示する。 の各種製品に加え新製品も出展する。 ンストレーションを実機で確認できる。 速度）を個別に数値で入力できるため、きめ細やかな設 ■日本ベーカーヒューズ（ブース：2134） ■三菱電機（ブース：2505） 　IMX990/IMX991は、ソニー独自の技術SenSWIR 定が可能。ロボシリンダーは、ボールねじ、リニアガイ 　日本ベーカーヒューズ（旧GE）は、ドラック事業本 　三菱電機は、半導体で使用されるSiC等の素材を多数 （センスワイア）でこれまで困難でだった多画素化やセ ド、モーターを装着した高性能電動シリンダー。多点位 部からはDruckの半導体用の圧力ソリューションを提案 枚同時にスライス加工できる放電加工技術を開発。スラ ンサーサイズの小型化を実現。可視光からSWIRまでの 置決めや、加速度、速度制御など高い性能を備えてい し、製造装置、サブシステムの圧力制御用のセンサー、 イス技術搭載のマルチワイヤ放電加工機「DS1000」を 幅広い帯域での撮像を可能にした。 る。次世代コントローラーRCONは、小型化を実現し 圧力検査用の校正器を展示する。パナメトリクス事業本 展示し、半導体業界のおける高硬度材スライス加工の生 ■日本航空電子工業（ブース：1239） た新型コントローラー。7種類ものフィールドネットワ 部からは、半導体工場で多数実績がある分析計を提案す 産性向上と素材の有効活用をご提案する。 　日本航空電子は、静電容量計測技術とフレキシブルエ ークに対応している。 る。マルチチャンネルタイプの微量水分および微量酸素 レクトロニクスを融合した高精度で安価な水位計と高速 ■長野計器（ブース：1712） を連続測定可能な分析計およびトランスミッタ型の電気 ・大容量の無線通信を高品質で実現するアンテナを展示 　長野計器は、セミコンジャパン2022で圧力センサを出 化学式酸素計を出品する。 する。 品する。 ■日本ベアリング（ブース：2209） ■コグネックス（ブース：1510） 　半導体産業用圧力センサ 　日本ベアリングは、高精度/高加減速直線運動に最適 　コグネックスは、半導体・電子部品の製造現場で活用 「ZT11」は、蒸着形半導体 なクロスローラースライドウェイ、ロボットアーム等さ できる各種ソリューションを紹介する。 歪ゲージを用いた半導体用圧 まざまな搬送部に使用されるボールスプライン等、半導 　ディープラーニ 力センサ。安全増防爆構造品 体製造装置に欠かせない機構を出展する。 ング画像センサ をラインアップし、機器使用 　スライドウェイ「NV形」はローラースリップ問題を 「In-Sight2800」 時の安全性を更に向上してい 解決し、ボールスプラインはバリエーション豊富に揃え は、従来の画像処 る 。 高 温 用 圧 力 セ ン サ ている。 理技術とディープ 「ZT17」は、200℃までの計 ■タキゲン製造（ブース：2232） ラーニング技術を 測に対応し、半導体製造プロ 　産業用金物のタキゲン製造は、SEMIS8のSEMI規格 両立させた、シン セスの高温用途に対応した圧 準拠品をメインに、半導体製造装置の筐体にマッチする プルかつパワフル 力センサとなっている。 ホワイト取手などを出展。その他、密閉を必要とする扉 　このほかワイヤ・レーザ金属3Dプリンタ「AZ600」、 な画像センサ。いま使っているPCで、ステップ方式で ■イートン・エレクトリック・ジャパン 用の大型ハンドルや低発塵蝶番などパーティクル対策 電子ビーム金属3Dプリンタ「EZ300」、「電子ビーム 誰でもカンタンにディープラーニングを活用可能。従来 　（ブース：1926） 品、超重量用アジャスターも提案する。 加工機」等を出品する。 の画像センサと同じ感覚で使うことができる。 　イートン・エレクトリック・ジャパンは、一本のフラ ■芝浦エレテック（ブース：2609） 　「In-Sight D900」は、ディープラーニングアプリケ ットケーブルでPLC又は各種ゲートウェイと制御機器 　芝浦エレテックは、生産設備のリアルタイムの状況を ーションを実行するために設計されたIn-Sight ViDiソ を接続することで、シンプルな制御盤配線を実現する 把握できる「モニタリングサービスツール（キノシステ フトウェアを採用したスマートカメラ。 IoTソリューション省配線システム「SmartWire-DT」 ム）」を出展。「その場で改善ポイントがみつかる」 　VisionProディープラーニングは、製造業のために特 を中心に、多様な制御・操作・保護製品を組み合わせ 「取付簡単で効果を実感できる」「フレキシブルなカス 別に設計されたクラス最高のディープラーニング画像処 て、コストダウン&リアルタイムリモート監視を簡単に タマイズ」が特長で、故障の予知、メンテサイクルの最 理ソフトウエア。ディープラーニングテクノロジと 可能とする次世代半導体装置制御盤を紹介する。 適化で生産設備の稼働と生産性が向上できる。 VisionProソフトウエアを組み合わせ、従来のマシンビ 　また従来のMFCの機能・性能を大幅に改善・向上さ ジョンシステムでは難しく、面倒で、高価になりがちな せた「ガスフローコントローラ」を出展する。キャリブ 複雑なアプリケーションに対応可能。 レーション不要・0点ズレの解消・外圧力変動影響小 ■竹中電子工業・竹中オプトニック・竹中システム機器 で、極小流量制御が可能。リアルタイムモニタリング機 　（ブース：1527） 能で内部情報のリアルタイムモニタリング、情報アウト 　竹中電子工業と竹中オプトニック、竹中システム機器 プット、常時リークチェック、自己診断機能も可能。 は、竹中センサーグループ3社で出展する。 ■アズビル（ブース：2802） 　光放射防爆構造 　アズビルは、 （IEC60079-11） ■ソニック（ブース：2234） 「デポ課題を解 に適合した光電子 　超音波技術を核とした超音波計測の専門メーカーのソ 決。成膜・エッチ センサやファイバ ニックは、レジスト塗布装置やエッチング装置、洗浄装 ャプロセスの進化 センサなどの本質 置等の特に半導体製造装置における微少流量計測に最適 に貢献」をテーマ 安全防爆機器や、 な超音波流量計や、工場内ユーティリティー、環境計測 に新たな価値を紹 FOUP内のウエハ に関わる液体クランプオン流量計や気体流量計を展示。 介する。 を一括検出するウ 　SmartWire-DTは「簡単な設置・増設」、「配線コ クリーンルームなどの室内の気流を可視化する3次元超 　高速応答・低圧 エハマッピングセ ストを最大85%削減」、「ライフサイクル全体で30%の 音波風向風速計も展示する。 損・高精度なデジ ンサ、フィルムの巻き径制御やエッジコントロールに最 時間短縮」、「機器の稼働データを読取」、「通信」な ■オムロン（ブース：2455） タルマスフローコントローラ「形F4Q」をはじめ、高い 適な超音波センサなどを展示する。 ど、簡易にIoTが実現可能になる製品。 　オムロン検査システム事業部は、グローバルで自動検 計測性能、使いやすさを実現した熱式微小液体流量計 　バリヤファイバセンサ「XF12R-Aシリーズ」は、光 　またEtherCAT通信アプリケーション、easyE4のモ 査装置（SPI、AOI、AVI、AXI）を提供する専任部 「形F7M」、アンプ内蔵漏液スイッチ「形HPQ-D□ 放射防爆構造（IEC60079-11）に適合したファイバセン ニタリング方法、Push-in構造対応製品の体験などその 門。3D実装に必要な実装技術にさまざまな検査装置を □」、パイプ取付け液面ファイバユニット「形 サ。防爆エリアで最高水準の安全を提供する。 他多数の実機を展示する。 提供しており、ブースでは3D-CT（CTスキャン型）X HPF-T032□/HPF-T034□」等を出品する。 ●

（5）　　　２０２２年（令和４年）１２月１４日 セミコン・ジャパン2022 主要FA企業ブース・展示内容紹介　東３・４・５ホール ■フエスト（ブース：3104） に」をスローガンに、国内の半導体製造装置メーカーに ■マイクロモジュールテクノロジー（ブース：3949） ルのリークディテクターをはじめ、各種真空装置の残留 　フエスト（FESTO）は、オリジ おいて、数多く採用されている産業用パソコンとその電 　マイクロモジュールテクノロジーは、得意とする微細 ガス分析、半導体各種プロセスPVD・CVD・ETCHプ ナル技術のピエゾ素子を使った精密 源、注目のSiemens Industrial Edge、リアルタイムPC 接合実装工法や各種小型半導体モジュールを紹介。新た ロセス対応の先進モデルをラインアップした質量ガス分 流量/圧力比例制御バルブや、N2パ 制御を行うソフト にリリースしたセンサモジュールや小型カメラモジュー 析計、5MHz、6MHzのラインアップはもちろん、さま ージに特化した低コストのマスフロ ウ ェ ア P L C 、 ルを展示する ざまな環境にマッチした膜厚計（水晶振動子）、限られ ーコントローラ―（MFC）、従来 SEMI安全規格に ■横河ソリューションサービス（ブース：4024） たスペースに小型な真空計や急激な圧力変動を捉える高 のエアシリンダの概念を覆す速度可 対応するために必 　横河ソリューションサービスは、『新たな〝あたりま 速応答性隔膜真空計、EtherCAT対応真空計等を出品す 変制御で動くエアピンリフター、カ 要な安全PLC、高 え〟を生みだせ』をテーマに、ミニマルファブを活用し る。 ーボンニュートラルに貢献する省エ いセキュリティー た超短TATの試作事例を中心に、YOKOGAWAの光フ ■浜松ホトニクス（ブース：5113） ネ製品、サービスを紹介する。 を確保するための ァイバ温度センサ（DTSX）による火災検知・予防や半 　浜松ホトニクスは、微細パーティクル/微細欠陥検出 　また技能五輪全国大会および ネットワーク製品 導体製造における半導製造工場における装置自動化やオ とプロセスのリアルタイムモニタリングに困っているユ WorldSkillsメカトロニクス職種公式競技機材として使 群などを展示す ンライン化に関する情報DXソリューション群を展示す ーザーに対する解決策を提案する。 用されているMPSステーションなども展示する。 る。 る。 ■イルメジャパン（ブース：3346） 　Siemens Industrial Edgeは、生産機械と製造現場の ■安川電機（ブース：4236） 　イルメジャパンは、世界標準の角型コネクタの最新技 ための、柔軟なエッジソリューションで、IoT・アプリ 　安川電機は、「半導体製造のそばに～ウェハ・基板搬 術から電気制御システムの設計・生産・保守の各工程の 等の様々な技術を製造現場に落とし込み、クラウドをほ 送を支えるYASKAWA～」をメインテーマとし、前工 効率化につながるecoデザインコンセプトを展示する。 とんど使わずに、オンプレミスでデータ蓄積、解析、ア 程の微細化・多層化だけでなく、半導体パッケージの進 　角型コネクタは、世界各国の電気規格に対応し、信頼 ウトプットなどをほぼ遅延なしで実行できる。 化に伴う後工程の変化にも対応する最適なソリューショ 性の高さが特長。大電流からネットワークまで、あらゆ 　産業用パソコンは、PCベースのオートメーションに ンを紹介する。 る電気信号を一つのコネクタに集約することで、設備の 対応する柔軟性の高い汎用的なソリューションで、特に 生産性・保守性の向上に貢献する。「AXYRテクノロジ 　BOX　PCは、超小型、エッジコンピューティングゲ ー」は、従来の産業用コネクタの多くは専用工具やハン ートウェイに適している。また24Vなどの出力電圧に対 ダ加工を必要としていたのに対し、新開発のAXYRテク 応した電源装置SITOPは世界で採用されている。 ノロジーは高密度にも関わらず工具不要の画期的なテク 　PLCでは、リアルタイムPC制御を行うソフトウェア ノロジーとなる。 PLCや、SEMI安全規格に対応するために必要な安全 　微細パーティクル/微細欠陥検出に困っているユーザ 　「ecoデザインコンセプト」は、必要な機能を”えら PLCなど半導体製造にお役に立つPLCをそろえている。 ーには、レーザ励起プラズマ光源・InGaAsカメラを提 んで、つなげるだけ”で設計が完了する制御盤の画期的 　生産およびMES/ERPレベルからクラウドソリューシ 案する。プロセスのリアルタイムモニタリングに困って なモジュラー制御システムコンセプト。大きく進化し、 ョンまでのデータを垂直統合するSIMATIC　SCADA いるユーザーに対しても、膜厚計・プラズマプロセスモ モーションやセンサといった機構部品もモジュールとし システムは、現在の課題だけでなく将来的な課題にも対 ニタを提案。 て統合。生産システムの構想がそのまま設計データとな 応できるソリューションを提供する。 ■ハイデンハイン（ブース：5125） る。 ■ワイテック（ブース：3834） 　ハイデンハインは、半導体製造に適した高精度位置決 ■日立造船（ブース：3406） 　ワイテックは、極限環境技術に関するソリューション め技術を出品する。 　日立造船は、薄型全固体電池AS-LiB、EtherCATボ を提供し、ブースでは、真空電気接続部品、光ファイバ 　半導体製造・検査装置向けソリューションとして、 ード、HiTaCaフィルムヒータを出展する。 ーを含む真空光学部品、真空アルミニウム技術関連を含 Multi-DOF多自由度測定技術：LIP6000Dplusおよび 　全固体リチ む特殊な配管部品、酸化物セラミックおよび酸化物単結 　ダイレクトドライブモータを採用し、高精度で振動や GAP1081、リニアエンコーダ：LIC3000シリーズ、 ウムイオン電 晶部品、コンポーネントなどを紹介する。 ごみを出さない最新のウエハ搬送用クリーンロボット MC15シリーズ、LIKgoシリーズ、LIKselectシリー 池 A S - L i B ■堀場製作所（ブース：4608） SEMISTAR-GEKKO、またACサーボドライブΣ-Ⅹシ ズ、角度エンコーダ：ERP1000シリーズ、ERO2000シ は、安全性が 　堀場製作所（HORIBA）は、ブースでは各工程にお リーズやYRM-Ⅹコントローラを始めとした豊富な製品 リーズ、MCR15シリーズなどを紹介する。 高く、高温・ けるユーザーの要望・課題、例えば流体制御での「ガス ラインアップで、半導体製造の生産性向上や「止まらな ■東京計装（ブース：5241） 低温や真空環 流量制御によ い設備・工場」の実現を提案する。 　東京計装は、最先端の半導体製造プロセスに対応した 境でも使用で る装置間のば ■テムテック研究所（ブース：4534） 高性能流量計からユーティリティ用流量計まで、幅広い きる全固体電 らつきを削減 　アズビルグループのテムテック研究所は、圧力センサ 用途に対応した各種流量計測・制御機器を紹介する。 池で、ブース し、歩留まり をはじめ、これまで手掛けてきた現場のニーズ／現場の ではJAXAと を向上させた 課題と向き合った開発品とモニタリング、コントロー 共同で開発し い」、薬液濃 ル、検査等、さまざまな用途向けの製品群を展示する。 た全固体電池 度モニタリン ■CKD（ブース：4708） 軌道上実証装置（Space AS-LiB）の模型の展示も予定 グ に お け る 　CKDは、「最先端ナノプロセスの未来を切り拓く」 している。 「薬液に接液 をコンセプトに、最先端プロセスニーズに対応した製品 ■グローブテック（ブース：3513） す る こ と な を一挙展示する。 　グローブテックは、数千Aを超える大電流コネクタは く、非接触で 　半導体・液晶などの電子デバイス産業は進化し続けて もちろん、真空用コネクタ、高温用耐熱コネクタ、大電 安全にコンタ おり、製造環境、製造装置、使用機器全てにクリーン化 流テストプローブ、ワーク電極に合わせた検査用コネク ミのリスクな が要求されており、同社は半導体・液晶関連装置の供給 タなど、世の中に無いカスタムコネクタを提案し、半導 く薬液濃度の 系から排気系まで使用される機器バリエーションを揃 体製造装置に実績多数の電気の特注コネクタメーカー。 測定を行いた え、限りないクリーン対応、〝最先端プロセス制御〟に 大電流、耐熱、真空、大電流テストプローブなどのサン い」、フォト 向けて挑戦を続けていく。 プルを展示する。 マスク異物検 ■新コスモス電機（ブース：4913） ■イグス（ブース：3725） 査 に お け る 　ガス警報器の新コスモス電機は、半導体製造工場向け 　イグスは、可動用途に特化した高機能ポリマー製品を 「レティクル/ブランクス/ペリクルに付着した異物を迅 ガス検知警報器を紹介する。「半導体材料ガス検知部 　小口径配管用のクランプオン超音波流量計「GST/ 開発・製造し、セミコンジャパンではクリーンルームに 速に測定＆除去したい」、膜厚・異物評価での「金属薄 PS-7」、「半導体材料ガス検知器XPS-7」、「半導体 SFC011GS」、PFA配管用のクランプオン超音波流量 最適な低発塵で省スペースなロボットケーブル、ケーブ 膜の膜厚やICパッケージ内の不良原因を評価した 材料ガス探知器XP-703DⅢ」などの半導体材料ガスを 計「UCL/SFC010C.011C」を展示する。 ルキャリアや、完全無給油で使えるメンテナンスフリー い」、チャンバー状態監視での「プロセス結果に影響の 検知する製品を始めクリーンルーム等の化学物質をモニ ■東フロコーポレーション（ブース：5703） のリニアガイド、ギアなどさまざまな種類の製品を展示 ある残留ガスを確認し、歩留まり・稼働率を向上させた タリングする「環境モニタCOD-203」などを出展する。 　東フロコーポレーションは、各種流量計やフローコン する。 い」、エンドポイント検出での「プラズマプロセスのエ ■インフィコン（ブース：5009） トロールバルブ、電動比例制御バルブ、フローコントロ ■シーメンス（ブース：3729） ンドポイントやプラズマの分布制御により、生産性を向 　インフィコンは、高速測定で時間を節約するインテリ ーラなどを展示し、半導体プロセスのさらなる効率化、 　「エッジ・AI活用で半導体製造をもっとスマート 上させたい」における解決策を提案する。 ジェント機能（I-CAL, HYDRO-S, I-ZERO）搭載モデ 品質改善に貢献する各種製品を紹介する。

２０２２年（令和４年）１２月１４日　　　（6） した使用済みのLIMEXと廃プラスチックを自動選別 床面積延べ549平方㍍。着工予定2023年9月、完工予 ・再生する横須賀工場（神奈川県横須賀市神明町 定2024年11月。 工場新設・増設情報 12月第3週 58-9）を竣工した。 ■サンノプコ、愛知県東海市の名古屋工場で高機能分 　同工場では、回収してきた使用済みのLIMEXやプ 散剤の生産能力を増強 ラスチックを自動選別・洗浄し、新たなLIMEX製品 　三洋化成工業の子会社であるサンノプコは、高機能 【国内】 やプラスチック製品の材料となる再生ペレットを製造 分散剤の生産能力を増強する。 ■千葉ヤクルト工場、「ちばリサーチパーク」に移転 する。同社は横須賀市と連携し、2023年中の市内全 　高機能分散剤は、水系建築・工業塗料用の顔料分散 ・新工場　投資金額350億円 域での容器包装プラスチックと製品プラスチックの一 剤、リチウムイオン電池やセラミックコンデンサなど 　ヤクルトの子会社の千葉ヤクルト工場は、現在の千 括回収と、LIMEX製品の普及と拠点回収品目化に取 電子材料用スラリーの分散剤など、さまざまな用途に 葉県四街道市から、千葉市若葉区と千葉県佐倉市にま り組む。敷地面積1万3693.50平方㍍。建物床面積7万 使われ、水系建築・工業塗料および全世界的なリチウ たがる「ちばリサーチパーク」内に移転・新工場を建 859.85平方㍍。 ムイオン電池、セラミックコンデンサ等電子材料用分 設する。 ■大盛工業、愛知県海部郡にOLY工法用機材の新工 散剤など中国や東南アジア市場での需要拡大が見込ま 　1969年に操業を開始した現工場は、建物等の老朽 場と新営業拠点 れている。 化に加え、敷地面積等の制約もあることから、今後の 　大盛工業は、愛知県海部郡蟹江町に、路面覆工方法 　投資金額は約4億円で、現在の生産場所であるサン 多様な顧客ニーズやCO2排出量のさらなる削減、プラ であるＯＬＹ工法の機材リース事業拡大に向けた新工 ノプコの名古屋工場（愛知県東海市新宝町31-1）に新 スチック資源循環の積極的な推進等の環境規制の厳格 場ならびに新営業拠点の設置する。 たに生産設備を設置し、2024年上期の稼働を予定し 化に対応するため「ちばリサーチパーク」内に移転 　これまでは、ＯＬＹ機材の製作・整備を茨城県小美 ている。 し、将来に向けた次世代型工場（モデル工場）として どの自動化設備を配置するとともに、脱臭能力を強化 玉市の茨城工場で行っていたが、中部地域に工場と新 ■山口精研工業、愛知県名古屋市緑区で精密研磨剤の 新工場を建設する。新工場ではヤクルト1000、 した洗浄塔など環境にも配慮した設備を備えている。 営業拠点を設置することとなった。総工費約1億8000 生産能力を増強 Y1000などヤクルト類を生産し、日産260万本の生産 建築面積約2965平方㍍の鉄骨造り4階建て、延床面積 万円。敷地面積1139.07平方㍍、建物面積309.83平方 　荒川化学工業の子会社の山口精研工業は、第2工場 能力となる予定。 約5164平方㍍。投資金額32億円。12月より本格稼働 ㍍の鉄骨造地上1階建て。着工予定2022年12月。竣工 を建設し、ＨＤＤ用アルミ基板やＳＡＷデバイス用基 　投資金額は350億円。敷地面積10万9707.56平方 予定。 予定2023年2月 板の製造工程における精密研磨に使用される精密研磨 ㍍。延床面積3万3824.8平方㍍。2024年夏に着工予 ■スモカ歯磨、大阪市西淀川区に新工場「SMOCA ■三井化学、名古屋工場内にマイクロ波を活用した炭 剤の生産能力を増強する。 定。2027年春に操業開始予定。 WORKS」を新設 素繊維製造の実証設備導入 　投資額約11億円、敷地面積1351平方㍍。建屋床面 ■大日本印刷、黒崎工場（福岡県北九州市）に大型メ 　三井化学とマイクロ波化学は、両社で検討していた 積1440平方㍍。着工予定2023年3月、完工予定2023 タルマスクの生産ライン新設 環境負荷の低い革新的な炭素繊維（CF）製造に関す 年10月。 る基盤技術について、三井化学名古屋工場内（愛知県 ■日本電産シンポ、長野県駒ヶ根市に研究開発と生産 名古屋市南区丹後通2丁目1番地）に実証設備を新設 拠点を設立 する。投資金額は約20億円。完工予定時期2023年12 月。 　同技術は、対象を内部から加熱できるマイクロ波の 特性を生かし、無駄な加熱を徹底的に排除した革新的 なプロセスとなる。従来法と比較して加熱処理時間が 大幅に短縮でき、焼成プロセスのラインが短くなり、 設備をコンパクトにすることが可能となる。また装置 　日本電産シンポは、日本電産長野技術開発センター 自体の温度が高温にならないため、装置コスト、エネ （長野県駒ヶ根市）について、敷地面積3万2800平方 　歯磨や口腔化粧品を製造・販売するスモカ歯磨は、 ルギー消費、さらには安全面でもメリットが見込め、 ㍍の建屋を増設・改装し、精密減速機（精密制御用減 　大日本印刷（DNP）は、福岡県北九州市八幡西区 大 阪 市 西 淀 川 区 御 幣 島 2 丁 目 1 2 番 5 号 に 新 工 場 エネルギー消費量50％の削減が可能になる。また、 速機および遊星減速機）の研究開発と生産拠点を設立 黒崎城石1-1の黒崎工場内に、有機EL（OLED）ディ 「SMOCA WORKS」を新設した。土地面積約932平 将来的にマイクロ波を発生させるための電源を再生可 し、拡大する精密減速機の国内市場への供給能力の大 スプレイ製造用メタルマスクの大型品を生産するライ 方㍍。建物延面積約1974平方㍍の4階建て。12月の稼 能エネルギーに変更することで90%以上のCO2排出削 幅増強を図る。総投資額は160億円。 ンを新設する。投資額は200億円で、2024年上期に稼 働予定。 減が期待できる。 　第1期計画では、同センターの延床面積16800平方 働を開始する。 ■菊水化学工業、愛知県犬山市に工場用地・建物を取 ■SAFFAIRE SKY ENERGY、大阪府堺市西区築港新 ㍍を改修し、精密減速機の研究開発と生産を2023年4 　新設の生産ラインでは、タブレット端末とノートパ 得 町に国内初の国産SAFの新プラント 月より開始。第2期計画では、同敷地内に延床面積 ソコン向けのOLEDディスプレイの生産効率を大幅に 　菊水化学工業は、愛知県犬山市に工場新設に向けた 6000平方㍍の新工場を建設し精密減速機の生産を 高める第8世代のガラス基板に対応した大型メタルマ 土地・建物等の固定資産を取得した。土地面積は約 2024年4月稼働開始する。これにより駒ヶ根事業所の スクを生産する。また三原工場（広島県）をバックア 5000平方㍍。延床面積は約3200平方㍍。 総生産能力は年間60万台になる見通し。 ップしてBCP対応強化を行う。メタルマスク生産能 ■JRCファーマ、神戸市西区の神戸サイエンスパーク ■ヤマサ醤油、滋賀県蒲生郡竜王町に、しょうゆやつ 力を従来の2倍以上にしていく計画。 の新原薬工場が竣工 ゆ、たれ類生産の滋賀竜王工場を新設 ■SENSIN、山口県山口市の山口テクノパークに山口 事業所を開設 　製缶業のSENSIN（宮城県宮城郡）は山口県山口市 佐山5番4の山口テクノパークH区画に進出する。 同社は、宮城県宮城郡七ヶ浜町に本社を置き、東日本 を中心にCAD設計・製缶事業やプラント事業を展開 している。今回、西日本への販路拡大に向け、水処理 施設向けの配管ラックの製作や非常用発電装置の配管 製造を中心に行う予定。設備投資額は1億9900万円。 敷地面積4万9247.56平方㍍。建築床面積7625.07平方 ㍍。操業予定は2022年12月。 　コスモ石油、日揮ホールディングス、コスモ石油、 ■北興化学工業、北海道滝川市に除草粒剤工場 レボインターナショナルの3社は、廃食用油を原料と 　北興化学工業は、農薬事業における『造り方改革』 した国産SAF（Sustainable Aviation Fuel：持続可能 　ヤマサ醤油は、西日本エリア初の工場である滋賀竜 の一環として、 な航空燃料）の製造や供給事業を行う新会社「合同会 王工場（滋賀県蒲生郡竜王町大字岡屋2831-4）を新 2021年5月より 社SAFFAIRE SKY ENERGY」を設立し、大阪府堺 設する。千葉県銚子市エリア外の工場としては、 建設を進めてい 　JRCファーマは、神戸市西区井吹台東町7丁目3番 市西区築港新町のコスモ石油堺製油所内にSAF生産 2011年に竣工した成田工場に続き2つ目。 た除草粒剤工場 15号の神戸サイエンスパーク内に建設中の新原薬工 設備の新プラントを構築する。 　新工場は「顧客ニーズの変化に対応した、多品種、 （北海道滝川市 場「神戸サイエンスパークセンター」が竣工した。 　国内初となる国産SAFの大規模生産を目指す新プ 高歩留生産、効率化したつゆ類・たれ類製造の工場」 北滝の川1470 　厚生労働省2020年度ワクチン生産体制等緊急整備 ラントでは、100％廃食用油を原料とした年間約3万 をコンセプトとし、多品種・高効率生産体制をとり、 番地、北海道工 事業の公募要件を満たすために建設した原薬工場であ ㌔㍑のSAFの国内供給を実施する。2023年夏をめど 多様なタイプの調味液が生産可能。生産される製品は 場内）が竣工し り、少なくとも2029年度末（2030年3月末）まではワ に着工し、2024年内に完工、2024年度下期～2025年 全てFSSC22000認証取得を前提に、HACCPを用い た。 クチン等を製造できる体制を確保する。 度初での運転開始を予定。 た衛生管理を行い、原料資材の受け入れから製品の一 　 新 工 場 は 、 　敷地面積1万9991.17平方㍍。延べ床面積1万 ■荒川化学工業、岡山県倉敷市の水島工場にファイン 次納品先までのロットトレースが可能。重量物取り扱 「高効率化・省 4585.66平方㍍。稼働開始予定は2023年度第1四半期 ケミカル生産設備を新設 い設備や各種搬送設備など工場内での作業者の安全を 力 化 ・ 環 境 対 中。 　荒川化学工業は、ファイン・エレクトロニクス事業 考慮したレイアウトとし、ヒューマンエラー対策を施 策」をコンセプ ■TBM、石灰石由来の複合材料LIMEXをリサイクル の半導体・先端材料分野でのさらなる拡販を目指し、 している。 トとし、原料の する横須賀工場を竣工 水島工場（岡山県倉敷市松江4丁目1-1）にファインケ 　2023年6月に工事竣工予定、2023年8月より稼働開 投入や製品の包 　TBMは、石灰石を主原料とし、マテリアルリサイ ミカル製品の新たな生産設備を新設する。 始予定。敷地面積2万4624平方㍍の鉄骨造3階建。投 装・積み込みな クルが可能な複合素材であるLIMEXについて、回収 　投資金額は約20億円。敷地面積2330平方㍍。建屋 資額68億円。 ●