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【刃先解析機能】三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-600

製品カタログ

ERA-600の刃先解析機能のご紹介です

◆正面観察時の二次電子信号量を用いて三次元測定を行います。
 SEMの原理を用いた解析のため,先端半径100nm以下の刃先も確認できます。
◆非破壊だから,やわらかい材質・繊細な刃先の仕上がりも確認できます。
 斜め上方からの観察で刃先の様子が一目でわかります。
 正面からの観察で得た信号から3Dを構築します。

◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

このカタログについて

ドキュメント名 【刃先解析機能】三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-600
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 489.2Kb
登録カテゴリ
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このカタログの内容

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三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 [ ERA-600 ] □■ 刃先解析機能* ■□ 正面観察時の二次電子信号量を用いて 三次元測定を行います. 三次元測定結果 [ 曲率半径解析 ] 信号:A e- 信号:B SEMの原理を用いた解析のため,先端半径100nm以下の 刃先も確認できます. ステージ傾斜から得た刃先角度(または 設計角度)で三次元測定結果を補正し, 先端半径を解析します. 模式図 Electron Beam サンプル ステージ 刃先角度= 30°(例) *オプション
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三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 [ ERA-600 ] □■ 刃先解析機能* ■□ 非破壊だから,やわらかい材質・繊細な刃先の仕上がりも確認できます. 斜め上方からの観察で 刃先正面像 刃先の様子が一目でわかります. 正面からの観察で得た 信号から3Dを構築します. 試料:カッター 参考:縁画像 曲率半径解析 シャープな仕上がりになって いるか数値で判断できます. 稜線解析 端部が直線からどの程度ずれているか, XY平面内・Z方向の振れ幅を p-p,標準偏差で示します. *オプション