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電子ビーム高分子材料観察装置 ESM-9000

製品カタログ

極低加速電圧&極低照射電流数による極低ダメージ観察

◆超高倍率観察下での高分子材料観察時にダメージを抑えた観察が可能です
◆試料へのダメージが殆どない為、試料の極表層の形状や結合状態などが確認することが出来ます
◆低真空SEMより、高倍率、高解像度の二次電子画像取得が可能。
◆(SEI・BSI・STEM)像・3Dデータ・元素マップ・結晶方位が1台で取得もできます!

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このカタログについて

ドキュメント名 電子ビーム高分子材料観察装置 ESM-9000
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 438.1Kb
登録カテゴリ
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このカタログの内容

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電子ビーム高分子材料観察装置[ ESM-9000 ] ■ 極低加速電圧&極低照射電流数による極低ダメージ観察 ■ ‘超高倍率観察下での高分子材料観察時にダメージを抑えた観察が可能です’ 試料へのダメージが殆どない為、試料の極表層の形状や結合状態などが確認することが出来ます。 (SEI・BSI・STEM)像・3Dデータ・元素マップ・結晶方位が1台で取得もできます! 試料:電極材料 試料:レジスト 加速電圧(200V) バインダーが焼けずに状態を確認. 試料:電極材料 200000×の倍率下でレジストの残し状態を確認. 低真空SEMより、高倍率、高解像 度の二次電子画像取得が可能。 加速電圧(200V) 照射電流[2pA[の極低ダーメージ観察. 試料:電極材料 3D解析 電極材料の1枚 の厚さを確認。 1LINE解析 株式会社 エリオニクス 〒192-0063 東京都八王子市元横山3-7-6TEL (042)6 26 - 0611(代) 〒563-0025 大阪府池田市城南1-9-22 TEL (072) 754 –6999(代)