PI社_6軸駆動ヘキサポッドステージ_抜粋カタログ

PI（Physik Instrumente）社製 ヘキサポッドステージ 高精度密位置決め 製品紹介 6 軸駆動/任意回転中心変更 ピーアイ・ジャパン株式会社 044-280-7676 www.pi-japan.jp/ info@pi-japan.jp

最高峰のクオリティ ナノワールドを牽引するPIグループのNanoAutomation（科学・産業向け精密位置決め） 何百万個ものトランジスタが 1mm 四方に収まる世界、分子が操られる世界、 生きた細胞を観察しながら何千個もの「バーチャルスライス」がつくられる世界、 髪の毛の直径にも満たない光ファイバーの束が 6 軸で並べられる世界。 ナノの世界には、ナノメートルレンジの動作制御が必要不可欠です。 現在では、半導体製造やバイオテクノロジーをはじめ、 あらゆる産業セクターがナノポジショニングの進歩を活用し、 未来を創るテクノロジーソリューション 重要なテクノロジーは全て社内で開発 精密機械業界にさえ、ナノメートルレベルの位置決めシステムが必要不可欠となっています。 "PI グループは現在、重要なハイテク市場のすべてにマイクロ／ PI グループでは、重要なテクノロジーはすべて社内で開発し保持 PI グループは、50 年以上前にピエゾ位置決め技術を発表して以来、 ナノポジショニング・ソリューションを提供しています。" しています。ソフトウェア、精密機構、デジタルおよびアナログ制 御電子機器、サブナノメートル分解能のポジションセンサー、ピエ 研究と開発を進めてナノポジショニングの技術とノウハウを蓄積してきました。 ゾセラミック、ピエゾアクチュエータなどの分野において、設計から 半導体技術 光計測、顕微鏡検査 納入までの全段階を社内で管理することにより、最高の品質を確 保するとともに、コストの低減を図っています。 そして現在、 1 ナノメートルを下回る精度の バイオテクノロジー、医療機器 精密自動化、精密実装 精密位置決めシステムにおける 世界最高レベルの技術を誇り、 精密加工 データストレージ 科学・産業向け精　密位置決めの分野において、 常にマーケットを牽引しています。 光通信、光ファイバー、電気通信 ナノテクノロジー マイクロシステム技術 航空宇宙工学 カールスルーエの PI 本社 天文学 イノベーションを伝統として成長する PI グループ PIは、ナノポジショニングテクノロジー テムを発表しました。 において、ナノテクノロジーの商品化が 1970年代 1990年代 2000年以降 の大手製造企業に成長しました。 1990 年代には冷戦が終結。境界を超え 急速に進みました。 ■ピエゾエレクトリックトランスレーターの初の商品化 ■初の無摩擦ガイダンス搭載ハイレベルダイナミクス・ ■長寿命化セラミック採用、真空中での気体放出ゼロ 宇宙開発とレーザーテクノロジーが光学 たコミュニケーションの新時代が幕を開け PI は、かつてないスピードと精度のナノ ■初のプリロード付き産業用ピエゾトランスレーター 　ナノフォーカスシステム 　の初の多層ピエゾアクチュエータ：PICMA ■サブナノメートル精度を可能にするリニアライゼーション機能 ■小型の光・機械コンポーネントの操作を可能にす 研究を促進した 1970 年代、PI はピエ ると、PIも子会社 PI Ceramic を旧東ド メートルポジショニング、安定化、そして 1980年代 　統合の初の2プレート静電容量センサーとコントローラー 　るピエゾモーターミニチュアドライブの大量生産を ■パラレル計測とパラレル制御による初のピエゾナノポ 　開始 ゾアクチュエータを発売し、当時最高の位 イツに設立し新境地を開拓。光ファイ 自動化により、これらの分野に最適な ■クローズドループ・ピエゾアクチュエータの初の 　ジショニングシステム ■従来のモータースピンドル構造に代わるPILine コン 　商品化 ■初のピエゾ駆動ツールサーボ 　パクト超音波ピエゾモーターおよびドライブの特許 置決め精度を科学者に提供しました。 バーとファイバーアレイにおいて急増する ソリューションも提供しています。 ■フレクシャガイドとピエゾドライブ搭載の初のナノポ ■PIが独自のピエゾセラミックを製造する、初のナノポ 　取得 精密位置決めのニーズに対応しました。 　ジショニングシステム 　ジショニングシステムサプライヤーとなる ■高分解能、高負荷のピエゾリニアステッピングドライ 1980 年代はマイクロコンピューターの発 ■初のサブミクロン分解能ヘキサポッド6 DOF ポジ 　ブPiezoWalkの特許取得：NEXLINE®、NEXACT® ■初のハイブリッドドライブ搭載ファイバーポジショニ 展が第一次半導体ブームを生み、電子機 20世紀末前後には半導体の製造と検査、 　ショニングシステム ■初の座標変換機能搭載デジタル6 軸ピエゾコント 　ングシステム ■初の高分解能 PiezoWalkリニアモーター搭載完全 　ローラー 器の小型化が進みます。PI は、それぞれ バイオテクノロジーなど、「より小さく、 ■初の一体構造型低電圧ピエゾ搭載プリロード付き 　自動ファイバー位置合わせシステム ■初のダイナミックデジタルリニアライゼーションによ 　アクチュエータ ■初のアクティブ6Dガイダンス搭載ピエゾナノポジ 　るピエゾコントローラー（リニアリティが最大1000 倍向上） のタスクに適したナノポジショニングシス より精密」であることが求められる分野 ■コンピューター制御ナノポジショニングシステム 　ショニング ■クローズドループピエゾドライブ搭載、100mrad ビー ■初のクローズドループ画像安定化プラットフォーム ■回転中心を完全にバーチャル化した初の自動 6D 　ム偏向レンジの初のハイレベルダイナミクス 2軸ス 　ファイバー位置合わせシステム 　キャニングミラー ■初のInputShaping振動抑制機能搭載ピエゾコントローラー ■操作顕微鏡用大口径の最速クローズドループXY ナノ ■初の光ファイバーインターフェイス搭載デジタルピエ 　ポジショニングステージ 　ゾコントローラー ■多軸で1nm 未満のガイド精度のスキャニングステージ 002 003

グローバル規模の総合力 PI グループが誇る世界標準の高品質・高性能ブランド PI グループでは、北米、ヨーロッパ、アジア地区にそれぞれナノ計測研究所を置いています。 また、ヨーロッパに主要な R&D センターと製造施設を構え、PI 上海と PI USA には、 現地特有のニーズに迅速に対応するための開発製造機能を備えています。 Europe Germany Asia Japan America これらの拠点に加え、世界各地に販売網を確立し、お客さまとの末永い信頼関係を築いています。 ● PI UK ● PI Karlsruhe ● PI Shanghai ● PI Japan ● PI USA ● PI France ● PI Ceramic ● PI Singapote 　 ● PI Italy ● PI miCos ● PI Korea ● miCos Iberia ● Taiwan ● 製品の品質と信頼性は最も厳格な規格に遵守しています。 PI Benelux ● PI Switzerland Israel ナノポジショニングテクノロジーの製造企業として初めて ● ACS 顧客の期待と満足度にも重点を置くISO 9001 認証を取得。 また、PI の統合マネジメントシステムには、環境保全と作業安全の規格 （ISO 14001:2004 および OHSAS 18001:1999）も含まれています。 このマネジメントシステムにより、すべての事業所において プロセス全体での法的遵守を確保し、継続的改善を行なっています。 こうした取り組みにより、PI のブランドは、ハイテク領域で広く知られ、 PIFOC は対物レンズポジショナー全般の代名詞として、 PICMA は最高の信頼性を誇る ピエゾアクチュエータ製品として利用されています。 PIは、品質と精度を象徴する世界的なブランドです。 なぜ PI 製品が選ばれるのか？ PIグループでは、画期的な製品と技術開発 対応し続けています。 由な思考と深く広い高精度モーション PI社は精密位置決めの 社科学者が研究や開発に創造性を持つ OEM製品でも を通じ、常に成長を遂げています。そして また PIグループでは、お客様からの綿密な テクノロジーのポートフォリオを持つこと エキスパートが対応します PIを頼る理由 PIが選ばれる理由 いま、世界中で PIグループをおいてほかに 仕様要求に対して、カスタマイズソリュー で、一般的なシステムのパフォーマンスを ● テスト・システムのキャリブレーション、品質保 ● PIのシステムは、研究に迅速で顕著な結果を ● OEM 受注についても、PI独自のマネージメン 　 証のための計測設備や故障診断、修理対応で 　 生み出すことが可能。 　 トシステムで対応可能。 高精度モーションテクノロジーを提供 ション（規格にとらわれず自由で独創的な はるかに超えたソリューションを提供する 　 きるサービス工場を設置。 ● 何千という科学誌に製品が引用されており、 ● OEM製品に対しても、最適化されたプロセス できる企業はありません。PIグループは 見地からの解決）によって、様々なご希望 ことが可能となります。 ● 市場の需要に対しての迅速な対応が可能。ダ 　 研究者向けのカスタマイズ製品は主力製品の 　で納期を厳守し、効率的に数十万ユニットの 世界16か国に広がる子会社に1400人以 を実現してきました。これは、形式にとら PIグループの柔軟な発想とそれを支える 　 イレクトに意見交換ができるR&D部門を設置。 　 一部となっています。 　特注品対応可能。 上の従業員を擁しています。さらに、世界 われない考え方が製造分野や研究開発に 技術力はお客様の業界随一の高い競争力 ● サンプルとプロトタイプを製造し、お客様と綿 ● 標準品の改造からあらゆる環境対応可能な特 ● 完成前にサンプル評価を行い、テスト手順、生産 　 密な打ち合わせができる開発部門を設置。 　注設計品まで幅広く対応可能。 　工程、品質管理も含めた開発工程での取り組み。 に 9 カ国に構える研究・生産センターで 必要不可欠という考えに基づいています。 をサポートするご期待をお約束します。 ● 全製品ポートフォリオのエキスパートであり、 ● 全ての製品に特注対応が可能な PI 社ならで は常に成長し続ける高度で革新的な技術 昨今、ナノテクノロジーも標準化された産 　 特注品の打合せから納品まで一括対応できる 　はの設計・製造プロセスにより、お客様の業界 力を通じてお客様の様々な仕様要求に 業プロセスとなっています。こうした中、自 　 営業部門とアプリケーションエンジニアが対応。 　トップとなる技術力を提供。最先端の技術開 　発サポートにも対応可能。 ● 特有のマーケットセグメントにおいてお客様が 　 本当に必要なものを調査する、PI グループなら ● 材料からメカ構造、ナノ計測センサーからデジ 　 ではの満足度の高いマーケット部門とビジネ 　タル制御回路、ソフトウェアまでの設計・製造工 　 ス開発のエキスパートが常駐。 　程を網羅。 004 005

コピ H-811.I2 技術データ コピ ンエ ンエ ポゾ モデル H-811.I2 公 差 ポゾ ーア 駆動軸 X Y Z θX θY θZ ーア ネク 高精度小型ヘキサポッド ネク ンチ ラベルレンジ X ± 17 mm ンチ トュ ト トュ エ トラベルレンジ Y ± 16 mm エ ー ー タ トラベルレンジ Z ± 6.5 mm ・ タ 回転レンジ θX ± 10 ° ・ 高ピ ■ トラベルレンジ ±17mm / ±21° 回転レンジ θY ± 10 ° 高ピ 速エ ■ 負荷容量 5kg 回転レンジ θZ ± 21 ° 速エ スゾ スゾ キフ 最大速度 X, Y, Z 10 mm/s キフ ャレ ャレ ニク ■ 再現性 ±0.06µm 最大角度速度 θX, θY, θZ 250 mrad/s ニク ンシ ンシ グャ 標準速度 X, Y, Z 5 mm/s グャ シス ■ 最大速度 10mm/s 標準角度速度 θX, θY, θZ 120 mrad/s シス ステ ステ テー ■ 真空対応バージョンあり 一方向再現性 X, Y ± 0.15 µm typ. テー ムジ ムジ ／ 一方向再現性 Z ± 0.06 µm typ. ／ 高 一方向再現性 θX, θY ± 2 µrad typ. 高 速 一方向再現性 θZ ± 3 µrad typ. 速 ス ス テ 最小動作量 X, Y 0.2 µm typ. テ ア 最小動作量 Z 0.08 µm typ. ア リ リ ン 最小動作量 θX, θY 2.5 µrad typ. ン グ グ ミ 最小動作量 in θZ 5 µrad typ. ミ ラ ラ ー バックラッシュ X, Y 0.2 µm typ. ー バックラッシュ Z 0.06 µm typ. モピ バックラッシュ θX, θY 2 µrad typ. モピ ーエ ーエ タゾ バックラッシュ θZ 4 µrad typ. タゾ ーコ ドライブタイプ Brushless DC motor ーコ コン コン ント 剛性 X, Y 0.7 N/µm ント トロ トロ ロー 剛性 Z 8 N/µm ロー ーラ ーラ ラ／ 最大保持力 , ベース 任意方向 2.5 N ラ／ 最大保持力 , ベース 水平方向 15 N 耐荷重 , ベース 任意方向 2.5 kg シＰ シＰ リｉ シリアルキネマティックシステムより大幅にコン ブラシレス DC モータ（BLDC） 耐荷重 , ベース 水平方向 5 kg リｉ ーｅ 重量 2.2 kg ーｅ ズｚｏ パクトで剛性に優れた 6 自由度のパラレル ズｚ 材質 ステンレス、アルミ ｏ Ｗ キネマティック設計を採用。ダイナミックレンジ ブラシレス DC モータは、特に回転速度の速い Ｗ ａ パワーサプライコネクタ M12 4-pin (m) ａ ｌ ｌ ｋ が広く、移動ケーブルもありません。摩擦を アプリケーションに適しています。非常に正確 推奨コントローラ C-887.5x ｋ ® ® 抑えながら信頼性の高い動作を実現します。 な制御が可能なため、高い精度が実現されます。 ケーブル長 0.5 m 10-6hPa までの圧力で動作する真空対応 また、滑り接触面がなくスムーズに動作する 動作温度範囲 0 ~ 50 °C ピ ケーブル直径 , パワーサプライ 4.95 mm ピ エ バージョンもご利用いただけます。 ため、摩耗が発生せず、長寿命が確保されます。 固定時の最小曲げ半径 , パワーサプライ 25 mm エ ゾ ゾ モ ケーブル直径 , データ通信 9.5 mm モ ー ー タ 固定時の最小曲げ半径 , データ通信 95 mm タ データー通信コネクタ HD D-sub 78-pin (m) 22±3°C での技術データ。 各座標 (X、Y、Z、Θ X、Θ Y、Θ Z) の最大動作範囲は相互に依存しています。 電 各軸のデータは、他のすべての軸がゼロ位置で、ピボットポイントが 0,0,0（デフォルト）の場合の最大動作範囲を示します。 電 動 動 モ H-811 の固定ケーブルは 0.5m で、ドラッグチェーン非対応です。延長ケーブルは、別途オーダーが必要です。 モ ー ー タ タ 静 静 電 電 容 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー パヘ パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ーC ー シ シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル 156 157

コピ H-825 技術データ コピ ンエ ポゾ ンエ モデル H-825.D2A H-825.G2A 公 差 ポゾ ーア 駆動軸 X Y Z θX θY θZ X Y Z θX θY θZ ーア ネク コンパクトデザインで ネク ンチ ンチ トュ トラベルレンジ in X, Y ± 27.5 mm, ± 25mm ± 27.5mm, ± 25mm トュ エ トラベルレンジ in Z ± 14 mm ± 14 mm エ ー ー タ 回転レンジ in θX ± 11.5 ° ・ 30 キロまで耐荷重可能なヘキサポッド ± 11.5 ° タ 回転レンジ in θY ± 10.5 ° ± 10.5 ° ・ 高ピ 回転レンジ in θZ ± 19 ° ± 19 ° 高ピ 速エ ■ 耐荷重：30kg, セルフロッキング 最大速度 X, Y, Z 25 mm/s 速エ スゾ 2.5 mm/s スゾ キフ 最大角度速度 θX, θY, θZ 270 mrad/s 27 mrad/s キフ ャレ ■ トラベルレンジ： ±27.5mm, 回転レンジ： ±11.5° ャレ ニク 標準速度 X, Y, Z 20 mm/s 2 mm/s ニク ンシ ンシ グャ ■ アクチュエータ分解能： 8nm 標準角度速度 θX, θY, θZ 55 mrad/s 5.5 mrad/s グャ シス ロータリーエンコーダ アブソリュート シス ステ アブソリュート ■ 最小インクリメンタルモーション：0.3µm ステ テー 一方向再現性 X, Y ± 0.5 µm, 0.25 µm ± 0.5 µm typ. テー ムジ 　（ in X, Y, and Z） ムジ ／ 一方向再現性 in Z ± 0.15 µm ± 0.1 µm typ. ／ 高 ■ 再現性： ±0.1µm / ±2µrad 一方向再現性 θX ± 2 µrad ± 2 µrad typ. 高 速 一方向再現性 θY ± 1.5 µrad ± 2 µrad typ. 速 ス ■ BLDC モータとアブソリュートエンコーダを ス テ 一方向再現性 in θZ ± 3 µrad ± 2.5 µrad typ. テ ア 　 使用したバリエーション ア リ 最小動作量 X, Y 1 µm 0.3 µm typ. リ ン 最小動作量 in Z 0.5 µm 0.25 µm typ. ン グ グ ミ 最小動作量 θX, θY 7 µrad 3.5 µrad typ. ミ ラ ラ ー 最小動作量 in θZ 12 µrad 4 µrad typ. ー バックラッシュ X, Y 1.5 µm 3 µm typ. モピ バックラッシュ in Z 1 µm 1 µm typ. モピ ーエ ーエ タゾ バックラッシュ θX, θY 15 µrad 20 µrad typ. タゾ ーコ バックラッシュ in θZ 25 µrad 25 µrad typ. ーコ コン コン ント ドライブタイプ ブラシレス DC ント トロ ブラシレス DC ギア トロ ロー 剛性 X, Y 1.7 N/µm 1.7 N/µm ロー ーラ ーラ ラ／ 剛性 in Z 7 N/µm 7 N/µm ラ／ 最大保持力 , ベース 任意方向 5 N 150 N 最大保持力 , ベース 水平方向 10 N 300 N シＰ シＰ リｉ 耐荷重 , ベース 任意方向 7.5 kg 15 kg リｉ ーｅ 耐荷重 , ベース 水平方向 15 kg ーｅ ズｚ 30 kg ズｚｏ ｏ Ｗ 重量 10 kg 10 kg Ｗ ａ 材質 アルミ ａ ｌ アルミ ｌ ｋ パワーサプライコネクタ M12 4-pin (m) M12 4-pin (m) ｋ ® ® 推奨コントローラ C-887.5x C-887.5x 動作温度範囲 -10 ～ 50 °C -10 ～ 50 °C ピ データー通信コネクタ HD D-sub78-pin(m) HD D-sub78-pin(m) ピ エ エ ゾ ゾ モ ー 22±3°C での技術データ。 モ タ 各座標 (X、Y、Z、Θ X、Θ Y、Θ Z) の最大動作範囲は相互に依存しています。各軸のデータは、他のすべての軸がゼロ位置で、ピボットポイントが 0,0,0（デフォルト）の場合の最大動作範囲を示します。 ー タ 接続ケーブルは、別途オーダーが必要です。 電 電 動 動 モ モ ー ー タ タ 静 静 電 電 容 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー パヘ パヘ ラキ ラキ レサ H-825（寸法：mm） レサ ルポ ルポ 制ッ 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル 158 159

コピ H-840 技術データ コピ ンエ モデル ンエ ポゾ H-840.D2A H-840.D2A H-840.G2I H-840.D2I 公差 ポゾ ーア 駆動軸 ーア ネク X Y Z θX θY θZ X Y Z θX θY θZ X Y Z θX θY θZ X Y Z θX θY θZ 高速動作・中程度耐荷重が特長の ネク ンチ トラベルレンジ X, Y ンチ トュ ± 50 mm ± 50 mm ± 50 mm ± 50 mm トュ エ トラベルレンジ Z ± 25 mm ± 25 mm ± 25 mm ± 25 mm エ ー パラレルキネマティック・ヘキサポッド ー タ 回転レンジ θX, θY ± 15 ° ± 15 ° ± 15 ° ± 15 ° ・ タ 回転レンジ θZ ± 30 ° ± 30 ° ± 30 ° ± 30 ° ・ 高ピ 最大速度 X, Y, Z 60 mm/s 60 mm/s 2.5 mm/s 2.5 mm/s 高ピ 速エ ■ ブラシレスモーターとアブソリュートエンコーダ 最大角度速度 θX, θY, θZ 速エ スゾ 700 mrad/s 700 mrad/s 30 mrad/s 30 mrad/s スゾ キフ 標準速度 X, Y, Z 40 mm/s 40 mm/s 2 mm/s 2 mm/s キフ ャレ ■ ±0.1µmの位置再現性 ャレ ニク 標準角度速度 θX, θY, θZ 480 mrad/s 480 mrad/s 25 mrad/s 25 mrad/s ニク ンシ ンシ グャ ■ 最大 40kgの耐荷重 振幅 - 周波数特性 X, Y 23.6 mm·Hz 23.6 mm·Hz グャ シス 振幅 - 周波数特性 Z 8 mm·Hz 8 mm·Hz シス ステ ■ 移動距離：最大 ±50mm/±30° ステ テー 振幅 - 周波数特性 θX, θY 5.1 °·Hz 5.1 °·Hz テー ムジ ムジ ／ ■ カメラテストのCIPA認定 振幅 - 周波数特性 θZ 14 °·Hz 14 °·Hz ／ 高 振幅 - 周波数 ^2 特性 X, Y 65.9 mm·Hz² 65.9 mm·Hz² ■ 任意に回転中心を設定 高 速 振幅 - 周波数 ^2 特性 Z 22.5 mm·Hz² 22.5 mm·Hz² 速 ス ス テ 振幅 - 周波数 ^2 特性 θX, θY 14.7 °·Hz² 14.7 °·Hz² テ ア 振幅 - 周波数 ^2 特性 θZ 41 °·Hz² 41 °·Hz² ア リ リ ン 振幅エラー 10% 10% max. ン グ グ ミ 位相エラー 60 ° 60 ° max. ミ ラ ラ ー 最大周波数 30 Hz 30 Hz ー ロータリーエンコーダ アブソリュート インクリメンタル アブソリュート インクリメンタル モピ 一方向再現性 X, Y ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm ± 0.3 µm typ. モピ ーエ ーエ タゾ 一方向再現性 Z ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm typ. タゾ ーコ コン 一方向再現性 θX, θY ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad ± 2.5 µrad ± 2.5 µrad typ. ーコ コン ント トロ カメラ映像機器工業会 -CIPA 認定品 一方向再現性 θZ ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad ± 3 µrad typ. ント トロ ロー ーラ 最小動作量 X, Y 1.5 µm 0.5 µm 0.3 µm 0.25 µm typ. ロー ーラ ラ／ 最小動作量 Z 1 µm 0.25 µm 0.2 µm 0.15 µm typ. ラ／ 最小動作量 θX, θY 10 µrad 3 µrad 2 µrad 2 µrad typ. 最小動作量 θZ 2 µrad 5 µrad 4 µrad 4 µrad typ. シＰ シＰ リｉ バックラッシュ X, Y 1.5 µm 1.5 µm 2 µm 2 µm typ. リｉ ーｅ ｅ ズｚ バックラッシュ Z 0.2 µm 0.25 µm 0.3 µm 0.3 µm typ. ー ズｚｏ バックラッシュ θX, θY 4 µrad 4 µrad 5 µrad 5 µrad typ. ｏ Ｗ Ｗ ａ バックラッシュ θZ 8 µrad 8 µrad 10 µrad 10 µrad typ. ａ ｌ ｌ ｋ ドライブタイプ ｋ ® PI ヘキサポッド 6 軸ステージは、スチュワー また、パラレルキネマティック方式の位置決め 6 本足で 1 つの天板を動作させるため、任意 ブラシレス DC ブラシレス DC ブラシレス DC ギア ブラシレス DC ギア ® 最大保持力 , ベース 任意方向 5 N 5 N 25 N 25 N トプラットフォームパラレルキネマティクス原 装置で、従来の多軸位置決めシステム（シリ 設置向きでも動作させることができ、ソフトウェア 最大保持力 , ベース 水平方向 15 N 15 N 100 N 100 N ピ 理に基づいており、2 つのプラットフォーム間 アル・キネマティック方式やスタックド・ステー で任意に回転中心を設定することも容易です。 耐荷重 , ベース 任意方向 3 kg 3 kg 15 kg 15 kg ピ エ ゾ で 6 つの高性能モーター駆動アクチュエータ ジ）に比べ、非常に汎用性が高く、コンパク H-840 の機構は、高剛性・低摩擦の Z オフ 耐荷重 , ベース 水平方向 10 kg 10 kg 40 kg 40 kg エ ゾ モ ー が並列に動作します。 トで剛性の高い設計が可能です。 セット付きカルダンジョイント、高精度ボール 重量 12 kg 12 kg 12 kg 12 kg モ ー タ 材質 アルミ、スチール アルミ、スチール アルミ、スチール アルミ、スチール タ ネジ、高分解能エンコーダを採用しています。 パワーサプライコネクタ M12 4-pin(m) M12 4-pin(m) M12 4-pin(m) M12 4-pin(m) 推奨コントローラ C-887.5xx C-887.5xx C-887.5xx C-887.5xx 動作温度範囲 -10 ～ 50 °C -10 ～ 50 °C -10 ～ 50 °C -10 ～ 50 °C データー通信コネクタ HD D-sub78-pin(m) HD D-sub78-pin(m) HD D-sub78-pin(m) HD D-sub78-pin(m) 電 電 動 動 モ 22±3°C での技術データ。 モ ー ー タ タ 各座標 (X、Y、Z、Θ X、Θ Y、Θ Z) の最大動作範囲は相互に依存しています。 各軸のデータは、他のすべての軸がゼロ位置で、ピボットポイントが 0,0,0（デフォルト）の場合の最大動作範囲を示します。 接続ケーブルは、別途オーダーが必要です。 静 静 電 電 容 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー パヘ パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル 160 161

コピ H-850 技術データ コピ ンエ モデル ンエ ポゾ H-850.G2A H-850.H2A 公 差 ポゾ ーア 駆動軸 ーア ネク X Y Z θX θY θZ X Y Z θX θY θZ 250 キロまで耐荷重可能なヘキサポッド ネク ンチ トラベルレンジ X, Y ± 50 mm ± 50 mm ンチ トュ トュ エ トラベルレンジ Z ± 25 mm ± 25 mm エ ー ー タ 回転レンジ θX, θY ± 15 ° ± 15 ° ・ タ 回転レンジ θZ ± 30 ° ± 30 ° ・ 高ピ 最大速度 X, Y, Z 8 mm/s 0.5 mm/s 高ピ 速エ ■ 耐荷重： 250kg 最大角度速度 θX, θY, θZ 速エ スゾ 120 mrad/s 6 mrad/s スゾ キフ 標準速度 X, Y, Z 5 mm/s 0.3 mm/s キフ ャレ ■ 再現性： ±0.2µm ャレ ニク 標準角度速度 θX, θY, θZ 75 mrad/s 3 mrad/s ニク ンシ ンシ グャ ■ トラベルレンジ： ±50mm / ±30° ロータリーエンコーダ アブソリュート アブソリュート グャ シス 一方向再現性 X, Y typ. シス ステ ± 0.5 µm ± 0.6 µm ■ アクチュエータ分解能： 2.5nm ステ テー 一方向再現性 Z typ. テー ムジ ± 0.2 µm ± 0.2 µm ムジ ／ ■ BLDC モータとアブソリュートエンコーダを 一方向再現性 θX, θY ± 3 µrad ± 3 µrad typ. ／ 高 　 使用したバリエーション 一方向再現性 θZ ± 7.5 µrad ± 9 µrad typ. 高 速 最小動作量 X, Y 1 µm 0.3 µm typ. 速 ス ■ 回転中心の任意設定が可能 ス テ 最小動作量 Z 0.5 µm 0.2 µm typ. テ ア 最小動作量 θX, θY 7.5 µrad 3 µrad typ. ア リ リ ン 最小動作量 in θZ 15 µrad 5 µrad typ. ン グ グ ミ バックラッシュ X, Y 6 µm 4 µm typ. ミ ラ ラ ー バックラッシュ Z 1.5 µm 0.5 µm typ. ー バックラッシュ θX, θY 25 µrad 7.5 µrad typ. モピ バックラッシュ θZ 90 µrad 60 µrad typ. モピ ーエ ーエ タゾ ドライブタイプ ブラシレス DC ギア ブラシレス DC ギア タゾ ーコ コン 剛性 X, Y 7 N/µm 7 N/µm ーコ コン ント トロ 剛性 Z 100 N/µm 100 N/µm ント トロ ロー ーラ 最大保持力 , ベース 任意方向 85 N 500 N ロー ーラ ラ／ 最大保持力 , ベース 水平方向 250 N 2000 N ラ／ 耐荷重 , ベース 任意方向 20 kg 50 kg 耐荷重 , ベース 水平方向 50 kg 250 kg シＰ シＰ リｉ 重量 17 kg 17 kg リｉ ーｅ 材質 ーｅ ズｚ アルミ アルミ ｏ ズｚ パワーサプライコネクタ ｏ Ｗ M12 4-pin (m) M12 4-pin (m) Ｗ ａ 推奨コントローラ C-887.5xx C-887.5xx ａ ｌ ｌ ｋ 動作温度範囲 ｋ ® ブラシレス DC モータ (BLDC) の使用 アブソリュートエンコーダ -10 ～ 50 °C -10 ～ 50 °C ® データー通信コネクタ HD D-sub 78-pin (m) HD D-sub 78-pin (m) ブラシレス DC モータは、高速回転に適してお アブソリュートエンコーダは、位置を即座に決 ピ 22±3°C での技術データ。 ピ エ り、非常に正確な制御ができ、高精度が可能 定できる明示的な位置情報を持つため、電源 エ ゾ ゾ モ モ ー です。摺動接点がないため、スムーズに動作 を入れるときのリファレンスが不要です。これ 各座標 (X、Y、Z、Θ X、Θ Y、Θ Z) の最大動作範囲は相互に依存しています。各軸のデータは、他のすべての軸がゼロ位置で、ピボットポイントが 0,0,0（デフォルト）の場合の最大動作範囲を示します。 接続ケーブルは、別途オーダーが必要です。 ー タ し摩耗がなく長寿命です。 により動作中の効率と安全性が向上します。 タ 電 電 動 動 モ モ ー ー タ タ 静 静 電 電 容 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー パヘ パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル 162 163

コピ F-712 技術データ コピ ンエ ンエ ポゾ モデル F-712.HA1/F-712.HA2 F-712.HU1 F-712.MA1/F-712.MA2 単 位 ポゾ ーア 駆動軸数 9 / 18 9 3 / 6 軸 ーア ネク 高精度ファイバーアライメントシステム ネク ンチ ンチ トュ 粗動位置決め トュ エ 駆動軸 X, Y, Z, θX, θY, θZ X, Y, Z, θX, θY, θZ X, Y, Z エ ー ー タ X, Y, Z 方向トラベルレンジ ±6.5, ±16, ±8.5* ±17, ±16, ±6.5* 25, 25, 25 mm ・ タ θX, θY, θZ 方向トラベルレンジ ・ ±14.5, ±10, ±10* ±10, ±10, ±21* – ° 高ピ ■ 光ファイバーアライメント用の 最小インクリメンタルモーション X, Y 0.1 0.1 3 µm 高ピ 速エ 　 スキャンルーチンを搭載 速エ スゾ 最小インクリメンタルモーション Z 0.1 0.05 3 µm スゾ キフ 最大速度 キフ ャレ ■ シリコンフォトニクスアプリケーションに最適 10 10 20 ャレ ニク センサータイプ ロータリーエンコーダ ロータリーエンコーダ ロータリーエンコーダ ニク ンシ ンシ グャ ■ 幅広いソフトウェアパッケージ ガイド – – クロスローラーガイド グャ シス 駆動タイプ シス ステ ブラシレス DC モータ ブラシレス DC モータ DC モータ ■ 光信号を直接検出 ステ テー 微細位置決め テー ムジ ムジ ／ ■ 優れた精度と動作信頼性を実現する 駆動軸 X, Y, Z ／ 高 　 ポジションセンサー X, Y, Z 方向トラベルレンジ 100 µm 高 速 最小インクリメンタルモーション Open 0.3 nm 速 ス ■ 複数のファイバーを 1 秒未満で自動アライメント ス テ 最小インクリメンタルモーション Closed 2.5 nm テ ア リニアリティエラー（全レンジ） ア リ 2 ％ リ ン 双方向再現性（10％トラベルレンジ） ン グ 2 nm グ ミ センサータイプ ミ ラ アプリケーション例 インクリメンタルリニアエンコーダー ラ ー 駆動タイプ PICMA ー ● 光コンポーネントのアライメント アライメント モピ スパイラルエリアスキャンのスキャン所要時間 500 µm Ø*** ーエ ● 自動ウエハーテスト <2 <2 <6 秒 モピ ーエ タゾ ーコ ● シリコンフォトニクスにおけるアセンブリ スパイラルエリアスキャンのスキャン所要時間 100 µm Ø*** <0.3 <0.3 <1 秒 タゾ F-712.HA1 型　ファイバーアライメントシステム スパイラルエリアスキャンのスキャン所要時間 10 µm Ø*** <0.2 <0.2 <0.5 秒 ーコ コン コン ント グラディエイトスキャンのアライメント時間、 ント トロ <0.3 <0.3 <0.3 秒 トロ ロー ±5µm でランダム化（再現性 < 0.01dB）**** ロー ーラ ーラ ラ／ その他 ラ／ 動作温度範囲、メカニクス 0 ～ 50 － 20 ～ 65 °C 動作温度範囲、コントローラ 5 ～ 40 °C シＰ シＰ リｉ ケーブル長さ 2 3 m リｉ ーｅ 光学パワーメーターの要件 ーｅ ズｚｏ ズｚｏ Ｗ 出力信号 アナログ出力、リニアから対数への変換を推奨 Ｗ ａ 出力電圧範囲、最大 ａ ｌ -5 ～ 5 V ｌ ｋ 帯域幅、最小 1 kHz ｋ ® ® ノイズレベル、最大 -60 dBm 20±3°C 時の技術仕様データです。 ピ * 各座標（X、Y、Z、θX、θY、θZ）のトラベルレンジは相互依存します。この表に記載されている各軸のデータは、その他すべての軸および回転軸が基準位置にあるときの最大トラベルレンジを示しています。 ピ エ ヘキサポッドのデフォルトの座標系および回転軸座標については、寸法図をご覧ください。回転軸を変更すると、θX、θY、θZ 方向のトラベルレンジが減少します。座標系の向きを変更すると（光軸を エ ゾ ゾ モ Z 軸にするなど）、X、Y、および Z 方向のトラベルレンジが変化します。 モ ー ** 多項式線形化なし ー タ タ *** エリア全体をスキャンして最大の強度に移動するための平均時間間隔 **** 最初の光検出後に全体の最大値に到達 電 電 動 動 モ モ ー ー タ タ 静 F-712.HU1 型　マルチチャンネルフォトニクスアライメントシステム 静 電 電 容 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー パヘ パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ 制ッ 御ド F-712.IRP 高分解能フォトメーター 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル F-712.MA1 型　高精密ファイバーアライメントシステム 164 165

コピ 712 コピ ンエ F- ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク 精度ファイバーアライメントシステム 図面 ネク ンチ ンチ トュ 高 トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ 高ピ 速エ 速エ スゾ スゾ キフ キフ ャレ ャレ ニク ニク ンシ ンシ グャ グャ シス シス ステ ステ テー テー ムジ ムジ ／ ／ 高 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ ミ ラ ラ ー ー モピ モピ ーエ ーエ タゾ タゾ ーコ ーコ コン コン ント ント トロ トロ ロー ロー ーラ ーラ ラ／ ラ／ シＰ シＰ リｉ リｉ ーｅ ーｅ ズｚ ズｚｏ ｏ Ｗ Ｗ ａ ａ ｌ ｌ ｋ ｋ ® ® ピ ピ エ エ ゾ F-712.HA（寸法：mm） F-712.MA1（寸法：mm） ゾ モ モ ー ー タ タ 電 電 動 動 モ モ ー ー タ タ 静 静 電 電 容 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー パヘ パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー ー シC S シC ョ ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ル F-712.HU1（寸法：mm） F-712.MA2（寸法：mm） ー ル 166 167

コピ 887.5X コピ ンエ C- ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク キサポッドシステム用コントローラ ネク ンチ ンチ トュ へ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ 高ピ 速エ ■ コマンド指令 速エ スゾ スゾ キフ ■ ひとつのコマンドで XYZ 座標系の制御が可能 キフ ャレ ャレ ニク ニク ンシ ■ EtherCAT インターフェース＆ E-Stop ンシ グャ グャ シス シス ステ ■ 緊急停止機能オプション ステ テー テー ムジ ムジ ／ ■ ソフトウエアサポート：Labview・ ／ 高 　 WindowsDLL・Linux 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ ミ ラ ラ ー ー モピ モピ ーエ ーエ タゾ タゾ ーコ ーコ コン コン ント 技術データ ント トロ トロ ロー ロー ーラ ーラ ラ／ モデル C-887.52 C-887.521 C-887.53 C-887.531 C-887.522 C-887.523 C-887.532 C-887.533 ラ／ ドライブタイプ サーボモーター (Hexapod and single axes) シＰ サーボ特性 32- bit PID コントローラ シＰ リｉ 軌道プロファイルモード 　 Jerk-controlled generation of dynamics profile with linear interpolation リｉ ーｅ ーｅ ズｚｏ プロセッサー Intel Atom dual core (1.8 GHz) ズｚｏ Ｗ サーボサイクルタイム 100 µs Ｗ ａ ａ ｌ エンコーダーインプット AB (quadrature) differential TTL signal, 50 MHzBiSS ｌ ｋ ｋ ® ストール検知 サーボオフ：プログラム設定位置エラートリガー ® リファレンスポイントスイッチ TTL ヘキサポッド制御 12- bit PWM signal, TTL, 24 kHz ピ ヘキサポッドパワーソース 24V ピ エ エ ゾ 最大出力 7A ゾ モ モ ー 通信インターフェース TCP/ IP, RS-232USB TCP/ IP, RS-232 ー タ タ (manual control unit) USB (manual control unit) 2 x RJ45 for EtherCAT ヘキサポッド接続 HD Sub- D 78- pin (f) for data transfer M12 4- pin power input 電 単軸用コネクター D-sub 15 pin 電 動 I/O ポート HD D-sub 26- pin (f):4 動 モ モ ー × アナログ入力 (-10 ～ 10 V, via 12- bit A/ D コンバーター )　4 ー タ タ × デジタル入力 (TTL)　4 × デジタル出力 (TTL) アナログ入力： C-887.521/C.887.531/ 2 x BNC, -10 V ～ 10 V C-887.523 /C-887.533 静 コマンドセット PI ジェネラルコマンドセット（GCS） 静 電 電 容 ソフトウエア PIMikroMove 容 量 量 セ ソフトウエアドライバー LabVIEWドライバ、Windows および Linux 用ダイナミックライブラリ セ ン マニュアル制御 C-887.522 and C-887.523: E- Stop 　 C-887.532 and C-887.533:E- Stop ン サ サ ー Optional:C-887.MC control unit for Hexapods Optional:C-887.MC control unit for Hexapods ー 動作電圧 24 V　external power supply for 100 to 240 VAC,50 / 60 Hz, in the scope of delivery パヘ 最大消費電力 8A パヘ ラキ ラキ レサ 動作温度範囲 5 ～ 40℃ レサ ルポ ルポ 制ッ 重量 2.8kg 制ッ 御ド 御ド ６ 寸法 280 (320) mm × 150 mm × 103 mm ６ 軸 軸 シ Power supply:170 mm × 85 mm × 42.5 mm シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル 168 169