【ナノメートル精密位置決め】PI社のピエゾアクチュエータ/ピエゾステージ製品

PI（Physik Instrumente）社製 ナノメートルの ピエゾ精密位置決め 製品紹介 アクチュエータ/ステージ /コントローラ ピーアイ・ジャパン株式会社 044-280-7676 www.pi-japan.jp/ info@pi-japan.jp

コピ P-882 ～ P-888 コピ ンエ ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク PICMA® 積層ピエゾアクチュエータ ネク ンチ ンチ トュ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ ■ 長寿命を確保 高ピ 速エ 速エ スゾ ■ 幅広い動作温度 スゾ キフ キフ ャレ ャレ ニク ンシ ■ 優れた耐湿性 ニク ンシ グャ グャ シス ステ ■ 優れた温度安定性 シス ステ テー ムジ ■ 高剛性 テー ムジ ／ ／ ■ ピーク電流～ 20A 高 リーク電流試験：PICMA®ピエゾアクチュエータ（赤色の曲線）と、ポリマー絶縁の従来の積層アクチュエータ（青色の曲線）と 高 速 ス ■ 超高真空対応～ 10-9hPa の比較。PICMA®ピエゾアクチュエータは、高湿度の影響を受けません。従来のピエゾアクチュエータは、わずか数時間で、漏れ 速 ス テ ア 電流が増加しています。リーク電流は、品質と寿命の指標となります。 テ リ ■ サブミリセカンドの応答 / サブナノメートルの分解能 ア 試験条件：U = 100VDC、T = 25℃、相対湿度 = 70% リ ン ン グ ミ ■ ダイナミックアプリケーションに最適 グ ミ ラ ラ ー ー モピ モピ ーエ ーエ タゾ タゾ ーコ ーコ コン コン ント トロ アクセサリ & オプション ント トロ ロー ロー ーラ ーラ ラ／ ● 精密メカニクス／機械加工 ● 空気圧／水圧バルブ ラ／ ● 高速スイッチング ● 各種計測／干渉計 ● アクティブおよびアダプティブ ● ライフサイエンス、バイオ シＰ リｉ PICMA® 積層ピエゾアクチュエータ 　 オプティクス 　 テクロノジー シＰ リｉ ーｅ ズｚ ● アクティブ振動制御 ● ナノテクノロジー ーｅ ズｚｏ ｏ Ｗ Ｗ ａ ａ ｌ ｌ ｋ ｋ ® PICMA® 積層アクチュエータは、過酷な環境 超高真空に対応－最小限のアウトガス クローズドループ動作に最適 ® でも、高い性能と信頼性をいかんなく発揮し アクチュエータに 15MPa のプリロードを加え、116Hz で動作させた際のデータ。 ピ ます。産業アプリケーションや厳しい条件に この製品は、ポリマー絶縁がなく、キュリー温 アクチュエータのセラミック表面は、歪みゲー “burn in” 後と 12 億サイクル後動作の比較となります。 ピ エ ゾ おいて、従来の積層アクチュエータに比べて 度が高いため、超高真空用に最適です（最小 ジセンサーとの使用に適しています。このよう エ ゾ モ モ ー 優れた性能を備え、スタティックおよびダイナ 限のアウトガス／高ベークアウト温度：最高 なセンサーは、簡単にアクチュエータ表面に ー タ タ ミックアプリケーションのどちらにおいても長 200℃）。 適用でき、従来のポリマー絶縁アクチュエータ 寿命を実現します。 と比較して、極めて高い安定性とリニアリティ 技術データ を実現します。 新しい製造プロセス、最適化された モデル 外径寸法 標準変位量 最大変位量 ブロッキングフォース 剛性 静電容量 共振周波数（kHz） AxBxL （µm@100V） （µm@120V） （N@120V） （N/µm） （µF） 20% ±20% 電 P-882.11 3x2x9 6.5 6.5±20 % 8±20 % 190 24 0.15 135 電 動 ピエゾセラミック P-882.31 3x2x13.5 11±20 % 13±20 % 210 16 0.2 90 動 モ モ ー P-882.51 3x2x18 15±10 % 18±10 % 210 12 0.31 70 ー タ PICMA® ピエゾアクチュエータは、セラミック タ P-883.11 3x3x9 6.5±20 % 8±20 % 290 36 0.21 135 材料から製造され、剛性、静電容量、変位、 P-883.31 3x3x13.5 11±20 % 13±20 % 310 24 0.35 90 温度安定性、および寿命というピエゾセラミッ P-883.51 3x3x18 15±10 % 18±10 % 310 18 0.48 70 クの特性が最適化されています。その結果、こ P-885.11 5x5x9 6.5±20 % 8±20 % 800 100 0.6 135 のアクチュエータは、サブミリセカンドの応答と P-885.31 5x5x13.5 11±20 % 13±20 % 870 67 1.1 90 静 電 P-885.51 5x5x18 15±10 % 18±10 % 900 5 1.5 70 静 容 サブナノメートルの分解能を実現しています。 電 容 量 P-885.91 5x5x36 32±10 % 38±10 % 950 25 3.1 40 量 セ P-887.31 ン 7x7x13.5 11±20 % 13±20 % 1700 130 2.2 90 セ サ 優れた耐湿性による長寿命 ン P-887.51 7x7x18 15±10 % 18±20 % 1750 100 3.1 70 サ ー P-887.91 ー 7x7x36 32±10 % 38±20 % 1850 50 6.4 40 モノリシックセラミックコーティングが施され P-888.31 10x10x13.5 11±20 % 13±20 % 3500 267 4.3 90 ているため、ポリマーフィルム絶縁と比較して、 P-888.51 10x10x18 15 ±10 % 18±20 % 3600 200 6.0 70 パヘ ラキ 耐湿性に優れています。同時焼結の外層セラ P-888.91 10x10x36 32±10 % 38±20 % 3800 100 13.0 40 パヘ ラキ レサ レサ ルポ ミックコーティングを施すことにより、水の分 ルポ 制ッ ピエゾセラミックタイプ：PIC252 制ッ 御ド６ 子が絶縁層に拡散することを大幅に抑えてい * オプションの PTFE 絶縁リード線（ピッグテール長さ 100mm）について、注文番号の拡張子が .x1 になります（例：P-882.11）。 御ド６ 軸 シ ます。このアクチュエータは共振周波が高いた ダイナミックアプリケーションのための推奨プリロード：15MPa 軸 シ ス 一定力に対する最大プリロード：30MPa ス テ め、小負荷のダイナミックアプリケーションに テ ム 1Vpp 時の共振周波数（無負荷、両端フリー）。片側クランプの場合、値は 1/2 になります。 ム ・ 適しています。負荷によっては、外付けのプリ 1Vpp、1kHz 時の静電容量 ・ モA ロードをダイナミックアプリケーションに適用 動作電圧：-20 ～ +120V モA ー することを推奨します。320℃という高いキュ 動作温度範囲：-40 ～ +150℃ ー シC シC ョS 標準メカニカルインターフェイス：セラミック ョS ン コ リー温度により、一般的なアクチュエータの使 標準電気インターフェイス：はんだ付け性パッド ン コ ン ト 用温度 80℃をはるかにしのぐ、150℃を達成 オプション：歪みゲージセンサー、特殊メカニカルインターフェイスなど。ご要望に応じて、その他の仕様もあります。 ン ト ロ ロ ー しています。またこの製品は、数ケルビンの低 ー ル PICMA® アクチュエータの外形図（単位：mm） ル 温使用も可能です（ストロークが短くなる）。 052 053

コピ P-840/P-841 コピ ンエ ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク プリロード付ピエゾアクチュエータ ネク ンチ ンチ トュ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ ■ PICMA™ ピエゾセラミックスによる長寿命 オーダー情報 高ピ 速エ 速エ スゾ キフ ■ ストローク～ 90µm P-840.10 スゾ キフ ャレ ニク ■ コンパクトケース ストローク 15 µm ャレ ニク ンシ ンシ グャ シス ■ プッシュフォース～ 1000N P-840.20 グャ シス ステ テー ストローク 30 µm ステ ■ プルフォース～ 50N テー ムジ ムジ ／ P-840.30 ／ ■ サブミリセカンドの応答 高 ストローク 45 µm 高 速 速 ス ■ サブナノメートルの分解能 P-840.40 ス テ ア ■ オプション：ボールチップ、真空対応バージョン ストローク 60 テ µm ア リ リ ン グ P-840.60 ン グ ミ ラ ストローク 90 µm ミ ラ ー ー P-841.10 モピ SGS センサー付き、ストローク 15 µm モシＰピ ーエ ーリｉエ タゾ P-841.20 ターｅゾ ーコ ーズｚコ コン SGS センサー付き、ストローク 30 µm コｏン ント ンＷト トロ アクセサリ & オプション トａロ ロー P-841.30 ロｌー ーラ ーｋラ ラ／ ● スタティックとダイナミック ● アクティブ振動制御 SGS センサー付き、ストローク 45 µm ラ／® 　 の精密位置決め ● スイッチ ● ディスクドライブ試験 ● レーザーチューニング P-841.40 シＰ ● アダプトロニクス ● パッチクランプ SGS センサー付き、ストローク 60 µm シピＰ リｉ リエｉ ーｅ P-840/P-841 プリロード付ピエゾアクチュエータ ● スマート構造 ● ナノテクノロジー ーゾP-841.60 ｅ ズｚｏ ズモｚ P-840.10のピーク to ピーク値 3nm の短形波制御入力信号に対する応答（サーボ制御のバンド幅 240Hz、セットリングタイム 2msec で測定） SGS センサー付き、ストローク 90 ｏ Ｗ µm ー タＷａ ａ ｌ ｌ ｋ ｋ ® P-840 および P-841 シリーズトランスレータ 取り付け 磁石アダプタや P-176.20 を使用すること 技術データ ® は、スタティックおよびダイナミックアプリケー 取り付けは下部で、5N 未満のプッシュ / プ により、磁気カップリング動作に適した高 ションのための高分解能のリニアアクチュエー ルフォースによりケースをクランプしてア 精度標準モデル P-840 は、オープンループ モデル P-841.10 P-841.20 P-841.30 P-841.40 P-841.60 ピ P-840.10 P-840.20 P-840.30 P-840.40 P-840.60 単位・交差 ピ電 エ エ動 ゾ タです。これらは、サブミリセカンドの応答と クチュエータを保持できます。オプション の位置決めに適しています。高分解能の歪 オープンループストローク、0 ～＋ 100V ゾモ モ 15 30 45 60 90 µm±20 % モー ー サブナノメートルの分解能を実現しています。 のボールチップ（P-840.95）は、ピエゾ みゲージ位置センサーを内蔵する P-841 は クローズドループストローク ータ タ 15 30 45 60 90 µm タ セラミックスへのトルクを偏心力を除去す クローズドループ動作において高精度を * 内蔵フィードバックセンサー SGS/ SGS/- SGS/- SGS/- SGS/- 設計 ** クローズドループ / オープンループ分解能 0.3/0.15 0.6/0.3 0.9/0.45 1.2/0.6 1.8/0.9 nm るために使用します。 実現しています。 *** 大信号に対する静的剛性 15 10 N/µm 57 27 19 ±20 % P-840 および P-841トランスレータは、信頼 電 最大 1000N のプッシュフォース 1000 1000 1000 1000 1000 N 電静 動 性の高い積層構造のピエゾセラミックスで構 動 モ 最大 50N のプルフォース 50 50 50 50 50 N 電 モ容 ー 成され、これらは、内部スプリングでプリロー トルク限界値 ( チップ ) 0.35 0.35 0.35 0.35 0.35 Nm ー量 タ タセ ドが加えられた非磁性ステンレススチール 静電容量 1.5 3.0 4.5 6.0 9.0 µF/±20 % ン サ ケースにより保護されています。プリロードに 無負荷時の共振周波数 18 14 10 8.5 6 kHz±20 % ー 動作温度範囲 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 ℃ よって、ダイナミックアプリケーションや引っ張 電圧接続部 LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO り負荷用に最適です。 センサー接続部 LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO パヘ 静 重量 ( ケーブル含まず ) ラ静キ 電 20 28 46 54 62 g±5 % レ電サ 容 長寿命を約束する 材料：ケース、端部 N-S N-S N-S N-S N-S ル容ポ 量 制量ッ セ セラミック絶縁ピエゾアクチュエータ 長さ L 32 50 68 86 122 mm±0.3 % 御セド ン ン６ サ サ軸 ー ーシ セラミックで絶縁されている PICMA®ピエゾ * クローズドループモデルは、最大 0.15% のリニアリティが可能で、性能報告書とともに出荷されます。 ス テ アクチュエータを使用することで最大限の信 **PI ピエゾアクチュエーターの分解能は、動摩擦や静止摩擦による制限を受けません。表示されている値は、E-503 アンプによるノイズ相当分の動作です。 ム ・ *** 小信号に対する動的剛性は～ 30% 以上です。 パヘ 頼性が保証されます。このセラミック絶縁によ 推奨コントローラー / アンプ パヘ ラキ ラモピキ レサ り、周囲湿度やリーク電流に対する耐性があ 単一チャネル：E610 サーボコントローラー / アンプ、E625 サーボコントローラー、ベンチトップ、E-621 コントローラーモジュール レーエサ ルポ ルタゾポ 制ッ 制ーコッ 御ド ります。このため、従来のアクチュエータに比 単一チャネル：E-500 モジュール式ピエゾコントローラーシステム、E-505 高出力アンプモジュール付き、および E-509 コントローラー 複数チャネル：E-500 モジュール公式ピエゾコントローラーシステム、E-503 アンプモジュール (3 チャネル ) または E-505 高出力アンプ (1 軸あたり) 付き、および E-509 コントローラー 御コンド ６ ント６ 軸 べてはるかに優れた信頼性と寿命を備えてい トロ軸 シ ローシ ス ます。 ーラス テ ラーテ ム ー／ム ・ 超高真空に対応－最小限のアウトガス ・ モA モアA ー ーク シC この製品は、ポリマー絶縁がなく、キュリー温 シセC ョS ョサS ン 度が高いため、超高真空用に最適です（最小 ンリ コ コ ン ンー ト 限のアウトガス／高ベークアウト温度：最高 ト ロ ロ ー 150℃）。 P-840、P-841 の外形図（単位：mm）。長さ L：表を参照 ー ル ル 054 055

コピ P-842 ～ P-845 技術データ コピ ンエ ポゾ オープンループ ンエ ポゾ ーア 無負荷時の 重量 ネク モデル ストローク、 クローズドループ ** クローズド ストローク * 内蔵フィード ループ／オープ *** 大信号に対 プッシュプル 共振周波数 （ケーブル含まず） L ーア ンチ プリロード付ピエゾアクチュエータ -0 ～ +100V （μ m） バックセンサー ンループ分解能 する静的剛性 フォース容量 静電容量 長さ （nm） （N/µm） （N） （µF） 20％ （KHz） 20% （g） 0.5% （mm） ネク トュ （µm） 20％ ンチ トュ エ ー P-842.10 15 - - -/0.15 57 800/300 1.5 18 31 37 エ ー タ P-842.20 ・ 30 - - -/0.3 27 800/300 3.0 14 42 55 タ・ P-842.30 45 - - -/0.45 19 800/300 4.5 10 53 73 高ピ ■ PICMA™ ピエゾセラミックスによる長寿命 P-842.40 60 - - -/0.6 15 800/300 6.0 8.5 64 91 高ピ 速エ スゾ ■ ストローク～ 90µm P-842.60 90 - - -/0.9 10 800/300 9.0 6 86 127 速エ スゾ キフ ャレ P-843.10 15 15 SGS 0.3/0.15 57 800/300 1.5 18 31 37 キフ ャレ ニク ■ プッシュフォース～ 3000N P-843.20 ニク ンシ 30 30 SGS 0.6/0.3 27 800/300 3.0 14 42 55 ンシ グャ P-843.30 ■ プルフォース～ 700N 45 45 SGS 0.9/0.45 19 800/300 4.5 10 53 73 グャ シス シス ステ P-843.40 60 60 SGS 1.2/0.6 15 800/300 6.0 8.5 64 91 ステ テー ムジ ■ サブミリセカンドの応答 P-843.60 テー 90 90 SGS 1.8/0.9 10 800/300 9.0 6 86 127 ムジ ／ P-844.10 15 - - -/0.15 225 3000/700 6.0 16 84 47 ／ ■ サブナノメートルの分解能 高 P-844.20 30 - - -/0.3 107 3000/700 12.0 12 108 65 高 速 ス ■ オプション：真空対応バージョン、防水ケース P-844.30 45 - - -/0.45 75 3000/700 18.0 9 132 83 速 ス テ P-844.40 60 - - -/0.6 57 3000/700 24.0 7.5 156 101 テ ア ア リ P-844.60 90 - - -/0.9 38 3000/700 36.0 5.5 204 137 リ ン グ P-845.10 ン 15 15 SGS 0.3/0.15 225 3000/700 6.0 18 84 47 グ ミ ラ P-845.20 30 30 SGS 0.6/0.3 107 3000/700 12.0 12 108 65 ミ ラ ー P-845.30 45 45 SGS 0.9/0.45 75 3000/700 18.0 9 132 83 ー P-845.40 60 60 SGS 1.2/0.6 57 3000/700 24.0 7.5 156 101 モピ SGS 1.8/0.9 38 3000/700 モピ ーエ P-845.60 90 90 36.0 5.5 204 137 シＰ ーリｉエ タゾ ターｅゾ ーコ ーズｚｏココン コン ント アクセサリ & オプション ンＷ電圧接続部：LEMO FFA.00.250、同軸ケーブル、RG 178、PTFE ト トロ トａロ ロー センサー接続部：LEMO FFA.0S.304 コネクタ、1m 同軸ケーブル（PUR 絶縁材） ロｌー ーラ ーｋラ ラ／ ● スタティックとダイナミック ● スマート構造／アダプトロニクス 動作温度範囲：-40 ～ 80℃、ケース／末端部：非磁性鉄鋼 ラ／® 　 の精密位置決め ● 精密機構／機械加工 ● ディスクドライブ試験 ● アクティブ振動制御 * クローズドループモデルは、最大 0.15% のリニアリティが可能で、性能報告書とともに出荷されます。 シＰ P-844 ピエゾアクチュエータ ● 光学 ● スイッチ ** ピエゾアクチュエータの分解能は、動摩擦や静止摩擦による制限を受けません。表示されている値は、E-503 アンプによるノイズ相当分の動作です。 シピＰ リｉ リエｉ ーｅ *** 小信号に対する動的剛性は、～ 30% 以上です。 ーゾｅ ズｚ ● 各種計測／干渉計 ● レーザーチューニング ｏ ズモｚ ーｏ Ｗ 推奨コントローラー／アンプ タＷａ ａ ｌ 単一チャネル：E-610 サーボコントローラー／アンプ、E-625 サーボコントローラー、ベンチトップ、E-62l コントローラーモジュール ｌ ｋ ｋ ® P-842/P-843 および P-844/P-845 シリーズ の信頼性が保証されます。このセラミック絶 単一チャネル：E-500 モジュール式ピエゾコントローラーシステム、E-505 高出力アンプモジュール付きおよび E-509 コントローラー ® ピエゾトランスレータは、スタティックおよび 縁により、アクチュエータは周囲湿度や漏れ 複数チャネル：E-500 モジュール式ピエゾコントローラーシステム、E-503 アンプモジュール（3 チャネル）または E-505 高出力アンプ（軸あたり1）付き、および E-509 コントローラー ピ ダイナミックアプリケーションのための高分解 電流に対する耐性があります。このため、従 ピ電 エ 能のリニアアクチュエータです。これらは、サ 来のアクチュエータに比べてはるかに優れた エ動 ゾ ゾモ モ モー ー ブミリセカンドの応答とサブナノメートルの分 信頼性と寿命を備えています。 ータ タ タ 解能を実現しています。 取り付け 設計 取り付けは下部で、100N 未満のプッシュ / プ 電 P-842/P-843 および P-844/P-845トランス ルフォースによりケースをクランプしてアクチュ 電静 動 動電 モ レータは、PICMA®ピエゾセラミックスで構成 エータを保持できます。フレキシブルチップ モ容 ー ー量 タ タセ され、これらは、内部スプリングでプリロード P-176.50/P-176.60 を取り付けることに ン サ が加えられた非磁性ステンレススチールケース より、剪断力からセラミックを保護できます。 ー により保護されています。プリロードによって、 ダイナミックアプリケーション（精密機械加工、 アクセサリ P-844、P-845 の外形図（単位：mm）。長さ L：表を参 パヘ 静 アクティブ振動制御など）や引っ張り負荷用に 照。上端部の最大トルク：1Nm。 ラ静キ 電 レ電サ 容 ル容ポ 量 最適です。 ・P-176.50 制量ッ セ 御セド ン ・P-842/P-843 用フレキシブルチップ ン６ サ サ軸 ー クローズドループ動作に適した高精度 ・P-844/-P845 用フレキシブルチップ ーシス テ ム P-842/P-843 および P-844/P-845トランス ・ パヘ パヘ ラキ レータは、PICMA®ピエゾセラミックスで構成 　P-176.50 寸法図 　P-176.60 寸法図 ラモピキ レサ レーエサ ルポ され、これらは、内部スプリングでプリロード モデル P176.50 P176.50 ルタゾポ 制ッ 制ーコッ 御ド が加えられた非磁性ステンレススチールケース 最大曲げ角度（ ° ） ±0.5 ±0.5 御コンド ６ ント６ 軸 【オプション：フレキシブルチップ】 により保護されています。プリロードによって、 軸方向剛性（ N/µm ） 100 200 トロ軸 シ PZT セラミックスタックは曲げ力に耐えることができません。 ローシ ス ダイナミックアプリケーション（精密機械加工、 曲げ剛性（ Nm/µrad ） 22 40 ーラス テ フレキシブルチップは、これらの力を回避することは不可能で ラーテ ム ある用途にオプションとして取り付けることが可能です。 ー／ム ・ アクティブ振動制御など）や引っ張り負荷用に ・ モA 最適です。 モアA ー ー シC ク シセC ョS 長寿命を約束する ョサS ン ンリ コ セラミック絶縁ピエゾアクチュエータ コ ン ンー ト ト ロ ロ ー セラミックのみで絶縁されている PICMA®ピエ P-842、P-843 の外形図（単位：mm）。長さ L：表を参 ー ル 照。上端部の最大トルク：0.35Nm。 ル ゾアクチュエータを使用することで最大限 056 057

コピ P212/P216 コピ ンエ ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ ンチ トュ トュ エ PICA™ パワーピエゾアクチュエータ L [mm] Φ A [mm] Φ B [mm] C D M エ ー P212.1x 47 8 18 15 7 5 ー タ・ P212.2x 60 8 18 15 7 5 タ・ 高ピ ■ ストローク～ 180µm P212.4x 86 8 18 15 7 5 P212.8x 139 8 18 15 7 5 高ピ 速エ 速エ スゾ ■ プッシュフォース～ 4500N P216.1x 47 10 25 22 8 6 スゾ キフ キフ ャレ P216.2x 60 10 25 22 8 6 ャレ ニク ■ プルフォース～ 500N ニク ンシ P216.4x 86 10 25 22 8 6 ンシ グャ グャ シス ■ サブミリセカンドの応答 P216.8x 139 10 25 22 8 6 シス ステ P216.9x 191 10 25 22 8 6 ステ テー ■ サブナノメートルの分解能 テー ムジ ムジ ／ ／ ■ オプション：真空、高温、および低温 高 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ ミ ラ ラ ー ー モピ P-225 と P-235 の外形図（単位：mm）。末端部とケースはステンレススチール。 モピ ーエ センサー接続部：LEMO FFA.0S.304、PUR 絶縁材付きの 1m 同軸ケーブル。 ーエ タゾ タゾ ーコ 電圧接続部：LEMO FGG.0B.701.CJA.1173、PUR 絶縁材付きの 1m 同軸ケーブル、2 芯、シールド付き ーコ コン コン ント ント トロ アクセサリ & オプション トロ ロー ロー ーラ オーダー情報 ーラ ラ／ ● 光学 ● アクティブ振動ダンピング オプション ラ／ ● 各種計測／干渉計 ● スイッチ 2 リロード付き高負荷ピエゾアクチュエータ、1000V、2500N ● アダプトロニクス ● レーザーチューニング 6 リロード付き高負荷ピエゾアクチュエータ、1000V、4500N P-177.50 シＰ ● 精密工学／マイクロメカニクス ● 力の発生／材料試験 0 センサーなし ダイナミックアプリケーション（E-481 を使用）： シＰ リｉ ● アダプティブメカニクス ● ナノテクノロジー S SGS 位置センサー付き PICA™ HVPZT 用の温度センサーおよび保護用エア。 リｉ ーｅ ーｅ ズｚｏ P-212と P-216 シリーズピエゾアクチュエータ ズｚｏ Ｗ P-21 □ . □□□ T 低温用に改良 Ｗ ａ ａ ｌ V 高温／真空用に改良 ｌ ｋ このシリーズは、スタティックとダイナミックの は、アクチュエータの変位は印加電圧にほぼ することができます。これには各種インター 1 ストローク 15µm ｋ ® 2 ストローク 30µm ® アプケーションのための高分解能のリニアピエ 比例します。 フェイスやディスプレイのモジュールが含まれ 4 ストローク 60µm ピ ゾアクチュエータ（トランスレータ）です。これら オープンループ動作は、高速応答と、高周波 ます。 8 ストローク 120µm ピ エ は、サブミリセカンドの応答とサブナノメートル 数帯域で高分解能が必須となるアプリケー 9 ストローク 180µm（P-235 のみ） エ ゾ ゾ モ モ ー の分解能を実現しています。これらのアクチュ ションに理想的です。オープンループ動作では、 オプションおよびアクセサリ ー タ タ エータは、摩擦のない PICA™ プリロード付 コマンドを送信して絶対値でターゲット位置を 技術データ 高出力アクチュエータを内蔵しています。プリ 読み取ることは重要ではなく、必要な場合は クローズドループ用として、真空タイプ、防水 モデル P-212.10 P-212.20 P-212.40 P-212.80 P-235.10 P-235.20 P-235.40 P-235.80 P-235.90 単位 公差 ロードを加えることによって精密機械加工や 外部の位置センサーによって実施されます。 タイプ、その他各種工場取り付けオプション 動作電圧 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 V 電 アクティブダンピングなどのダイナミックなアプ 最高の位置決め精度と再現性を得るためは、 があります。詳細については、「購入ガイド」 動作および位置決め 電 動 リケーションで理想的なアクチュエータとな 内蔵の高分解能の歪みゲージ位置センサーを をご覧ください。接続器具として、アダプター クローズドループ 動 モ 15 30 60 120 15 30 60 120 180 µm モ ー ります。 用いてPI製造工場において設定されたクローズ ケーブルおよびコネクタがあります。 ストローク ー タ クローズドループ タ ドループオプションを選択し、PI のサーボ制御 0.3 0.6 1.2 2.4 0.3 0.6 1.2 2.4 3.6 nm 標準 分解能 * 超高信頼性を備えた大きな変位置 エレクトロニクスを用いて駆動してください。 ピエゾドライバ、コントローラー、アンプ オープンループ 0.15 0.3 0.6 1.2 0.15 0.3 0.6 1.2 1.8 nm 標準 分解能 * PICA™ 高出力アクチュエータは、高温の動作 機械的な取り付け リニアリティ 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 ％ 標準 静 条件とサイクル数の高いダイナミックアプリ 高分解能アンプおよびサーボ制御エレクトロ 機械特性 静 電 電 容 ケーション用に最適化されています。すべての 取り付けは、5N 未満のプッシュ ･ プルフォース ニクス（デジタルおよびアナログ）については、 大信号に対する 容 量 90 60 34 18 210 140 80 50 32 N/µm ±20% PICA™ ピエゾセラミックは、サイクル数の高い を用いて下部で行いますが、ケースをクランプ 『ピエゾドライバー / サーボコントローラー』 静的剛性 ** 量 セ セ ン 無負荷時の ン サ アプリケーション専用に設計されています。数 することでアクチュエータを保持することがで ページをご覧ください。 17 12 7 4.5 17 12 7 4.5 3 kHz ±20% サ ー 共振周波数 ー 十年にわたって得られた PI の幅広いアプリ きます。オプションのボールチップは、トルク プッシュプルフォース容量 2000/300 2000/300 2000/300 2000/300 4500/500 4500/500 4500/500 4500/500 4500/500 N 最大 ケーション知識によると、性能は信頼性を犠牲 と偏心力が加わらないことを目的としています。 剪断力限界 15 10 10 10 60 36 23 23 23 N パヘ にして得られるものではありません。使用する トルク限界（チップ） 0.5 0.5 0.5 0.5 1 1 1 1 1 Nm パヘ ラキ ラキ レサ PI のアンプ、ドライバ、および ドライブ特性 レサ ルポ 材料はすべて、堅牢性と寿命に明確に適合した ルポ 制ッ 静電容量 47 90 180 370 130 250 500 1000 1500 nF ±20% 制ッ 御ド ものです。PICA™ アクチュエータに対する耐 コントローラーによる高度な柔軟性 その他 御ド ６ ６ 軸 久性試験によって、10 億回のサイクル後も性能 重量 110 120 150 210 170 200 250 370 480 g ±5% 軸 シ シ ス ス テ が安定していることが証明されています。 PI は、低出力ドライバから高性能アンプ／コン テ ム * ピエゾアクチュエータの分解能は、静止摩擦や動的摩擦による制限を受けません。表示されている値は、E-508 アンプによるノイズ相当分の動作です。 ム ・ トローラー E-481 に至るまで、 広範囲にわた ** 小信号に対する動的剛性は 50% 以上です。 ・ モA るピエゾアクチュエータの制御エレクトロニクス 動作温度範囲：-40℃～ +80℃ オープンループと モA ー を取りえています。クローズドループ動作につ 長寿命を実現するために、750V 以上の電圧は短時間だけ印加してください。 ー シC シC ョS クローズドループのモデルで ョS ン ン コ コ ン 最適なダイナミクスとリニアリティを実現 いては、PI は、アナログとデジタルのさまざ ン ト まなコントローラーを提供しています。E-500 ト ロ 標準モデルは、オープンループの位置決めア のモジュール式システムは、アンプからサーボ ロ ー ー ル ル プリケーションに理想的です。このモードで コントローラーに至るまで簡単にアップグレード 058 059

コピ 225/P-235 コピ ンエ P- ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ A™ パワーピエゾアクチュエータ ンチ トュ PIC L [mm] Φ A [mm] Φ B [mm] SW トュ エ 225.1x 55 39.8 16 13 エ ー P ー タ・ P225.2x 68 39.8 16 13 タ・ P225.4x 94 39.8 16 13 高ピ ■ 超高剛性 P225.8x 147 39.8 16 13 高ピ 速エ スゾ ■ プッシュフォース～ 30,000N P235.1x 55 49.8 20 20 速エ スゾ キフ レ P235.2x 68 49.8 20 20 キフ ャ ャレ ニク ■ プルフォース～ 3500N P235.4x 94 49.8 20 20 ニク ンシ ンシ グャ シス ■ ストローク～ 180µm P235.8x 147 49.8 20 20 グャ シス ステ P235.9x 199 49.8 20 20 ステ テー プション：真空、高温、低温、 テー ムジ ■ オ ムジ ／ 　 および防水ケース付きの各バージョン ／ 高 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ ミ ラ ラ ー ー モピ P-225と P-235 の外形図（単位：mm）。末端部とケースはステンレススチール。 センサー接続部：LEMO FFA.0S.304、PUR 絶縁材付きの 1m 同軸ケーブル。 モピ ーエ ーエ タゾ 電圧接続部：LEMO FGG.0B.701.CJA.1173、PUR 絶縁材付きの 1m 同軸ケーブル、2 芯、シールド付き タゾ ーコ ーコ コン コン ント ョン例 ント トロ アプリケーシ トロ ロー ラ オーダー情報 ロー ー ラ／ ● 精密工学／ ● スタティックとダイナミック オプション ーラ ラ／ 　 マイクロメカニクス 　 の精密位置決め 2 リロード付き高負荷ピエゾアクチュエータ、100V、12500N ● アダプティブメカニクス ● 力の発生／材料試験 6 リロード付き高負荷ピエゾアクチュエータ、1000V、30000N P-177.50 シＰ ● アクティブ振動ダンピング 0 センサーなし ダイナミックアプリケーション（E-481 を使用）： シＰ リｉ リｉ ーｅ P-225、235 PICA™ プリロード付アクチュエータ ● アダプトロニクス S SGS 位置センサー付き PICA™ HVPZT 用の温度センサーおよび保護用エア ーｅ ズｚ ｚ ｏ ズｏ Ｗ -2 □ 5. □□□ T 低温用に改良 P-706.00 Ｗ ａ P ａ ｌ V 高温／真空用に改良 防水ケース ｌ ｋ ® P-225と P-235 は、スタティックとダイナミック 比例します。 オプションおよびアクセサリ 1 ストローク 15µm ｋ 接続器具として、アダプターケーブルおよびコネクタがあります。 ® のアプリケーションのためのプリロード付き オープンループ動作は、高速応答と、高周波 2 ストローク 30µm 4 ストローク 60µm ピ 高負荷ピエゾアクチュエータ（トランスレータ） 数帯域で高分解能が必須となるアプリケー クローズドループ用として、真空タイプ、防水 8 ストローク 120µm ピ エ ゾ です。これらは、サブミリセカンドの応答と ションに理想的です。オープンループ動作では、 タイプ、その他各種工場取り付けオプション 9 ストローク 180µm（P-235 のみ） エ ゾ モ モ ー サブナノメートルの分解能を実現しています。 コマンドを送信して絶対値でターゲット位置を 購入ガイド」 ー タ があります。詳細については、「 PICA™ ピエゾアクチュエータは、末端部は 読み取ることは重要ではなく、必要な場合は をご覧ください。接続器具として、アダプター 技術データ タ ステンレススチールで、摩擦のない内部スプリ 外部の位置センサーによって実施されます。 ケーブルおよびコネクタがあります。 モデル P-225.10 P-225.20 P-225.40 P-225.80 P-235.10 P-235.20 P-235.40 P-235.80 P-235.90 単位 公差 ングでプリロードが加えられています。機械 最高の位置決め精度と再現性を得るためは、 動作電圧 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 0 ～ 1000 V 電 加工のアプリケーションやアクティブ振動制御 内蔵の高分解能の歪みゲージ位置センサーを 動作および位置決め ローズドループ 電 動 ク に理想的なアクチュエータです。 用いてPI製造工場において設定されたクローズ 15 30 60 120 15 30 60 120 180 µm 動 モ ストローク モ ー ドループオプションを選択し、PI のサーボ制御 ー タ クローズドループ タ 超高信頼性を備えた大きな変位置 0.3 0.6 1.2 2.4 0.3 0.6 1.2 2.4 3.6 nm 標準 エレクトロニクスを用いて駆動してください。 分解能 * オープンループ PICA™ 高出力アクチュエータは、高温の動作 0.15 0.3 0.6 1.2 0.15 0.3 0.6 1.2 1.8 nm 標準 PI のアンプ、ドライバ、および 分解能 * 条件とサイクル数の高いダイナミックアプリ コントローラーによる高度な柔軟性 リニアリティ 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2 ％ 標準 静 ケーション用に最適化されています。すべての 機械特性 静 電 大信号に対する 電 容 PICA™ ピエゾセラミックは、サイクル数の高い PI は、低出力のピエゾドライバから、2000W 480 330 200 110 860 600 380 210 150 N/µm ±20% 容 量 静的剛性 ** 量 セ ン アプリケーション専用に設計されています。数 のダイナミック電力を供給する E-481 高性能 無負荷時の セ サ 14 10 7 4 14 10 7 3.9 2.8 kHz ±20% ン 十年にわたって得られた PI の幅広いアプリ アンプ／コントローラーまで広範囲にわたって 共振周波数 サ ー ー ケーション知識によると、性能は信頼性を犠牲 ピエゾアクチュエータ用の制御エレクトロニクス プッシュプルフォース容量 12500/2000 12500/2000 12500/2000 12500/2000 30000/3500 30000/3500 30000/3500 30000/3500 30000/3500 N 最大 剪断力限界 255 152 84 73 707 420 232 147 147 N にして得られるものではありません。使用する を取りえています。 ヘ トルク限界（チップ） 1.5 1.5 1.5 1.5 2 2 2 2 2 Nm パ ヘ ラキ 材料はすべて、堅牢性と寿命に明確に適合した クローズドループ動作については、アナログと パ ドライブ特性 ラキ レサ レサ ルポ です。PICA™ アクチュエータに対する耐 デジタルのさまざまなコントローラーをご利用 静電容量 320 630 1300 2600 550 1100 2400 5100 7800 nF ±20% ルポ 制ッ もの ッ 御ド 久性試験によって、10 億回のサイクル後も性能 いただけます。E-500 のモジュール式システム その他 制 御ド ６ 軸 重量 410 470 610 900 580 690 940 1400 1900 g ±5% ６ 安定していることが証明されています。 は、アンプからサーボコントローラーに至る 軸 シ が シ ス ス テ まで簡単にアップグレードできます。これは各種 * ピエゾアクチュエータの分解能は、静止摩擦や動的摩擦による制限を受けません。表示されている値は、E-508 アンプによるノイズ相当分の動作です。 テ ム オープンループと インターフェイスやディスプレイのモジュール ** 小信号に対する動的剛性は 50% 以上です。 ム ・ ・ 動作温度範囲：-40℃～ +80℃ モA ズドループのモデルで が含まれます。 長寿命を実現するために、750V 以上の電圧は短時間だけ印加してください。 モA ーC クロー ー シ 最適なダイナミクスとリニアリティを実現 シC ョS ョS ン ン コ コ ン 位置決めア ン ト 標準モデルは、オープンループの ト ロ ー プリケーションに理想的です。このモードで ロ ー ル ル は、アクチュエータの変位は印加電圧にほぼ 060 061

コピ コピ ンエ ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク 設置及び取扱いに関するガイドライン ネク ンチ ンチ トュ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ 以下に記すガイドラインを順守することで、ピエゾアクチュエータの 高ピ 速エ 性能を最大限に引き出し、寿命を伸ばすことができます。アクチュ 速エ スゾ スゾ キフ エータを取り扱う際に金属製ツールは使用しないでください。側面 キフ ャレ ャレ ニク ニク ンシ のコーティングを傷付けないよう注意してください。ピエゾアクチュ ンシ グャ グャ シス エータを取り扱う際は、以下の点にご注意ください。 シス ステ ステ テー テー ムジ ムジ ／ ／ 1. 軸プリロードのない圧電スタックアクチュエータはけん引力の影響 高 を受けやすくなります。一般に、ブロック力の 50％以下のプリ 高 速 速 ス 　 ロードを推奨します。 ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ 2. 圧電スタックアクチュエータは軸方向にのみ応力をかけることが グ ミ ミ ラ 　 できます。加える力は中央に集中させる必要があります。エンド ラ ー No pulling force without preload ー 　 プレートの平行誤差によっても引き起こされる傾斜力やせん断力 モピ 　 はアクチュエータに損傷を与えるため、回避しなければなりませ モピ ーエ ーエ タゾ 　 ん。これはボールチップ、フレキシブルチップ、適切なガイドメカ タゾ ーコ ーコ コン 　 ニズムなどを使用することで回避することができます。 コン ント ント トロ トロ ロー 　 PICATMShear アクチュエータはせん断方向に動作することか ロー ーラ ーラ ラ／ 　 ら、この要件の例外となっています。 ラ／ シＰ 3. 圧電スタックアクチュエータは、平坦な金属面の場合は低温硬 シＰ リｉ リｉ ーｅ 　 化エポキシで、またセラミック面の場合には熱硬化エポキシで ーｅ ズｚ No lateral force or torque ズｚｏ ｏ Ｗ 　 接着することで取り付けることができます。好ましいのは研削面 Ｗ ａ ａ ｌ 　 です。硬化の間、アクチュエータの指定動作温度範囲から逸脱し ｌ ｋ ｋ ® 　 ないようにしてください。 ® ピ 4. すべてのアクチュエータの環境を可能な限りドライにします。 ピ エ エ ゾ 　 PICMA® アクチュエータは、セラミックコーティングによって湿 ゾ モ モ ー 　 気から守られています。その他のアクチュエータは、別の方法 Flexure ー タ タ 　（ ハーメチックシール、ドライエアなど）で保護されています。 5. 圧電スタックアクチュエータを取り扱うときは、短絡に注意して 電 　 ください。温度変化及び負荷変化はスタック電極に電気を誘導 Ball tips or flexures to decouple lateral forces or 電 動 　 するため、リード線を短絡していないと強い電界が発生すること bending forces 動 モ モ ー ー タ 　 があります。スタックが変化すると、特にプリロードなしの場合、 タ 　 急速な放電が起こり、スタックが損傷することがあります。放電 　 には抵抗器を使用してください。 静 6. 導電性物質や腐食性物質によるピエゾセラミック面の汚染を防 静 電 Flexure 電 容 　 止してください。洗浄にはイソプロパノールを推奨します。アセト 容 量 量 セ 　 ンの使用や、高音での過剰な超音波洗浄は避けてください。 セ ン ン サ サ ー ー パヘ Ball tips or flexures to decouple bending forces パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ Bolting between plates is not recommended コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル 062 063

コピ P-752 コピ ンエ ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ ンチ トュ トュ エ 高精度ピエゾステージ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ ■ 分解能 0.1nm、高速応答 高ピ 速エ 速エ スゾ ■ ストローク～ 35µm オーダー情報 スゾ キフ キフ ャレ ャレ ニク ■ 静電容量センサーによる高リニアリティ P-752.11C ニク ンシ ンシ グャ 高ダイナミックピエゾナノポジショニングシステム グャ シス ■ フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の シス ステ 15µm、ダイレクト計測、静電容量センサー、 ステ テー 　 高い動きを実現 LEMO コネクタ テー ムジ ムジ ／ ■ PICMA™ ピエゾアクチュエータによる ／ 高 　 長寿命の確保 P-752.21C 高 速 高ダイナミックピエゾナノポジショニングシステム 速 ス ス テ 30µm、ダイレクト計測、静電容量センサー、 テ ア ア リ LEMO コネクタ リ ン ン グ グ ミ ミ ラ P-752.1CD ラ ー 高ダイナミックピエゾナノポジショニングシステム ー 15µm、ダイレクト計測、静電容量センサー、 モピ モピ ーエ D-Sub コネクタ ーエ タゾ タゾ ーコ ーコ コン コン ント P-752.2CD アプリケーション例 ント トロ P-752.11C の、振幅 3nm の矩形波制御信号に対する応答は、真のサブナノメートルの位置の安定性、インクリメンタル動作、 トロ ロー 高ダイナミックピエゾナノポジショニングシステム および双方向再現性を意味します（E-501、E-503.00、E-509.C1 コントローラーで測定、バンド幅を 240Hz に設定） ロー ーラ ーラ ラ／ ● ディスクドライブ検査 ● マイクロマニピュレーション 30µm、ダイレクト計測、静電容量センサー、 ラ／ ● 干渉計 ● 走査型顕微鏡 D-Sub コネクタ ● 各種計測 ● フォトニクス / 光集積回路 シＰ ● バイオテクノロジー シＰ リｉ 技術データ リｉ ーｅ ーｅ ズｚ P-752.11C ピエゾナノポジショニングシステム ● ナノポジショニング ｏ モデル P-752.11C P-752.1CD P-752.21C P-752.2CD 単位 公差 ズｚｏ Ｗ ａ 駆動軸 X X X X Ｗ ａ ｌ 動作および位置決め ｌ ｋ ｋ ® 極めて精密な p-752 シリーズは、最大位置 保存されています。 高い信頼性と長寿命 内蔵センサー 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 ® 決め / スキャニングレンジが 35µm、超高速 このデータは、PI のデジタルピエゾコントロー オープンループストローク、-20 ～ +120V 20 20 35 35 µm 最小 (+20% / 10%) クローズドループストローク 15 15 30 30 µm キャリブレーション済み ピ セットリングタイムと、直進性が非常に高いこと ラーのオートキャリブレーション機能により自動 コンパクトな P-752 システムは、プリロード エ クローズドループ／オープンループ分解能 0.1 0.1 0.2 0.2 nm 標準 ピ が大きな特徴です。これらのステージは高速 エ ゾ 的に読み出されます。従って、ID チップを備え 付きの PICMA®高性能ピエゾアクチュエー リニアリティ、クローズドループ 0.03 0.03 0.03 0.03 ％ 標準 ゾ モ モ ー 振動、およびディスクドライブ検査のアプリケー るデジタルピエゾコントローラーとナノポジ ターを備えています。PICMA®アクチュエー 再現性 ± 1 ± 1 ± 2 ± 2 nm 標準、フルストローク ー タ ション用として特別に設計されました。 ピッチ／ヨー ± 1 ± 1 ± 1 ± 1 µrad 標準 タ ショニングステージは、いかなる形にも組み ターは、FEA 設計の洗練されたフレクシャガ 機械特性 合わせることができます。 イドシステムに内蔵されています。このアクチュ 直動式デザインによる高速応答 動作方向の剛性 30 30 20 20 N/µm ± 20% エーターは、同時焼成セラミックコーディング 周期的な動作による高精度 無負荷時の共振周波数 3200 3200 2100 2100 Hz ± 20% 電 が施され、従来のピエゾアクチュエータに比べ 共振周波数 @ 300g 980 980 600 600 Hz ± 20% 本量本質を最小限にすることに細心の注意を 電 動 PI の最新型デジタルコントローラーで利用可能 て優れた性能と信頼性を備えています。アクチュ 動作方向のプッシュプルフォース容量 100/10 100/10 100/10 100/10 N 最大 動 モ 払った直動式デザインの結果、支持構造に モ ー 負荷容量 30 30 30 30 N 最大 な DDL アルゴリズムにより、スキャニングアプリ エーター、ガイド、およびセンサーは、メンテ ー タ おける慣性による反動力を抑え、また、システム ドライブ特性 タ ケーションにおいて最高の動的精度が得られ ナンスフリーで、摩耗がなく、比類のない信 全体の応答性、スループット、および安定性 セラミックタイプ PICMA® P-885 PICMA® P-885 PICMA® P-885 PICMA® P-885 ます。DDL は、トラッキングエラーを排除し、 頼性を実現しています。 静電容量 2.1 2.1 3.7 3.7 µF ± 20% を高めることを可能にしました。例として、荷重 その他 300g で 15µm ステージのセットリングタイム ダイナミックリニアリティおよび有効バンド幅を 動作温度範囲 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 ℃ 静 が 17msec( セットリング条件は 0.1％ ) と 最大で 3 桁向上させます。 材料 ステンレス鋼 ステンレス鋼 ステンレス鋼 ステンレス鋼 静 電 電 容 なり、これは他のシステムと比べてより高速で、 外径寸法 66×40×13.5 66×40×13.5 84×40×13.5 84×40×13.5 mm 容 量 セ 重量 0.25 0.25 0.35 0.35 kg ± 5% 量 かつ高精密です。 セ ン サ ケーブル長さ 1.5 1.5 1.5 1.5 m ± 10mm ン サ ー P752 ステージは、静電容量センサーを備える センサー／電圧接続 LEMO 特殊 D-Sub LEMO 特殊 D-Sub ー ことにより、サブナノメートルの分解能と安定性 PI ピエゾナノポジショナーの分解能は、動摩擦や静止摩擦による制限を受けません。表示されている値は、E-503 アンプによるノイズ相当分の動作です。 を実現しています。PI独自の静電容量センサー パヘ パヘ ラキ ラキ レサ は、物理的接触なしに、対象物の位置を直接 推奨コントローラー／アンプ レサ ルポ ルポ 制ッ 測定します。摩擦やヒステリシスがなく、また、 LEMO コネクタ：E-500 ピエゾコントローラーシステム、E-505 高出力アンプおよび E-509 サーボモジュール付き 制ッ 御ド 御ド ６ 位置決めの分解能が 1nm を下回るため、非常 特殊 D-Sub コネクタ：E-625 サーボコントローラー、ベンチトップ、E-665 高出力ディスプレイコントローラー、ベンチトップ、E-754 デジタルコントローラー ６ 軸 軸 シ に高レベルのリニアリティが得られます。静電 シ ス ス テ 容量センサーによるダイレクト計測のさらなる テ ム ム ・ 利点は、優れた位相追従性と最大 10kHz と ・ モA いう高周波帯域です。 モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ 自動設定が可能 コ ン ン ト ト ロ ロ ー CD バージョンには、IDチップが備えられ、個々 ー ル 標準 0.5 μ rad の双方向軌道再現性 (P-752.11C ステージ ) は、生産性を 2 倍にするためプロセスを双方向で処理します。 ル のステージデータやサーボ制御パラメータが 064 065

コピ P-753 コピ ンエ ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク LISA 高速ピエゾステージ ネク ンチ ンチ トュ トュ エ 自動設定が可能 高い信頼性と長寿命 オーダー情報 エ ー ー タ・ タ・ P-753.11C 高ピ ■ 汎用性の高い設計 CD バージョンには、ID チップが内蔵されて コンパクトなP-753 LISAシステムは、プリロー LISA 高速ピエゾステージ、15 μ m、ダイレ 高ピ 速エ おり、個々のステージデータやサーボ制御 ド付きの PICMA®高性能ピエゾアクチュエー クト計測静電容量センサー、LEMO コネクタ 速エ スゾ ■ 分解能 0.05nm、高速応答 スゾ キフ パラメータが保存されています。このデータ タを備えています。PICMA®アクチュエータは、 キフ ャレ ャレ ニク ■ 静電容量センサーによる高リニアリティ ニク ンシ は、PI のデジタルピエゾコントローラーの FEA 設計の洗練されたフレクシャガイドシステ P-753.21C ンシ グャ グャ シス ■ 摩擦のない精密フレクシャガイドにより、 シス ステ オートキャリブレーション機能により自動的 ムに内蔵されています。このアクチュエータは、 LISA 高速ピエゾステージ、25 μ m、ダイレ クト計測静電容量センサー、LEMO コネクタ ステ テー 　 極めて高い直進性を実現 テー ムジ に読み出されます。従って、ID チップ内蔵ス セラミックコーティングが施され、従来のピエ ムジ ／ ／ ■ PICMA™ ピエゾアクチュエータによる テージとデジタルコントローラーは、手動で ゾアクチュエータに比べて優れた性能と信頼性 P-753.31C 高 パラメータ設定することなく、使用すること を備えています。アクチュエータ、ガイド、およ LISA 高速ピエゾステージ、38 μ m、ダイレ 高 速 速 ス 　 長寿命の確保 が出来ます。 びセンサーは、メンテナンスフリーで、摩耗が クト計測静電容量センサー、LEMO コネクタ ス テ テ ア ■ 真空および非磁性対応可 ア リ なく、非常に高い信頼性を実現しています。 P-753.1CD* リ ン ン グ LISA 高速ピエゾステージ、15 μ m、ダイレ グ ミ ミ ラ クト計測静電容量センサー、D-Sub コネクタ ラ ー ー モピ P-753.2CD* モピ ーエ SA 高速ピエゾステージ、25 μ m、ダイレ ーエ タゾ タゾ ーコ クト計測静電容量センサー、D-Sub コネクタ ーコ コン コン ント トロ アクセサリ & オプション ント トロ ロー ロー ーラ P-753.3CD* ーラ ラ／ ● ディスクドライブ検査 ● 干渉計 LISA 高速ピエゾステージ、38 μ m、ダイレ ラ／ ● 各種計測 ● バイオテクノロジー クト計測静電容量センサー、D-Sub コネクタ ● ナノポジショニング ● マイクロマニピュレーション シＰ ● 走査型顕微鏡 シＰ リｉ * 10-9hPa までの真空対応バージョンは P-753.xUD、 リｉ ーｅ P-753.11C LISA ナノ精度アクチュエータ／ポジショニングステージ ● フォトニクス／光集積回路 非磁性真空対応バージョンは P-753.xND です。 ーｅ ズｚ ｚ ｏ ズｏ Ｗ Ｗ ａ 技術データ ａ ｌ ｌ ｋ ｋ ® P-753 LISA（リニアステージアクチュエータ） 直動式デザインによる高速応答 やヒステリシスがなく、また、位置決めの分解 モデル P-753.11C P-753.21C P-753.31C P-753.1CD P-753.2CD P-753.3CD 単位 公差 駆動軸 X X X X X X ® 高速ピエゾステージはリニアアクチュエータ、 能が 1nm を下回るため、非常に高レベルのリ 動作および位置決め ピ およびステージの両方としてご使用頂けます。 本体重量を最小限にした直動式デザインの ニアリティが得られます。静電容量センサー 内蔵センサー 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 ピ エ この P-753 LISA は静電容量フィードバック 結果、支持構造における慣性による反動力を によるダイレクト計測のさらなる利点は、優れ エ ゾ クローズドループストローク 15 25 38 15 25 38 µm キャリブレーション済み ゾ モ クローズドループ／オープンループ分解能リ 0.05 0.1 0.2 0.05 0.1 0.2 nm 標準・フルストローク モ ー センサー、摩擦の無いフレクシャガイドシステ 抑え、また、システム全体の応答性、スループッ た位相追従性と最大 10kHz という高周波数 ー タ ニアリティ、クローズドループ 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 % 標準 タ ム、および高性能ピエゾ駆動（PICMA®）を搭 ト、ミリセカンドレンジでの整定時間の安定性 帯域です。 再現性 ± 1 ± 2 ± 3 ± 1 ± 2 ± 3 nm 標準 載しており、最大ストロークが 38µm、整定 を高めることを可能にしました。 ピッチ／ヨー ± 5 ± 7 ± 10 ± 5 ± 7 ± 10 µrad 標準 時間が短く、直進性が非常に高いことが大きな PI 独自の静電容量センサーは、物理的接触な 機械特性 動作方向の剛性 45 24 16 45 24 16 N/µm ± 20% 電 特徴です。 しに、対象物の位置を直接測定します。摩擦 無負荷時の共振周波数 5.6 3.7 2.9 5.6 3.7 2.9 kHz ± 20% 電 動 動 モ 共振周波数 2.5 1.7 1.4 2.5 1.7 1.4 kHz ± 20% モ ー ー タ 動作方向のプッシュプルフォース容量 100/20 100/20 100/20 100/20 100/20 100/20 N 最大 タ 負荷容量（垂直／水平取り付け） 10/2 10/2 10/2 10/2 10/2 10/2 kg 最大 ドライブ特性 セラミックタイプ PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA PICMA® P-885 P-885 P-885 P-885 P-885 P-885 静 静電容量 1.5 3.1 4.6 1.5 3.1 4.6 µF ± 20% 静 電 その他 電 容 動作温度範囲 容 量 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 ℃ 量 セ 材料 セ ン ステンレス ステンレス ステンレス ステンレス ステンレス ステンレス ン サ スチール スチール スチール スチール スチール スチール サ ー ー 外径寸法 mm 44× 30× 1 44× 30× 62 44× 30× 80 44× 30× 15 44× 30× 62 44× 30× 80 mm 重量 0.15 0.205 0.25 0.16 0.215 0.26 kg ± 5% ケーブル長さ 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 m ± 5% パヘ パヘ ラキ センサー／電圧接続部 LEMO LEMO LEMO 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ PI ピエゾナノポジショナーの分解能は、動摩擦や静止摩擦による制限を受けません。表示されている値は、E-503 アンプによるノイズ相当分の動作です。 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス 推奨コントローラー／アンプ ス テ LEMO コネクタ：E-500 ピエゾコントローラーシステム、E-505 高出力アンプおよび E-509 サーボモジュール付き テ ム ム ・ 特殊 D-Sub コネクタ：E-625 サーボコントローラー、ベンチトップ、E-665 高出力ディスプレイコントローラー、ベンチトップ、E-754 デジタルコントローラー ・ モA モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル 左から、P-753.1、P-753.2、P-753.3 の外形図（単位：mm）：M2.5 の最大トルクは 30Ncm ル 066 067

オーダー情報 P-620.1CD*/P-620.1CL* コピ P-620.1 ～ P-629.1 PIHera®小型ロングストロークピエゾステージ、 コピ ンエ ンエ ポゾ 50µm、ダイレクト計測、静電容量センサー ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ PIHeraR小型 X軸ピエゾステージ P-621.1CD*/P-621.1CL* ンチ トュ トュ エ PIHera®小型ロングストロークピエゾステージ、 エ ー 100µm、ダイレクト計測、静電容量センサー ー タ・ タ P-622.1CD*/P-622.1CL* ・ 高ピ ■ ストローク：50 ～ 1800µm PIHera®小型ロングストロークピエゾステージ、 高ピ 速エ 速エ スゾ ■ 高精度、低コスト 250µm、ダイレクト計測、静電容量センサー スゾ キフ キフ ャレ ャレ ニク ■ 0.1nm の分解能 P-625.1CD*/P-625.1CL* ニク ンシ ンシ グャ PIHera®小型ロングストロークピエゾステージ、 グャ シス シス ステ ■ 静電容量センサーを内蔵 500µm、ダイレクト計測、静電容量センサー ステ テー テー ムジ ■ 0.02% の位置決め精度 P-628.1CD*/P-628.1CL* ムジ ／ ■ 摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム PIHera®小型ロングストロークピエゾステージ、 ／ 高 800µm、ダイレクト計測、静電容量センサー 高 速 速 ス ■ PICMA®ピエゾアクチュエータによる長寿命の確保 ス テ P-629.1CD*/P-629.1CL* テ ア ア リ ■ X、XY、Z、XYZ バージョン PIHera®小型ロングストロークピエゾステージ、 リ ン ン グ ■ 真空対応可 1500m、ダイレクト計測、静電容量センサー グ ミ ミ ラ ラ ー * .1CD は D-Sub コネクタ付き ー * .1CL は LEMO コネクタ付き モピ オープンループタイプは、P-62x.10L です。 モピ ーエ P-62x.1CD/.1CL/.10L の外形図（単位：mm） ーエ タゾ 10-9hPa の真空タイプは、P-62x.1UD です。 タゾ ーコ 各部分寸法一覧 ーコ コン コン ント アプリケーション例 ント トロ ロー A　 B　 C　 D　 E　 F　 G　 H　 J　 K　 ※ L　 M　 N　 P　 Q　 R　 S　 ※ T　 ※ U　 トロ ロー ーラ P.620.ICD / I0L 30 12.0 24 15 12 15 18.0 19 24 15 1.01 1.5 M2.0 4 4.5 5.0 2 4.4 2.2 ーラ ラ／ ● 干渉計 ● 半導体技術 P.621.ICD / I0L 40 15.0 30 20 14 18 24.0 26 26 20 1.51 2.5 M2.5 5 5.0 5.0 3 6.0 ラ／3.2 ● 顕微鏡による検査 ● ナノポジショニング P.622.ICD / I0L 50 15.0 40 24 20 25 30.0 35 35 24 1.51 2.5 M2.5 5 5.5 5.0 3 6.0 3.2 シＰ P.625.ICD / I0L 60 15.0 50 40 27 32 44.5 46 46 40 1.51 2.5 M2.5 5 5.5 5.0 3 6.0 3.2 シＰ リｉ ● バイオテクノロジー ーｅ ● 品質保証試験 P.628.ICD / I0L 80 17.0 70 58 41 45 63.0 66 66 58 1.51 2.5 M2.5 5 5.5 5.0 3 6.0 3.2 リｉ ーｅ ズｚｏ P.629.ICD / I0L 100 22.5 90 60 40 60 84.0 82 82 60 2.01 3.5 M2.5 10 10.0 7.5 4 8.0 4.3 ズｚｏ Ｗ Ｗ ａ ｌ 技術データ ａ ｌ ｋ ｋ ® 1 軸 PIHera®システムは、ストローク 50 ～ モデル P-620.1CD/ P-621.1CD/ P-622.1CD/ P-625.1CD/ P-628.1CD/ P-629.1CD/ P-62x.10L オープン ® P-620.1CL P-621.1CL P-622.1CL P-625.1CL P-628.1CL P-629.1CL ループバージョン 単位 公差 1800µm のピエゾナノポジショニングステージ 動作軸 X X X X X X X ピ です。ロングストロークで、サイズは極めて 動作および位置決め ピ エ エ ゾ コンパクト、高速応答とガイド精度の高さが特 内蔵センサー 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 - ゾ モ オープンループストローク モ ー 徴です。これらの特徴とロングストロークは、 最小 60 120 300 600 950 1800 P-62x.1CDと同じ µm ー タ -20 ～ +120 V 摩擦のない、非常に剛性の高いフレクシャシス (+20%/-0%) タ クローズドループストローク 50 100 250 500 800 1500 - µm テムだからこそ得られるものです。 クローズドループ／ 0.2 / 0.1 0.4 / 0.2 0.7 / 0.4 1.4 / 0.5 1.8 / 0.5 3 / 2 P-62x.1CDと同じ nm PIHera®ピエゾナノポジショニングシリーズに 標準 オープンループ分解能 は、Z および XY ステージもあります。 リニアリティ、クローズドループ 0.02 0.02 0.02 0.02 0.03* 0.03** - ％ 標準 電 電 動 再現性 ± 1 ± 1 ± 1 ± 5 ± 10 ± 14 - nm 標準 動 モ ピッチング／ヨーイング モ ー ± 3 ± 3 ± 3 ± 6 ± 6 ± 10 P-62x.1CDと同じ µrad 標準 ー タ ナノメートル精度／ミリセカンド 機械特性 タ 動作方向の剛性 0.42 0.35 0.2 0.1 0.12 0.13 P-62x.1CDと同じ N/µm ±20％ モーター駆動による位置決めステージに比べ 無負荷時の共振周波数 1100 800 400 215 125 125 P-62x.1CDと同じ Hz ±20％ て PIHera®ステージの利点の 1 つは、入力変 共振周波数 @ 20g 550 520 340 180 115 120 P-62x.1CDと同じ Hz ±20％ E-710 コントローラーと DDL オプションによる、P-621.1CD の高速スキャニングモーション（コマンドの立上がり時間： 化に対する高速応答と、すばやく正確な整定 5ms）。デジタルダイナミックリニアライゼーションにより、スキャン時のトラッキング誤差はほぼ解消されます（< 20nm）。 共振周波数 @ 120g 260 240 185 110 90 110 P-62x.1CDと同じ Hz ±20％ 静 従来の PI コントローラーに比べて最大 3 桁改善され、スキャニング周波数とともに増大します。 動作方向のプッシュプルフォース 10 10 10 10 10 10 P-62x.1CDと同じ N 最大 静 電 動作です。例として、P-622.1CD は、わずか 負荷容量 10 10 10 10 10 10 電 容 P-62x.1CDと同じ N 最大 容 量 30msec のうちに 10nm の精度で安定するこ ラテラルフォース 10 10 10 10 10 8 P-62x.1CDと同じ N 量 セ 最大 セ ン ドライブ特性 ン サ とが可能です（他の PI ステージはさらに高速 得られます。静電容量センサーによるダイレク サ ー な応答が可能です）。 ト計測のさらなる利点は、すぐれた位相制御 セラミックタイプ PICMA®P-883 PICMA®P-885 PICMA®P-885 PICMA®P-885 PICMA®P-887 PICMA®P-888 P-62x.1CDと同じ ー 電気容量 0.35 1.5 3.1 6.2 19 52 P-62x.1CDと同じ µF ±20％ と最大 10kHzという高バンド幅です。 その他 パヘ 静電容量センサーによる 動作温度範囲 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 150 ℃ パヘ ラキ 最終段位置計測で高精度を実現 高精度を求めて 材料 ラキ レサ アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム レサ ルポ 重量 ルポ 制ッ 0.11 0.16 0.2 0.24 0.38 0.72 as P-62x.1CD kg 制ッ 御ド ケーブル長さ 御ド ６ 干渉計における光学パス調整、顕微鏡検査に 摩擦のないフレクシャ部品を使用し、有限要素 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 m ±5％ ６ 軸 おけるサンプルの位置決め、正確な位置合わせ、 法により最適化した設計を採用することにより、 CD バージョン： CD バージョン： CD バージョン： CD バージョン： CD バージョン： CD バージョン： CD バージョン： ±10mm 軸 シ シ ス 特殊 D-Sub あるいは光学トラッキングなどのタスクには、 高い剛性が得られ、その結果、すぐれたガイド精 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub ス テ センサー／電圧接続部 CL バージョン： CL バージョン： CL バージョン： CL バージョン： CL バージョン： CL バージョン： テ ム CL バージョン： ム ・ PIHera®ナノポジショニングステージが提供 度とダイナミクスを実現しています。そして、ナノ LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO ・ モA する、長いスキャン範囲とナノメートル精度が メートルレベルの真直度と平坦度が得られます。 モA ー 必要です。 PI ピエゾナノポジショナーの分解能は、動摩擦や静止摩擦による制限を受けません。表示されている値は、E-710 コントローラーの電気的ノイズ起因です。 シC ー シC ョS * デジタルコントローラーの場合。アナログコントローラーの場合、0.05%。 ** デジタルコントローラーの場合。アナログコントローラーの場合、0.07% ョS ン PI の静電容量センサーは、物理的接触なしに ン コ 推奨コントローラー／アンプ 対象物の位置を直接測定します。摩擦やヒステ CD バージョン：E-610 サーボコントローラー／アンプ、E-625 サーボコントローラー、ベンチトップ、E-665 高出力サーボコントローラー、ベンチトップ コ ン ン ト 単一チャネルデジタルコントローラー：E-753（ベンチトップ） ト ロ リシスがなく、また、位置決めの分解能は 1nm CL バージョン：E-500 モジュール式ピエゾコントローラーシステム、E-505 アンプモジュール付き（高出力）、および E-509 コントローラー ロ ー オープンループバージョン：E-500 モジュール式ピエゾコントローラーシステム、E-505 アンプモジュール付き（高出力） ー ル ル 未満のため、非常に高レベルのリニアリティが 068 069

コピ 725.xCDE2 コピ ンエ P- ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ 移動 PIFOCR 対物レンズピエゾスキャナー ンチ トュ 長距離 トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ ■ ストローク：100、400、800µm タイプ 高ピ 速エ 速エ スゾ 幅な高速応答と長寿命を実現 スゾ キフ ■ 大 キフ ャレ ャレ ニク ートルの分解能 ニク ンシ ■ サブナノメ ンシ グャ グャ シス 静電容量式センサーによるダイレクトな位置測定 シス ステ ■ 最高の直線性 ステ テー 　 テー ムジ ムジ ／ ■ 画像処理ソフトウェア Metamorph®に対応 ／ 高 φ29mm の大口径クリアアパーチャ 高 速 ■ 速 ス ス テ ■ 各種スレッドアダプター テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ ラ アプリケーション分野 ミ ラ ー ー ● 超解像顕微鏡 ● 半導体検査 ● 各種高精度光学顕微鏡 100µm, 400µm タイプ 800µm タイプ モピ モピ ーエ ● 3D イメージング ーエ タゾ タゾ ーコ ● インターフェロメトリ ーコ コン ● 計測技術 コン ント 技術データ ント トロ トロ ロー ラ 　 　 　 　 ロー ー ラ ラ／ PICMA®ピ エゾアクチュエーターによる 実現します。1,000 億サイクルで一度も故障 遊びのないフレクシャーガイドによる 動作 P-725.1CDE2 P-725.4CDE2 P-725.8CDE2 Tolerance ー ラ／ 優れた寿命 していないことが証明されています。 高いガイド精度 駆動軸 Z Z Z シＰ トラベルレンジ 100 µm 400 µm 800 µm +20 / -0 % シＰ リｉ ーｅ 特許取得済みの PICMA®ピエゾアクチュエー 静電容量式センサーによる フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、 トラベルレンジ , open loop 120 µm 420 µm 840 µm ±20 % リｉ ーｅ ズｚｏ ターは、オールセラミックで絶縁されています。 サブナノメートルの分解能 摩耗がなく、潤滑も必要ありません。剛性が リニアリティエラー 0.01% 0.01% 0.02% ズｚｏ Ｗ これにより、湿気やリーク電流の増加による故 高いので高負荷に対応でき、衝撃や振動にも Yaw ( 動作時の回転クロストーク θ X) ± 10 µrad ± 10 µrad ± 50 µrad Ｗ ａ ａ ｌ Pitch ( 動作時の回転クロストーク θ Y) ± 10 µrad ± 45 µrad ± 50 µrad ｌ ｋ 障からアクチュエータを保護します。PICMA® 静電容量式センサーは、接触することなくサブ ® 強い。また、広い温度範囲で使用できます。 内蔵センサー 静電容量型 静電容量型 静電容量型 ｋ ® アクチュエータは、従来のポリマー絶縁された ナノメートルの分解能で測定します。優れた直線 分解能 , open loop 0.1 nm 0.1 nm 0.4 nm typ. アクチュエータと比較して、最大で10 倍の寿命を 性、長期安定性、kHz 帯の帯域幅を保証します。 ポイント再現性 , 10% step, 1 sigma 10 nm 10 nm 50 nm ピ エ 最小移動量 1 nm 4 nm 5 nm ピ エ ゾ セットリング時間 10% step 14 ms 22 ms 39 ms ±10 % ゾ モ モ ー ポジションノイズ 0.1 nm 0.1 nm 0.4 nm max. ー タ センサーノイズ , 1 sigma 0.2 nm 0.2 nm 0.8 nm タ ドライブタイプ PICMA® PICMA® PICMA® 電気容量値 3.2 µF 6.4 µF 12.8 µF ±20 % ガイド Flexure guide with lever Flexure guide with lever Flexure guide with lever amplification amplification amplification 電 電 動 剛性 0.5 N/µm 0.25 N/µm 0.07 N/µm ±20 % 動 モ モ ー 共振周波数 , 150 g 時 290 Hz 175 Hz 110 Hz ±20 % ー タ 共振周波数 , 無負荷時 680 Hz 400 Hz 230 Hz ±20 % タ 対物レンズ直径 39 mm 39 mm 39 mm max. 許容押力 100 N 100 N 100 N max. 許容引力 20 N 20 N 20 N max. 全体質量 280 g 280 g 350 g ±5 % 静 材質 Stainless steel, aluminum Stainless steel, aluminum Stainless steel, aluminum 静 電 容 コネクタ D-sub 7W2 (m) D-sub 7W2 (m) D-sub 7W2 (m) 電 容 量 9.1C1L E-709.1C1L +50 / -0 mm 量 セ E-709.1C1L E-70 ン 推奨コントローラ セ E-754.1CD E-754.1CD E-754.1CD ン サ サ ー ケーブル長 1.5 m 1.5 m 1.5 m ー 動作温度範囲 10 to 70 °C 10 to 70 °C 10 to 70 °C パヘ リニアリティエラー：推奨されるデジタルコントローラでのみ、規定値に達することができます。 パヘ ラキ P-725.xCDE2 と P-725.xxM • P-725.xxL スレッドアダプターオプション セトリング時間 :1% 誤差バンド、150g 負荷 ラキ レサ 置ノイズ：1 シグマ レサ ルポ 位 いません。 ルポ 制ッ 対物レンズは納品範囲に含まれて 制ッ 御ド すべての仕様は室温 (22°C±3°C) に基づいています。 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ーC ー シS シC ョ ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル 070 071

コピ -726 コピ ンエ P ンエ ポゾ ポゾ ーア ネク PIFOCR 高剛性＆高速対物レンズピエゾステージ タレットリング ーア ネク ンチ ンチ トュ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ ■ 共振周波数 1120Hz（210g 負荷時 560Hz） タレット用リング 高ピ 高ピ 速エ 速エ スゾ スゾ キフ ■ 標準セットリング時間約 6ms キフ ャレ ャレ ニク ンシ ■ ストローク 100µm ニク ンシ グャ グャ シス ステ ■ 静電容量センサーによるダイレクト計測で高い PIFOC® シス リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現 ステ テー 　 テー ムジ ムジ ／ ■ 分解能～ 0.3nm ／ 高 速 ■ 摩擦のない精密フレクシャガイドシステムにより ス 対物レンズ用リング 高 速 　 フォーカス安定性アップ ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ 対物レンズ グ ミ スレッドアダプターの展開図 ミ ラ 付けツールは含まれます） ラ ー （取り ー モピ システム特性 モピ ーエ ーエ タゾ タゾ ーコ -500 モジュール式ピエゾコントローラーシステム ーコ コン E システム構成 コン ント アプリケーション例 E-505 高出力アンプモジュールおよび E-509 サーボコントローラー付き、 ント トロ g（対物レンズ質量） トロ ロー 負荷 310 ロー ーラ クローズドループアンプバンド幅、小信号、10 µm ーラ ラ／ ● 3D 画像 ● 表面形状解析 130 Hz ラ／ ● スクリーニング ● ウェハー検査 クローズドループアンプバンド幅、大信号 70 Hz ● オートフォーカスシステム シＰ ● 顕微鏡 技術データ シＰ リｉ リｉ ーｅ P-726 PIFOC®、直径 60mm 超の大型顕微鏡対物レンズ用 ーｅ ズｚ ● 共焦点顕微鏡 ｏ モデル P-726.1CD 公差 ズｚｏ Ｗ 駆動軸 Z Ｗ ａ ａ ｌ 動作および位置決め ｌ ｋ クイックロックにより簡単に取り付け ｋ ® P-726 PIFOC® 高剛性＆高速対物レンズピ 内蔵センサー 静電容量型、ダイレクト計測 ® エゾステージは、高分解能が求められる今日 クローズドループストローク 100 µm キャリブレーション済み PIFOC®は、クイックロックスレッドアダプター クローズドループ分解能 0.4 nm 標準 ピ の顕微鏡アプリケーションで使用されている、 により、タレットと対物レンズの間に取り付け オープンループ分解能 0.3 nm 標準 ピ エ 開口数の大きい重量対物レンズに対して、高速 エ ゾ リニアニティ、クローズドループ 0.02 % 標準 ゾ モ ることができます。アダプターをタレットに モ ー ステップ時間を提供するために開発されました。 再現性 ± 0.3 nm 標準 ー タ ねじ込んだ後、クイックロックを必要な位置 タ 極めて高い剛性を特徴とするため、重い数百 振れ、θX, θY ± 5 µrad 標準 グラムの対物レンズを動かす場合でも、優れた に固定することができます。PIFOC®本体を回す クロストーク X, Y 50 nm 標準 必要がないため、ケーブルの巻きつきを気に 機械特性 整定時間とスキャニング周波数を可能にします。 動作方向の剛性 3.4 N/µm ±20 % しなくて済みます。 電 高剛性は、複数のピエゾドライブを円周状に 無負荷時の共振周波数 1120 Hz ±20 % 電 動 対称配置し、フレクシャとレバーの設計を最適 負荷時の共振周波数 560 Hz@210 g ±20 % 動 モ 長寿命を約束する モ ー 化することにより生まれました。この結果、比類 480 Hz@310 g ー タ セラミック絶縁ピエゾアクチュエータ 動作方向のプッシュプルフォース容量 100/50 N 最大 タ のないガイド精度とダイナミクスを実現して ドライブ特性 います。 PICMA®多層構造のピエゾアクチュエータを ピエゾセラミックタイプ PICMA®P-885 さらに、他の PIFOC® シリーズと同様 P-726 使用することで最大限の信頼性が保証されます。 静電容量 6 µF ±20 % PICMA®アクチュエータは、セラミックだけで 動作電流に対するダイナミック係数 7.5 µA(Hz・µm) 20 % 静 にはダイレクト計測用の静電容量センサーが その他 静 電 備えられ、1 ナノメートルをはるかに下回る 絶縁されている唯一のアクチュエータです。 電 容 動作温度範囲 -25 ～ 80 °C 容 量 分解能を可能にしています。 このセラミック絶縁により、アクチュエータは 材質 アルミニウム、鋼鉄 量 セ セ ン 周囲湿度や漏れ電流に対する耐性があります。 外径寸法 直径：65 mm 高さ：50.7 mm ン サ サ ー 静電容量センサーによるダイレクト このため、従来のアクチュエータに比べてはる P-726 の外形図（単位：mm）、 対物レンズの最大直径 M32 ー クイックロックスレッドアダプター付き 計測で比類のない安定性と精度を実現 重量 575 g ±5 % かに優れた信頼性と寿命を備えています。 ケーブル長さ 1.5 m 10 mm パヘ PI の静電容量位置センサーは、固定ベースと センサー／電圧接続 特殊 D-Sub パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ 可動部間の実際の距離を測定します（ダイレ 推奨コントローラー／アンプ ルポ 制ッ 制ッ 御ド クト計測）。ドライブトレイン、アクチュエータ、 単一チャネルデジタルコントローラー： 御ド ６ E-754（ベンチトップ）：E-625 ベンチトップコントローラー、E-665 高出力ベンチトップコントローラー、 ６ 軸 レバーアーム、またはガイドシステムの誤差は、 E-500 モジュール式ピエゾコントローラーシステム、E-505 高出力アンプモジュールおよび E-509 サーボコントローラー付き 軸 シ シ ス ス テ 測定値に影響を与えません。この結果、高い テ ム ム ・ リニアリティと長時間の安定性を実現してい オーダー情報 ・ モA ます。また、外乱による影響をセンサーで P-726.1CD　高剛性＆高速対物レンズピエゾステージ、100µm、静電容量センサー モA ー ー シC いち早く検出できる為、高剛性で高速応答 P-726.04　　スレッドアダプター M28×0.75 シC ョS ョS ン によるサーボループでの制御が可能となり P-726.05　　スレッドアダプター M32×0.75 ン コ コ ン ます。この原理のおかげで、P-726 は、クロー P-726.06　　スレッドアダプター M26×1/36 インチ ン ト ト ロ ズドループにおいて 0.4nm 未満の分解能と、 P-726.11　　スレッドアダプター M25×0.75 ロ ー ー ル P-726、負荷時の整定時間 0.02% のリニアリティを実現しています。 P-726.12　　スレッドアダプター W0.8×1/36 インチ ル 072 073

コピ P-620.Z~P-622.Z 技術データ コピ ンエ 　 ンエ ポゾ 　 　 　 ポゾ ーア モデル P-620.ZCD P-621.ZCD P-622.ZCD P-62x.Z0L ーア ネク PIHera®高精度 Z ステージ P-620.ZCL P-621.ZCL P-622.ZCL Openloop 単位 交差 ネク ンチ ンチ トュ Z トュ エ 駆動軸 Z Z Z エ ー 動作および位置決め ー タ・ タ 内蔵センサー 静電容量 静電容量 静電容量 - max. ・ オープンループ 最小 高ピ ■ 垂直方向ストローク：50 ～ 400µm 高ピ 速エ ストローク、 65 140 400 P-62x.ZCDと同じ µm （+20%/-0%） 速エ スゾ キフ ■ 高精度、低コスト -20 ～ +120V スゾ キフ ャレ クローズドループ 50 100 250 P-62x.ZCDと同じ µm 標準 ャレ ニク ンシ ■ 0.1nm の分解能 ニク ストロ ーク ンシ グャ グャ シス オープンループ 0.1 0.2 0.5 標準 ステ ■ 静電容量センサーを内蔵 P-62x.ZCDと同じ nm シス ステ テー 分解能 ムジ ■ 0.02% の位置決め精度 テー ムジ ／ クローズドループ 0.2 0.3 1 P-62x.ZCDと同じ nm 標準 ／ ■ 摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム 分解能 高 リニアリティ 0.02 0.02 0.02 標準 高 速 - ％ ス ■ PICMA®ピエゾアクチュエータで長寿命の確保 速 再現性 ± 1 ± 1 ± 1 - nm 標準 ス テ テ ア 振れθX、θY <20 <20 <80 標準 リ ■ X、XY、Z、XYZ バージョン P-62x.ZCDと同じ µrad ア リ ン 機械特性 ン グ ミ ■ 真空対応バージョンも用意 剛性 0.5 0.6 0.24 P-62x.ZCDと同じ N/µm ± 20% グ ミ ラ ラ ー 無負荷時の 1000 790 360 P-62x.ZCDと同じ Hz ± 20% ー 共振周波数 モピ 共振周波数 @ 30g 690 500 270 P-62x.ZCDと同じ Hz ± 20% モピ ーエ プッシュプルフォース 10/5 10/8 10/8 P-62x.ZCDと同じ N ーエ タゾ タゾ ーコ 負荷容量 10 10 10 P-62x.ZCDと同じ N ± 20% ーコ コン ラテラルフォース 10 10 10 P-62x.ZCDと同じ N コン ント ント トロ アプリケーション例 トロ ロー ドライブ特性 ロー ーラ セラミックタイプ PICMA® PICMA® PICMA® ーラ ラ／ ● 干渉計 ● 半導体技術 P-62x.ZCDと同じ ラ／ ● 顕微鏡検査 P-883 P-883 P-883 ● ナノポジショニング 電気容量 0.7 3 6.2 P-62x.ZCDと同じ µF ± 20% シＰ ● バイオテクノロジー その他 ± 20% シＰ リｉ リｉ ーｅ PIHera® ステージ P-622 ーｅ ズｚ ● 品質保証試験 動作温度範囲 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 150 ℃ ｏ 材料 アルミニウム アルミニウム アルミニウム ズｚアルミニウム ｏ Ｗ 重量 0.12 0.17 0.24 P-62x.ZCDと同じ kg ± 5% Ｗ ａ ａ ｌ ケーブル長さ 1.5 1.5 1.5 P-62x.ZCDと同じ m ± 10mm ｌ ｋ ｋ ® Z 軸 PIHera®システムは、ストロークが最大 しに、対象物の位置を直接測定します。摩擦や 高精度を求めて CD バージョン : CD バージョン : CD バージョン : ® 400µm、サブナノメートルの分解能を提供する、 ヒステリシスがなく、また、位置決めの分解能 センサー／電圧接続 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub LEMO（センサーなし） ピ 低価格のピエゾナノポジショニングステージです。 は 1nm 以下のため、非常に高レベルのリニア 摩擦のないフレクシャ部品を使用し、有限要素法 CL バージョン： CL バージョン： CL バージョン： ピ エ ロングストロークですが、サイズは極めてコン エ ゾ により最適化した設計を採用することにより、 LEMO LEMO LEMO リティが得られます。静電容量センサーによる ゾ モ モ ー パクトで、サブナノメートルの分解能を実現 ダイレクトな位置計測のさらなる利点は、すぐ 高い剛性が得られ、その結果、すぐれたガイド精度 推奨コントローラー ー タ CD バージョン：E-610 サーボコントローラー／アンプ、E-625 サーボコントローラー、ベンチトップ、E-665 高出力サーボコントローラー、ベンチトップ タ しています。 れた位相制御と最大 10kHz という高バンド とダイナミクスを実現しています。そして、ナノ 単一チャネルデジタルコントローラー：E-754（ベンチトップ） CL バージョン：E-500 モジュール式ピエゾコントローラーシステム、E-505 アンプモジュール付き（高性能）、および E-509 コントローラー ロングストロークは、摩擦のない、非常に剛性 幅です。 メートルレベルの真直度と平坦度が得られます。 オープンループバージョン：E-500 モジュール式ピエゾコントローラーシステム、E-505 アンプモジュール付き（高性能） の高いフレクシャシステムだからこそ得られる 電 ものです。また、このシステムは、高速応答と オーダー情報 電 動 ガイド精度の高さも特徴です。 動 モ モ ー PIHera®ピエゾナノポジショニングステージ ー タ P-620.ZCD タ には、X および XY ステージもあります。 PIHera® 高精度垂直ナノポジショニングステージ、50µm、静電容量センサー、D-Sub コネクタ P-620.ZCL ミリセカンドでナノメートル精度 PIHera® 高精度垂直ナノポジショニングステージ、50µm、静電容量センサー、LEMO コネクタ 静 静 電 電 容 モーター駆動による位置決めステージに比べて P-621.ZCD 容 量 PIHera®ステージの利点の 1 つは、入力変化 PIHera® 高精度垂直ナノポジショニングステージ、100µm、静電容量センサー、D-Sub コネクタ 量 セ セ ン に対する高速応答と、すばやく正確なセット ン サ P-621.ZCL サ ー リング動作です。例として、P-622.1CD は、 ー PIHera® 高精度垂直ナノポジショニングステージ、100µm、静電容量センサー、LEMO コネクタ わずか 30msec のうちに 10nm の精度で パヘ 安定することが可能です（他の PI ステージは P-622.ZCD パヘ ラキ ラキ レサ さらに高速な応答が可能です）。 PIHera® 高精度垂直ナノポジショニングステージ、250µm、静電容量センサー、D-Sub コネクタ レサ ルポ ルポ 制ッ 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 ダイレクト計測静電容量センサーで P-622.ZCL 軸 シ 高精度を実現 PIHera® 高精度垂直ナノポジショニングステージ、250µm、静電容量センサー、LEMO コネクタ シ ス ス テ テ ム P-62x.ZCD/.ZCL/.Z0L の外形図（単位：mm） ム ・ 干渉計における光学パス調整、顕微鏡検査に オープンループバージョンは、P62x.Z0L- です。 ・ モA おけるサンプルの位置決め、正確な位置合わせ、 モA ー ー シC あるいは光学トラッキングなどのタスクには、 システム特性 シC ョS ョS ン システム構成 P-621.ZCD、E-753 デジタルコントローラー付き、荷重 30g ン コ PIHera®ナノポジショニングステージが提供 コ ン する、長いスキャン範囲とナノメートル精度が アンプバンド幅、小信号 25 Hz ン ト アンプバンド幅、大信号 25 Hz ト ロ 必要です。 ロ ー ー ル 整定時間 15 ms ル PI 独自の静電容量センサーは、物理的接触な 整定時間（フルストローク） 15 ms 074 075

コピ P-733.Z コピ ンエ ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ ンチ トュ 高剛性 Z 軸ピエゾステージ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ ■ トラベルレンジ 100µm 高ピ 速エ 速エ スゾ ■ 静電容量センサーによる直接計測 スゾ キフ キフ ャレ ャレ ニク ■ 0.3nm までの分解能、クローズドループ ニク ンシ ンシ グャ グャ シス ■ 50 × 50mm のクリアアパーチャ シス ステ ステ テー ■ XY および XYZ バージョンもあります テー ムジ ムジ ／ ／ ■ 真空対応もあります 高 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ ミ ラ ラ ー ー モピ モピ ーエ ーエ タゾ タゾ ーコ ーコ コン コン ント アプリケーション例 ント トロ トロ ロー ロー ーラ ● 走査顕微鏡 ● ナノインプリンティング P-733.ZCD のステップ応答。セトリング時間は 10 ミリ秒のレンジ。 ーラ ラ／ ラ／ ● 共焦点顕微鏡 ● マイクロマニピュレーション ● マスク／ウェハーの ● 画像処理 / 安定化 シＰ リｉ 　 ポジショニング ● 高い平面度と真直度が要求 システム特性 シＰ リｉ ーｅ P-726 PIFOC®、直径 60mm 超の大型顕微鏡対物レンズ用 ● 表面測定技 　 されるナノポジショニング システム構成 E-500 モジュラーシステムと E-503 増幅器および E-509 センサーモジュール；負荷 20g ーｅ ズｚ ズｚｏ ｏ Ｗ アンプバンド幅 96Hz Ｗ ａ セトリング時間（10％ステップ幅） 8ms ａ ｌ ｌ ｋ ｋ ® P-733.Z ピエゾ垂直ステージは、100µm の ます。静電容量センサーを用いた直接計測法 セラミック絶縁ピエゾアクチュエータに ポジショニングおよびスキャニングレンジをサブ のもうひとつの利点は、位相忠実度の高さと よる長寿命の確保 技術データ ® ナノメーターの分解能で提供します。50×50mm 最大 10kHz の高い帯域幅です。P-733.Z の ピ モデル P-733.ZCD P-733.ZCL 交差 ピ エ のクリアアパーチャは、走査または共焦点顕 分解能は 0.3nm を上回ります。 PICMA®多層ピエゾアクチュエータの採用に エ ゾ 駆動軸 Z Z ゾ モ モ ー 微鏡法のような用途に理想的です。これらは 固定フレームとステージ可動部分間の実際の より、最高の信頼性が確保されています。 動作および位置決め ー タ タ セットリング時間が10ミリ秒未満と速く、高い 距離を直接計測しているため、駆動機構、アク PICMA®アクチュエータは、セラミック絶縁体 センサー 静電容量 スループット率を実現します。 チュエータ、レバーアーム、あるいはガイド を持つアクチュエータで、これにより周囲の湿 オープンループストローク、-20 ～ +120V 115 µm 最小 （+20 %/0 %） システムでの誤差は計測の精度に影響しませ 度やリーク電流による故障への耐性を獲得し クローズドループストローク 100µm 100 µm ています。したがって、信頼性と寿命の点に 電 高精度のための静電容量センサー ん。結果として、きわめて優れたリニアリティ、 オープンループ分解能 0.2 nm 標準 電 動 長期安定性、高剛性、そして応答性の良い おいて、従来型のアクチュエータよりもはるか クローズドループ分解能 0.3 nm 標準 動 モ モ ー PI の静電容量センサーは、物理的接触を伴 リニアリティ 0.03 % ー タ 制御ループを得ることができます。外部から に優れています。 標準 再現性 <2 nm 標準 タ わずに位置を直接的に計測します。これらは の影響はセンサーによって感知されます。静 広範な用途に対応する各種のモデル Z 軸まわりの回転 <10 µrad 標準 摩擦やヒステリシスを生じず、1nm を下回る 電容量センサーのノンリニアリティは概して X 軸まわりの回転 <5 µrad 標準 ポジショニング分解能との組み合わせにより、 0.03% 未満で、P-733.Z の再現性は 2nm XY 方向でのスキャニングやポジショニングの Y 軸まわりの回転 <5 µrad 標準 きわめて高いレベルのリニアリティをもたらし 機械特性 静 を上回ります。 向けとして、トラベルレンジ 100×100µm の 剛性 2.5 N/µm ± 20 % 静 電 P-733.2CD および .3CD があります。ハイ 電 容 無負荷時共振振動数 700 Hz ± 20 % 容 量 共振周波数＠ 120g 530 Hz ± 20 % 量 セ ダイナミクスの用途には、ダイレクトドライブで セ ン トラベルレンジを縮小した P-733.2DD と 共振周波数＠ 200g 415 Hz ン サ ± 20 % サ ー プッシュプルフォース容量 50/20 N 最大 ー P-733.3DD があります。 ドライブ特性 10-9hPa の超高真空用途には、ナノポジショ セラミックタイプ PICMA®P-885 パヘ ニングシステムだけでなく、適切なフィード 電気容量 6 µF パヘ ラキ ± 20 % ラキ レサ スルーなどの多様なアクセサリーが提供されて 動作電流に対するダイナミック係（DOCC） 7.5 µA/（ Hz・µm） ± 20 % レサ ルポ その他 ルポ 制ッ 制ッ 御ド います。 20 ～ 80 ℃ 御ド ６ 動作温度範囲 ６ 軸 材質 軸 シ アルミニウム シ ス 寸法 100× 100× 25 mm ス テ テ ム 重量 580g ± 5 % ± 5 % ム ・ ・ ケーブル長さ ケーブル長さ 1.5 m ± 10 mm ± 10 mm モA センサー接続 D-Sub 専用品（CD バージョン）；2× LEMO（CL バージョン） モA ー シC 電圧接続 D-Sub 専用品（CD バージョン）；1× LEMO（CL バージョン） ー シC ョS ョS ン ン コ コ ン 推奨コントローラー ン ト シングルチャンネル：E-610 サーボコントローラー、E-625 サーボコントローラー 、E-621 コントローラーモジュール ト ロ マルチチャンネル：E-500 モジュール式ピエゾコントローラーシステム：E-503 アンプモジュール（3 チャネル） ロ ー ー ル P-733.Z の寸法（mm） または E-505（軸あたり1 台、高出力）および E-509 コントローラー ル シングルチャンネルデジタルコントローラー：E-754（ベンチトップ） 076 077

コピ P-736 PD73Z2ROW / P-736.ZRN2S PD73Z2COW / P-736.ZCN2S Unit Tolerance コピ ンエ ンエ ポゾ P-736.ZRO for Olympus microscopes / P-736.ZCO for Olympus microscopes / ポゾ ーア ーア ネク P-736.ZRN2 for Nikon microscopes P-736.ZCN2 stage for Nikon microscopes PInanoR Z軸顕微鏡用ピエゾステージ ネク ンチ ンチ ト 駆動軸 Z Z ュ トュ エ エ ー ー タ 内蔵センサー Piezoresistive Capacitive ・ タ Closed-loop トラベルレンジ 220 220 µm ・ 高ピ ■ 高速ステップ＆セットリング Closed-loop 分解能 1 1 nm typ. 高ピ 速エ 共振周波数 , 100 g 負荷 250 250 Hz 速エ スゾ ■ ウェルプレート用の開口部付きで薄く組み込みが容易 スゾ キフ 推奨負荷 * 500 500 g max. キフ ャレ ャレ ニク ■ 動作範囲 220µm ピエゾセラミック PICMA® P-885 PICMA® P-885 ニク ンシ ンシ グャ 温度動作範囲 15 to 40 15 to 40 °C グャ シス ■ PICMA®ピエゾアクチュエーターによる優れた寿命 シス ステ 材質 Aluminum Aluminum ステ テー ムジ ■ 低コストのピエゾ抵抗型センサー 質量 850 850 g ±5 % テー ムジ ／ ケーブル長 1.7 1.7 m ±10 mm ／ ■ 安定性の高い静電容量式センサー ピエゾコントローラ 高 E-709　デジタルコントローラ含む 高 速 通信インターフェース USB, RS-232, SPI 速 ス 　　 ス テ HD Sub-D 26-pin テ ア ア リ リ ン アプリケーション分野 1× analog input 0 to 10 V ン グ 1× sensor monitor 0 to10 V グ ミ I/O コネクタ ミ ラ ● 共焦点顕微鏡 1× digital input (LVTTL, programmable) ラ ー ● 3D イメージング 1× analog output ー ● レーザー技術 5× digital outputs (LVTTL, 3× predefined, 2× programmable) モピ ● 計測、干渉計 コマンドセット PI General Command Set (GCS) モピ ーエ ーエ タゾ ● バイオテクノロジ ユーザーソフトウェア PIMikroMove タゾ ーコ ーコ コン ソフトウェアライブラリ LabVIEW driver, dynamic libraries for Windows and Linux. Supported by MATLAB, MetaMorph, µManager, Andor iQ コン ント ント トロ サポート機能 Wave generator, data recorder, auto zero, trigger I/O トロ ロー ロー ーラ コントローラサイズ 160 mm × 96 mm × 33 mm 高解像度顕微鏡用の ピエゾ抵抗膜方式と静電容量方式の その場で調整することができます。制御はUSB、 ーラ ラ／ ラ／ 精密ナノポジショニングシステム 2 種類のフィードバックセンサーを選択可能 RS-232、およびアナログインターフェースで * ダイナミックな動作には、小さい負荷が、より高い動特性を得られます。 シＰ 可能です。PIMikroMove、NanoCapture シＰ リｉ 高分解能のピエゾ抵抗型センサーにより、 に対応。PI General Command Set (GCS) リｉ ーｅ 非常に高速ステップ＆セットリングに最適化 ーｅ ズｚ されています。18mmと薄く組み込みが容易。 ズｚｏ 安定した位置制御を実現 に対応。LabVIEW 用ドライバ、Windows/Linux ｏ Ｗ ピエゾ抵抗型に比べて安定性と再現性が大 Ｗ ａ ニコンやオリンパスの倒立顕微鏡に対応した 用共有ライブラリ。µManagerMetaMorph、 ａ ｌ ｌ ｋ バージョンもご用意しています。 幅に良い静電容量センサー MATLAB、Andor iQとの互換性 ｋ ® ® PICMA®ピエゾアクチュエータードライブ コントローラとソフトウェアが ピ セットになったシステム ピ エ エ ゾ オールセラミック製の絶縁体で動作時間が長く ゾ モ モ ー なっています。大幅な耐湿性の向上。FEA ー タ コンパクトなデジタルサーボピエゾコントローラ タ モデルによる屈曲部の接合により、優れた E-709が付属しています。デジタルサーボは、 ガイド精度を実現。 ソフトウェアによってすべての制御パラメータを P-736.ZCO / P-736.ZRO (mm) 電 電 動 動 モ モ ー ー タ タ 静 静 電 電 容 容 量 量 セ セ ン ン サ サ ー ー オプション：P-736.PDN ペトリディッシュホルダー オプション：P-736.SHN スライドホルダー パヘ パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ 制ッ 御ド６ P-736.ZCN2 / P-736.ZRN2 (mm) 御ド６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル オプション：P-736.UHN ユニバーサルホルダー 078 079

コピ P-620.2~P-629.2 技術データ コピ ンエ ンエ ポゾ ポ モデル P-620.2CD/P-620.2CL P-621.2CD/P-621.2CL P-622.2CD/P-622.2CL P-625.2CD/ P-625.2CL P-628.2CD/P-628.2CL P-629.2CD/P-629.2CL P-62x.2OL ゾ ーア 開ループバージョン 単位 交差 ーア ネク ネク ンチ PIHeraR 小型 XY軸ピエゾステージ 駆動軸 X,Y X,Y X,Y X,Y X,Y X,Y X,Y ンチ トュ トュ エ 動作および位置決め エ ー 内蔵センサー 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 ー タ・ タ オープンループストローク P-62x.2CD 最小 ・ 60 120 300 600 950 1800 µm 高ピ ■ 50 ～ 1800µm のストローク X、Y、-20~+120V と同じ （+20%/0%） 高ピ 速エ クローズドループ 速エ スゾ ■ 高精度で高いコスト効率 50 100 250 500 800 1500 µm スゾ キフ ストローク キフ ャレ ■ 0.1nm の分解能 オープンループ P-62x.2CD ャレ ニク 0.1 0.2 0.4 0.5 0.5 2 nm 標準 ニク ンシ 分解能 と同じ ンシ グャ グャ シス シス ステ ■ 無摩擦のない高精度なフレクシャガイドシステム クローズドループ 0.2 0.4 0.7 1.4 3.5 3.5 nm 標準 ステ テー ■ 0.02% の位置決め精度 分解能 テー ムジ ムジ ／ リニアリティ 0.02 0.02 0.02 0.03 0.03 0.03 ％ 標準 ／ ■ PICMA®ピエゾアクチュエータによる長寿命 再現性 ±2 ±2 ±2 ±5 ±10 ±14 P-62x.2CDと同じ nm 標準 高 高 速 ■ X、XY、Z、XYZ の各バージョンがあります ピッチング / ヨーイング ±3 ±3 ±3 ±3 ±20 ±30 P-62x.2CDと同じ µrad 標準 速 ス 機械特性 ス テ テ ア ■ 真空対応タイプもあります 剛性 0.22 0.25 0.2 0.1 0.05 0.1 P-62x.2CDと同じ N/µm ± 20% ア リ リ ン X 方向の無負荷 ン グ P-62x.2CD 575 420 225 135 75 60 Hz ± 20% グ ミ 共振周波数 と同じ ミ ラ ラ ー Y 方向の無負荷 P-62x.2CD ー 800 535 300 195 105 100 Hz ± 20% 共振周波数 と同じ モピ X 方向の共振 P-62x.2CD モピ ーエ 270 285 180 120 60 55 Hz ± 20% 周波数＠ 50g と同じ ーエ タゾ タゾ ーコ Y 方向の共振 P-62x.2CD ーコ コン 395 365 215 150 85 コン ント 85 Hz ± 20% アプリケーション例 周波数＠ 50g と同じ 270 ント トロ トロ ロー X 方向の共振 P-62x.2CD ロー ーラ 285 220 160 105 55 50 Hz ± 20% ーラ ラ／ ● 干渉計 ● 半導体技術 周波数＠ 100g と同じ 285 ラ／ ● 顕微鏡 Y 方向の共振 P-62x.2CD ● ナノポジショニング 300 285 175 125 75 80 Hz ± 20% 周波数＠ 100g と同じ シＰ トラベルレンジ 1800μmの PIHera® ナノポジショニングシステム ● バイオテクノロジー 動作方向のプッシュ / シＰ リｉ P-62x.2CD ● 品質保証試験 10/5 10/8 10/8 10/8 10/8 10/8 N 最大 リｉ ーｅ プルフォース ーｅ ズｚ と同じ ズｚｏ ｏ Ｗ 容量負荷容量 10 10 10 10 10 10 P-62x.2CDと同じ N 最大 Ｗ ａ ラテラルフォース 10 10 10 10 10 10 P-62x.2CDと同じ N 最大 ａ ｌ ｌ ｋ ドライブ特性 ｋ ® 2軸(XY)PIHera® システムは、50 ～ 1800µm P-622.1CD は、わずか 30ms のうちに 10nm やヒステリシスを生じず、1nm を切る位置決め セラミックタイプ PICMA® PICMA® PICMA® PICMA® PICMA® PICMA® P-62x.2CD ® のトラベルレンジを持ったピエゾナノポジショ の精度で安定化することができます（他の PI ス 分解能との組み合わせにより、きわめて高い P-883 P-885 P-885 P-885 P-887 P-8837 と同じ ピ ニングステージです。ロングストロークにも テージではさらに応答の速いものもあります）。 レベルのリニアリティを実現します。また、 電気容量 0.35 1.5 3.1 6.2 19 52 P-62x.2CDと同じ µF ± 20% ピ エ かかわらず、ユニットはきわめてコンパクトで、 優れた分解能と最大 10kHzの高い帯域幅が その他 エ ゾ ゾ モ 動作温度範囲 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 モ ー 高速応答と高精度を実現しています。また、摩 ダイレクト計測の -20 ～ 80 ℃ 利点として挙げられます。 ー タ 材質 アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム タ 擦がなく非常に剛性の高いフレクシャステージ 静電容量センサーによる優れた精度 高精度を求めた設計 重量 0.195 0.295 0.348 0.43 0.7 1.37 kg ± 5% です。PIHera® ピエゾナノポジショニングシ 干渉計の位相シフト調整、顕微鏡のサンプル ケーブル長 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 m ± 10mm リーズには、Z および X の各ステージも含ま CD タイプ： CD タイプ： CD タイプ： CD タイプ： CD タイプ： CD タイプ： 位置決め、精密アライメント、あるいは光学ト PIHera®システムは、FEA で最適化された無 れています。 2×D-Sub 専用品 2×LEMO ラッキングといったようなタスクには、PIHera® センサー／電圧接続 2×D-Sub 専用品 2×D-Sub 専用品 2×D-Sub 専用品 2×D-Sub 専用品 2×D-Sub 専用品 電 動 摩擦のないフレクシャ設計で高い剛性を確保し、 CL タイプ： CL タイプ： CL タイプ： CL タイプ： CL タイプ： CL タイプ： （センサーなし） 電 動 モ ナノメーターの精度をミリ秒の速さで ステージがもつ比較的長いストロークとナノメー これによりガイド精度と力学特性を保証して LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO LEMO モ ー ー タ ターレベルの精度が適しています。 います。また、ナノメーターレンジの真直度と タ 下段軸： X；上段軸：Y PIHera®ステージは、入力変化に対する高速 PI 独自の静電容量センサーは、物理的接触を 平面度が得られています。 PI ピエゾナノポジショナの分解能は摩擦や静止摩擦による制限を受けません。示された値は E-710 コントローラーを用いたノイズ等価動作です。 応答で、整定動作が速く正確です。たとえば せずに位置を直接計測します。これらは摩擦 推奨コントローラー CD バージョン： E-610 サーボコントローラー、E-625 サーボコントローラー、ベンチトップ 、E-665 パワフルサーボコントローラー、ベンチトップ 静 P-62x.2CD/.2CL/.20L の寸法（mm） マルチチャンネルデジタルコントローラー：E-710 ベンチトップ（p.2-128）、E-712 モジュラー、E-727 ハイパワー、E-761 PCI ボード 静 電 電 容 CL バージョン： E-500 モジュラーピエゾコントローラーシステム および E-505 モジュール（各軸に 1 台、ハイパワー）および E-509 コントローラー 容 量 量 セ オープンループバージョン：E-500 モジュラーピエゾコントローラーシステムおよび E-505 モジュール（各軸に 1 台、ハイパワー） セ ン ン サ サ ー ー オーダー情報 パヘ P-620.2CD ＊ / P-620.2CL ＊ パヘ ラキ ラキ レサ PIHera®精密 XY ナノポジショニングシステム、50x50µm、直接計測、静電容量センサー レサ ルポ ルポ 制ッ P-621.2CD ＊ / P-621.2CL ＊ 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 PIHera® 精密 XY ナノポジショニングシステム、100x100µm、直接計測、静電容量センサー 軸 シ シ ス ス テ P-622.2CD ＊ / P-622.2CL ＊ テ ム PIHera® 精密 XY ナノポジショニングシステム、250x250µm、直接計測、静電容量センサー ム ・ ・ モA P-625.2CD ＊ / P-625.2CL ＊ モA ー シC PIHera® 精密 XY ナノポジショニングシステム、500x500µm、直接計測、静電容量センサー ー A　 B　 C　 D　 E　 ΦF　 G　 H　 J　 K　 L　 M　 N　 シC ョS ョS ン ン コ P.620.2CD / 2DL 30 21.5 24 24 19 1.01 1.5 M2 3.5 5.10 2.2 9 6.0 P-628.2CD ＊ / P-628.2CL ＊ コ ン ン ト P.621.2CD / 2DL 40 25.0 30 26 26 1.51 2.5 M3 5.0 6.25 3.2 10 5.0 PIHera® 精密 XY ナノポジショニングシステム、800x800µm、直接計測、静電容量センサー ト ロ ロ ー P.622.2CD / 2DL 50 25.0 40 355 35 1.51 2.5 M3 5.0 6.25 3.2 11 5.0 P-629.2CD ＊ / P-629.2CL ＊ ー ル P.625.2CD / 2DL 60 25.0 50 46 46 1.51 2.5 M3 6.0 6.25 3.2 11 5.0 PIHera®精 密 XY ナノポジショニングシステム、1500x1500µm、直接計測、静電容量センサー ル P.628.2CD / 2DL 80 30.0 70 66 66 1.51 2.5 M3 6.0 6.75 3.2 11 5.0 P.629.2CD / 2DL 100 40.0 90 82 82 2.01 3.5 M4 7.0 9.75 4.3 16 7.5 ＊ .2CD は D-Sub コネクター　＊ .2CL は LEMO コネクター オープンループバージョンは、P-62x.2OL となります。　10-9hPa までの真空タイプは、P-62x.2UD となります。 080 081

コピ 軌道からの逸脱を数ナノメートル以下に維持 PICMA®アクチュエータは、セラミックだけ P-541.2~P-542.2 オーダー情報 コピ ンエ ンエ ポゾ できます。 で絶縁されている唯一のアクチュエータです。 P-541.2DD ポゾ ーア ーア ネク 薄型・大型開口部付ピエゾ XY ステージ 長寿命を約束する このセラミック絶縁により、アクチュエータは ネク ンチ 大型開口部付、高速ダイレクトドライブ ンチ トュ セラミック絶縁ピエゾアクチュエータ 周囲湿度や漏れ電流に対する耐性がありま トュ エ 45µmＸ45µm、パラレル制御、静電容量センサー エ ー す。このため、従来のアクチュエータに比べ ー タ・ PICMA®多層構造のピエゾアクチュエータを てはるかに優れた信頼性と寿命を備えてい P-541.2CD タ・ 高ピ ■ 薄型で組み込みが簡単：16.5mm、 使用することで最大限の信頼性が保証されます。 ます。 大型開口部付、100µm Ｘ 100µm、 高ピ 速エ 　 センター開口部 80mm 80mm パラレル制御、静電容量センサー 速エ スゾ スゾ キフ キフ ャレ ■ ロングストローク：～ 200µm 200µm P-542.2CD ャレ ニク ニク ンシ ンシ グャ ■ パラレル制御／計測構造による応答性の向上 大型開口部付、200µm Ｘ 200µm、 グャ シス 　／多軸の精密制御 パラレル制御、静電容量センサー シス ステ ステ テー テー ムジ ■ 高ダイナミクスを誇るダイレクトドライブバージョン P-541.2SL ムジ ／ ／ 高 ■ センサーの選択が可能：歪みゲージ（低価格） 大型開口部付、100µm Ｘ 100µm、 高 速 　 または静電容量センサー（高性能） 歪みゲージセンサー 速 ス ス テ テ ア ■ PICMA™ ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ア リ P-542.2SL リ ン ン グ ■ ロングストロークの顕微鏡ステージとの 大型開口部付、200µm Ｘ 200µm、 グ ミ ミ ラ 　 組み合わせが可能 歪みゲージセンサー ラ ー ー P-541.20L モピ モピ ーエ 大型開口部付、100µm Ｘ 100µm、 ーエ タゾ オープンループ タゾ ーコ ーコ コン コン ント ント トロ アプリケーション例 トロ ロー P-542.20L ロー ーラ 大型開口部付、200µm Ｘ 200µm、 ーラ ラ／ ● レーザーテクノロジー ● バイオテクノロジー ラ／ ● 走査型顕微鏡 ● マイクロマニピュレーション オープンループ ナノポジショニングステージの P-541/P-542 シリーズは、高さがわずかに 16.5mm、80mm 80mm の大型開口部 ● マスク／ウェハーの位置決め シＰ ● 干渉計 シＰ リｉ を備え、サブナノメートルの分解能で高精度な動作を実現します。P-541/P-542 ステージは、サイズと開口パターンが リｉ ーｅ すべて同一です。 ーｅ ズｚ ● 各種計測 ｏ ズｚｏ Ｗ Ｗ ａ ａ ｌ ｌ ｋ P-541.2 および P-542.2 の外形図（単位：mm） ｋ ® 薄型で、顕微鏡検査アプリケーション と比較して他にも利点があります。例えば、コン ティを提供します。また、低価格の歪みゲージ ® 用に最適化 パクトな構造にすることができ、また、他の軸 センサー（SGS）を備えたバージョンもあります。 技術データ ピ に起因する累積誤差がありません。 　 　 　 　 　 　 　 ピ エ モデル 　P-541.2CD 　P-542.2CD 　P-541.2DD 　P-541.2SL 　P-542.2SL 　P-541.20L 　P-542.20L 単位 交差 エ ゾ P-541/P-542 ナノポジショニング／スキャニ ナノメートルレベルの パラレル制御システムは、低慣性とすぐれたダ ゾ モ ングステージは、顕微鏡に簡単に組み込める 平坦度と直進度を実現する モ ー イナミック性能を維持しながら、最大 6 軸が可 ように設計されています。このステージは極め アクティブおよびパッシブガイド 駆動軸 X.Y X.Y X.Y X.Y X.Y X.Y X.Y ー タ 動作および位置決め タ 能です。パラレル制御とパラレルダイレクト計 て薄型（16.5mm）で、80mm× 80mmと 内蔵センサー 静電容量 静電容量 静電容量 SGS SGS - 測機能を備える多軸ナノポジショニングシステ 有限要素解析（FEA）を利用して最適に設計 オープンループストローク X、Y、-20~+120V いう大きな開口部を備え、サブナノメートル分 175×175 290×290 60×60 175×175 290×290 175×175 290×290 µm 最小（+20%0%） ムは、1つの固定基準に対して、あらゆる角度 されたワイヤ放電加工したフレクシャを使用 クローズドループストローク 100×100 200×200 45×45 100×100 200×200 - - µm 解能による高精度な動作を実現しています。 電 でプラットフォームの位置を測定できます。こ してステージをガイドします。FEA 手法によ クローズドループ / オープンループ分解能 0.3/0.2 0 0.7/0.4 0.3/0.1 2.5/0.2 4/0.4 -/0.2 -/0.4 nm 標準 電 動 幅広いアプリケーションに対応するため、設置 リニアリティ 0.03 0.03 0.03* 0.2 0.2 - - ％ 標準 動 モ のようなシステムでは、1 つのアクチュエータ り、最大限の剛性が確保され、直線と角度の モ ー 再現性 <5 <5 <5 <10 <10 - - nm 標準 ー タ 面積は同じで、様々な機能をもつ Z ステージ による他のアクチュエータへの影響（クロス 振れを最小限に抑えています。フレクシャガイ ピッチング <± 5 <± 5 <± 3 <± 5 <± 5 <± 5 <± 5 µrad 標準 タ とZチップ／チルトステージが用意されています。 トーク）が直ちに検出され、サーボループに ドによる高精度は、“ アクティブ軌道制御 ” に ヨーイング <± 10 <± 10 <± 3 <± 10 <± 10 <± 10 <± 10 µrad 標準 これらは、位置合わせ、ナノフォーカス、また より動的に補正されます。 よりさらに強化されます。パラレル計測機能を 機械特性 は各種計測用途に適しています。 備える多軸ナノポジショニングシステムにより、 動作方向の剛性 0.47 0.4 10 0.47 0.4 0.47 0.4 N/µm ± 20％ 無負荷時の共振周波数 255 230 1550 255 230 255 230 Hz ± 20％ 静 ドライブの選択：ロングストロークまた ニーズに応じた位置測定 1 つの固定基準に対して、あらゆる角度で 共振周波数 @ 100g 200 190 - 200 190 200 190 Hz ± 20％ 静 電 は高速ダイレクトドライブ プラットフォームの位置を測定できます。この 共振周波数 @ 200g 電 容 180 - 1230 180 - 180 - Hz ± 20％ 容 量 共振周波数 @ 300g 150 145 150 150 150 150 150 Hz ± 20％ 量 セ 内蔵の高分解能位置センサーは、高速応答 ようなシステムでは、1 つのアクチュエータに セ ン ドライブは、ストローク 100 および 200µm の と、ナノメートルレンジの位置決め精度を実現 よる他のアクチュエータへの影響（クロストー 動作方向のプッシュプルフォース容量 ン サ 100/30 100/30 100/30 100/30 100/30 100/30 100/30 N 最大 サ ー 負荷容量 20 20 20 20 20 20 20 N 最大 ー レバーアンプ XY システムと、ストローク 45µm します。上級モデルは、静電容量センサーを ク）が直ちに検出され、サーボループにより ドライブ特性 のダイレクトドライブ XY スキャナがあります。 採用しています。物理的接触なしに変位を直 動的に補正されます。この “ アクティブ軌道制 セラミックタイプ PICMA® P-885 PICMA® P-885 PICMA® P-885 PICMA® P-885 PICMA® P-885 PICMA® P-885 PICMA® P-885 パヘ 45µm タイプのスキャナは、1.5kHz の高共 接測定し（ダイレクト計測）、すぐれたリニアリ 御 ” により、ダイナミックな操作においても、 軸あたりの静電容量 4.2 7.5 9 4.2 7.5 4.2 7.5 µF ± 20％ パヘ ラキ ラキ レサ その他 レサ ルポ 振周波数を備え、高速応答と高スキャンレート を実現し、単一分子の顕微鏡検査やその他高速 動作温度範囲 ルポ 制ッ 20 ～ 80 20 ～ 80 20 ～ 80 20 ～ 80 20 ～ 80 20 ～ 80 20 ～ 80 ℃ 制ッ 御ド 材質 御ド ６ アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム ６ 軸 応答を必要とするアプリケーションに最適です。 重量 1100 1150 1210 1050 1100 1050 1100 kg ± 5％ 軸 シ シ ス ケーブル長 ス テ 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 m ± 10mm テ ム パラレル制御による高速応答 センサー接続部 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub LEMO LEMO - - ム ・ 電圧接続部 ・ 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub LEMO LEMO LEMO LEMO モA パラレル制御の多軸システムでは、すべてのア モA ー クチュエータが 1 つのプラットフォーム上で直 PI ピエゾナノポジショナーの分解能は、動摩擦や静止摩擦による制限を受けません。表示されている値は、E-503 または E-710 コントローラーによるノイズ相当分の動作です。 ー シC シC ョS 動作電流に対するダイナミック係数は、Hz とμ m に対するμ A で表示されます。例：10Hz で 10 μ m の正弦波スキャンには、約 0.48mA の駆動電流が必要です * デジタルコントローラーの場合、アナログコントローラーで測定するダイレクトドライブステージのノンリニアリティは、最大 0.1% です（標準）。 ョS ン ン コ 接作動します。つまり、すべての軸が 1 つの コ ン ン ト 最小化された質量を動かし、同一の動的特性を ト ロ もちます。パラレル制御／計測機能を備える P-541.2DD ステージのセットリング時間は、 推奨コントローラー／アンプ ロ ー 単一チャネル（軸あたり1）：E-610 サーボコントローラー、E-625 サーボコントローラー、ベンチトップ、E-621 コントローラーモジュール ー ル 50μmステップでわずか 3ms です。 ル システムは、シリアルスタックやネストタイプ 複数チャネル：E-500 モジュール式ピエゾコントローラーシステム、E-503 アンプモジュール（3 チャネル）または E-505（軸あたり1、ハイパワー）、および E-509 コントローラー（センサー付きシステム用）付き 複数チャネルデジタルコントローラー：E-710 ベンチトップ、E-712 モジュール式、E-727 ハイパワー、E-761 PCI 基板 082 083

コピ 最小化された質量を動かし、同一の動的特 よるダイレクト計測のさらなる利点は、優れた P-733.2~P-733.3 オーダー情報 コピ ンエ 性をもちます。パラレル制御とパラレルダイ 位相追従性と最大 10kHzという高周波数帯域 ンエ ポゾ P-733.2DD ポゾ ーア レクト計測機能を備える多軸ナノポジショニ です。クローズドループの分解能は、X および ーア ネク 高速・高精度開口部付ピエゾステージ 高ダイナミック高精度 XY ナノポジショニングシステム ネク ンチ ン ングシステムは、1 つの固定基準に対して、 Y 軸方向に 0.3nm、オプションの高さ方向に チ トュ 30X30µm、直動式、静電容量センサー、パラレル計測 トュ エ エ ー あらゆる角度でプラットフォームの位置を測定 0.2nm です。直動式バージョンは、すべての D-Sub コネクター ー タ・ タ できます。このようなシステムでは、1 つの 軸について 0.1nm です。 P-733.3DD ・ 高ピ ■ ストローク：XY 軸 100 ×100µm、 アクチュエータから他のアクチュエータへの 高ダイナミック高精度 XYZ ナノポジショニングシステム 高ピ 速エ 　 Z 軸～ 10µm 長寿命を約束する 30X30X10µm、直動式、静電容量センサー、 無用な動作（クロストーク）が直ちに検され、 速エ スゾ スゾ キフ セラミック絶縁ピエゾアクチュエータ パラレル計測、D-Sub コネクター キフ ャレ ■ 静電容量センサーにより分解能～ 0.1nm を実現 サーボループにより動的に補正されます。 ャレ ニク P-733.2CD*/P-733.2CL* ニク ンシ ンシ グャ ■ 直動式の高速タイプ 高精度 XY ナノポジショニングシステム、 グャ シス 長寿命を約束する Z 軸のスキャニングアプリケーションには、 シス ステ ■ 真空対応および非磁性タイプ 100x100µm、静電容量センサー、パラレル計測 ステ テー セラミック絶縁ピエゾアクチュエータ ストローク 100µm の P-733.ZCD をご利用 テー ムジ ムジ ／ ■ パラレル制御によるダイナミクスの向上 / ください。 P-733.3CD*/P-733.3CL* ／ 高精度 XYZ ナノポジショニングシステム、 高 　 多軸の精密制御 PI 独自の静電容量センサーは、物理的接触な 最大 10-9hPa の超高真空アプリケーション 100x100x10µm、静電容量センサー、パラレル計測 高 速 しに、対象物の位置を直接測定します。摩擦 には、ナノポジショニングシステムとともに、 速 ス ■ パラレル計測によるアクティブ軌道制御 P-733.2VL*/P-733.2VD* ス テ テ ア やヒステリシスがなく、また、位置決めの分解 適切な導入端子などの幅広いアクセサリをご 高精度 XY ナノポジショニングシステム、 ア リ ■ 摩擦のない精密フレクシャガイドシステム リ ン 能は 1nm 未満のため、非常に高レベルのリニ 利用ください。 100x100x10µm、 ン グ グ ミ ■ 透過光アプリケーションに適した 50×50mm アリティが得られます。静電容量センサーに 静電容量センサー、パラレル計測、真空対応～ 10-6hPa ミ ラ ラ ー 　 のセンター開口部 P-733.2UD ー 高精度 XY ナノポジショニングシステム、100 ×100 モピ µm、静電容量センサー、パラレル計測、D-Sub モピ ーエ ーエ タゾ コネクタ、真空対応～ 10-9hPa タゾ ーコ ーコ コン コン ント アプリケーション例 * .xxD：D-Sub コネクタ付き ント トロ * .xxL：LEMO コネクタ付き トロ ロー ロー ーラ その他特注仕様につきましてもお問合わせください。 ーラ ラ／ ● 画像処理／安定化 ● 半導体試験 技術データ ラ／ ● 走査型顕微鏡 ● マスク／ウェハー位置決め 　 　 　 　 ● 表面形状解析 ● マイクロマニピュレーション ● 各種計測／干渉計 ● 高平坦度 / 直進度のナノ モデル 　P-733.2CD 　P-733.3CD シＰ 　P-733.2CL 　P-733.3CL 　P-733.2DD 　P-733.3DD 単位 公差 シＰ リｉ リｉ ーｅ 高速タイプの開口部付ピエゾステージ P-733.2CL ズｚ ● バイオテクノロジー 　 ポジショニング 駆動軸 X,Y ,Y,Z X,Y X,Y,Z ーｅX ｚ ｏ ズ 動作および位置決め ｏ Ｗ Ｗ ａ ｌ 内蔵センサー 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 ａ ｌ ｋ ® P-733 XY および XYZ ピエゾステージは、高 に、P-733.3CD の高速 Z 軸は、XY 軸動作の です。最新型の高剛性直動式により、システム オープンループストローク、-20 ～ +120V 115×115 115×115×12 33×33 33×33×14 µm 最小（± 20%/-0%） ｋ ® クローズドループストローク 100×100 100×100×10 30×30 30×30×10 µm 速かつ高精度のナノポジショニング／スキャ 間、Z 軸の面外偏差を動的に補正します。 の共振周波数は 2.2kHz、サブナノメートルの オープンループ分解能 0.2 0.2（Z 軸は 0.1） 0.1 0.1 nm 標準 ピ ニングシステムです。100 ×100（x10）µm 高速多軸システム／直動式、薄型、 分解能でミリセカンドのスキャニングを実行 クローズドループ分解能 0.3 0.3（Z 軸は 0.2） 0.1 0.1 nm 標準 ピ エ ゾ の位置決め／スキャニング範囲を、サブナノ そして大きな開口部 します。 リニアリティ（X、Y） 0.03 0.03* 0.03* ％ 標準 エ 0.03 ゾ モ ー メートルの分解能で実現し、静電容量セン リニアリティ（Z） - 0.03 - 0.03* ％ 標準 モ パラレル制御／ ー タ 再現性（X、Y） <2 <2 <2 <2 nm 標準 タ サーを利用したパラレル計測位置フィード P-733.2DD/.3DD 多軸ピエゾナノポジショニ 計測による応答性の向上 再現性（Z） - <1 - <1 nm 標準 バック機能により、多軸制御において優れた ングシステムは、走査型顕微鏡のための、高速 ピッチング（X、Y） <±3 <±3 <±5 <±5 µrad 標準 リニアリティと再現性を可能にしています。ガ かつ超高精度のオープンフレームステージです。 パラレル制御の多軸システムでは、すべての ヨーイング（X、Y） <±10 <±10 <±10 <±10 µrad 標準 イド精度が高いため、全ストローク範囲にお 位置決め／スキャニング範囲は、30µm で アクチュエータが、1 つのプラットフォーム上で 振れ、θZ（Z 方向） <±5 <±5 µrad 標準 電 機械特性 電 動 いて、振れを 10nm 未満に抑えています。さら 高さがわずか 20mm（0.8 インチ）の薄型 動作します。つまり、すべての軸が、1 つの 動 モ 剛性 1.5 1.4（Z 軸は 9） 20 4（Z 軸は 10） N/µm ±20％ モ ー ー タ 無負荷時の共振周波数 500 460（Z 軸は 1400） 2230 1200（Z 軸は 1100） Hz ±20％ タ 負荷時の共振周波数 @ 120g 370 340（Z 軸は 1060） - - Hz ±20％ 負荷時の共振周波数 @ 200g 340 295（Z 軸は 650） 1550 530（Z 軸は 635） Hz ±20％ 動作方向のプッシュプルフォース容量 50/20 50/20 50/20 50/20 N 最大 ドライブ特性 静 セラミックタイプ PICMA®P-885 PICMA®P-885 PICMA®P-885 PICMA®P-885 静 電 容 静電容量 6 6（Z 軸は 2.4） 6.2 6.2（Z 軸は 3.3） µF ±20％ 電 容 量 その他 量 セ セ ン 動作温度範囲 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 ℃ ン サ ー 材質 アルミニウム サ アルミニウム アルミニウム アルミニウム ー 重量 0.58 0.675 0.58 0.675 kg ±5％ ケーブル長さ 1.5 1.5 1.5 1.5 m ±10mm パヘ 特殊 D-Sub（CD タイプ） センサー／電圧接続 特殊 D-Sub（CD タイプ） 特殊 D-Sub 特殊 D-Sub パヘ ラキ レサ LEMO（CL タイプ） LEMO（CL タイプ） ラキ レサ ルポ ルポ 制ッ * デジタルコントローラーの場合。アナログコントローラーで測定した直動式ステージのノンリニアリティは、最大 0.1%（標準） 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 軸 シ 推奨コントローラー シ ス ス テ 単一チャネル（軸あたり1）：E-610 サーボコントローラー／アンプ、E-625 サーボコントローラー、ベンチトップ、E-621 コントローラーモジュール テ ム ム ・ 複数チャネル：E-500 モジュール式ピエゾコントローラーシステム、E-503 アンプモジュール（3 チャネル）または、E-505（軸あたり1、高出力）、および E-509 サーボコントローラー付き ・ 複数チャネルデジタルコントローラー：E-710 ベンチトップ、E-712 モジュール式、E-727 高出力、E-761 PCI 基板 モA モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト 左から、P-733.2、P-733.3、P-733.3DD の外形図（単位：mm） ト ロ ロ ー ー ル ル 084 085

コピ P-517~P-527 技術データ コピ ンエ ポゾ 　 　 　 　 　 ンエ ーア モデル P-517.2CL/ 　P-527.2CL/ ポ P- ゾ 多軸開口部付ピエゾステージ P-517.2CD 　P-527.2CD 517.3CL/ P-527.3CL/ ク P-517.3CD P-527.3CD P-517.RCD P-527.RCD 単位 交差 ーア ネ ネク ンチ ンチ トュ トュ エ 駆動軸 X,Y X,Y X,Y,Z X,Y,Z X,Y,θz X,Y,θz エ ー 動作および位置決め ー タ・ 内蔵センサー 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 タ 静電容量 静電容量 ・ 高ピ ■ 2 軸および 3 軸バージョン オープンループ 130;θz: 250;θz: 高ピ 速エ 　（ XY, XYZ, XθYθZ, θYθZ） ストローク、 130 250 130;Z:25 250 µm max. 速エ スゾ ±1.3 mrad ±2.5 mrad -20 ～ +120V スゾ キフ キフ ャレ ■ ストローク～ 200µm クローズドループ 100 200 100;Z:20 200;Z:20 100;θz: 200;θz: µm ャレ ニク ニク ンシ ンシ グャ ■ サブナノメートルの分解能 ストロ ーク ±1 mrad ±2 mrad オープンループ 0.3 05 0.3; Z: 0.5; Z: 0.3; θz: 0.5; θz: nm 標準 グャ シス シス ステ ■ 摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ステ テー 分解能 0.1 0.1 ±0.1 µrad ±0.1 µrad テー ムジ クローズドループ 1 2 1; Z: 0.1 2; Z: 0.1 1; θz: 2; θz: nm 標準 ムジ ／ ■ 静電容量センサーによる高いリニアリティ ／ 分解能 ±0.3 µrad ±0.3 µrad 高 ■ パラレル制御／多軸精密制御 リニアリティ 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 0.03 ％ 標準 高 速 速 ス 再現性 ± 5 ± 10 ± 5;Z: ±1 ± 10; Z:1 ± 5; θz: ± 10; θz: nm 標準 ス テ ■ センター開口部 66x66mm テ ア ± 0.5 µrad ± 1 µrad ア リ リ ン 機械特性 ン グ グ ミ 剛性 2 1 2; Z: 15 1; Z: 15 2 1 N/µm ± 20% ミ ラ ラ ー 無負荷時の 450 350 450; Z: 350; Z: 450; θz: 350; θz: Hz ± 20% ー 共振周波数 1100 1100 400 300 モピ 共振周波数 @ 250 190 250 190 250 190 Hz ± 20% モピ ーエ 500g X、Y ーエ タゾ タゾ ーコ 共振周波数 @ 140 110 140 110 140 110 Hz ± 20% ーコ コン コン ント ント トロ アプリケーション例 2500g X、Y トロ ロー 動作方向のプッシュ 50/20 50/20 50/20 50/20 50/20 50/20 N 最大 ロー ーラ ーラ ラ／ ● メトロロジー ● 走査型顕微鏡 プルフォース容量 ラ／ ● 干渉計 ● マスストレージ装置試験 静電容量 9.2 9.2 9.2; Z: 6 9.2; Z: 6 4.6 4.6 µF ± 20% ● 光学 ● レーザーテクノロジー その他 シＰ ● リソグラフィ ● マイクロ機械加工 動作温度範囲 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 ℃ シＰ リｉ リｉ ーｅ P-527.2CL XY 軸開口部付ピエゾステージ ● ナノポジショニング 材料 アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム ーｅ ズｚｏ 重量 1.4 1.4 1.45 1.45 1.4 1.4 kg ± 5 ズｚｏ Ｗ Ｗ ａ ａ ｌ L: LEMO/ L: LEMO/ L: LEMO/ L: LEMO/ ｌ ｋ ｋ ® 高い動作性をもつ P-517 および P-527 多軸 の軸が 1 つの移動平面上で動作するため、 ナミックな操作においても、理想直線からの コネクター D: D-sub D: D-sub D: D-sub D: D-sub D: D-sub D: D-sub 25W3(m) 25W3(m) 25W3(m) 25W3(m) 25W3(m) 25W3(m) ® ピエゾナノポジショニングステージは、XYθZ、 重量が軽減され、同一の動的挙動が得られ、 ズレ（ ランナウト）を数ナノメートル以下に ピ XY、および XYZ の構成で、リニアストローク 累積誤差がありません。また、積層タイプの 抑えることができます。 ピ エ が最大 200 200 20µm、回転レンジは最大 ステージと比較して、よりコンパクトな形状と オーダー情報 エ ゾ 長寿命を約束する ゾ モ モ ー 4mrad の範囲での位置決めが可能です。 高速応答が可能になります。 ー タ セラミック絶縁ピエゾアクチュエータ P-517.2CL タ 66 66mm のセンター開口部は光透過式 フレクシャガイドによる高精度は、“ アクティブ 高精度 XY ナノポジショニングシステム、100x100µm、静電容量センサー、パラレル計測、LEMO コネクタ アプリケーションに最適です。 軌道制御 ” によりさらに強化されます。パラレル PICMA®多層構造のピエゾアクチュエータを P-527.2CL 同じサイズのZ/チップ/チルトバージョンとして、 制御とパラレルダイレクト計測機能を備える多 使用することで最大限の信頼性が保証されます。 高精度 XY ナノポジショニングシステム、200x200µm、静電容量センサー、パラレル計測、LEMO コネクタ 電 モデル P-518、P-528、および P-558 が有り、 軸ナノポジショニングシステムにより、1 つの PICMA®アクチュエータは、セラミックだけで P-517.3CL 電 動 また、最大 6 軸のステージ製品があります。 固定基準に対して、あらゆる角度で各軸の位 絶縁されている唯一のアクチュエータです。 高精度 XYZ ナノポジショニングシステム、100x100x20µm、静電容量センサー、パラレル計測、LEMO コネクタ 動 モ モ ー 置を測定できます。このようなシステムでは、 このセラミック絶縁により、アクチュエータは ー タ P-517.3CD タ 静電容量センサーにより高精度を実現 1 つのアクチュエータによる他のアクチュエータ 周囲湿度や漏れ電流に対する耐性があります。 高精度 XYZ ナノポジショニングシステム、100x100x20µm、静電容量センサー、パラレル計測、D-Sub コネクタ への影響（クロストーク）が直ちに検出され、 このため、従来のアクチュエータに比べてはる P-527.2CL PI 独自の静電容量センサーは、非接触で、 センサーのクローズドループにより補正されま かに優れた信頼性と寿命を備えています。 高精度 XY ナノポジショニングシステム、200x200µm、静電容量センサー、パラレル計測、LEMO コネクタ 静 対象物の位置を直接測定します。摩擦やヒス す。この “ アクティブ軌道制御 ” により、ダイ P-527.3CD 静 電 テリシスがなく、また、位置決めの分解能が 電 容 高精度 XYZ ナノポジショニングシステム、200x200x20µm、静電容量センサー、パラレル計測、D-Sub コネクタ 容 量 1nm を下回るため、非常に高レベルのリニア 量 セ セ ン ン サ リティが得られます。静電容量センサーによる P-517.RCD 高精度 XYθZ ナノポジショニングシステム、100x100µm、2mrad、静電容量センサー、パラレル計測、D-Sub コネクタ サ ー ー ダイレクト計測のさらなる利点は、すぐれた 分解能と最大 10kHz という高周波数帯域 P-527.RCD 高精度 XYθZ ナノポジショニングシステム、200x200µm、4mrad、静電容量センサー、パラレル計測、D-Sub コネクタ パヘ です。 パヘ ラキ ラキ レサ レサ ルポ ルポ 制ッ ナノメートルレベルの平坦度と直進度を 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 実現するアクティブおよびパッシブガイド 軸 シ シ ス ス テ 有限要素解析（FEA）で最適化したフレクシャ テ ム ム ・ を使用しステージのガイドをします。FEA 手 ・ モA 法により、動作の方向に対して最大限の剛性 モA ー ー シC と垂直性が確保され、直線と角度の振れを最 シC ョS ョS ン ン コ 小限に抑えています。フレクシャには、遊びや コ ン 摩擦がまったくないため、どのような微細な ン ト ト ロ ロ ー 動きであろうと、極めて高精度の動きが可能 ー ル P-517、P-527 の外形図（単位：mm）、ケーブル長さ 1.5m ル になります。パラレル制御設計により、すべて 086 087

コピ P-518~P-558 技術データ コピ ンエ ポゾ 　 　 　 　 　 　 ンエ ポゾ ーア 単位 交差 ーア ネク モデル P-558.ZCD/ P P-558.TCD .ZCD/ P-528.ZCD/ -558.ZCL P-518 P-518.ZCL P-518.TCD P-528.ZCL P-528.TCD ネク ンチ ンチ トュ Z・チップ・チルト開口部付ピエゾステージ 駆動軸 Z Z,θX,θY Z Z,θX,θY Z Z,θX,θY トュ エ エ ー 動作および位置決め ー タ・ 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 タ 内蔵センサー 静電容量 静電容量 ・ オープンループストローク、 60 60 140 140 240 240 µm 最小 高ピ ■ 1 軸および 3 軸バージョンあり 高ピ 速エ -20 ～ +120V （+20%/-0%） 速エ スゾ ■ クローズドループの垂直／チルトレンジ～ スゾ キフ オープンループチップ／ - ± 0.3 - ± 0.7 - ± 1.2 mrad 最小 キフ ャレ 　 200µm/2mrad を実現 チルト角、-20 ～ +120V （+20%/-0%） ャレ ニク ニク ンシ 　（ オープンループは～ 240µm/2.4mrad） クローズドループ 50 50 100 100 200 200 µm ンシ グャ グャ シス ストローク ■ パラレル制御／計測構造による応答性の向上 シス ステ ステ テー クローズドループチップ／ - ± 0.25 - ± 0.5 - ± 1 mrad 　 ／多軸の精密制御 テー ムジ ムジ ／ チルト角 ／ ■ 摩擦のない精密フレクシャガイドシステム オープンループ分解能 0.2 0.2 0.2 0.4 0.6 0.6 nm 標準 高 オープンループチップ／ - 0.02 - 0.04 - 0.06 µrad 標準 高 速 速 ス ■ PICMA™ ピエゾアクチュエータで長寿命を確保 チルト角分解能 ス テ テ ア ■ センター開口部 66× 66mm クローズドループ分解能 0.5 0.5 0.8 0.8 1 1 nm 標準 ア リ クローズドループチップ／ - 0.05 リ ン - 0.05 - 0.1 µrad 標準 ン グ ■ 静電容量センサーによる高いリニアリティ グ ミ チルト角分解能 ミ ラ リニアリティ、θX, θY - 0.03 - 0.03 - 0.03 ％ 標準 ラ ー ー 再現性 ± 5 ± 5 ± 5 ± 5 ± 10 ± 10 nm 標準 モピ 再現性、θX, θY - ±0.03 - ±0.05 - ±01 µrad 標準 モピ ーエ 振れ θZ（Z 軸動作） ± 5 ± 5 ± 5 ± 5 ± 10 ± 10 µrad 標準 ーエ タゾ タゾ ーコ 振れθX, θY（Z 軸動作） ± 25 ± 25 ± 25 ± 25 ± 50 ± 50 µrad 標準 ーコ コン 機械特性 コン ント アプリケーション例 ント トロ 剛性 4 4 2.7 2.7 1.5 1.5 N/µm ± 20% トロ ロー ロー ーラ 無負荷時の 570 570 500 500 350 350 Hz ± 20% ーラ ラ／ ● 各種計測 ● マスストレージ装置試験 ラ／ ● 干渉計 ● レーザーテクノロジー 共振周波数（Z） ● 光学 ● マイクロ機械加工 無負荷時の共振周波数 - 610 - 530 - 390 Hz ± 20% シＰ ● リソグラフィ （θX, θY） シＰ リｉ リｉ ーｅ P-528 Z/ チップ / チルトピエゾナノポジショニングシステム ● 走査型顕微鏡 共振周波数 @ 30g Z 軸 410 410 350 350 210 210 Hz ± 20% ーｅ ズｚ 共振周波数 @ 500g - 430 ズｚｏ - 370 - 250 Hz ± 20% ｏ Ｗ Ｗ ａ X、Y 軸 ａ ｌ 共振周波数 @ 2500g 245 245 200 200 130 130 Hz ± 20% ｌ ｋ ｋ ® P-5x8 シリーズ、Z ／チップ／チルトナノポジ レルダイレクト計測機能を備える多軸ナノポジ ケーションにおいて最高の動的精度が得られ Z 軸 ® ショニングステージは、開口型の高分解能ピエゾ ショニングシステムにより、1 つの固定基準に ます。DDL は、トラッキングエラーを排除し、 共振周波数 @ 2500g - 240 - 190 - 115 Hz ± 20% ピ 駆動ステージで、最大 200µmおよび 2.4mrad 対して、あらゆる角度で位置を測定できます。 ダイナミックリニアリティを向上させます。 θX, θY ピ エ Push/Pull フォース 50 / 40 50 / 40 50 / 40 50 / 40 50 / 40 50 / 40 N 最大 の動作範囲と、最大 0.5nm および 50nrad エ ゾ このようなシステムでは、1 つのアクチュエータ ドライブ特性 ゾ モ モ ー の分解能を実現します。また、66×66mm の による他のアクチュエータへの影響（クロス 長寿命を約束する セラミックタイプ PICMA® PICMA® ー タ タ センター開口部は、光透過式アプリケーション トーク）が直ちに検出され、センサのクローズド セラミック絶縁ピエゾアクチュエータ PICMA® PICMA® PICMA® PICMA® P-885 P-885 P-885 P-885 P-885 P-885 8.4 2.1 14.8 3.7 µF ± 20% に最適です。 ループにより補正されます。この “ アクティブ PICMA®多層構造のピエゾアクチュエータを 静電容量 6 1.5 その他 同じ形のXYおよびXYZ多軸バージョンとして、 軌道制御 ”により、ダイナミックな操作において 使用することで最大限の信頼性が保証されます。 動作温度範囲 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 -20 ～ 80 ℃ 電 モデル P-517 および P-527 が、また、最大 も、理想直線からのズレ（ランナウト）を数ナノ PICMA®アクチュエータは、セラミックだけで 材料 アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム 電 動 6 軸の P-587.6CD があります。 メートル以下に抑えることができます。 絶縁されている唯一のアクチュエータです。 外径寸法 150x150x30 150x150x30 150x150x30 150x150x30 150x150x30 150x150x30 mm 動 モ モ ー ー タ タ 静電容量位置センサーにより このセラミック絶縁により、アクチュエータは 重量 1380 1380 1400 1400 1420 1420 g 周期的な動作による高精度 ケーブル長さ 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 m ±5％ 高精度を実現 周囲湿度や漏れ電流に対する耐性があります。 D: D-sub 7W2(m)/ D: D-sub 25W3(m) D: D-sub 7W2(m)/ D: D-sub 25W3(m) D: D-sub 7W2(m)/ D: D-sub 25W3(m) PI の最新型デジタルコントローラーで利用可能 このため、従来のアクチュエータに比べてはる コネクター ±10mm L: LEMO L: LEMO L: LEMO PI 独自の静電容量センサーは、非接触で、対象 な DDL アルゴリズムにより、スキャニングアプリ かに優れた信頼性と寿命を備えています。 静 物の位置を直接測定します。摩擦やヒステリシス 静 電 がなく、また、位置決めの分解能が 1nm を 電 容 量 オーダー情報 容 下回るため、非常に高レベルのリニアリティが 量 セ セ ン ン サ 得られます。静電容量センサーによるダイレクト P-558.ZCD P-528.ZCL サ ー 高精度ナノポジショニング Z ステージ、50µm、静電容量センサー、D-Sub コネクタ 高精度ナノポジショニング Z ステージ、200µm、静電容量センサー、LEMO コネクタ ー 計測のさらなる利点は、すぐれた分解能最大 10kHzという高周波数帯域です。 P-558.ZCL P-558.TCD パヘ 高精度ナノポジショニング Z ステージ、50µm、静電容量センサー、LEMO コネクタ 高精度ナノポジショニング Z/ チップ / チルトステージ、100µm、0.6mrad、 パヘ ラキ ラキ レサ すぐれたガイド精度 レサ ルポ P-518.ZCD パラレル計測、D-Sub コネクタ ルポ 制ッ 高精度ナノポジショニング Z ステージ、100µm、静電容量センサー、D-Sub コネクタ 制ッ 御ド P-518.TCD 有限要素解析（FEA）で最適化したフレクシャ 御ド ６ ６ 軸 高精度ナノポジショニング Z/ チップ / チルトステージ、100µm、1.4mrad、 軸 シ を使用しステージのガイドをします。FEA 手法 P-518.ZCL シ ス 高精度ナノポジショニング Z ステージ、100µm、静電容量センサー、LEMO コネクタ パラレル計測、静電容量センサー、D-Sub コネクタ ス テ により、動作の方向に対して最大限の剛性と テ ム P-528.TCD ム ・ 垂直性が確保され、直線と角度の振れを最小 P-528.ZCD ・ 高精度ナノポジショニング Z ステージ、200µm、静電容量センサー、D-Sub コネクタ 高精度ナノポジショニング Z/ チップ / チルトステージ、200µm、2.4mrad、 モA 限に抑えています。フレクシャには、遊びや摩 パラレル計測、静電容量センサー、D-Sub コネクタ モA ー ー シC 擦がまったくないため、どのような微細な動き シC ョS ョS ン ン コ であろうと、極めて高精度の動きが可能にな コ ン ります。 ン ト ト ロ ロ ー 平坦度と直進度は、“ アクティブ軌道制御 ” に ー ル P-558、P-518、P-528 の外形図（単位：mm） ル よりさらに強化されます。パラレル制御とパラ 088 089