エアベアリング平面スキャナーステージ A-311

PIglide エアベアリング平面スキャナーステージ ハイパフォーマンス、コンパクトXYナノポジショニングシステム A-311  スキャン用途や高精度な位置決めに最適  クリーンルーム対応  最大300 mm × 300 mmの移動範囲  最大積載量 147 N  ロープロファイル  分解能：1 nm 製品概要 エアベアリングを搭載した高精度のA-311型PIglide XY軸スキャナは、フラットなデザインで、スタック式XY ステージの代替品となります。効率的でコンパクトな設計により、設置スペースが限られている機械でもス ペースを節約できます。 PIMag® 磁気ダイレクトドライブ 3相マグネットダイレクトドライブは、ドライブトレインに機械部品を使用せず、摩擦なしに直接駆動力を モーションプラットフォームに伝えます。このドライブは高速度と高加速度に達します。アイアンレスモー ターは、永久磁石との望ましくない相互作用がないため、精度に対する要求が最も高い位置決め作業に特に 適しています。これにより、最低速度でもスムーズな走行が可能となり、同時に、高速度でも振動が発生し ません。制御動作の非線形性が回避され、任意の位置を容易に制御することができます。また、駆動力も自 由に設定できます。 主要メーカーのデジタルコントローラを使用することで、高度な制御アルゴリズムにより、ダイナミクスの 向上とエラー補正が可能です。 アクセサリーとオプション  エンコーダ  PIglideフィルターとエアープレパレーションキット  多軸モーションコントローラとダイレクトドライブ  マシンベース  振動低減のグラナイトベースプレートとシステム 応用分野 PIglideポジショニングシステムは、検査システム、レーザーマーキング、顕微鏡、スキャニングなどの高精 度なアプリケーションに最適なシステムです。 07.07.2020

Specifications Motion A-311.Dxx A-311.Axx A-311.Bxx A-311.Cxx A-311.Fxx Unit Tolerance Travel range 50 × 50 100 × 100 150 × 150 200 × 200 300 × 300 mm Pitch (1) 20 25 35 40 40 µrad Max. Yaw (1) 10 10 15 20 20 µrad Max. Straightness (1) 0.5 0.5 0.5 1 1 µm Max. Straightness per 10 mm ±10 ±10 ±10 ±10 ±10 nm Max. travel range (1) Flatness (1) 0.5 0.5 1 1.5 1.5 µm Max. Flatness per 10 mm travel (1) ±10 ±10 ±10 ±10 ±10 nm Max. range XY orthogonality 25 25 25 25 10 µrad Max. Velocity, unloaded (2) 2 2 2 2 1 m/s Max. Acceleration of the upper (2) 27.5 27.5 27.5 27.5 10 m/s² Max. axis, unloaded Acceleration of the lower 15 13 11 10 10 m/s² Max. axis, unloaded (2) Mechanical properties A-311.Dxx A-311.Axx A-311.Bxx A-311.Cxx A-311.Fxx Unit Tolerance Load capacity in z (3) 147 147 147 147 147 N Max. Moved mass, upper axis 3 3 3 3 4 kg Moved mass, upper plus lower axis 8.5 9.3 10 10.8 12.5 kg Overall mass 14.5 18.5 22.5 27.5 48 kg Guide type Air bearing Air bearing Air bearing Air bearing Air bearing, vacuum preload 07.07.2020

Drive properties A-311.Dxx, A-311.Axx, A-311.Bxx, A-311.Cxx A-311.Fxx Unit Tolerance Number of motors 1 × Y (lower axis), 1 × X (upper axis) 2 × Y (lower axis), 1 × X (upper axis) Drive type Ironless 3-phase linear motor Ironless 3-phase linear motor Intermediate circuit 48, nominal 48, nominal voltage, RMS 80, max. 300, max. V DC Peak current, RMS 6.9 10 a Max. Nominal current, RMS 3.2 2.9 a Max. Peak force 85 200 N Typ. Nominal force 39 58 N Typ. Force constant, RMS 12.3 19.9 N/A Typ. Resistance phase-phase 3.6 5.6 Ω Inductance phase-phase 1.24 1.8 mH Back EMF phase-phase 10.1 16 V·s/m Max. Cabling External, movable drag chain External, movable drag chain Positioning A-311.xAx A-311.xBx Unit Tolerance Integrated sensor Incremental linear encoder Absolute encoder Sensor signal Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 µm signal period BiSS-C Sensor resolution 5 (4) 1 nm Bidirectional repeatability ±0.1 ±0.1 A-311.FAx: ±0.15 A-311.FBx: ±0.15 µm Typ. Positioning accuracy, calibrated (5) ±0.2 ±0.2 µm Typ. Miscellaneous A-311 Operating pressure (6) 60 to 70 psi (415 to 485 kPa) Air consumption < 2 SCFM (56 SLPM) Clean (filtered to 1.0 μm or better) - ISO 8573-1 Class 1 Air quality Oil free - ISO 8573-1 Class 1 Dry (-15 °C dew point) - ISO 8573-1 Class 3 Vacuum A-311.Dxx, A-311.Axx, A-311.Bxx, A-311.Cxx: not required A-311.Fxx: 75 kPa (560 mmHg), 14 l/min (0.5 SCFM) Materials Hardcoat aluminum, stainless steel mounting hardware (1) Dependent on the flatness of the surface, on which the stage is mounted. (2) Can be limited by the payload, controller or drive. (3) Assumes payload CG is centered no more than 50 mm above the motion platform. The stage is designed for horizontal operation only. (4) Assumes 4096x interpolation. Contact PI for the use of other factors. (5) Improved accuracy can be obtained with controller-based error compensation. The stage must be ordered with a controller from PI to reach these values. Accuracy values assume short-term duration and do not consider the long-term effects of thermal drift on the stage. (6) To protect the stage against damage, it is recommended to connect an air pressure sensor to the Motion-Stop input of the controller. All specifications apply per axis, if not otherwise described. Ask about customized versions. 07.07.2020

Drawings / Images A-311.Dxx, A-311.Axx, A-311.Bxx, A-311.Cxx, dimensions in mm 07.07.2020

A-311.Fxx, dimensions in mm Ordering Information A-311.DA1 PIglide IS Planarscanner, air bearing, 50 mm × 50 mm travel range, incremental linear encoder with sin/cos signal transmission, 20 µm sensor signal period, ironless 3-phase linear motor, 48 V A-311.DB1 PIglide IS Planarscanner, air bearing, 50 mm × 50 mm travel range, absolute linear encoder with BiSS-C signal transmission, 1 nm sensor resolution, ironless 3-phase linear motor, 48 V A-311.AA1 PIglide IS Planarscanner, air bearing, 100 mm × 100 mm travel range, incremental linear encoder with sin/cos signal transmission, 20 µm sensor signal period, ironless 3-phase linear motor, 48 V A-311.AB1 PIglide IS Planarscanner, air bearing, 100 mm × 100 mm travel range, absolute linear encoder with BiSS-C signal transmission, 1 nm sensor resolution, ironless 3-phase linear motor, 48 V A-311.BA1 PIglide IS Planarscanner, air bearing, 150 mm × 150 mm travel range, incremental linear encoder with sin/cos signal transmission, 20 µm sensor signal period, ironless 3-phase linear motor, 48 V 07.07.2020

A-311.BB1 PIglide IS Planarscanner, air bearing, 150 mm × 150 mm travel range, absolute linear encoder with BiSS-C signal transmission, 1 nm sensor resolution, ironless 3-phase linear motor, 48 V A-311.CA1 PIglide IS Planarscanner, air bearing, 200 mm × 200 mm travel range, incremental linear encoder with sin/cos signal transmission, 20 µm sensor signal period, ironless 3-phase linear motor, 48 V A-311.CB1 PIglide IS Planarscanner, air bearing, 200 mm × 200 mm travel range, absolute linear encoder with BiSS-C signal transmission, 1 nm sensor resolution, ironless 3-phase linear motor, 48 V A-311.FA1 PIglide IS Planarscanner, air bearing, 300 mm × 300 mm travel range, incremental linear encoder with sin/cos signal transmission, 20 µm sensor signal period, ironless 3-phase linear motor, 48 V A-311.FB1 PIglide IS Planarscanner, air bearing, 300 mm × 300 mm travel range, absolute linear encoder with BiSS-C signal transmission, 1 nm sensor resolution, ironless 3-phase linear motor, 48 V 07.07.2020