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PI社製品カタログ・リニアステージ・ボイスコイル・エアベアリングステージシリーズ

製品カタログ

高精度リニアステージのご紹介。粗動から精密位置決めまでのあらゆるモーション・位置決めのお悩みを解決できます。

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このカタログについて

ドキュメント名 PI社製品カタログ・リニアステージ・ボイスコイル・エアベアリングステージシリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
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登録カテゴリ
取り扱い企業 ピーアイ・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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V-408 PIMag® リニアステージ ■ アイロンコア3相リニアモータ ■ 高耐荷重のクロスローラガイド ■ 最小インクリメンタルモーション 20nm ■ 双方向繰り返し性 ±0.1 μm ■ コンパクト設計 PIMag®リニアステージ PIMag® 磁気駆動ドライブ クロスローラーガイド 応用分野 3相の磁気ダイレクトドライブはドライブ クロスローラーガイドにより、ボールガ 産業および研究用途 ダイナミクスと精度 トレイン内で機械部品を使用しないため、 イドのボールの点接触ではなく強化ロー に対する要求の高いオートメーション技 駆動力を摩擦プラットフォームに伝達しま ラーが線で接触するようになっています。 術。 す。アイロンコアモータは、限られた設 これにより剛性が著しく増すとともに必 置スペースで力と加速度を達成する必要 要なプリロードが抑えられているため、 がある場合に使用されます。 摩擦が低減しスムーズな動作が可能と なっています。クロスローラーガイドには、 ガイド精度が高く耐荷重が大きいという 特徴もあります。 12
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技術データ 動作および位置決め V-408 単位 公差 駆動軸 X  移動範囲 V-408.132020:25V-408.232020:50 mm 内蔵センサー インクリメンタルエンコーダー センサー信号周期 80 µm センサー分解能 10(1) nm 標準 最小インクリメンタルモーション 20 nm 標準 双方向繰り返し性 ±0.1 µm 標準 ピッチング / ヨーイング ±150 µrad 標準 真直度/平坦度 ±4 µm 標準 速度 V-408.132020:0.5V-408.232020:0.7 m/s 最大 機械的特性 z方向負荷容量 80 N 最大 許容横力 80 N 最大 許容トルク(qX方向) 2.3 Nm 最大 許容トルク(qX方向、qX方向) 1.3 Nm 最大 移動質量 V-408.132020:0.23V-408.232020:0.3 kg ケーブルなしの重量 V-408.132020:0.5V-408.232020:0.65 kg 全体質量 V-408.132020:0.79V-408.232020:0.94 kg ガイドの種類 クロスローラーガイド 駆動特性 駆動タイプ PIMag® リニアモータ、アイロンコア、3相 中間回路電圧 48 V DC 最大 ピーク力 14 N 標準 圧力 5 N 標準 ピーク電流(RMS) 3.2 A 標準 公称電流(RMS) 1.1 A 標準 力定数(RMS) 4.60 N/A 標準 抵抗(相間) 2.46 W 標準 インダクタンス(相間) 1.94 mH 標準 相間逆起電力 2.81 V s/m 最大 極ピッチ(N-N) 18 mm その他 動作温度範囲 10~50 ℃ 湿度 20 ‒ 90% 相対、非結露 材料 黒アルマイト加工アルミニウム モーター接続 HD D-Sub 26 (m) センサー接続 Sub-D 15 (f) ケーブル長さ 2 m (1) interpolated 13
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V-508 PIMag® 精密リニアステージ ■ト ラベルレンジ:80, 170, 250 mm ■ アイロンコアあるいはアイロンレスリニアモータ ■ インクリメンタルあるいは  アブソリュートリニアエンコーダ ■ コンパクトクロスセクション: 80 mm × 25 mm ■ クロスローラーベアリング PIMag® 精密リニアステージ フレキシブル調整 クロスローラガイド アプリケーション分野 技術的に洗練されたコスト重視のアプリ クロスローラガイドの場合、ボールガイド 産業と研究半導体または医療技術におけ ケーションは、さまざまな移動距離、ド 内のボールの点接触は、硬化したローラ る測定技術、フォトニクスおよび精密ス ライブ、および測定システムで同様に利 の線接触に置き換えられます。その結果 キャン 用できます。XYアセンブリも可能です。 かなり堅くなりそして予圧を少なくする必 要があり、それは摩擦を減らし滑らかな 走行を可能にします。クロスローラガイド は、高いガイド精度と可搬質量によって も際立っています。力誘導転動体保持器 は保持器のクリープを防止します。 V-508の外形図(単位:mm) 14
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技術データ 動作と位置決め V-508.2 V-508.6 V-508.9 単位 公差 駆動軸 X X X トラベルレンジ 80 170 250 mm ピッチング/ヨーイング ±100 ±200 ±300 µrad 最大 真直度/平坦度 ±4 ±10 ±20 µm 最大 速度 V-508.2x1: 0.6 (1) V-508.6x1: 0.6(1) V-508.9x1: 0.6(1) V-508.2x2: 0.7(1) V-508.6x2: 0.7(1) V-508.9x2: 0.7(1) m/s 最大 加速度 5 5 5 m/s² 最大 機械特性 耐荷重/Z軸 100 100 100 N 最大 可動部の重量 V-508.2x1: 0.45 V-508.6x1: 0.75 V-508.9x1: 1.01V-508.2x2: 0.35 V-508.6x2: 0.6 V-508.9x2: 0.79 kg 総重量 V-508.2x1: 1.1 V-508.6x1: 1.7 V-508.9x1: 2.3V-508.2x2: 1.0 V-508.6x2: 1.6 V-508.9x2: 2.1 kg ガイドタイプ Crossed roller guide with Crossed roller guide with Crossed roller guide withanti-creep system anti-creep system anti-creep system エンコーダオプション V-508.x3 V-508.x5 V-508.xB 単位 公差 内蔵センサ Incremental linear encoder PIOne incremental linear encoder Absolute encoder センサ信号 Sin/cos, 1 V peak-peak, Sin/cos, 1 V peak-peak,80 µm signal period 2 µm signal period BiSS-C センサ分解能 10(2) 0.2(2) 78 nm 標準 最小インクリメンタルモーション 20 1 160 nm 標準 双方向再現性 ±0.1 ±0.05 ±0.15 µm 標準 ドライブ特性 V-508.xx1 V-508.xx2 単位 公差 ドライブタイプ Linear motor, ironless, 3-phase Linear motor, iron core, 3-phase 中間回路電圧 48 48 V DC ピーク力 12 14 N 標準 圧力 3 5 N 標準 ピーク電流(RMS) 3.2 3.2 A 標準 公称電流(RMS) 0.7 1.1 A 標準 力定数(RMS) 4.28 4.81 N/A 標準 抵抗値(相間) 5.92 2.46 Ω 標準 インダクタンス(相間) 1.26 1.94 mH 標準 相間逆起電力 5.36 3.02 V·s/m 最大 極ピッチ(N-N) 20 18 mm その他 V-508 動作温度範囲 10℃ to 50℃ 湿度 20 ‒ 90% rel., not condensing 材料 Aluminum, blue / black anodized モータ接続 HD Sub-D 26 (m) センサ接続 Sub-D 15 (f) ケーブル長 2 m (1) V-508.x5: max. 0.2 m/s when combined with the C-891 (2) interpolated 15
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L/V-412 L/V-417 PIMag® 高耐荷重リニアステージ ■ 最大トラベルレンジ:813mm ■ 定格フォース:87N ■ インクリメンタル/アブソリュートエンコーダ選択可能 ■ 循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可 ■ カバーストラップ採用により、パーティクルを防塵可 PIMag® 高荷重リニアステージ 先駆的なデザイン 競合メーカーと比較して、V-417の再循 環ボールベアリングシリーズはより高い耐 荷重を提供し、より高いダイナミクスを可 能にします。エンコーダの高解像度によ り、性能ごとのトラッキングが向上します。 トラッキングエラーが少なくなり、整定時 間が短縮されます。最大限の柔軟性のた めに、インクリメンタルエンコーダとアブ ソリュートエンコーダを選択することがで きます。アブソリュートエンコーダは、オ シションの即時決定を可能にする明示的 な位置情報を提供します。これは、電源 投入時参照が必要ないことを意味します。 これにより、操作中の効率と安全性が向 上します。 アプリケーション分野 レーザー加工全般、スキャニング、デジ タルプリンティング、電子機器組立および 検査、AO(I 自動光学)検査)、自動化、 V-417, dimensions in mm 液晶装置関連 16
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L-412, dimensions in mm L-417, dimensions in mm V-412, dimensions in mm 17
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V-417モデル技術データ 動作 V-417.05 V-417.09 V-417.13 V-417.17 単位 公差 駆動軸 X X X X トラベルレンジ 102 204 305 407 mm ピッチング/ヨーイング ±14 ±19 ±29 ±39 µrad 最大 真直度/平坦度 ±2.5 ±4 ±6 ±8 µm 最大 速度(無荷重) 2000 2000 2000 2000 mm/s 最大 位置決め精度(uncalibrated) ±4 ±8 ±10 ±12 µm 標準 動作 V-417.21 V-417.25 V-417.33 単位 公差 駆動軸 X X X トラベルレンジ 508 610 813 mm ピッチング/ヨーイング ±40 ±45 ±50 µrad 最大 真直度/平坦度 ±9 ±10 ±12 µm 最大 速度(無荷重) 2000 2000 2000 mm/s 最大 位置決め精度(uncalibrated) ±14 ±15.5 ±17 µm 標準 V-417.xxx211Ex V-417.xxx025Ex 単位 公差 内蔵センサ Incremental linear encoder Absolute-measuring linear encoder センサ信号 Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 µm signal period EnDat 2.2 デザイン分解 0.0003 0.001 µm 最小インクリメンタルモーション 5 10 nm 標準 双方向再現性 ±0.5 ±0.5 µm 標準 リミットスイッチ Hall effect, N/C contact, 5 V, NPN ‒ 機械特性 V-417.xxxxxx 単位 公差 ガイドタイプ Recirculating ball bearing guide 荷重/Z 450 N 最大 ラテラルフォース 250 N 最大 トルク(θx) 40 N·m 最大 トルク(θy) 30 N·m 最大 トルク(θz) 40 N·m 最大 ドライブ特性 V-417.xx6 単位 公差 ドライブタイプ Ironless 3-phase linear motor 中間回路電圧(RMS) 300 V DC 最大 ピークフォース 300 N 標準 圧力 87 N 標準 ピーク電流(RMS) 15 A 標準 公称電流(RMS) 4.4 A 標準 力定数(RMS) 19.9 N/A 標準 モータ定数(RMS) 8.4 N/√W 標準 電気時定数 0.35 ms 抵抗値(相間) 3.6 Ω 標準 インダクタンス(相間) 1.2 mH 標準 相間逆起電力 16 V·s/m 最大 極ピッチ(N-N) 30 mm その他 V-417 単位 公差 材質 Aluminum, black anodizedstainless steel V-417.05 (102 mm travel range): 9.3 V-417.09 (204 mm travel range): 11.2 V-417.13 (305 mm travel range): 13.0 重量 V-417.17 (407 mm travel range): 14.8 kg ±5% V-417.21 (508 mm travel range): 16.6 V-417.25 (610 mm travel range): 18.4 V-417.33 (813 mm travel range): 21.1 可動部の重量 2.8 kg ±5% MTBF 20000 h M17 (motor) コネクタ M17 (linear encoder) N·m 最大 Fitting for purge air hose with outside diameter 4 mm 推奨コントローラ ACS modular controller Connecting cables are not in the scope of delivery and must be ordered separately. V-412/L-412/L-417につきましては別のカタログにてスペック詳細をご参考のほどお願いいたします 18
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V-738 PIMag® 高精度開口部付 XYステージ ■ 移動範囲:102 mm×102 mm(4 ") ■ 150x150mmの大きな開口部 ■ 一方向再現性:0.1 μm ■ 速度:500 mm / s ■ 三相リニアモータ ■ 高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ PIMag® 高精度開口部付 XYステージ 応用分野 医療産業、レーザー切断、スキャニング、 バイオテクノロジー、計測学、AO(I 自動 光学検査)、顕微鏡検査 V-738 の外形図(単位:mm) 20
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技術データ V-738.056111 単位 公差 動作と位置決め トラベルレンジ 102 × 102 mm 内蔵センサ Incremental linear encoder 設計分解能 0.001 µm センサ信号 Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 µm signal period 最小インクリメンタルモーション 0.02 µm 標準 一方向再現性 0.1 µm 標準 双方向再現性 ±0.25 µm 標準 角度エラー(xry)(ピッチング) ±40 µrad 標準 角度エラー(xrz)(ヨーイング) ±20 µrad 標準 角度エラー(yrx)(ピッチング) ±40 µrad 標準 角度エラー(yrz)(ヨーイング) ±20 µrad 標準 真直度/平坦度 ±2 µm 標準 直交性 ±96.963 µrad 標準 速度 500 mm/s 最大 加速度(X,Y・無荷重時) 10 m/s² 最大 リファレンスリミットスイッチ 光学式 機械特性 耐荷重 100 N 最大 トルク(θx,θy) 130 N·m 最大 トルク(θz) 90 N·m 最大 ガイド Recirculating ball bearing ドライブ特性 モータタイプ アイロンレス3相リニアモータ 動作電圧(公称) 48 V nom. 動作電圧(最大) 48 V 最大 ピークフォース 200 N 最大 圧力 87 N 標準 ピーク電流 15 A 標準 公称電流 4.4 A 標準 力定数 N/A 標準 モータ定数 71 N/√W 標準 電気時定数 0.4 ms 抵抗値(相間) 3.6 Ω 標準 インダクタンス(相間) 1.2 mH 標準 相間逆起電力 16 V·s/m 最大 極ピッチ(N-N) 30 mm その他 動作温度範囲 5 to 40 ℃ 材質 X方向時可動部重量(無荷重) 16.8 kg ±5% Y方向時可動部重量(無荷重) 8 kg ±5% 総重量 24 kg ±5% コネクタ 2 × HD Sub-D 26 (m) (motor)2 × Sub-D 15 (f) (sensor) SMC Hydra (double axis) 推奨コントローラ C-891 (single axis)C-885 with C-891.10C885 (up to 20 axes) ACS modular controller All cables required for operation with the recommended controller are included in the scope of delivery. The cable length is 3 m. Cable for connecting to other controllers can be ordered as accessory. 21
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H-891 PIMag® リニアモーターコントローラ ■ 出力電流5A ■ 20kHz制御帯域幅 ■ 過負荷に対する保護過電流、過熱 ■ト リガー用デジタル入出力、停止機能 ■ コマンド指令用USBインターフェース PIMag® Motion Controller for Magnetic Direct Drives 豊富な機能 技術データ モータ及びモータドライバーの保護回路 C-891.130300 外部スイッチによるモータ停止機能。 機能 PIMag® motion controller for 3-phase linear motors データレコーダー、ウエーブジェネレー モータチャンネル 1 ター、マクロ対応。 センサチャンネル 1 NI LabVIEW, C, C++, MATLAB, Python サポート機能 Point-to-point motion. Data recorder. Wave generator. Macros. Automatic commutation angles adjustment for 3-phase linear motors. 向けのサポート。 安全機能 Motor stop via external switch. Overload protection of the motor driver. Overheat protection of the motor. Overcurrent protection of the system. PIMikroMoveソフトウエア モーション・サーボコントローラ コントローラタイプ PID controller for position and velocity, parameter changing during operation エンコーダ入力 サーボ周波数 20kHz プロファイルジェネレータ Trapezoidal velocity profile, setting of maximum velocity and acceleration デジタル (A/B) 、アナログ (sin/cos) 信号、 エンコーダインプット Sin/cos, A/B (TTL, differential), BiSS interface for absolute encoder BiSS。 リファレンス・リミットスイッチ TTL アブソリュートエンコーダ向けインター 機械特性 最大出力電圧 48 / 24V depending on operating voltage フェイス。 最大平均出力電流 サイン振幅 5A リミットスイッチ、リファレンスポイント用 最大出力電流 サイン振幅 10A TTL信号。 最大出力電流(RMS) 3.6A ピーク出力電流(RMS) 7.2A インターフェースとオペレーション インターフェイス 接続インターフェース USB, RS-232 USB,RS232 モータ接続 HD D-sub 26 (f) センサ接続 D-sub 15 (m) オートメーション向けデジタル入力・出力 HD D-sub 15 (f): 外部センサー信号記録用アナログ入力 I/O lines 4 x digital input, 4 x digital output (TTL)LEMO EPG.00.302.NLN: Analog input -10 to 10 V コマンドセット PI General Command Set (GCS) ソフトウエア PIMikroMove アプリケーションプログラミング インターフェース API for C / C++ / C# / VB.NET / MATLAB / Python, drivers for NI LabVIEW その他 動作電圧 48 / 24V DC (Power adapter not in the scope of delivery. Available as an accessory.) 最大消費電力 10A (load-dependent) 動作温度範囲 5 to 40℃ 重量 1.0kg 寸法 190 mm × 83 mm × 110 mm(with rubber feet and connection for supply voltage: 206 mm x 83 mm x 112 mm) 23
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