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6インチ以下小口径ウェハ用大量生産常圧CVD装置 A6300S カタログのご案内です。
6インチ 毎時120枚のスループット
SiCトレー採用による重金属汚染対策
このカタログについて
| ドキュメント名 | 6インチ以下小口径ウェハ用大量生産常圧CVD装置 A6300S |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 625.9Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社天谷製作所 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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