リニアサーボモータ　τリニア

tau 　Linear リニアサーボモータ

Linear Servo Motor [ Ｌｉｎｅａｒ ] 用途に応じた豊富なラインアップ コアレスNVAシリーズ 速度安定性、省スペース、高加速などを実現する高性能タイプ コアレスNLDシリーズ 高効率なマグネット配列で、ロングストロークに最適な経済型スタンダードタイプ コアレス・コア付きNLAシリーズ 定格推力7N（コアレス）～1500N（コア付き）をラインアップしたワイドレンジタイプ 水冷・空冷対応が可能 専用対応にて、水冷・空冷タイプが可能です。 ※ご要望の場合は、担当営業までお問い合わせください。 各種リニアエンコーダの選択が可能 分解能、速度、使用環境等に合わせて、リニアエンコーダの選択が可能です。（ 詳細はP.31参照） レニショー社製エンコーダ 　オープンタイプ アブソリュートエンコーダ【Resoluteシリーズ（通信仕様：BiSS）】　 　オープンタイプ インクリメンタルエンコーダ【TONiCシリーズ】 ミツトヨ社製エンコーダ 　オープンタイプ アブソリュートエンコーダ【ST708タイプ（通信仕様：ENSIS）】 　アッセンブリタイプ インクリメンタルエンコーダ【AT211タイプ】 ハイデンハイン製エンコーダ（お客様ご用意） 　※ハイデンハイン社製エンコーダは当社での取扱いはありませんが、お客様ご用意にて当社サーボドライバと接続可能な機種があります。 　　型番、分解能をご確認の上、担当営業までお問い合わせください。尚、分解能と動作速度の関係で使用できない場合があります。 τリニアを搭載したX/XY/XYθステージの構築も可能 X /XYステージの他、高性能ダイレクトドライブモータτDISCを搭載したXYθステージの構築も可能です。 ※詳細は「τリニアステージカタログ」、「ステージブロックカタログ」をご参照ください。当社WEBサイトよりダウンロード可能です。 　https://www.nikkidenso.co.jp/download/catalog/ 1

LINE UP 定格推力 最大推力 推力（N） 5 25 50 100 150 250 500 1000 1500 2000 2500 3500 4500 モータタイプ コアレス フラットタイプ 13.8～135N NVA-AM型 41.4～405N NVA 高推力タイプ シリーズ 50～300N NVA-BM型 150～900N 高性能 大推力タイプ 540～900N NVA-BL型 1620～2700N スタンダードタイプ 50～200N NLD NLD-AM型 150～500N シリーズ ローコスト スタンダード大推力タイプ 320～1000N NLD-FL型 960～3000N NLA 小推力タイプ 7～13N シリーズ NLA-S型 21～39N コア付き NLA コア付きタイプ 250～1500N シリーズ NLA-MA/NA型 725～4500N ■共通仕様 温度 0～40℃ 絶縁階級 F種 湿度 85%RH以下　結露無きこと 絶縁耐圧 AC1500V（1分間） 周囲条件 腐食性ガス、研削油、金属粉、油等の有害な 耐振動 1G（3方向 各2h） 設置場所 雰囲気中でないこと NVA-AM/BM型・NLA-S/MA /NA型：5G（3方向 各3回） 耐衝撃 NVA-BL型・NLD-AM/FL型：10G（3方向 各3回） 直射日光の当たらない屋内であること 保護形式 開放 取付方向 水平、垂直 保護等級 IP40（コイルユニット単体の保護等級） 推進方向 両方向 冷却方法 自然空冷 CONTENTS ●τリニア ●τリニア対応サーボドライバ ●オプション製品 特長 P.1 特長 P.16 ・リニアエンコーダ P.31～P.36 ラインアップ P.2 システム支援ツール P.17 ・磁極センサユニット・エンコーダケーブル P.37～P.41 共通仕様 P.2 ・パワーケーブル P.42～P.43 必要マグネットベース長の算出 P.3 ●サーボドライバ VPHシリーズ ・I /O関連オプション P.44～P.45 必要エンコーダスケール長の算出 P.3 ・型式、共通仕様 P.18 ・シリアル通信関連 P.46 磁極検出方法について P.3 ・海外規格対応状況 P.18 ・ノイズ対策 P.46～P.48 マグネットベースの磁石について P.3 ・システム構成、オプション製品説明 P.19～P.20 ・その他オプション P.49 ・個別仕様 P.21 ・回生抵抗器 P.50 ●τリニア NVAシリーズ P.4 ・機能仕様 P.22～P.25 ・その他のリニアサーボモータ関連製品 P.52 ・フラットタイプ NVA-AM型 P.5 ・外形図 P.26 ・高推力タイプ NVA-BM型 P.6 ・外部接続図 P.27～P.30 ・大推力タイプ NVA-BL型 P.7 ●τリニア NLDシリーズ P.8 ・スタンダードタイプ NLD-AM型 P.9 ・スタンダード大推力タイプ NLD-FL型 P.10 ●τリニア NLAシリーズ P.11 ・小推力タイプ NLA-S型 P.12 ・コア付きタイプ NLA-MA型 P.13 ・コア付きタイプ NLA-NA型 P.14 τリニア要求仕様記載表 P.15 2

■必要マグネットベース長の算出 τリニアのマグネットベースは以下の算出方法により、選定してください。 　 マグネットベース長合計 ≧ 最大可動長 + コイルユニット全長 + 磁極センサ必要長 磁極センサ必要長は、磁極センサユニットを取り付けた際に発生します（自動磁極検出の場合は発生しません）。 磁極センサ必要長はτリニアタイプにより異なります。詳細長は下表をご参照ください。 τリニアタイプ 磁極センサ必要長（L） フラットタイプ NVA-AM型 13mm以上 高推力タイプ NVA-BM型 13mm以上 大推力タイプ NVA-BL型 18mm以上 スタンダードタイプ NLD-AM型 25.5mm以上 スタンダード大推力タイプ NLD-FL型 21mm以上 マグネットベース 小推力タイプ NLA-S型 自動磁極検出のみ コア付きMタイプ NLA-MA型 14.5mm以上 コア付きNタイプ NLA-NA型 14.5mm以上 コイルユニット ※磁極センサは、マグネットの磁束から磁極を検出しており、磁極センサがマグネットベース から外れた位置では磁極検出ができません。 磁極センサ ユニット また、マグネットベース端においても磁極検出ずれが発生する場合がありますので、 L 右図に示すようにマグネットベース端とコイルユニット端の距離Lを常時確保してください。 ■必要エンコーダスケール長の算出 P.32～P.35「各リニアエンコーダ特長・外形図」をご参照ください。 ■磁極検出方法について 磁極検出は、以下に示す方式となります。 アブソリュートエンコーダをご使用の場合　…絶対位置検出。 インクリメンタルエンコーダをご使用の場合…自動磁極検出または磁極センサユニットによる磁極検出。 　 但し、磁極センサユニットによる磁極検出を行う場合は、 　 オプションのエンコーダ分配ユニットが必要となります（。詳細はP.49参照） ◎自動磁極検出と磁極センサユニットによる磁極検出について 当社サーボドライバの自動磁極検出機能（標準機能、磁極センサユニット非使用）により磁極検出が可能です。 但し、使用条件により自動磁極検出機能が正常に機能しない場合がありますので、以下に代表される使用条件及び 使用条件が不明な場合においては、磁極センサユニット（オプション。詳細はP.37～P.38参照）のご使用を推奨します。 ●自動磁極検出動作の微小動作が許容出来ない場合 ●自動磁極検出動作時の微小動作が出来ない場合（メカロック等） ●ガイド摺動抵抗が非常に小さい場合（エアガイド等） ●ガイド摺動抵抗、負荷抵抗及び負荷質量が非常に大きい場合 （ガイド及び負荷抵抗を含むシステム負荷合計/リニアサーボモータピーク推力≧5倍（実力値）） ●機械的剛性が低い場合（片持ち軸構造等） ●ガントリ駆動、ロボット駆動等の複数軸に於いて、機械的連結及び干渉のある構造の場合 ●モータストローク方向を水平方向以外に設置する場合 ■マグネットベースの磁石について ●磁石は物理特性上、製造過程で凹みが発生することがありますが、性能に影響はありません。 ●磁石面に強い衝撃を与えると破損や磁力低下の恐れがあります。取り扱いにご注意ください。 　磁石自体は錆びやすい素材のため、メッキや塗装がはがれた場合は使用を中止してください。故障発生の恐れがあります。 　また、マグネット上面が露出する製品に関しては、マグネット表面を極薄板でカバーするオプションもございますのでご用命ください。 3 τリニア

τリニア NVAシリーズ コアレスタイプ ■特長 フラットタイプ NVA-AM型 / 定格推力：23～135N コイルスライドが両持ち構造となることで、微速から高速まで安定した動作を実現します。 高推力タイプ NVA-BM型 / 定格推力：50～300N 磁束密度の効率化を図ることで、コイルユニットをコンパクト化しました。 機械設計の自由度を大幅に向上させます。 大推力タイプ NVA-BL型 / 定格推力：540～900N コアレスの特長はそのままに、大負荷の高加速度、高頻度運転を実現します。 ■型式説明 ●モータ型式 NVA - BM C 00 A2 A - S01 ① ② ③ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ◎コイルユニット型式 CLV - BM C 00 A2 A - S01 ① ② ③ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ◎マグネットベース型式 MBV - BM B 00 A - S01 ① ② ④ ⑤ ⑦ ⑧ NVA…NVAシリーズ ① τリニア シリーズ名 CLV…NVAシリーズ コイルユニット MBV…NVAシリーズ マグネットベース ② モータタイプ AM…フラット BM…高推力 BL…大推力 A…60mm B…120mm C…180mm D…240mm、 ③ おおよそのコイルユニット長 ※1 E/F…360mm G…480mm H…600mm ④ マグネットベース全長 A/M…96mm B/R…144mm 30…取付高さ（NVA-AM型） モータ/コイルユニット ⑤ 副分類 00…側面取付（NVA-BM型/BL型） 01…底面取付（NVA-BM型） マグネットベース 00…標準仕様 ⑥ 電源電圧 A2…AC200V仕様 ⑦ 設計順位 A→B→C…Aより開始 ⑧ 専用機記号 無し…標準仕様 R+連番数字…準標準仕様 S+連番数字…専用機仕様 ※ 製品改良のため、予告なしに外形寸法を変更する場合があります。設計の際はCKD日機電装ホームページより最新外形図をダウンロードしてご使用ください。 ※1 詳細値は各外形図をご参照ください。 ■モータ特性図 ◎NVA-AM型/◎NVA-BM型 ◎NVA-BL型 推力[%] 推力[%] （定格推力比） NVA-AMD30A2B （定格推力比） 300 300 290 瞬時使用領域 瞬時使用領域 100 100 70 連続使用領域 70 連続使用領域 0 0.024 1 2 3 3.5 0 0.024 1 2 3 速度（m/sec） 速度（m/sec） 4 τリニア

フラットタイプ NVA-AM型 ■個別仕様 モータ型式 NVA-AM A30A2B B30A2B C30A2B D30A2B E30A2B 定格推力 N 23 45 68 90 135 最大推力 N 69 135 204 261 405 定格出力 W 69 135 204 270 405 定格電流 A 0.85 1.7 2.55 3.4 5.1 最大速度 m/sec 3.5 （モータ特性図参照） ※1 使用電源 ACV 200 ※2 コイルユニット型式 CLV-AM A30A2B B30A2B C30A2B D30A2B E30A2B マグネットベース型式 MBV-AM A00B/B00Bより選択 組合せドライバ VPHシリーズ NCR-H□ 2101A-B-□0□ 2201A-B-□0□ 2401A-B-□0□ 2401A-B-□0□ 2801A-B-□0□ ※ 上記仕様は周囲温度25℃で、コイルユニットにヒートシンク（アルミ板）を取り付け、動作した際の値となります。 ヒートシンクサイズ（mm） 250×250×15（NVA-AMA/AMB/AMC30A2B型） 450×450×15（NVA-AMD/AME30A2B型） ※1 モータとしての最高速度となり、実際の速度はセンサ分解能に依存します。（P.31各リニアエンコーダの分解能と速度の関係の表をご参照ください。） ※2 AC100V仕様サーボドライバとの組合せが可能な場合があります。但し減定格となりますので、仕様を明確にした上で、担当営業までお問合わせください。 ■外形図 マグネットベ－スと コイルユニットの隙間 L 24 L1 24 30±0.1 磁極センサ （取付寸法） 48 （オプション） 17 4 （ピッチ） (0.5) 動力センタ （ギャップ） マグネットベ－ス コイルユニット マグネットベース 20 2×N－φ5貫通 40 12.5 （3） 取付穴2×N1－M5深サ7 B A （テーブル） マグネットベース 取付ガイド面 CL （200） ※1 正方向 推進方向 ※1 コイルユニットの推進方向は、ケーブル側を正方向と定めています。 当社サーボドライバのパラメータ初期値では、コイルユニットの正方向とリニアエンコーダの正方向（P.32～P.35参照）を同一としています。 必要に応じ、パラメータにて正逆の変更を行ってください。 コイルユニット マグネットベース 型式 定格推力 CL A B N1 質量 型式 L L1 N 質量 CLV-AMA30A2B 23N 68 14 40 2 0.24kg MBV-AMA00B 96 48 2 0.6kg CLV-AMB30A2B 45N 128 24 80 3 0.48kg MBV-AMB00B 144 96 3 0.9kg CLV-AMC30A2B 68N 188 14 160 5 0.72kg CLV-AMD30A2B 90N 248 24 200 6 0.96kg CLV-AME30A2B 135N 368 24 320 9 1.44kg （寸法単位：mm） ■関連製品 マルチテーブル駆動に最適なコンパクトモデルを新たにラインアップ! 業界トップクラスのコンパクトさ。コイルユニット幅は、この推力でこのサイズ! [ NVA-AMJ30A2AV型] CL幅50mm/定格推力13.8N/最大推力41.4N [ NVA-AMA30A2BV型] CL幅68mm/定格推力23N/最大推力69N ケーブル出しは幅を取らない 上向き構造 ※詳細は、当社営業員にお気軽にお問い合わせください。 5 95 50 45 40 40 （50） 68 80 τリニア

高推力タイプ NVA-BM型 ■個別仕様 モータ型式 ※1 NVA-BM A0□A2B B0□A2B C0□A2B D0□A2C E0□A2C 定格推力 N 50 100 150 200 300 最大推力 N 150 300 450 600 900 定格出力 W 150 300 450 600 900 定格電流 A 0.95 1.9 2.85 3.55 5.3 最大速度 m/sec 3.5 （モータ特性図参照） ※2 使用電源 ACV 200 ※3 コイルユニット型式 ※1 CLV-BM A0□A2B B0□A2B C0□A2B D0□A2B E0□A2B マグネットベース型式 MBV-BM A00C/B00Cより選択 組合せドライバ VPHシリーズ NCR-H□ 2101A-B-□0□ 2201A-B-□0□ 2401A-B-□0□ 2801A-B-□0□ 2801A-B-□0□ ※ 上記仕様は周囲温度25℃で、コイルユニットにヒートシンク（アルミ板）を取り付け、動作した際の値となります。 ヒートシンクサイズ（mm） 250×250×15（NVA-BMA/BMB/BMC0□A2B型） 450×450×15（NVA-BMD/BME0□A2C型） ※1 型式内□部はコイルユニット取付タイプにより異なります。 　 0：コイルユニット側面取付／1：コイルユニット底面取付 ※2 モータとしての最高速度となり、実際の速度はセンサ分解能に依存します。（P.31各リニアエンコーダの分解能と速度の関係の表をご参照ください。） ※3 AC100V仕様サーボドライバとの組合せが可能な場合があります。但し減定格となりますので、仕様を明確にした上で、担当営業までお問合わせください。 ■外形図 マグネットベ－スと 取付穴N-φ7貫通 磁極センサ マグネットベ－スと コイルユニットの隙間 φ11ザグリ深サ5.9 （オプション） コイルユニットの隙間 （両側：計2×N） マグネットベース マグネットベース L 取付基準面 取付基準面 24 L1 24 38.8 38.8 48 (ピッチ） (0.7) (0.7) （ギャップ） （ギャップ） マグネットベース コイルユニット 側面取付タイプ時 B1 コイルユニット コイルユニット △△ A1 （ピッチ） C1 A1 12.5 （3） 30 （4.4）取 付基準面 取付基準面 30 （4.4） 取付穴N1-M5深サ8 （200） （両側 計2×N1） CL 34.4±0.1 34.4±0.1 （取付寸法） （取付寸法） CL A2 C2 A2 （200） B2 底面取付タイプ時 （ピッチ） 側面取付タイプ時 底面取付タイプ時 取付穴N2-M5深サ8 ※1 正方向 マグネットベース 推進方向 ※1 コイルユニットの推進方向は、ケーブル側を正方向と定めています。 マグネットベース 当社サーボドライバのパラメータ初期値では、コイルユニットの正方向と 型式 L L1 N 質量 リニアエンコーダの正方向（P.32～P.35参照）を同一としています。 MBV-BMA00C 96 48 2 2kg 必要に応じ、パラメータにて正逆の変更を行ってください。 MBV-BMB00C 144 96 3 3kg コイルユニット（側面取付タイプ） コイルユニット（底面取付タイプ） 型式 定格推力 CL A1 B1 C1 N1 質量 型式 定格推力 CL A2 B2 C2 N2 質量 CLV-BMA00A2B 50N 68 9 50 50 2 0.24kg CLV-BMA01A2B 50N 68 14 40 40 4 0.24kg CLV-BMB00A2B 100N 128 14 50 100 3 0.48kg CLV-BMB01A2B 100N 128 31.5 65 65 4 0.48kg CLV-BMC00A2B 150N 188 19 50 150 4 0.72kg CLV-BMC01A2B 150N 188 29 65 130 6 0.72kg CLV-BMD00A2B 200N 248 14 55 220 5 0.96kg CLV-BMD01A2B 200N 248 26.5 65 195 8 0.96kg CLV-BME00A2B 300N 368 19 55 330 7 1.44kg CLV-BME01A2B 300N 368 21.5 65 325 12 1.44kg （寸法単位：mm） 6 88 15 18 6 25 1.5 114.5±0.3 （取付寸法） 24,5 1.5 114±0.3 （取付寸法） τリニア △△ △△

大推力タイプ NVA-BL型 ■個別仕様 モータ型式 NVA-BL F00A2B G00A2B H00A2B 定格推力 N 540 720 900 最大推力 N 1620 2160（2016 ※1） 2700（2025 ※1） 定格出力 W 1620 2160 2700 定格電流 A 9.3 12.5 15.5 最大速度 m/sec 3.0 （モータ特性図参照） ※2 使用電源 ACV 200 コイルユニット型式 CLV-BL F00A2B G00A2B H00A2B マグネットベース型式 MBV-BL M00B/R00Aより選択 （2222A-B-□0□） ※1 （2222A-B-□0□） ※1 組合せドライバ VPHシリーズ NCR-H□ 2152A-B-□0□ 2332A-B-□0□　　 2332A-B-□0□　　 ※ 上記仕様は周囲温度25℃で、コイルユニットにヒートシンク（ アルミ板 ）を取り付け、動作した際の値となります。 ヒートシンクサイズ（ mm） 450×450×20（ NVA-BLF00A2B型 ） 700×500×20（ NVA-BLG / BLH00A2B型 ） ※1 （ ）内の組合せドライバ時の最大推力となります。 ※2 モータとしての最高速度となり、実際の速度はセンサ分解能に依存します。（ P.31各リニアエンコーダの分解能と速度の関係の表をご参照ください。） ■外形図 マグネットベースと 取付穴N-φ7貫通後 コイルユニットの隙間 L φ11ザグリ深サ5.9 （両側：計2×N） マグネットベース 24 L1 24 取付基準面 磁極センサ （オプション） 42.8 48 （ピッチ） (1.0) （ギャップ） マグネットベース マグネットベース マグネットベース マグネットベース コイルユニット 15.5 （3） コイル 55 ユニット （ピッチ） A B A 取付基準面 CL （300） 40 （1.3） 取付穴N-M8深サ15 ※1 正方向 41.3±0.1 (両側：計2×N） 推進方向 （取付寸法） ※1 コイルユニットの推進方向は、ケーブル側を正方向と定めています。 当社サーボドライバのパラメータ初期値では、コイルユニットの正方向とリニアエンコーダの正方向（P.32～P.35参照）を同一としています。 必要に応じ、パラメータにて正逆の変更を行ってください。 コイルユニット マグネットベース 型式 定格推力 CL A B N1 質量 型式 L L1 N 質量 CLV-BLF00A2B 540N 368 19 330 7 2.9kg MBV-BLM00B 96 48 2 3.3kg CLV-BLG00A2B 720N 488 24 440 9 3.9kg MBV-BLR00A 144 96 3 4.9kg CLV-BLH00A2B 900N 608 29 550 11 5.2kg （寸法単位：mm） 7 135 9 15 41 （3.5） 179.5±0.3 τリニア

τリニア NLDシリーズ コアレスタイプ ■特長 スタンダードタイプ NLD-AM型 / 定格推力：50～200N 高効率なマグネット配列により、経済的なコアレスタイプリニアを実現しました。 ストロークが長くなるほど、より経済性を発揮します。 スタンダード大推力タイプ NLD-FL型 / 定格推力：320～1000N スタンダードタイプの特長をそのままに、最大推力3000Nまで取り揃えた、コアレス大推力タイプです。 ■型式説明 ●モータ型式 NLD - AM 10 S A2 A - S01 ① ② ③ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ◎コイルユニット型式 CLD - AM 10 S A2 A - S01 ① ② ③ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ◎マグネットベース型式 MBD - AM 12 S A - S01 ① ② ④ ⑤ ⑦ ⑧ NLD…NLDシリーズ ① τリニア シリーズ名 CLD…NLDシリーズ コイルユニット MBD…NLDシリーズ マグネットベース ② モータタイプ AM…スタンダード FL…スタンダード大推力 ③ コイルユニット公称長 ※1 おおよそのコイルユニット長（表記数値×10mm） ④ マグネットベース公称長 ※1 おおよそのマグネットベース長（表記数値×10mm） ⑤ 副分類 S…側面取付 ⑥ 電源電圧 A2…AC200V仕様 ⑦ 設計順位 A→B→C･･･Aより開始 ⑧ 専用機記号 無し…標準仕様 R+連番数字…準標準仕様 S+連番数字…専用機仕様 ※ 製品改良のため、予告なしに外形寸法を変更する場合があります。設計の際はCKD日機電装ホームページより最新外形図をダウンロードしてご使用ください。 ※1 詳細値は各外形図をご参照ください。 ■モータ特性図 ◎NLD-AM型/◎NLD-FL型 推力[%] NLD-AM20SA2A （定格推力比） 300 NLD-AM40SA2A 290 250 瞬時使用領域 100 70 連続使用領域 0 0.024 1 2 3 3.5 速度（m/sec） 8 τリニア

スタンダードタイプ NLD-AM型 ■個別仕様 モータ型式 NLD-AM 10SA2A 20SA2A 30SA2A 40SA2A 定格推力 N 50 95 150 200 最大推力 N 150 275 450 500 定格出力 W 150 285 450 600 定格電流 A 1.8 3.4 5.2 6.8 最大速度 m/sec 3.5 （モータ特性図参照） ※1 使用電源 ACV 200 ※2 コイルユニット型式 CLD-AM 10SA2A 20SA2A 30SA2A 40SA2A マグネットベース型式 MBD-AM 12SA/24SAより選択 組合せドライバ VPHシリーズ NCR-H□ 2201A-B-□0□ 2401A-B-□0□ 2801A-B-□0□ 2801A-B-□0□ ※ 上記仕様は周囲温度25℃で、コイルユニットにヒートシンク（アルミ板）を取り付け、動作した際の値となります。 ヒートシンクサイズ（mm） 250×250×15（NLD-AM10/20SA2A型） 450×450×15（NLD-AM30/40SA2A型） ※1 モータとしての最高速度となり、実際の速度はセンサ分解能に依存します。（P.31各リニアエンコーダの分解能と速度の関係の表をご参照ください。） ※2 AC100V仕様サーボドライバとの組合せが可能な場合があります。但し減定格となりますので、仕様を明確にした上で、担当営業までお問合わせください。 ■外形図 取付穴 N－φ6貫通 マグネットベ－スと φ10ザグリ深サ4.5 コイルユニットの隙間 （両側：計2×N） マグネットベ－ス 取付基準面 L 磁極センサ 30 L1 30 （オプション） 27 60 （ピッチ） (0.8) （ギャップ） マグネットベース コイルユニット B 23.5 （3） コイルユニット A （ピッチ） B1 A 取付基準面 取付穴 N1－M4深サ6 25 （1） （両側：計2×N1） CL （500） 26±0.1 ※1 正方向 推進方向 (取付寸法） ※1 コイルユニットの推進方向は、ケーブル側を正方向と定めています。 当社サーボドライバのパラメータ初期値では、コイルユニットの正方向とリニアエンコーダの正方向（P.32～P.35参照）を同一としています。 必要に応じ、パラメータにて正逆の変更を行ってください。 コイルユニット マグネットベース 型式 定格推力 CL A B B1 N1 質量 型式 L L1 N 質量 CLD-AM10SA2A 50N 106 13 40 80 3 0.4kg MBD-AM12SA 120 60 2 1.4kg CLD-AM20SA2A 95N 206 13 45 180 5 0.7kg MBD-AM24SA 240 180 4 2.7kg CLD-AM30SA2A 150N 306 18 45 270 7 1.1kg CLD-AM40SA2A 200N 406 23 45 360 9 1.4kg （寸法単位：mm） 9 82 8 6 25 （2） 109±0.3 （取t付寸法） τリニア

スタンダード大推力タイプ NLD-FL型 ■個別仕様 モータ型式 NLD-FL 30SA2A 40SA2A 60SA2A 70SA2A 85SA2A 定格推力 N 320 480 640 800 1000 最大推力 N 960 1440（1200 ※1） 1920 2400 3000（2380 ※1） 定格出力 W 960 1440 1920 2400 3000 定格電流 A 4.6 6.8 9.2 11.5 14.7 最大速度 m/sec 3.5 （モータ特性図参照） ※2 使用電源 ACV 200 コイルユニット型式 CLD-FL 30SA2A 40SA2A 60SA2A 70SA2A 85SA2A マグネットベース型式 MBD-FL 11SA /33SAより選択 （2801A-B-□0□）※1 （2222A-B-□0□）※1 組合せドライバ VPHシリーズ NCR-H□ 2801A-B-□0□ 2152A-B-□0□ 2222A-B-□0□ 2152A-B-□0□ 2332A-B-□0□ ※ 上記仕様は周囲温度25℃で、コイルユニットにヒートシンク（アルミ板）を取り付け、動作した際の値となります。 ヒートシンクサイズ（mm） 700×450×40（NLD-FL30/40/60SA2A型） 900×450×40（NLD-FL70/85SA2A型） ※1 （ ）内の組合せドライバ時の最大推力となります。 ※2 モータとしての最高速度となり、実際の速度はセンサ分解能に依存します。（P.31各リニアエンコーダの分解能と速度の関係の表をご参照ください。） ■外形図 取付穴 N－φ7貫通 φ11ザグリ深サ8（両側：計2×N） マグネットベ－スと L コイルユニットの隙間 28 L1 56 マグネットベ－ス 43 （ピッチ） 取付基準面 磁極センサ （オプション） (0.85) （ギャップ） マグネットベース マグネットベース コイルユニット 16.5 取付穴 N1－M8深サ15 コイルユニット （1.5） 55 （両側：計2×N1） 取付基準面 40 （ピッチ） A B1 A 41.5±0.1 （取付寸法） CL （300） ※1 正方向 推進方向 ※1 コイルユニットの推進方向は、ケーブル側を正方向と定めています。 当社サーボドライバのパラメータ初期値では、コイルユニットの正方向とリニアエンコーダの正方向（P.32～P.35参照）を同一としています。 必要に応じ、パラメータにて正逆の変更を行ってください。 コイルユニット マグネットベース 型式 定格推力 CL A B1 N1 質量 型式 L L1 N 質量 CLD-FL30SA2A 320N 290 35 220 5 3.4kg MBD-FL11SA 112 56 2 3.7kg CLD-FL40SA2A 480N 430 22.5 385 8 5kg MBD-FL33SA 336 280 6 10.9kg CLD-FL60SA2A 640N 570 37.5 495 10 6.7kg CLD-FL70SA2A 800N 710 25 660 13 8.2kg CLD-FL85SA2A 1000N 850 40 770 15 9.9kg （寸法単位：mm） 10 139 10 15 195.5±0.3（取付寸法） 53 （3.5） τリニア

τリニア NLAシリーズ コアレス・コア付きタイプ ■特長 小推力タイプ NLA-S型 / 定格推力：7～13N マグネットベース幅38mm、高さ21mmの小型高性能なコアレスタイプ。 小型高精密ステージの構築に最適です。 コア付きタイプ NLA-MA型 / 定格推力：250～750N コア付きタイプ NLA-NA型 / 定格推力：500～1500N 推力密度が高く、大推力（最大4500N）が得られます。 モータ駆動部の剛性が高く、大質量負荷の高速位置決めに最適です。 ■型式説明 ●モータ型式 NLA - 7 S L B - S01 ① ② ③ ⑤ ⑥ ⑦ ◎コイルユニット型式 CL S 7 L B - S01 ① ③ ② ⑤ ⑥ ⑦ ◎マグネットベース型式 MB S 48 B - S01 ① ③ ④ ⑥ ⑦ NLA…NLAシリーズ ① τリニア シリーズ名 CL…コイルユニット MB…マグネットベース ② 定格推力 7…7N 13…13N 250…250N 500…500N ･･･ ③ モータタイプ S…小推力 MA…コア付きMA NA…コア付きNA NLA-S 48…47.8mm 96…95.8mm 192…191.8mm ④ マグネットベース長 NLA-MA/NA 64…64mm 256…256mm ⑤ 電源電圧 L…AC100V M…AC200V仕様 ⑥ 設計順位 A→B→C･･･Aより開始 ⑦ 専用機記号 無し…標準仕様 R+連番数字…準標準仕様 S+連番数字…専用機仕様 ※ 製品改良のため、予告なしに外形寸法を変更する場合があります。設計の際はCKD日機電装ホームページより最新外形図をダウンロードしてご使用ください。 ■モータ特性図 ◎NLA-S型 ◎NLA-MA型 ◎NLA-NA型 推力[%] 推力[%] 推力[%] （定格推力比） （定格推力比） （定格推力比） 300 300 300 290 NLA-250MAMA NLA-500NAMA 250 250 瞬時使用領域 瞬時使用領域 NLA-500MAMA 瞬時使用領域 100 100 100 70 連続使用領域 70 連続使用領域 70 連続使用領域 0 0.024 1 2 3 0 0.024 1 2 2.5 0 0.024 1 2 2.5 3 速度（m/sec） 速度（m/sec） 速度（m/sec） 11 τリニア

小推力タイプ NLA-S型 ■個別仕様 モータ型式 NLA- 7SLB 13SLB 定格推力 N 7 13 最大推力 N 21 39 定格出力 W 10.5 19.5 定格電流 A 1.0 2.0 最大速度 m/sec 3.0 （モータ特性図参照） ※1 使用電源 ACV 100 コイルユニット型式 CLS 7LB 13LB マグネットベース型式 MBS 48B/96B/192Bより選択 組合せドライバ VPHシリーズ NCR-H□ 1051A-B-□0□ 1101A-B-□0□ ※ 上記仕様は周囲温度25℃で、コイルユニットにヒートシンク（アルミ板）を取り付け、動作した際の値となります。 ※1 モータとしての最高速度となり、実際の速度はセンサ分解能に依存します。（P.31各リニアエンコーダの分解能と速度の関係の表をご参照ください。） ■外形図 L 15.9±0.05 L2±0.05 L1 マグネットベ－スと コイルユニットの隙間 ＋0.05 マグネットベ－ス 基準穴2－φ5＋0.02 深サ3.9 取付基準面 8 48 取付穴 N－φ4.2貫通 （両側：計4ケ所） φ7.5ザグリ 深サ3.9 21 （取付穴 両側：計N×2） (0.5) （ギャップ） マグネットベース コイルユニット B1 B2 20 （0.5） CL 取付穴 N2－M4深サ5 20.5±0.1 （取付寸法） 取付穴 N1－M4深サ8 A1 A2 （100） ※1 正方向 推進方向 ※1 コイルユニットの推進方向は、ケーブル側を正方向と定めています。 当社サーボドライバのパラメータ初期値では、コイルユニットの正方向とリニアエンコーダの正方向（P.32～P.35参照）を同一としています。 必要に応じ、パラメータにて正逆の変更を行ってください。 コイルユニット マグネットベース 型式 定格推力 CL A1 A2 B1 B2 N1 N2 質量 型式 L L1 L2 N 質量 CLS7LB 7N 50 10 30 5 20 4 6 0.05kg MBS48B 47.8 － 16 1 0.25kg CLS13LB 13N 100 25 50 15 35 4 6 0.1kg MBS96B 95.8 48 64 2 0.45kg MBS192B 191.8 144 160 4 0.9kg （寸法単位：mm） 12 38 5 4 12 3 11 （1） 50±0.3（取付寸法） τリニア

コア付きタイプ NLA-MA型 ■個別仕様 モータ型式 NLA- 250MAMA 500MAMA 750MAMA 定格推力 N 250 500 750 最大推力 N 725 1250 2250 定格出力 W 500 1000 1500 定格電流 A 3.4 6.8 10.2 磁気吸引力 N 3000 6000 9000 最大速度 m/sec 2.5 （モータ特性図参照） ※1 使用電源 ACV 200 コイルユニット型式 CLMA 250MA 500MA 750MA マグネットベース型式 MBMA 64A /256Aより選択 組合せドライバ VPHシリーズ NCR-H□ 2401A-B-□0□ 2801A-B-□0□ 2222A-B-□0□ ※ 上記仕様は周囲温度25℃で、コイルユニットにヒートシンク（アルミ板）を取り付け、動作した際の値となります。 ※ マグネット間の隙間に切り屑やゴミ等が入りやすい環境でのご使用の為に、マグネットカバーをオプションとしてご用意しております。 ※1 モータとしての最高速度となり、実際の速度はセンサ分解能に依存します。（P.31各リニアエンコーダの分解能と速度の関係の表をご参照ください。） ■外形図 ※1 正方向 推進方向 取　扱　注　意　！ MODEL:MBMA256A SER No.****** 15 NIKKI SN-16140 DENSO MADE IN JAPAN ※ 本図はオプションのマグネットカバー未装着時となります。 ※1 コイルユニットの推進方向は、ケーブル側を正方向と定めています。 当社サーボドライバのパラメータ初期値では、コイルユニットの正方向とリニアエンコーダの正方向（P.32～P.35参照）を同一としています。 必要に応じ、パラメータにて正逆の変更を行ってください。 ※2 マグネットカバーを付けた場合のマグネットベースの全高は13mm、ギャップは1mmになります。 コイルユニット マグネットベース 型式 定格推力 CL A1 B1 N1 質量 型式 L L1 N 質量 CLMA250MA 250N 188 30 128 6 3kg MBMA64A 64 － 2 0.5kg CLMA500MA 500N 348 46 256 10 6kg MBMA256A 256 192 8 1.7kg CLMA750MA 750N 508 30 448 16 9kg （寸法単位：mm） 13 τリニア

コア付きタイプ NLA-NA型 ■個別仕様 モータ型式 NLA- 500NAMA 1000NAMA 1500NAMA 定格推力 N 500 1000 1500 最大推力 N 1250 3000（2500 ※1） 4500 定格出力 W 1250 2500 3750 定格電流 A 6.8 14 21 磁気吸引力 N 6000 12000 18000 最大速度 m/sec 3.0 （モータ特性図参照） ※2 使用電源 ACV 200 コイルユニット型式 CLNA 500MA 1000MA 1500MA マグネットベース型式 MBNA 64A /256Aより選択 （2222A-B-□0□） ※1 組合せドライバ VPHシリーズ NCR-H□ 2801A-B-□0□ 2332A-B-□0□ 2332A-B-□0□　　 ※ 上記仕様は周囲温度25℃で、コイルユニットにヒートシンク（アルミ板）を取り付け、動作した際の値となります。 ヒートシンクサイズ（mm） 200×280×25（NLA-500NAMA） 350×280×25（NLA-1000NAMA） 510×280×25（NLA-1500NAMA） ※ マグネット間の隙間に切り屑やゴミ等が入りやすい環境でのご使用の為に、マグネットカバーをオプションとしてご用意しております。 ※1 （ ）内の組合せドライバ時の最大推力となります。 ※2 モータとしての最高速度となり、実際の速度はセンサ分解能に依存します。（P.31各リニアエンコーダの分解能と速度の関係の表をご参照ください。） ■外形図 ※1 正方向 推進方向 取　扱　注　意　！ MODEL:MBNA256A SER No.****** 15 NIKKI SN-16140 DENSO MADE IN JAPAN ※ 本図はオプションのマグネットカバー未装着時となります。 ※1 コイルユニットの推進方向は、ケーブル側を正方向と定めています。 当社サーボドライバのパラメータ初期値では、コイルユニットの正方向とリニアエンコーダの正方向（P.32～P.35参照）を同一としています。 必要に応じ、パラメータにて正逆の変更を行ってください。 ※2 マグネットカバーを付けた場合のマグネットベースの全高は13mm、ギャップは1mmになります。 コイルユニット マグネットベース 型式 定格推力 CL A1 B1 N1 質量 型式 L L1 N 質量 CLNA500MA 500N 188 30 128 6 5.5kg MBNA64A 64 － 2 0.75kg CLNA1000MA 1000N 348 46 256 10 11kg MBNA256A 256 192 8 3.0kg CLNA1500MA 1500N 508 30 448 16 17kg （寸法単位：mm） 14 τリニア

■τリニア 要求仕様記載表 ご要求の仕様に基づき、ご記入ください。□内へのチェック、または（ ）内に必要事項をご記入ください。 尚、ご不明な点、またはご要求のない項目につきましては未記入で結構です。 下記シートにご記入いただき、お近くの営業所までFAXまたはお問い合わせください。 ご記載日 年 月 日 ご用途・装置名 ストローク （　　　　　　）mm 最大速度 （　　　　　　）mm/s 搭載荷重（ワーク質量など） （　　　　　　）kg 負荷の方向、荷重条件など 静止時負荷荷重、方向（外力など） （　　　　　　）方向、（　　　　　　）N 位置決め距離（　　　　　　）mm 加速度（　　　　　　）mm/s2 位置決め時間（　　　　　　）sec サイクル時間（　　　　　　）sec 速度 動作条件 位置決め距離 位置決め時間 停止時間 サイクル時間 使用環境 □一般雰囲気　　□クリーン環境対応 □当社ご用意　　□お客様ご用意 エンコーダ □アブソリュートエンコーダ（ メーカー/シリーズ名：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　） □インクリメンタルエンコーダ（ メーカー/シリーズ名：　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　） 磁極センサの要否 □要　　□不要 電源電圧 □ AC　□ DC　/　□単相　□ 3相　/　□ 100V　□ 200V　□その他（　　　　　　）V エンコーダケーブル長 （　　　　　　）m パワーケーブル長 （　　　　　　）m 非常ブレーキ（ダイナミックブレーキ等）の要否 □要　　□不要 規格取得（UL/CE、RoHS、その他）の要否 □要（UL/CE）　□要（RoHS）　□要（その他：　　　　　　　　　　）　　□不要 その他のご要求 上位コントローラ仕様 □ パルス列指令　　　 □ 速度指令（ アナログ）　　　 □ トルク指令（ アナログ） 指令方法 □ ネットワーク通信による指令　　　□ その他（　　　　　　　　　　　　　　　） □ EtherCAT　 □ MECHATROLINK-Ⅲ　 □ CC-Link　 使用ネットワーク □ その他（　　　　　　　　　　　　　　　） 使用予定のコントローラ コントローラメーカー名（　　　　　　　　　　　　　）　　 コントローラ名（　　　　　　　　　　　　） ■貴社名 ■ご部署名 ■ご担当者名 ■ e-mail ■ TEL 15

τリニア対応サーボドライバ [ VPH Series ] モータ性能を最大限に発揮する高性能サーボドライバ ー ー 特長 優れた速度安定性能 停止時の安定性を向上 推力リップルを大幅抑制 停止中フィルタ機能 推力リップルを抑制することで、速度安定性能が 停止中のトルク精度の向上 さらに向上 。（従来機種に対し20%抑制） 大イナーシャ負荷での停止時振動を抑制。 低速ゲイン切替機能の充実 大イナーシャ負荷でも 通常－低速ゲイン切替条件として速度だけではなく、 偏差、指令の有無などでも設定が可能 。 簡単にチューニングが可能 フィードバックフィルタ自動設定機能 滑らかな動作で オートチューニング時、負荷に応じたフィードバックフィルタが 自動設定されることで、速度検出リップルを抑制し、 位置決め時間を短縮 大イナーシャ負荷時においても、簡単にチューニングが可能 。 滑らかな動作を簡単に実現 。 2段S字加減速制御機能 推力波形を2次曲線とすることで、加減速時の衝撃が大幅に緩和され、 加減速時間を縮めても振動することなく、位置決め時間の短縮を実現 。 16 サ ボドライバ VPHシリ ズ 　

[ システム支援ツール ] （データ編集ソフト） Data Editing Software 充実した操作・モニタ・編集・解析機能が、立ち上げ作業の効率化、機械系とのマッチングを実現 ※当社WEBサイトより、最新版VPHシリーズ用 　システム支援ツールをダウンロードしてご使用ください。 　https://www.nikkidenso.co.jp/systemtool/ 解析機能 周波数応答測定機能 ●モータの自動加振で、機械系の周波数特性を測定し、 機械共振フィルタを簡単設定。 ー オシロスコープ機能 ●最大11CHのサーボデータをリアルタイム表示。 (※データ分解能0.4ms以上、CH4以降はIO設定のみ) 周波数スペクトル測定機能 ●繰返し運転のモータ負荷率を簡単表示。 ●動作中の周波数スペクトルの測定で、機械共振点を探し出し、 ●ノーマルトリガ機能で、調整前後の変化確認が容易に。 機械共振フィルタを簡単設定。 ー 《オシロスコープ画面》 《周波数スペクトル測定画面》 調整機能 オートチューニング機能 ●オートチューニングの別画面化により、実行に必要なパラメータを簡単に変更可能。 ●FBフィルタ自動設定機能で、負荷イナーシャ倍率に応じたフィードバックフィルタを 自動設定し、滑らかな動作を実現。 ●オートチューニングのモータ動作の予想と結果を表示。 リアルタイムサーボ調整機能 ●オートチューニング後のゲインレベル調整機能で、調整がより簡単に。 ●速度、位置ループゲインをリアルタイムに調整可能。 テスト運転機能 ●位置決め機能がついたテスト運転を実行可能。 自己診断機能 ●装置の自己診断が可能。 《リアルタイムサーボ調整画面》 状態表示 データ編集 リモート操作 入出力信号状態表示機能 パラメータ編集機能 スイッチBOX機能 ●立ち上げ作業時の入出力信号の確認を容易に。 ●ゲイン、フィルタ、指令、信号などパラメータを ●上位コントローラから切り離した状態で、 グループ化し、編集作業を容易に。 パソコンからの容易なリモート運転が可能。 状態表示機能 ●モータ実動作速度、実トルク指令、現在位置など、 プログラム編集機能 さまざまな動作情報をリアルタイム表示。 ●内部指令モード時の動作コマンドでの ●過去のアラーム履歴、装置情報などを表示。 プログラム作成、編集を実行可能。 デバイスモニタ機能 間接データ編集機能 ●ドライバ内部のメモリ領域をリアルタイムに表示、編集可能。 ●プログラム運転に使用する間接データの 作成、編集を実行可能。 17 サ ボドライバ VPHシリ ズ 　

■サーボドライバVPHシリーズ 型式/ドライバタイプ説明 ◎ドライバタイプ VPH - H A ② ③ ◎ドライバ型式 NCR - H A 1 201 A - B - 0 0 0 ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ① NCR･･･サーボドライバシリーズ ② シリーズ名 H…VPHシリーズ A…I/O仕様 ー C…CC-Link仕様 ③ 機能種別 D…EtherCAT仕様 E…MECHATROLINK-Ⅲ仕様 ④ 入力電源仕様 1…AC100V系 2…AC200V系 例） 201 … 20 1 =20×101 =200W ⑤ 出力容量 10の累乗の指数部 有効数字 ⑥ ハードウェア仕様 A…標準仕様 ⑦ 組合せモータ B…τリニア ⑧ アナログオプション ※1 0…無し 1…あり ⑨ 絶対位置補正オプション 0…無し ー ⑩ STOオプション ※2 0…無し 1…あり 無し…標準仕様 ⑪ 専用機記号 -S+連番数字…専用機仕様 ※1 VPH-HAタイプ（ I/O仕様）のみの対応となります。 ※2 VPHシリーズに接続されたリニアサーボモータへの電力供給を遮断する安全機能（ Safe Torque Of：f STO）となります。 　　 不慮の起動による事故を防止するための使用を想定しています。 　　 本オプションの安全機能・安全性能につきましては、P.22～P.25「サーボドライバVPHシリーズ 機能仕様」をご参照ください。 　　 詳細は「VPHシリーズSTOオプション編取扱説明書」をご参照ください。 ■共通仕様 使用時：0～55℃（凍結のないこと） 温度 保存時：-20～65℃ 湿度 使用/保存時：90%RH以下 結露なきこと 周囲条件 腐食性ガス、研削油、金属粉、油等の有害な雰囲気中でないこと 設置場所 直射日光の当たらない屋内であること 標高 1000m以下 耐振動 5.9m/s（2 10～55Hz） ただし共振なきこと 駆動方式 3相正弦波PWM 制動方式 回生制動：回生抵抗外付け ※1 取付方式 パネル取付 1：5000 速度制御範囲 ※3 アナログ速度指令時 1：2000 ※4 負荷特性 0～100%負荷時：±0.01%以下（定格速度にて） 性能 速度制御 電圧特性 定格電圧±10%：0%（定格速度にて） 速度変動率 ※2 0～40℃：±0.1%以下（定格速度にて） 温度特性 アナログ速度指令時 ±0.2%以下 ※4 分解能 1：1000 （定格トルクまで） トルク制御 再現性 ±1%（定格トルクまで） ※1 回生抵抗器はオプションとなります。 ※2 性能はサーボドライバ単体の値となります。モータとの組合わせにより性能を満たせない場合があります。 ※3 100%負荷においてモータが停止しないことを条件としています。 ※4 VPH-HAタイプ（I/O仕様）のみ適用となります。 ■海外規格対応状況 入力電源 出力容量 型式 UL/cUL規格 （File No：E251116） CEマーキング KCマーク 50W NCR-H□1051A-B-□0□ ○ － － AC100V系 100W NCR-H□1101A-B-□0□ ○ － － 100W NCR-H□2101A-B-□0□ ○ ○ ○ ※1 200W NCR-H□2201A-B-□0□ ○ ○ ○ ※1 400W NCR-H□2401A-B-□0□ ○ ○ ○ ※1 AC200V系 800W NCR-H□2801A-B-□0□ ○ ○ ○ ※1 ※3 1.5kW NCR-H□2152A-B-□0□ ○ ○ ○ ※1 2.2kW NCR-H□2222A-B-□0□ ○ ○ ○ ※1 ※2 ※3 3.3kW NCR-H□2332A-B-□0□ ○ ○ ○ ※1 ※2 ※3 ※1 STOオプション時のKCマーク対応は、VPH-HAタイプのみとなります。 ※2 VPH-HCタイプ（CC-Link仕様）のKCマークは、出力容量2.2kW、3.3kWのみの取得となります。 ※3 VPH-HEタイプ（MECHATROLINK-Ⅲ仕様）のKCマークは、出力容量800W、2.2kW、3.3kWのみの取得となります。 18 サ ボドライバ VPHシリ ズ 　

■サーボドライバVPHシリーズ システム構成 配線用遮断器 ノイズフィルタ ⑭ DCリアクトル VPH-HAタイプ 　（VPH1.5kW以上時オプション） （I/O仕様） システム支援ツール： ー VPH Data Editing Software 　（ L1、L2に接続） ※当社WEBサイトよりダウンロードしてください ⑬ ACリアクトル ⑧ フェライトコア 電磁接触器 　（VPH800W以下時オプション） 　（オプション） VPH Data Editing Software用 CN3 USBケーブル（VPH側ミニBプラグ） ※単相時はT相未接続 主電源 R S T CN5 ⑫ STO対応ケーブル（STOオプション時） パソコン B1 B2 CN2 ① 回生抵抗器（オプション） ⑥ エンコーダケーブル（オプション） ー 制御電源 r s DBK DBC CN1 ⑨ I/Oケーブル（オプション） 外部機器･ コントローラ等 ⑧ CN4 ⑦ 通信ケーブル（オプション） 上位 コントローラ等 ③ チョークコイル U V W 　（オプション） 端子台 ④ 零相リアクトル τリニア 　（オプション） ⑤ パワーケーブル（オプション） ② ダイナミックブレーキ 　 ユニット（オプション） ◎インクリメンタルエンコーダ時、磁極センサユニットによる磁極検出を行う場合 VPH CN2へ CN1 CN2 ⑯ エンコーダ分配ユニット用 ⑥ エンコーダケーブル（オプション） 　 ドライバ接続ケーブル CN3 　（ オプション） τリニア インクリメンタルエンコーダへ τリニア 磁極センサユニットへ ⑮ エンコーダ 　 分配ユニット 　（オプション） 周辺機器 ⑰ エンコーダ分配ユニット用エンコーダパルス出力ケーブル（オプション） 19 サ ボドライバ VPHシリ ズ