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高精度リニアステージτリニアステージ

製品カタログ

速度変動率性能保証、位置決め精度保証が可能な高性能リニアステージ

高精度リニアステージ
τリニアステージのカタログです

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ドキュメント名 高精度リニアステージτリニアステージ
ドキュメント種別 製品カタログ
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取り扱い企業 CKD日機電装株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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サーボ制御技術との融合が、 高いマシン性能を引き出す。 tau Linear Stage 高性能リニアステージ
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高性能リニアステージ Linear Stage リニアサーボを搭載した高精度ステージサーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現 CONTENTS τリニアステージ特長 P.1 高性能保証(オプション) X Stage セレクトチャート P.3 ◎速度変動率性能保証 X 型式説明 P.4 ◎ゲイン調整・共振フィルタの設定による高タクト動作の確認等、 一般仕様 P.4 搭載リニアモータ仕様及び組合せサーボドライバ P.4  お客様要求動作仕様の確認と設定に対応  ステージ機械仕様(ジャバラ無し) P.5 ステージ機械仕様(ジャバラ付き) P.6 ◎レーザ測定補正データを用いた位置決め精度保証(お客様装置上での精度保証も可能(詳細は P.33 ~ P.34 参照)) 外形図(ジャバラ無し) P.7 外形図(ジャバラ付き) P.8 600mmストローク時の位置精度データ実測例 (保証値は 1μmとなります) XY Stage (位置計測測定器:レニショー社製  セレクトチャート P.9(保証値は1レμmーとザなーり測ま定す器) 1 型式説明 P.10 一般仕様 P.10 搭載リニアモータ仕様及び組合せサーボドライバ P.10 ステージ機械仕様(ジャバラ無し) P.11 0.5 ↑ 0.23μm XY ステージ機械仕様(ジャバラ付き) P.12位置 外形図(ジャバラ無し /ケーブルベア中型・大型) P.13 ~ P.15 決 0 外形図(ジャバラ無し /ケーブルベア ローシルエット型) P.16 ~ P.18め 精 外形図(ジャバラ付き) P.19 ~ P.22 度( μm ) τリニアステージオプション ↓ -0.5 θ軸オプション P.23 ~ P.28 ジャバラオプション P.28 機械精度オプション P.28 -1 -300 0 300 エンコーダ種類(分解能)の選択 P.28 ←ストローク(mm)→ ケーブルベアの選択 P.29 ~ P.30 ケーブルの選択 P.31 ~ P.32 位置決め精度校正システム P.33 ~ P.34 豊富なラインアップとカスタムメイド対応 Xθ その他精度測定方法 P.35 ~ P.37 原点、原点減速 /オーバートラベルセンサについて P.38 ◎ X/XY ステージを標準ラインアップ 検収・納品・保証について P.39 ◎更に、高精度ダイレクトドライブモータτDISC シリーズをθ軸として搭載した 要求仕様記載表 P.40 カスタムメイドリニアステージ P.41  Xθ /XYθステージもラインアップ サーボドライバ P.42 ◎多ヘッドステージ、XYZ 軸ステージなどのカスタムメイドにも対応(詳細は P.41 参照) ◆ VCⅡシリーズ 型式説明 P.43 一般仕様 P.43 選べるサーボネットワークシステム 電気的仕様 P.43 XYθ 機能仕様 P.44◎以下のネットワークシステムに接続可能 外部接続図 P.45 外形図 P.46  ・SSCNETⅢ(/H)・MECHATROLINK-Ⅲ・CC-Link・EtherCAT(※) オプション構成表 P.47 ◆ VPS シリーズ 型式説明 P.48 ※ EtherCAT は新型サーボドライバ VPHシリーズでの対応となります。 一般仕様 P.48   EtherCAT® は、ドイツ Beckhoff Automation GmbHによりライセンスされた特許取得済み技術であり登録商標です。 電気的仕様 P.48 機能仕様 P.49 外部接続図 P.50 高品質 外形図 P.51 オプション構成表 P.52 ◎充実した測定環境体制 サーボドライバ付属品・オプション P.53 ・測定室:床面除振構造 ・三次元測定器(東京精密社製) Custom-made 搬送用リニアステージ ステージブロック P.54     恒温室(22℃± 0.5℃) ・レーザー測長器(レニショー社製) 1 2
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■ Xステージ セレクトチャート ■ Xステージ 型式説明 NST-A 030 A3 A P NA -S01 ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ START ① τリニア Xステージシリーズ名 ② 有効ストローク 10mm単位 例) 030 → 300mmストローク A:コアレスフラット(NVA-AM)タイプ 3:68N 1:23N 2:45N 4:90N 5:135N リニアモータタイプ /定格推力 有効ストローク ステージ本体 ③  ※      内の推力が各タイプでの B:コアレス高推力(NVA-BM)タイプ 3:150N 1:50N 2:100N 4:200N 5:300N 100/200/300/500 定格推力   標準対応製品となります。 /700/1000/1300mm セレクト 68/95/ 150N D:コアレススタンダード(NLD-AM)タイプ 2:95N 1:50N 3:150N 4:200N ④ 設計順位 A→ B→ C・・・ (Aより開始) ⑤ メーカー設定欄 ⑥ ジャバラ設定 NA:ジャバラ無し JA:ジャバラ付き ⑦ 専用機記号 無し:標準仕様 S+連番数字:専用機仕様 ※標準対応製品以外の推力をご希望の場合は、弊社営業員までご相談ください。 無し ジャバラ 付き オプション ■ Xステージ 一般仕様 ※P.28参照 22℃± 2℃ 温度  ※上記以外の環境での精度保証はいたしかねます。 エンコーダ  ※位置決め精度、繰返し位置決め精度、ロストモーションについては、温度 22℃一定時においてのみ精度を保証します。●インクリメンタル アブソリュート 周囲条件 タイプ・分解能 エンコーダ 湿度 85%以下、結露なきこと ● セレクト アブソリュート 0.1μm 設置場所 腐食性ガス、切削油、金属粉、油等の有害な雰囲気の中への設置はしないでください 標高 1000m以下 ※P.5参照 ※P.6参照 冷却方法 自然空冷 ジャバラ無し:テーブル水平上向き、水平下向き※ 2 取付方向 ※ 1 ジャバラ付き:テーブル水平上向き ベース:鋼製 主に黒色 低温黒色クロム処理 美装 テーブル:アルミ合金製 主に黒色 黒アルマイト処理 その他特記無きものは、適宜防錆処理を施します ※ 1 壁掛け使用等の場合は、弊社営業員までお問い合わせください。 ※ 2   下向き設置時には、リニアガイド破損時の落下防止装置を設置してください。リニアガイドが破損すると、テーブルがレールから脱落します。 ダイレクトドライブ θ軸 エンコーダタイプ ・ τDISCモー タタイプ オプション 検出パ ルス ■搭載リニアモータ仕様及び組合せサーボドライバ ※P.23参照 ※P.23参照 ステージ型式 NST-A 010A3** ~ 130A3** 010B3** ~ 130B3** 010D2** ~ 130D2** NVA-AMC30A2A □ NVA-BMC00A2A □ NLD-AM20SA2 □ 搭載リニアモータ型式 ※ 1 コアレスフラットタイプ コアレス高推力タイプ コアレススタンダードタイプ 定格推力 N 68 150 95 最大推力 N 204 450 275(237.5 ※ 2) モータ定格速度 m/s 3.0 ケーブルベア モータ最大速度 ※ 3 m/s 3.5中型(タイプC) 定格出力 W 204 450 285 大型(タイプD) セレクト 定格電流 A 2.55 2.85 3.4 インクリメンタルエンコーダ:磁極センサ または 自動磁極検出 ※P.29参照 磁極検出方式 アブソリュートエンコーダ :絶対位置検出 組合せ VCⅡシリーズ NCR- □ D A□ A2A-401D ドライバ ※ 4 VPS シリーズ NCR-DC □ 0A2B-401 □ 主電源仕様 ※ 5 AC200 ~ 230V 50/60Hz 3 相電源(VPS シリーズNCR-DC □ 0A2B-401 □は単相) ※ 1 モータ仕様の詳細は、τ Linear Servo Motor カタログをご参照ください。 ※ 2 組合せドライバが VPS シリーズの場合の値となります。 エンコーダ・モータ・ ケーブル長 ※ 3 ステージとしての最大速度は、モータの最大速度、エンコーダの分解能による許容最大速度(P.5 ~ P.6 参照)、ジャバラの許容最大速度(P.6 参照)に依存し、 OT各ケーブル長の選択 セレクト    それぞれの最大速度の中で、一番低い値となります。また、最大速度は、ステージ可動部質量による加速能力を考慮しておりません。 ※ 4 VCⅡシリーズの詳細は、P.43 ~ P.47、VPS シリーズの詳細は P.48 ~ P.52 をご参照ください。 ※P.31~P.32参照 ※ 5 電源が AC100V をご希望される場合は、弊社営業員までお問い合わせください。 位置決め精度 姿勢精度 機械精度 速度変動率の指定 測定オプション ※P.28 参照 3 3 4 X Stage X Stage
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■ Xステージ 機械仕様(ジャバラ無し) ■ Xステージ 機械仕様(ジャバラ付き) 010A3 020A3 030A3 050A3 070A3 100A3 130A3 010A3 020A3 030A3 050A3 070A3 100A3 130A3 ステージ型式(□部は右から選択) ステージ型式(□部は右から選択) 010B3 020B3 030B3 050B3 070B3 100B3 130B3 010B3 020B3 030B3 050B3 070B3 100B3 130B3 NST-A □ APNA NST-A □ APJA 010D2 020D2 030D2 050D2 070D2 100D2 130D2 010D2 020D2 030D2 050D2 070D2 100D2 130D2 100 200 300 500 700 1000 1300 100 200 300 500 700 1000 1300 ステージ有効ストローク  ※ 1 mm ステージ有効ストローク ※ 1 mm (130) (230) (330) (530) (730) (1030) (1330) (130) (230) (330) (530) (730) (1030) (1330) 真直度  ※ 6 μm 3 3 5 7 10 12 15 真直度  ※ 5 μm 3 3 5 7 10 12 15 平行度 B  ※ 6 μm 10 10 15 20 25 30 35 平行度 B  ※ 5 μm 10 10 15 20 25 30 35 エンコーダタイプ インクリメンタル / アブソリュート 選択 エンコーダタイプ アブソリュート エンコーダ型式、分解能、許容最大速度 下表『分解能に対する最大速度』を参照 エンコーダ型式:分解能 NSR-LHDAE2E5A10-001R:0.1μm ± 5( 5μm時) エンコーダ許容最大速度  ※ 2 m/s 5 繰返し位置決め精度(エンコーダ分解能) ジャバラ許容最大速度 ※ 2 m/s 1.6 μm ± 1( 1μm時) ※ 3 ※ 6 繰返し位置決め精度 ※ 5 μm ± 0.5 ± 0.5( 0.5μm、0.2μm、0.1μm、50nm、20nm、10nm、5nm、2nm、1nm時) ロストモーション ※ 5 μm 1 10( 5μm時) 耐荷重  ※ 3 ※ 4 kg 200 ロストモーション(エンコーダ分解能)  予定可動部質量  ※ 4 kg 8 μm 2( 1μm時) ※ 3 ※ 6 NST-**A3APJA 37.5 43.5 50.5 63 76 95 114 1( 0.5μm、0.2μm、0.1μm、50nm、20nm、10nm、5nm、2nm、1nm時) 予定質量 ※ 4 NST-**B3APJA kg 42 50 59.5 75 91 115 138.5 耐荷重  ※ 4 ※ 5 kg 200 NST-**D2APJA 39.5 46.5 54 67.5 81.5 102.5 123 予定可動部質量  ※ 5 kg 7 NST-**A3APNA 36 42 48.5 61 73.5 92 110.5 オプション選択項目 (機械精度測定オプションご指定時の値となります) 予定質量 ※ 5 NST-**B3APNA kg 40.5 48.5 57.5 73 88.5 112 135 姿勢精度 ピッチ、ヨー  ※ 5 ※ 6 asec 10 10 15 15 15 20 25 NST-**D2APNA 38 45 52 65.5 79 99.5 119.5 位置決め精度 ※ 5 μm 1 速度変動率  ※ 5 ※ 6 ±% 専用機対応となります。 オプション選択項目 (機械精度測定オプションご指定時の値となります) ※ 1 ( ) 内寸法は、おおよそのメカストッパー間ストロークとなります。 姿勢精度 ピッチ、ヨー  ※ 6 asec 10 10 15 15 15 20 25 ※ 2 ステージとしての最大速度は、モータの最大速度(P.4 参照)、エンコーダの分解能による許容最大速度、ジャバラの許容最大速度に依存し、それぞれの最大速度の中で、 10( 5μm時)    一番低い値となります。また、最大速度はステージ可動部質量によるモータ加速能力を考慮しておりません。 位置決め精度(エンコーダ分解能)  μm 2( 1μm、0.5μm時) ※ 3 機械精度を保証できる荷重となります。荷重は均等荷重としてください。変動、偏荷重の場合は、弊社営業員へお問い合わせください。 ※ 3 ※ 6 1( 0.2μm、0.1μm、50nm、20nm、10nm、5nm、2nm、1nm時)    また、軸受寿命は動作条件等により異なりますので、別途考慮が必要となります。 ※ 4 θ軸を追加した場合の質量は、加味されておりません。 速度変動率  ※ 6 ※ 7 ±% 専用機対応となります。 ※ 5 精度の測定方法につきましては、P.35 ~ P.37 精度測定方法の項をご参照ください。 ※ 6 速度変動率の対応は、ご使用条件(速度、負荷等)により、都度設定となりますので、専用のご対応となります。詳細は弊社営業員へお問い合わせください。 ◎分解能に対する最大速度 ※  さらに高精度の製品をご希望される場合は、弊社営業員へお問い合わせください。 インクリメンタルテープスケール インクリメンタルガラススケール アブソリュート 型式:NSR-LTBB □ A3A10 型式:NSR-LJFB □ J3A05 型式:NSR-LHDA □ E5A10-001R エンコーダ 分解能 型式内□部 許容最大速度 型式内□部 許容最大速度 型式内□部 許容最大速度 許容最大速度(m/s) (m/s) (m/s) 型式内□部 (m/s) VCⅡドライバ時 VPS ドライバ時 VCⅡ/VPS ドライバ時 VCⅡ/VPS ドライバ時 5μm AJ 10 AE 10 - - - - 1μm BJ 10 BE 9 - - - - 0.5μm CJ 8.1 CE 4.5 - - - - 0.2μm DJ 3.24 DE 1.8 D1 0.8 ※8 - - 0.1μm EJ 1.62 EE 0.9 E1 0.4 ※8 E2 5 50nm FJ 0.81 FE 0.45 - - - - 20nm GJ 0.324 GE 0.18 - - - - 10nm HJ 0.162 HE 0.09 - - - - 5nm JJ 0.081 JE 0.045 - - - - 2nm KJ 0.032 KE 0.018 - - - - 1nm WJ 0.016 WE 0.009 - - - - ※ 1 ( ) 内寸法は、おおよそのメカストッパー間ストロークとなります。 ※ 2 ステージとしての最大速度は、モータの最大速度(P.4 参照)、エンコーダの分解能による許容最大速度に依存し、それぞれの最大速度の中で、一番低い値となります。    また、最大速度は、ステージ可動部質量によるモータ加速能力を考慮しておりません。 ※ 3 繰返し位置決め精度、ロストモーション、位置決め精度は、エンコーダの分解能に依存します。 ※ 4 機械精度を保証できる荷重となります。荷重は均等荷重としてください。変動、偏荷重の場合は、弊社営業員へお問い合わせください。    また、軸受寿命は、動作条件等により異なりますので、別途考慮が必要となります。 ※ 5 θ軸を追加した場合の質量は、加味されておりません。 ※ 6 精度の測定方法につきましては、P.35 ~ P.37 精度測定方法の項をご参照ください。    真直度については、有効ストローク 700mm以下は真直度 A、1000mm以上は真直度 Bでの測定となります。 ※ 7 速度変動率の対応は、ご使用条件(速度、負荷等)により、都度設定となりますので、専用のご対応となります。詳細は弊社営業員へお問い合わせください。 ※ 8 インクリメンタルガラススケールの場合、許容速度をわずかに超えただけで運転できない為、余裕をみた速度の設定が必要となります。 ※  さらに高精度の製品をご希望される場合は、弊社営業員へお問い合わせください。 ※  組合せドライバが VCⅡシリーズの際、ドライバ側のパラメータの指令単位の設定値により、以下の速度に制限されます。    指令単位:10nm の場合、最高速度:0.4m/s  指令単位 1nm の場合、最高速度:0.04m/s    特に、分解能 50nm、5nmをご使用の際は、ご注意ください。 ※  通常使用時は、ドライバのパラメータの指令単位を 0.0001mm(100nm)に設定し、使用してください。    微細位置決め用途で使用する場合は、ドライバのパラメータの指令単位を 0.00001mm(10nm)に設定し、使用してください。    例)10nm 単位の微小送りを行いたい場合、指令単位は、10nm の設定で行うことが必要です。 5 6 X Stage X Stage
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τ■ XLiスnテeーarジX外形St図a gジeャバラ無し ■ Xステージ外形図 ジャバラ付き ※2:中継ケーブル一体タイプ ステージスペース端面より出来成り (選択されたケーブル長を使用) ※3:中継ケーブル一体タイプ (LB1)※1 ※2 ケーブルベアD ステージスペース端面より出来成り (LB1)※2 ※1 ケーブルベアD (選択されたケーブル長を使用) X軸モータケーブル X軸センサケーブル ※2 ケーブルベアD X軸モータケーブル X軸センサケーブル X軸±OTケーブル 1000 +100 ス テ ー ジ ベ ー ス 端 面 よ り 0 ※2:中継ケーブル分割タイプ ※1 ケーブルベアD (54) X軸±OT/ZLSケーブル X軸モータコネクタ ※3:中継ケーブル分割タイプ ※1 ケーブルベアC ※2 ケーブルベアC (54) (164)※2 (164)※2 X軸モータコネクタ X軸センサコネクタ 4-M10ネジ深サ15 4-M6ネジ深サ12 4-M8ネジ深サ15 (θ軸取付用) (ワーク取付用) 4-M10ネジ深サ15 4-M6ネジ深サ12 4-M8ネジ深サ15 159 (5) (ワーク取付用) 159 (5) (θ軸取付用) (ワーク取付用) (ワーク取付用) ※1 ケーブルベアC X軸センサコネクタ (45) ※2 ケーブルベアC X軸±OTコネクタ (45) X軸±OT/ZLSコネクタ 4 5°(45) 5° 4 (45) φ2 φ 0 52 0 5 リニアモータ部 4-M12ネジ深サ20 NH-φ9穴 NH-φ9穴 110 110 4-M8ネジ深サ20 26 (斜線部) (吊金具用) φ14深ザグリ深サ9 φ14深ザグリ深サ9 26 リニアモータ部 (ステージ固定用) (吊金具用) 86±0.1 (ステージ固定用) 150 86±0.1 150(斜線部) ※1 インクリメンタルテープスケールタイプ (60) 230(テーブル) (60) 230 LP3 LP2 LP1 LP1 LP1 LP1 LP2 LP3 LP3 LP2 LP 1 LP 1 LP1 LP 1 LP2 LP3 +100 ス テ ー ジ ベ ー ス 端 面 よ り 1 000 LP 5 LP 4 LP5 +0 LP5 LP4 LP5 26 86±0.1 ※1 アブソリュートタイプ + 正負方向 - (LB3) LT (LB2)※1 ※1 アブソリュートタイプ ST2 ST2 ※1 インクリメンタルガラススケールタイプ メカストッパ間St. メカストッパ間St. + 正負方向 - ST1 有効St. ST1 有効St. 吊金具 (LB3) LT (LB 2)※2 原点位置 26 ※3 S T 2 S T 2 86±0.1 (メカストッパ間S t.) (メカストッパ間S t.) S T 1(有効S t.) S T 1(有効S t.) ※1 インクリメンタルガラススケールタイプ 吊金具 配線穴 原点位置 80×25 ※4 ※ 1 エンコーダは、選択したタイプの仕様をご確認ください。 ※ 2 ケーブルベアの膨らみによる余裕寸法は除きます。 配線穴    ケーブルベアは、選択したタイプの仕様をご確認ください。 80×25(LJ2) (LT) (LJ1)    各選択ケーブルベアの外形図に差し替えてください。 ※ 3 中継ケーブルは、選択したタイプの仕様をご確認ください。 (LJT) ※ 4 原点検出位置は、ストロークの中央です。 ※1 インクリメンタルテープスケールタイプ 注) ・本図は、θ軸にτDISC モータ D170-40-F(P)を組み合わせた場合の ※ 1 ケーブルベアの膨らみによる余裕寸法は除きます。     イメージ図となります。    ケーブルベアは、選択したタイプの仕様をご確認ください。各選択ケーブルベアの外形図に差し替えてください。     寸法及びその他のタイプのτDISC モータを組み合わせた場合の詳細に ※ 2 中継ケーブルは、選択したタイプの仕様をご確認ください。     つきましては、お問い合わせください。 ※ 3 原点検出位置は、ストロークの中央です。    ・ 本図は、ストロークのセンタ位置にてスライダを作図しています。         エンコーダは、選択したタイプの仕様をご確認ください。 ※1 アブソリュートタイプ 注) ・本図は、θ軸にτDISC モータ D170-40-F(P)を組み合わせた場合のイメージ図となります。    ・ St. は、ストロークを意味します。     寸法及びその他のタイプのτDISC モータを組み合わせた場合の詳細につきましては、お問い合わせください。    ・ 本図は、ストロークのセンタ位置にてスライダを作図しています。エンコーダはアブソリュートタイプのみであり選択できません。    ・ St. は、ストロークを意味します。 ※1 インクリメンタルガラススケールタイプ ◎ Xステージ寸法表(単位:mm、NHは穴数) ※ 2 ※ 2 ◎ Xステージ寸法表(単位:mm、NHは穴数) ※ 1 ※ 1 型式 LT ST1 ST2 NH LP1 LP2 LP3 LP4 LP5 LB1 LB2 LB3 型式 LT ST1 ST2 NH LP1 LP2 LP3 LP4 LP5 LB1 LB2 LB3 LJ1 LJ2 LJT NST-A010**APNA 380 50 65 120 120 10 320 30 255.9 NST-A010**APJA 380 50 65 120 120 10 320 30 255.9 30 90 500 8 8 NST-A020**APNA 480 100 115 140 140 30 450 15 274.9 NST-A020**APJA 480 100 115 140 140 30 450 15 274.9 45 105 630 NST-A030**APNA 580 150 165 10 40 540 20 301.9 94.6 NST-A030**APJA 580 150 165 10 40 540 20 301.9 94.6 65 125 770 125 12550 NST-A050**APJA 780 250 265 14 400 190 347.9 50 95 155 1030NST-A050**APNA 780 250 265 14 400 190 347.9 125 NST-A070**APJA 980 350 365 18 125 100 15 550 215 393.9 130 190 1300NST-A070**APNA 980 350 365 18 100 15 550 215 393.9 NST-A100**APJA 1280 500 515 22 700 290 485.9 180 240 1700 NST-A100**APNA 1280 500 515 22 700 290 485.9 125 101.1 125 101.1 NST-A130**APJA 1580 650 665 26 40 850 365 550.9 235 295 2110 NST-A130**APNA 1580 650 665 26 40 850 365 550.9 7 8 346 378 18 220(ベース) 8 100 8 132 2 6 220 26 2 2 0 220 220(テーブル) (54) (40.5) (φ29) 37.5 145 37.5 47.5 125 47.5 110 182 354 378 26 220(ベース) 8 100 8 132 220 220(テーブル) (54) (40.5) (φ29) 37.5 145 37.5 47.5 125 47.5 110 182 230 X Stage X Stage
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τLinearXY Stage ■ XYステージ セレクトチャート ■ XYステージ 型式説明 START NST-D 30 B 4 / 30 A 4 A P NA -S01 ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ① τリニア XYステージシリーズ名 有効ストローク(X/Y) ② X軸有効ストローク 10mm単位 例)030 → 300mmストローク 100/100、200/200、250/250 ステージ本体 ③ X軸リニアモータタイプ B:コアレス高推力(NVA-BM)タイプ セレクト ④ X軸リニアモータ定格推力 1:50N  2:100N  3:150N  4:200N  5:300N ※標準対応製品は下表となります。300/300、350/350、500/400 ⑤ Y軸有効ストローク 10mm単位 例)030 → 300mmストローク 600/450mm ⑥ Y軸リニアモータタイプ A:コアレスフラット(NVA-AM)タイプ ⑦ Y軸リニアモータ定格推力 1:23N  2:45N  3:68N  4:90N  5:135N ※標準対応製品は下表となります。 ⑧ 設計順位 A→ B→ C・・・ (Aより開始) ⑨ メーカ設定欄 NA:ジャバラ無し(ケーブルベア中型:タイプ A / ケーブルベア大型:タイプ B) 無し ジャバラ 付き ⑩ ジャバラ設定 JA:ジャバラ付き ケーブルベア中型(タイプE) オプション JB:ジャバラ付き ケーブルベア大型(タイプF) ⑪ 専用機記号 無し:標準仕様   S+連番数字:専用機仕様 ※P.28参照 ◎標準対応製品のリニアモータタイプ及び定格推力 エンコーダ XY ステージ型式(上記型式②~⑦部) XY軸有効ストローク XY軸リニアモータタイプ及び定格推力分解能 インクリメンタル エンコーダ アブソリュート 10B3/10A3 X:100mm  Y:100mm X:コアレス高推力(NVA-BM)タイプ 150N 0.1μm セレクト 20B3/20A3 X:200mm  Y:200mm Y:コアレスフラット(NVA-AM)タイプ 68N 25B4/25A4 X:250mm  Y:250mm ※P.11参照 ※P.12参照 X:コアレス高推力(NVA-BM)タイプ 200N 30B4/30A4 X:300mm  Y:300mm Y:コアレスフラット(NVA-AM)タイプ 90N 35B4/35A4 X:350mm  Y:350mm 50B5/40A5 X:500mm  Y:400mm X:コアレス高推力(NVA-BM)タイプ 300N 60B5/45A5 X:600mm  Y:450mm Y:コアレスフラット(NVA-AM)タイプ 135N ※標準対応製品以外の推力をご希望の場合は、弊社営業員までご連絡ください。 中型(タイプA) ケーブルベア 大型(タイプB) ケーブルベア 中型(タイプE) セレクト ローシルエット型(タイプG) セレクト 大型(タ イプF) ■ XYステージ 一般仕様 22℃± 2℃ ※P.29~P .30参照 ※P.29参照 温度  ※上記以外の環境での精度保証はいたしかねます。 周囲条件  ※位置決め精度、繰返し位置決め精度、ロストモーションについては、温度 22℃一定時においてのみ精度を保証します。 湿度 85%以下、結露なきこと 設置場所 腐食性ガス、切削油、金属粉、油等の有害な雰囲気の中への設置はしないでください 標高 1000m以下 冷却方法 自然空冷 取付方向 テーブル水平上向き 主要部について ダイレクトドライブ エンコーダタイプ・ X 軸:主に黒色。ベース:鋼製 低温黒色クロム処理θ軸 美装 Y軸:主に黒色。ベース:鋼製 低温黒色クロム処理   その他、特記無きものは、適宜防錆処理を施します。 τDISCモータタイプ オプション 検出パ ルス         テーブル:アルミ合金製 黒アルマイト処理   ※美装は主に黒色、白色の混成色となります。 ※P.23参照 ※P.23参照 ■搭載リニアモータ仕様及び組合せサーボドライバ 25B4/25A4** 10B3/10A3** 50B5/40A5** ステージ型式 NST-D 30B4/30A4** 20B3/20A3** 60B5/45A5** 35B4/35A4** X/Y 軸 X Y X Y X Y エンコーダ・モータ・ ケーブル長 NVA- BMC00A2A □ AMC30A2A □ BMD00A2A □ AMD30A2A □ BME00A2A □ AME30A2A □搭載リニアモータ型式 ※ 1 OT各ケーブル長の選択 セレクト X 軸:コアレス高推力タイプ  Y軸:コアレスフラットタイプ 定格推力 N 150 68 200 90 300 135 ※P.31~P.32参照 最大推力 N 450 204 600 261(225 ※ 2) 900 405 モータ定格速度 m/s 3.0 モータ最大速度 ※ 3 m/s 3.5 定格出力 W 450 204 600 270 900 405 定格電流 A 2.85 2.55 3.55 3.4 5.3 5.1 インクリメンタルエンコーダ:磁極センサ または 自動磁極検出 位置決め精度 磁極検出方式機械精度 アブソリュートエンコーダ:絶対位置検出姿勢精度 組合せドライバ VCⅡシリーズ NCR- □ D A□ A2A-401D A □ A2A-801D A □ A2A-401D A □ A2A-801D 速度変動率の指定 測定オプション ※ 4 VPS シリーズ NCR-DC □ 0A2B-401 □ □ 0A2B-801 □ □ 0A2B-401 □ □ 0A2B-801 □ 主電源仕様 ※ 5 AC200 ~ 230V 50/60Hz 3 相電源(VPS シリーズNCR-DC □ 0A2B-401 □は単相)※P.28参照 ※ 1 モータ仕様の詳細は、τ Linear Servo Motor カタログをご参照ください。 ※ 2 組合せドライバが VPS シリーズの場合の値となります。 ※ 3 ステージとしての最大速度は、モータの最大速度、エンコーダの分解能による許容最大速度(P.11 ~ P.12 参照)、ジャバラの許容最大速度(P.12 参照)に依存し、    それぞれの最大速度の中で、一番低い値となります。また、最大速度は、ステージ可動部質量による加速能力を考慮しておりません。 ※ 4 VCⅡシリーズの詳細は、P.43 ~ P.47、VPS シリーズの詳細は P.48 ~ P.52 をご参照ください。 9 ※ 5 電源が AC100V をご希望される場合は、弊社営業員までお問い合わせください。 10 XY Stage XY Stage
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■ XYステージ 機械仕様(ジャバラ無し) ■ XYステージ 機械仕様(ジャバラ付き) ステージ型式(□部は右から選択) ステージ型式(□部は右から選択) 10B3/10A3 20B3/20A3 25B4/25A4 30B4/30A4 35B4/35A4 50B5/40A5 60B5/45A5 NST-D □ APNA NST-D □ APJA 10B3/10A3 20B3/20A3 25B4/25A4 30B4/30A4 35B4/35A4 50B5/40A5 60B5/45A5 NST-D □ APJB X/Y 軸 X Y X Y X Y X Y X Y X Y X Y 100 100 200 200 250 250 300 300 350 350 500 400 600 450 X/Y 軸 X Y X Y X Y X Y X Y X Y X Y ステージ有効ストローク  ※ 1 mm (130)(130)(230)(230)(280)(280)(330)(330)(380)(380)(530)(430)(630)(480) 100 100 200 200 250 250 300 300 350 350 500 400 600 450ステージ有効ストローク ※ 1 mm 真直度 A  ※ 6 μm 3 3 3 3 5 5 5 5 5 5 10 10 15 15 (130)(130)(230)(230)(280)(280)(330)(330)(380)(380)(530)(430)(630)(480) 直角度 A  ※ 6 μm 3 5 10 10 10 15 25 真直度 A  ※ 5 μm 3 3 3 3 5 5 5 5 5 5 10 10 15 15 平行度 B  ※ 6 μm 15 15 15 15 15 25 25 直角度 A  ※ 5 μm 3 5 10 10 10 15 25 エンコーダタイプ インクリメンタル 平行度 B  ※ 5 μm 15 15 15 15 15 25 25 エンコーダ型式、分解能、 エンコーダタイプ アブソリュート 下表『分解能に対する最大速度』を参照 許容最大速度 ※ 2 エンコーダ型式:分解能 NSR-LHDAE2E5A10-001R:0.1μm ジャバラ許容最大速度 ※ 2 m/s 1.6 繰返し位置決め精度 ± 5( 5μm時)    エンコーダ許容最大速度 ※ 2 m/s 5 (エンコーダ分解能)  μm ± 1( 1μm時)    繰返し位置決め精度 ※ 5 μm ± 0.5 ※ 3 ※ 6 ± 0.5( 0.5μm、0.2μm、0.1μm、50nm、20nm、10nm、5nm、2nm、1nm時) ロストモーション ※ 5 μm 1 耐荷重 ※ 3 ※ 4 kg 50 100 ロストモーション 10( 5μm時)    予定可動部質量 ※ 4 kg 33.7 10.6 38.7 10.7 55.3 13.5 58.3 13.5 61.8 13.7 128.1 24.9 133.6 25.1 (エンコーダ分解能)  μm 2( 1μm時)    予定質量 ※ 4 kg 75 87.5 153 163.5 175.5 389.5 443.5 ※ 3 ※ 6 1( 0.5μm、0.2μm、0.1μm、50nm、20nm、10nm、5nm、2nm、1nm時) 耐荷重  ※ 4、※ 5 kg 50 100 オプション選択項目 (機械精度測定オプションご指定時の値となります) 予定可動部質量  ※ 5 kg 32.5 7 37.5 7 54 9 57 9 60.5 9 126.5 19 132 19 姿勢精度 ピッチ、ヨー ※ 5 asec 15 15 15 15 15 15 15 15 15 15 20 20 20 20 予定質量  ※ 5 kg 69.5 81.5 145.5 156 167.5 378 431.5 位置決め精度 ※ 5 μm 1 速度変動率 ※ 5 ※ 6 ±% 専用機対応となります。 オプション選択項目 (機械精度測定オプションご指定時の値となります) ※ 1 ( ) 内寸法は、おおよそのメカストッパー間ストロークとなります。 姿勢精度 ピッチ、ヨー ※ 6 asec 15 15 15 15 15 15 15 15 15 15 20 20 20 20 ※ 2 ステージとしての最大速度は、モータの最大速度(P.10 参照)、エンコーダの分解能による許容最大速度、ジャバラの許容最大速度に依存し、それぞれの最大速度の中で、    一番低い値となります。また、最大速度はステージ可動部質量によるモータ加速能力を考慮しておりません。 10( 5μm時)   位置決め精度(エンコーダ分解能) ※ 3 機械精度を保証できる荷重となります。荷重は均等荷重としてください。変動、偏荷重の場合は、弊社営業員へお問い合わせください。 μm 2( 1μm、0.5μm時)    ※ 3 ※ 6    また、軸受寿命は動作条件等により異なりますので、別途考慮が必要となります。 1( 0.2μm、0.1μm、50nm、20nm、10nm、5nm、2nm、1nm時) ※ 4 θ軸を追加した場合の質量は加味されておりません。 速度変動率 ※ 6 ※ 7 ±% 専用機対応となります。 ※ 5 精度の測定方法につきましては、P.35 ~ P.37 精度測定方法の項をご参照ください。 ※ 6 速度変動率の対応は、ご使用条件(速度、負荷等)により、都度設定となりますので、専用のご対応となります。詳細は弊社営業員へお問い合わせください。 ※  さらに高精度の製品をご希望される場合は、弊社営業員へお問い合わせください。 ◎分解能に対する最大速度 インクリメンタルテープスケール型式 NSR-LTBB □ A3A10 エンコーダ 分解能 型式内□部 許容最大速度(m/s) 型式内□部 許容最大速度 (m/s) VCⅡドライバ時 VPS ドライバ時 5μm AJ 10 AE 10 1μm BJ 10 BE 9 0.5μm CJ 8.1 CE 4.5 0.2μm DJ 3.24 DE 1.8 0.1μm EJ 1.62 EE 0.9 50nm FJ 0.81 FE 0.45 20nm GJ 0.324 GE 0.18 10nm HJ 0.162 HE 0.09 5nm JJ 0.081 JE 0.045 2nm KJ 0.032 KE 0.018 1nm WJ 0.016 WE 0.009 ※ 1 ( ) 内寸法は、おおよそのメカストッパー間ストロークとなります。 ※ 2 ステージとしての最大速度は、モータの最大速度(P.10 参照)、エンコーダの分解能による許容最大速度に依存し、それぞれの最大速度の中で、一番低い値となります。    また、最大速度は、ステージ可動部質量によるモータ加速能力を考慮しておりません。 ※ 3 繰返し位置決め精度、ロストモーション、位置決め精度は、エンコーダの分解能に依存します。 ※ 4 機械精度を保証できる荷重となります。荷重は均等荷重としてください。変動、偏荷重の場合は、弊社営業員へお問い合わせください。    また、軸受寿命は、動作条件等により異なりますので、別途考慮が必要となります。 ※ 5 θ軸を追加した場合の質量は、加味されておりません。 ※ 6 精度の測定方法につきましては、P.35 ~ P.37 精度測定方法の項をご参照ください。 ※ 7 速度変動率の対応は、ご使用条件(速度、負荷等)により、都度設定となりますので、専用のご対応となります。詳細は弊社営業員へお問い合わせください。 ※  さらに高精度の製品をご希望される場合は、弊社営業員へお問い合わせください。 ※  組合せドライバが VCⅡシリーズの際、ドライバ側のパラメータの指令単位の設定値により、以下の速度に制限されます。    指令単位:10nm の場合、最高速度:0.4m/s  指令単位 1nm の場合、最高速度:0.04m/s    特に、分解能 50nm、5nmをご使用の際は、ご注意ください。 ※  通常使用時は、ドライバのパラメータの指令単位を 0.0001mm(100nm)に設定し、使用してください。    微細位置決め用途で使用する場合は、ドライバのパラメータの指令単位を 0.00001mm(10nm)に設定し、使用してください。    例)10nm 単位の微小送りを行いたい場合、指令単位は、10nm の設定で行うことが必要です。 11 12 XY Stage XY Stage
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■ XYステージ外形図(ジャバラ無し / ケーブルベア 中型・大型) ■ XYステージ外形図(ジャバラ無し / ケーブルベア 中型・大型)  NST-D10B3/10A3  NST-D25B4/25A4  NST-D20B3/20A3 ※3:中継ケーブル一体タイプ  NST-D30B4/30A4  NST-D35B4/35A4 ※3:中継ケーブル一体タイプ STy1 有効St. STy1 有効St. STy1 有効St. STy1 有効St. STy2 メカストッパ間 St. STy2 メカストッパ間 St. STy2 メカストッパ間St. STy2 メカストッパ間St. -方向 Y軸 +方向 ※3:中継ケーブル分割タイプ -方向 Y軸 +方向 54 (40.5) (φ29) ※3:中継ケーブル分割タイプ 54 (40.5) (φ29) 4-M8ネジ深サ12 ワーク固定用 4-M10ネジ深サ10 4-M8ネジ深サ12 110 205.D P.E 110 140 4-M8ネジ深サ12 ワーク固定用 140 4-M10ネジ深サ15 ワーク固定用 4-M12ネジ深サ12 ワーク固定用 HO H0 6-φ9穴 P3P3 φ14ザグリ深サ9 6-φ11穴 Ly4 ステージ固定用 Ly2 Ly5Ly4 Ly2 Ly5 H1※2 φ17.5ザグリ深サ12 H1※2 Ly6 ステージ固定用 Ly6 下 使用方 向※1 上 下 使用方 向※1 上 Ly7※2 Ly1 Ly3 200(テーブル) Ly3 52 Ly7※2 Ly1 Ly3 270(テーブル) Ly3 52 ※ 1 本ステージの取付方向は、水平上向きとなります。 ※ 1 本ステージの取付方向は、水平上向きとなります。 ※ 2 ケーブルベアの膨らみによる余裕寸法は除きます。 ※ 2 ケーブルベアの膨らみによる余裕寸法は除きます。 ※ 3 中継ケーブルは、選択したタイプの仕様をご確認ください。 ※ 3 中継ケーブルは、選択したタイプの仕様をご確認ください。 ※ 4 A⇒ケーブルベア中型(Aタイプ) B⇒ケーブルベア大型(Bタイプ)となります。 ※ 4 A⇒ケーブルベア中型(Aタイプ) B⇒ケーブルベア大型(Bタイプ)となります。         注) ・本図は、θ軸にτDISC モータ D170-40-F(P)を組み合わせた場合のイメージ図となります。 注) ・本図は、θ軸にτDISC モータ D250-40-F(P)を組み合わせた場合のイメージ図となります。     寸法及びその他のタイプのτDISC モータを組み合わせた場合の詳細につきましては、お問い合わせください。     寸法及びその他のタイプのτDISC モータを組み合わせた場合の詳細につきましては、お問い合わせください。    ・ 本図は、ストロークのセンタ位置にて全ての軸を作図しています。    ・ 本図は、ストロークのセンタ位置にて全ての軸を作図しています。    ・ St. は、ストロークを意味します。 特記外の公差    ・ St. は、ストロークを意味します。 特記外の公差 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差 L≦ 6 ± 0.1 30<L ≦ 120 ± 0.3 315<L ≦ 1000 ± 0.8 L ≦ 6 ± 0.1 30<L ≦ 120 ± 0.3 315<L ≦ 1000 ± 0.8 6<L ≦ 30 ± 0.2 120<L ≦ 315 ± 0.5 1000<L ≦ 2000 ± 1.2 6<L ≦ 30 ± 0.2 120<L ≦ 315 ± 0.5 1000<L ≦ 2000 ± 1.2 ※特記外の穴あけピッチ公差は全て± 0.2 ※特記外の穴あけピッチ公差は全て± 0.2 ◎ XY ステージ寸法表(単位:mm) ◎ XY ステージ寸法表(単位:mm) ※ 4 ※ 2 ※ 2 ※ 2 ※ 4 ※ 2 ※ 2 ※ 2 型式 NST-D Lx1 Lx2 Lx3 Lx4 Lx5 Lx6 Lx7 Ly1 Ly2 Ly3 Ly4 Ly5 Ly6 Ly7 P1 P2 P3 STx1 STx2 STy1 STy2 H0 H1 型式 NST-D Lx1 Lx2 Lx3 Lx4 Lx5 Lx6 Ly1 Ly2 Ly3 Ly4 Ly5 Ly6 Ly7 P1 P2 P3 STx1 STx2 STy1 STy2 H0 H1 A 484.5 97.5 80 150 495 A 670 95 70 212.5 722.5 10B3/10A3APNA 400 82.5 68 4.5 350 75 5 147 150 50 65 50 65 25B4/25A4APNA 600 165 28 580 155 70 113 250 125 140 125 140 B 514.5 127.5 110 175 520 B 700 125 100 237.5 747.5 340 50 300 122 ± 0.2 228 A 584.5 97.5 80 200 595 A 720 95 70 235 767.5 20B3/20A3APNA 500 132.5 70 4.5 450 125 55 149 200 100 115 100 115 30B4/30A4APNA 650 190 22 625 440 177.5 92.5 110 275 50 400 150 165 150 165 142 ± 0.2 240 B 614.5 127.5 110 225 620 B 750 125 100 260 792.5 A 770 95 70 262.5 822.5 35B4/35A4APNA 700 215 26 680 205 120 111 300 175 190 175 190 B 800 125 100 287.5 847.5 13 14 Lx4 Lx7 Lx2 235(テーブル) Lx2 Lx5 Lx3 Lx1 P 2 P 1 P 1 P2 110 200 (45) X軸±OT/ZLSコネクタ Y軸±OT/ZLSコネクタ X/Y軸センサコネクタ (45) 使用方向※ 下 1 上 X/Y軸 ±0T/ZLSケーブル X/Y軸モータコネクタ (54) +100 ス テ ー ジ ベ ー ス 端 面 よ り 1 0 0 0 0 -方向 X軸 +方向 ST×2 メカス トッパ間St. ST×2 メカス トッパ間St. L×6※2 ST×1 有効St. ST×1 有効St. X/Y軸 センサケーブル X/Y軸 モータケーブル ステージベース端面より出来成り (選択されたケーブル長を使用) L×4 L×2 270(テーブル) L×2 L×5 L×3 L×1 P2 P1 P1 P2 140 110 (45) X軸±OT/ZLSコネクタ Y軸±OT/ZLSコネクタ X/Y軸センサコネクタ (45) X/Y軸 ±0T/ZLSケーブル 下 使用方向※1 上 -方向 X軸 +方向 ST×2 メカス トッパ間St. ST×2 メカス トッパ間St. X/Y軸モータコネクタ (54) ST×1 有効St. +100 ST×1 有効St. ス テ ー ジ ベ ー ス 端 面 よ り 1 0 0 0 0 L×6 ※2 X/Y軸 センサケーブル X/Y軸 モータケーブル ステージベース端面より出来成り (選択されたケーブル長を使用) XY Stage C.D2 84 P. XY Stage
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■ XYステージ外形図(ジャバラ無し / ケーブルベア 中型・大型) ■ XYステージ外形図(ジャバラ無し / ケーブルベア ローシルエット型)  NST-D50B5/40A5  NST-D10B3/10A3 ※3:中継ケーブル一体タイプ  NST-D60B5/45A5  NST-D20B3/20A3 ※3:中継ケーブル一体タイプ STy1 有効St. STy1 有効St. STy1 有効ストローク STy1 有効ストローク STy2 メカストッパ間St. STy2 メカストッパ間St. STy2 メカストッパ間ST STy2 メカストッパ間ST -方向 Y軸 +方向 ※3:中継ケーブル分割タイプ 54 (40.5) (φ29) -方向 Y軸 +方向 ※3:中継ケーブル分割タイプ 54 (40.5) (φ29) 121 200 ワ 4-M8ネジ深サ12 ク 4-M10ネジ深サ10 固 定 4-M8ネジ深サ12 用 5 0 P .C .C .D 4 .D 2 0 P 5 110 140 240 260 4-M8ネジ深サ16 4-M10ネジ深サ20 4-M16ネジ深サ24 ワーク固定用 8-M12ネジ深サ24 6-φ9穴 (★部2ケ所のみ深サ18) φ14ザグリ深サ9 ステージ固定用 H0 P3 HO Ly4 Ly2 Ly5P3 H1※2 Ly4 Ly2 Ly5 Ly7 ※2 Ly6 下 使用方向※1 上 下 使用方 向※1 上 Ly6 N-φ14穴 φ20ザグリ深サ13 ステージ固定用 Ly1 Ly3 200(テーブル) Ly3 52 Ly7※2 Ly1 Ly3 420(テーブル) Ly3 52 ※ 1 本ステージの取付方向は、水平上向きとなります。 ※ 2 ケーブルベアの膨らみによる余裕寸法は除きます。 ※ 1 本ステージの取付方向は、水平上向きとなります。 ※ 3 中継ケーブルは、選択したタイプの仕様をご確認ください。 ※ 2 ケーブルベアの膨らみによる余裕寸法は除きます。     ※ 3 中継ケーブルは、選択したタイプの仕様をご確認ください。 注) ・本図は、θ軸にτDISC モータ D170-40-F(P)を組み合わせた場合のイメージ図となります。 ※ 4 A⇒ケーブルベア中型(Aタイプ) B⇒ケーブルベア大型(Bタイプ)となります。     寸法及びその他のタイプのτDISC モータを組み合わせた場合の詳細につきましては、お問い合わせください。        ・ 本図は、ストロークのセンタ位置にて全ての軸を作図しています。 注) ・本図は、θ軸にτDISC モータ D400-40-F(P)を組み合わせた場合のイメージ図となります。    ・ St. は、ストロークを意味します。     寸法及びその他のタイプのτDISC モータを組み合わせた場合の詳細につきましては、 特記外の公差 特記外の公差     お問い合わせください。 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差    ・ 本図は、ストロークのセンタ位置にて全ての軸を作図しています。    ・ St. は、ストロークを意味します。 L ≦ 6 ± 0.1 30<L ≦ 120 ± 0.3 315<L ≦ 1000 ± 0.8 L ≦ 6 ± 0.1 30<L ≦ 120 ± 0.3 315<L ≦ 1000 ± 0.8 6<L ≦ 30 ± 0.2 120<L ≦ 315 ± 0.5 1000<L ≦ 2000 ± 1.2 6<L ≦ 30 ± 0.2 120<L ≦ 315 ± 0.5 1000<L ≦ 2000 ± 1.2 ※特記外の穴あけピッチ公差は全て± 0.2 ※特記外の穴あけピッチ公差は全て± 0.2 ◎ XY ステージ寸法表(単位:mm、Nは穴数) ◎ XY ステージ寸法表(単位:mm) ※ 4 ※ 2 ※ 2 ※ 2 型式 NST-D Lx1 Lx2 Lx3 Lx4 Lx5 Ly1 Ly2 Ly3 Ly4 Ly5 Ly6 Ly7 N P1 P2 P3 STx1 STx2 STy1 STy2 H0 H1 型式 NST-D Lx1 Lx2 Lx3 Lx4 Lx5 Lx6 Ly1 Ly2 Ly3 Ly4 Ly5 Ly6 Ly7 P1 P2 P3 STx1 STx2 STy1 STy2 H0 A 1050 85 70 230 1005 10B3/10A3APNA 400 82.5 574.5 350 75 5 165 510 45 150 50 65 50 65 50B5/40A5APNA 980 280 850 215 75 42 8 115 250 265 200 215 187.5 170 4.5 340 50 300 122 ± 0.2 B 1080 115 100 255 1030 20B3/20A3APNA 500 132.5 674.5 450 125 55 215 610 35 200 100 115 100 115 700 250 660 172 ± 0.2 253 A 1150 85 70 255 1055 60B5/45A5APNA 1080 330 900 240 100 53 10 40 300 315 225 240 B 1180 115 100 280 1080 15 16 L×4 Lx2 420(テーブル) Lx2 Lx5 Lx3 Lx1 P2 (N/2-1)xP1 P2 P1 320 200 240 (45) X軸±OT/ZLSコネクタ Y軸±OT/ZLSコネクタ X/Y軸センサコネクタ (45) -方向 X軸 +方向 下 使用方向※ 1 上 STx2 メカス トッパ間St. STx2 メカス トッパ間St. X/Y軸モータコネクタ X/Y軸 ±0T/ZLSケーブル (54) STx1 有効St. STx1 有効St. +100 ス テ ー ジ ベ ー ス 端 面 よ り 1 0 0 0 0 X/Y軸 センサケーブル X/Y軸 モータケーブル ステージベース端面より出来成り (選択されたケーブル長を使用) Lx3 Lx6 Lx1 Lx5 Lx2 235(テーブル) Lx2 Lx4 P 2 P 1 P 1 P 2 110 200 (45) X軸±0T/ZLSコネクタ Y軸±0T/ZLSコネクタ X/Y軸±0T/ZLSケーブル X/Y軸センサコネクタ (45) -方向 X軸 +方向 STx2 メカストッパ間ST STx2 メカストッパ間ST X/Y軸モータコネクタ STx1 有効ストローク STx1 有効ストローク (54) ステージベース端面より1000 +100 0 X/Y軸センサケーブル X/Y軸モータケーブル ステージベース端面より出来成り (選択されたケーブル長を使用) XY Stage XY Stage
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τ ■ XY ステージ外形図(ジャバラ無し / ケーブルベア ローシルエット型) ■ XYステージ外形図(ジャバラ無し / ケーブルベア ロールシルエット型)  N ST-D25B4/25A4  NST-D50B5/40A5  NST-D30B4/30A4  NST-D60B5/45A5 ※2:中継ケーブル一体タイプ  NST-D35B4/35A4 ※2:中継ケーブル一体タイプ STy1 有効ストローク STy1 有効ストローク STy2 メカストッパ間ST STy2 メカストッパ間ST STy1 有効ストローク STy1 有効ストローク STy2 メカストッパ間ST STy2 メカストッパ間ST -方向 Y軸 +方向 -方向 Y軸 +方向 ※2:中継ケーブル分割タイプ 54 (40.5) (φ29) 146 ※2:中継ケーブル分割タイプ 54 (40.5) (φ29) 133 P .C .D2 8 4 110 140 200 240 260 4-M8ネジ深サ16 4-M10ネジ深サ20 ワーク固定用 4-M16ネジ深サ24 8-M12ネジ深サ24 (★部2ヶ所のみ深サ18) H0 6-φ11穴 φ17.5ザグリ深サ12 P3 ステージ固定用 Ly4 Ly2 Ly5 H0 P3 Ly4 下 使用方向※1 上 Ly2 Ly5Ly6 4-M12ネジ深サ12 下 使用方向※1 上 Ly6 ワーク固定用 N-φ14穴 φ20ザグリ深サ13 4-M10ネジ深サ15 ステージ固定用 ワーク固定用 4-M8ネジ深サ12 ワーク固定用 Ly1 Ly3 420(テーブル) Ly3 Ly1 52 Ly3 270(テーブル) Ly3 52 ※ 1 本ステージの取付方向は、水平上向きとなります。 ※ 1 本ステージの取付方向は、水平上向きとなります。 ※ 2 中継ケーブルは、選択したタイプの仕様をご確認ください。 ※ 2 中継ケーブルは、選択したタイプの仕様をご確認ください。         注) ・本図は、θ軸にτDISC モータ D250-40-F(P)を組み合わせた場合のイメージ図となります。 特記外の公差 注) ・本図は、θ軸にτDISC モータ D400-40-F(P)を組み合わせた場合のイメージ図となります。 特記外の公差     寸法及びその他のタイプのτDISC モータを組み合わせた場合の詳細につきましては、 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差     寸法及びその他のタイプのτDISC モータを組み合わせた場合の詳細につきましては、 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差     お問い合わせください。     お問い合わせください。    ・ 本図は、ストロークのセンタ位置にて全ての軸を作図しています。 L ≦ 6 ± 0.1 30<L ≦ 120 ± 0.3 315<L ≦ 1000 ± 0.8    ・ 本図は、ストロークのセンタ位置にて全ての軸を作図しています。 L ≦ 6 ± 0.1 30<L ≦ 120 ± 0.3 315<L ≦ 1000 ± 0.8    ・ St. は、ストロークを意味します。 6<L ≦ 30 ± 0.2 120<L ≦ 315 ± 0.5 1000<L ≦ 2000 ± 1.2    ・ St. は、ストロークを意味します。 6<L ≦ 30 ± 0.2 120<L ≦ 315 ± 0.5 1000<L ≦ 2000 ± 1.2 ※特記外の穴あけピッチ公差は全て± 0.2 ※特記外の穴あけピッチ公差は全て± 0.2 ◎ XY ステージ寸法表(単位:mm) ◎ XY ステージ寸法表(単位:mm、Nは穴数) 型式 NST-D Lx1 Lx2 Lx3 Lx4 Lx5 Ly1 Ly2 Ly3 Ly4 Ly5 Ly6 P1 P2 P3 STx1 STx2 STy1 STy2 H0 型式 NST-D Lx1 Lx2 Lx3 Lx4 Lx5 Ly1 Ly2 Ly3 Ly4 Ly5 Ly6 N P1 P2 P3 STx1 STx2 STy1 STy2 H0 25B4/25A4APNA 600 165 760 580 155 70 227.5 737.5 250 125 140 125 140 50B5/40A5APNA 980 280 1140 850 215 75 230 1005 8 115 250 265 200 215 175 160 700 250 660 172 ± 0.2 30B4/30A4APNA 650 190 810 185 160 625 440 177.5 92.5 250 782.5 275 50 400 150 165 150 165 142 ± 0.2 60B5/45A5APNA 1080 330 1240 900 240 100 255 1055 10 40 300 315 225 240 35B4/35A4APNA 700 215 860 680 205 120 277.5 837.5 300 175 190 175 190 17 18 Lx3 Lx1 Lx5 Lx4 Lx2 270(テーブル) Lx2 P2 P 1 P 1 P2 140 110 (45) X軸±0T/ZLSコネクタ Y軸±0T/ZLSコネクタ X/Y軸±0T/ZLSケーブル X/Y軸センサコネクタ (45) -方向 X軸 +方向 STx2 メカストッパ間ST STx2 メカストッパ間ST X/Y軸モータコネクタ (54) STx1 有効ストローク STx1 有効ストローク ステージベース端面より1000 +100 0 X/Y軸センサケーブル X/Y軸モータケーブル ステージベース端面より出来成り (選択されたケーブル長を使用) Lx3 Lx1 Lx5 Lx4 Lx2 420(テーブル) Lx2 P2 (N/2 -1)×P 1 P 2 320 200 240 (45) X軸±0T/ZLSコネクタ Y軸±0T/ZLSコネクタ X/Y軸センサコネクタ (45) X/Y軸±0T/ZLSケーブル -方向 X軸 +方向 X/Y軸モータコネクタ (54) STx2 メカストッパ間ST STx2 メカストッパ間ST ステージベース端面より1000 +100 0 STx1 有効ストローク STx1 有効ストローク X/Y軸センサケーブル X/Y軸モータケーブル ステージベース端面より出来成り (選択されたケーブル長を使用) 4 50 P .C .D XY Stage XY Stage
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■ XYステージ外形図(ジャバラ付き) ■ XYステージ外形図(ジャバラ付き)  NST-D10B3/10A3  NST-D20B3/20A3 ※2 ※1 ※2 ※1 ※2 ※3 ※2 ※3 ※3 ※ 1 本ステージの取付方向は、水平上向きとなります。 ※ 1 本ステージの取付方向は、水平上向きとなります。 ※ 2 ケーブルベアの膨らみによる余裕寸法は除きます。 ※3 ※ 2 ケーブルベアの膨らみによる余裕寸法は除きます。 ※ 3 中継ケーブルは、選択したタイプの仕様をご確認ください。 ※ 3 中継ケーブルは、選択したタイプの仕様をご確認ください。         注) ・本図は、θ軸にτDISC モータ D170-40-F(P)を組み合わせた場合の 注) ・本図は、θ軸にτDISC モータ D170-40-F(P)を組み合わせた場合の     イメージ図となります。     イメージ図となります。     寸法及びその他のタイプのτDISC モータを組み合わせた場合の     寸法及びその他のタイプのτDISC モータを組み合わせた場合の     詳細につきましては、お問い合わせください。     詳細につきましては、お問い合わせください。    ・ 本図は、ストロークのセンタ位置にて全ての軸を作図しています。 特記外の公差    ・ 本図は、ストロークのセンタ位置にて全ての軸を作図しています。 特記外の公差    ・ St. は、ストロークを意味します。 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差    ・ St. は、ストロークを意味します。 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差 L≦ 6 ± 0.1 30<L ≦ 120 ± 0.3 315<L ≦ 1000 ± 0.8 L ≦ 6 ± 0.1 30<L ≦ 120 ± 0.3 315<L ≦ 1000 ± 0.8 6<L ≦ 30 ± 0.2 120<L ≦ 315 ± 0.5 1000<L ≦ 2000 ± 1.2 6<L ≦ 30 ± 0.2 120<L ≦ 315 ± 0.5 1000<L ≦ 2000 ± 1.2 ※特記外の穴あけピッチ公差は全て± 0.2 ※特記外の穴あけピッチ公差は全て± 0.2 ◎ XY ステージ寸法表(単位:mm) ※ 2 ※ 2 ※ 2 ◎ XY ステージ寸法表(単位:mm) ※ 2 ※ 2 ※ 2 型式 NST-D Lx1 Lx2 Lx3 Lx4 Lx5 Lx6 Lx7 Lx8 Ly1 Ly2 Ly3 Ly4 Ly5 Ly6 P1 P2 P3 STx1 STx2 STy1 STy2 H0 H1 H2 型式 NST-D Lx1 Lx2 Lx3 Lx4 Lx5 Lx6 Lx7 Lx8 Ly1 Ly2 Ly3 Ly4 Ly5 Ly6 P1 P2 P3 STx1 STx2 STy1 STy2 H0 H1 H2 10B3/10A3APJA 120 550 190 97.5 42 105 5 20B3/20A3APJA 135 680 175 97.5 44 105 55 740 400 30 480 340 40 112 150 50 300 50 65 50 65 132 ± 0.2 228 84 855 500 45 600 340 100 104 200 50 300 100 115 100 115 132 ± 0.2 228 84 19 10B3/10A3APJB 150 580 160 132.5 47 130 30 20B3/20A3APJB 165 710 145 132.5 49 130 30 20 ※2 ※2 XY Stage XY Stage
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■ XYステージ外形図(ジャバラ付き) ■ XYステージ外形図(ジャバラ付き)  NST-D25B4/25A4  NST-D50B5/40A5  NST-D30B4/30A4  NST-D60B5/45A5  NST-D35B4/35A4 ※2 ※2 ※1 ※3 ※1 ※2 ※3 ※3 ※ 1 本ステージの取付方向は、水平上向きとなります。 ※ 1 本ステージの取付方向は、水平上向きとなります。 ※3 ※ 2 ケーブルベアの膨らみによる余裕寸法は除きます。 ※ 2 ケーブルベアの膨らみによる余裕寸法は除きます。 ※ 3 中継ケーブルは、選択したタイプの仕様をご確認ください。 ※ 3 中継ケーブルは、選択したタイプの仕様をご確認ください。         注) ・本図は、θ軸にτDISC モータ D250-40-F(P)を組み合わせた場合のイメージ図となります。 注) ・本図は、θ軸にτDISC モータ D400-40-F(P)を組み合わせた場合の     寸法及びその他のタイプのτDISC モータを組み合わせた場合の詳細につきましては、 特記外の公差     イメージ図となります。 特記外の公差     お問い合わせください。 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差     寸法及びその他のタイプのτDISC モータを組み合わせた場合の 寸法 公差 寸法 公差 寸法 公差    ・ 本図は、ストロークのセンタ位置にて全ての軸を作図しています。 L ≦ 6 ± 0.1 30<L ≦ 120 ± 0.3 315<L ≦ 1000 ± 0.8     詳細につきましては、お問い合わせください。 L ≦ 6 ± 0.1 30<L ≦ 120 ± 0.3 315<L ≦ 1000 ± 0.8    ・ St. は、ストロークを意味します。    ・ 本図は、ストロークのセンタ位置にて全ての軸を作図しています。 6<L ≦ 30 ± 0.2 120<L ≦ 315 ± 0.5 1000<L ≦ 2000 ± 1.2    ・ St. は、ストロークを意味します。 6<L ≦ 30 ± 0.2 120<L ≦ 315 ± 0.5 1000<L ≦ 2000 ± 1.2 ※特記外の穴あけピッチ公差は全て± 0.2 ※特記外の穴あけピッチ公差は全て± 0.2 ◎ XY ステージ寸法表(単位:mm) ※ 2 ※ 2 ※ 2 ◎ XY ステージ寸法表(単位:mm、Nは穴数) ※ 2 ※ 2 型式 NST-D Lx1 Lx2 Lx3 Lx4 Lx5 Lx6 Lx7 Lx8 Ly1 Ly2 Ly3 Ly4 Ly5 Ly6 P1 P2 P3 STx1 STx2 STy1 STy2 H0 H1 H2 型式 NST-D Lx1 Lx2 Lx3 Lx4 Lx5 Lx6 Lx7 Lx8 Ly1 Ly2 Ly3 Ly4 Ly5 N P1 P2 P3 STx1 STx2 STy1 STy2 H0 H1 H2 25B4/25A4APJA 120 750 140 95 105 80 50B5/40A5APJA 140 1170 95 85 105 95 890 600 30 77 750 125 58 250 125 140 125 140 1265 980 50 75 1040 140 8 115 250 265 200 215 25B4/25A4APJB 150 780 110 130 130 55 50B5/40A5APJB 170 1200 65 120 130 70 700 250 660 172 ± 0.2 253 118 30B4/30A4APJA 125 810 135 95 105 110 60B5/45A5APJA 150 1290 85 85 105 125 945 650 35 72 810 440 155 47 275 50 400 150 165 150 165 152 ± 0.2 240 103 1375 1080 60 77 1100 170 10 40 300 315 225 240 30B4/30A4APJB 155 840 105 130 130 85 60B5/45A5APJB 180 1320 55 120 130 100 35B4/35A4APJA 125 860 135 95 105 145 995 700 35 76 880 190 41 300 175 190 175 190 21 35B4/35A4APJB 155 890 105 130 130 120 22 ※2 ※2 XY Stage XY Stage
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■ステージ標準オプション ◎θ軸用ダイレクトドライブモータ外形図 ※標準ステージとして、下記項目をお客様の仕様に合わせ選択または追加することができます。 ・τDISC D シリーズ D170-40-F(P) NMR-FDDBA2D-201A(P) ◎θ軸、ジャバラ、機械精度測定オプションの追加 X ◎エンコーダ種類(分解能)、ケーブル長、ケーブルベアの選択 θ軸オプション X/XY ステージにθ軸として、高精度ダイレクトドライブモータτDISC モータを搭載できます。 各 X/XY ステージに搭載可能なダイレクトドライブモータτDISC シリーズの組合せは、下表の通りとなっております。 Xステージ NST-A XY ステージ NST-D 25B4/25A4** ステージ 10B3/10A3** 50B5/40A5** 全 種 30B4/30A4** 20B3/20A3** 60B5/45A5** 35B4/35A4** D170-40-F(P) D170-40-F(P) D250-40-F(P) D400-40-F(P) 搭載可能 τDISC D シリーズ D170-100-F(P) D170-100-F(P) D250-100-F(P) D400-100-F(P) ダイレクトドライブ モータタイプ τDISC ND-s シリーズ ND180-55-FS(P) ND180-55-FS(P) ND250-55-FS(P) ND400-65-FS(P) ◎θ軸用ダイレクトドライブモータ仕様表 ・τDISC D シリーズ モータタイプ ※ 1 D170-40-F(P) D170-100-F(P) D250-40-F(P) D250-100-F(P) D400-40-F(P) D400-100-F(P) ※ 型式 ※ 1 NMR- FDDBA2D-201A(P) FDFBA2C-701A(P) FEDBA2C-401A(P) FEFBA2C-122A(P) FFDBA2C-801A(P) FFFBA2C-252A(P) X エンコーダタイプ インクリメンタル ※ 定格トルク N・m 7.5 22.5 20.7 62 67 200 最大トルク N・m 22.5 67 62(51.75 ※ 2) 186 134 400 検出パルス ppr 40 万 /100 万 /200 万 /400 万から選択 90 万 /180 万 /360 万 /720 万から選択 定格回転数 5(40 万 /100 万 /200 万 ppr 時) 3(90 万 /180 万 /360 万 ppr 時) 2(90 万 /180 万 /360 万 ppr 時) rps (検出パルスによる) 2.5(400 万 ppr 時) 1.5( 720 万 ppr 時) 1.5(720 万 ppr 時) ※高精度仕様(P)の場合は0.01となります。 定格出力 W 235 700 400 1,200 800 2,500 定格電流 A 2.1 4.8 3.4 8 6.3 14.3 磁極検出方式 磁極センサ検出 質量 kg 5.5 12 9 23 25 61 組合せ VCⅡシリーズ NCR- □ D A□ A2A-401B A □ A2-801B A □ A2-401B A □ A2A-152B A □ A2-801B A □ A2A-222B D170-100-F(P) NMR-FDFBA2C-701A(P) ドライバ VPS シリーズ NCR-DC □ 0A2B-401F □ 0A2B-801F □ 0A2B-401F □ 0A2B-162F □ 0A2B-801F - 主電源仕様 AC200 ~ 230V 50/60Hz 3 相電源(VPS シリーズNCR-DC □ 0A2B-401B は単相) X ・τDISC ND-s シリーズ モータタイプ ※ 1 ND180-55-FS(P) ND250-55-FS(P) ND400-65-FS(P) 型式 ※ 1 NMR- SDMJA2A-531A(P) SDMIA2A-531A(P) SEMJA2A-791A(P) SEMIA2A-791A(P) SFEJA2A-182A(P) SFEIA2A-182A(P) エンコーダタイプ アブソリュート インクリメンタル アブソリュート インクリメンタル アブソリュート インクリメンタル 定格トルク N・m 17 42 150 最大トルク N・m 40 100 300 検出パルス ppr 2,097,152 3,360,000 6,815,744 6,300,000 6,815,744 6,300,000 定格回転数 rps 5 3 2 定格出力 W 534 791 1,884 定格電流 A 5 6 15 磁極検出方式 絶対位置検出 磁極センサ検出 絶対位置検出 磁極センサ検出 絶対位置検出 磁極センサ検出 質量 kg 5.3 10.7 32 組合せ VCⅡシリーズ NCR- □ D A□ A2A-801J A □ A2A-801J A □ A2A-801J A □ A2A-801J A □ A2A-222J A □ A2A-222J ドライバ VPS シリーズ NCR-DC □ 0A2B-801E □ 0A2B-801F □ 0A2B-801E □ 0A2B-801F - - 主電源仕様 AC200 ~ 230V 50/60Hz 3 相電源 ※ 1 ( )内は、ラジアル /アキシャル振れ 10μm以下の高精度機械加工仕様のモータタイプ及び型式となります。 ※ 2 組合せドライバが、VPS シリーズの場合の値となります。 ※ ※ τDISC モータを追加することにより、各軸の可動部質量が変更となるので、ご注意ください。 ※ τDISC モータの外形は、P.24 ~ P.28 θ軸用τDISC モータ外形図の項をご参照ください。 ※ ※ τDISC モータの詳細仕様は、τDISC カタログをご参照ください。 ※高精度仕様(P)の場合は0.01となります。 23 24 ー ー τリニアステ ジオプション τリニアステ ジオプション
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◎θ軸用ダイレクトドライブモータ外形図 ◎θ軸用ダイレクトドライブモータ外形図 ・τDISC D シリーズ ・τDISC D シリーズ D250-40-F(P) NMR-FEDBA2C-401A(P) D400-40-F(P) NMR-FFDBA2C-801A(P) X X X ※ X ※ ※ ※ ※高精度仕様(P)の場合は0.01となります。 ※高精度仕様(P)の場合は0.01となります。 D250-100-F(P) NMR-FEFBA2C-122A(P) D400-100-F(P) NMR-FFFBA2C-252A(P) X X X ※ ※ X ※ ※ ※高精度仕様(P)の場合は0.01となります。 ※高精度仕様(P)の場合は0.01となります。 25 26 ー ー τリニアステ ジオプション τリニアステ ジオプション
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◎θ軸用ダイレクトドライブモータ外形図 ◎θ軸用ダイレクトドライブモータ外形図 ・τDISC ND-s シリーズ ・τDISC ND-s シリーズ ND180-55-FS(P) NMR-SDMJA2A-531A(P) ND400-65-FS(P) NMR-SFEJA2A-182A(P) NMR-SDMIA2A-531A(P) NMR-SFEIA2A-182A(P) E E Y Y 注 1 注 2 注 1 注 1:インクリメンタルタイプの場合はケーブル長 500 +100 0 となります。 注 2:インクリメンタルタイプの場合のエンコーダケーブル図となります。 注 1 注 1:インクリメンタルタイプの場合のエンコーダケーブル図となります。 ND250-55-FS(P) NMR-SEMJA2A-791A(P) NMR-SEMIA2A-791A(P) ジャバラオプション ジャバラオプションを追加することにより、ステージを異物から保護することができます。 ジャバラオプションによる保護の程度は、「非磁性体のφ 5mm以上の異物の進入からの保護」となります。 ジャバラオプションを追加した際の外形は、【X Stage】は P.8、【XY Stage】は P.19 ~ P.22 のジャバラ付き外形図をご参照下さい。 ジャバラ付きのステージでは、リニアエンコーダのタイプがアブソリュートエンコーダとなります。 XYステージ用には、ケーブルベアのサイズにより、2種類のジャバラ対応製品を用意しております。 E 注意:①ジャバラは、機構上完全な保護構造ではありません。定期的にジャバラを開けて内部の清掃を行ってください。    ②標準ステージを購入されたあとに、ジャバラを追加で取り付けることは出来ませんのでご注意ください。    ③ジャバラ付きの際の許容最大速度は、1.6m/s となります。また、使用方向は水平上向きのみとなります。 機械精度オプション 機械精度オプションをご指定いただくことにより、各精度保証が可能になります。 Y 各精度の値は【X Stage】 ステージ機械仕様の項(P.5 ~ P.6)及び、【XY Stage】 ステージ機械仕様の項(P.11 ~ P.12)をご参照ください。 (機械精度オプションご指定なき場合は、ステージ精度の値はこの限りではありませんので、ご注意ください。)   ●位置決め精度オプション   ●姿勢精度オプション(ピッチ / ヨー) 注 1   ●速度変動率オプション:ご使用条件(速度、負荷等)により都度設定となりますので、専用のご対応となります。 ※さらに高精度の製品、またはその他の精度をご希望される場合は、弊社営業員へお問い合わせください。 注 1:インクリメンタルタイプの場合のエンコーダケーブル図となります。 エンコーダ種類(分解能)の選択 エンコーダ種類、分解能の選択ができます。 【X Stage】のエンコーダ種類、分解能の詳細は P.5 ~ P.6、【XY Stage】のエンコーダ種類、分解能の詳細は P.11 ~ P.12 のステージ機械 27 仕様の項をご参照ください。 28 ー ー τリニアステ ジオプション τリニアステ ジオプション
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ケーブルベアの選択 お客様での追加配線を考慮した中型、大型の選択、または XYステージでの上部突出部をなくしたローシルエット型の選択が可能です。 お客様にてケーブルを追加配線する場合は、ケーブルベアの曲げR、容積率にご注意願います。 ケーブルとの容積率は、50%以内を推奨します。 【XY/XYθステージ】 ◎Xステージ/XYステージの場合 ローシルエット型(ジャバラ無しのみ対応・・・タイプG)   タイプA(中型)では、追加配線としてφ10×6本、タイプB(大型)では、φ10×10本までを目安としてください テーブル上面より高い位置にステージを構成する部品が突出していないため、 ◎Xθステージ/XYθステージの場合   タイプA(中型)では、追加配線としてφ10×4本、タイプB(大型)では、φ10×8本までを目安としてください。 ステージ上部を有効に使用することができます。 各ケーブルベアの曲げRは55mmとなります。 ≪ローシルエット型ケーブルベアタイプ XYθステージイメージ図≫ ステージに組み込んだ場合のサイズは、各外形図をご参照ください。 Y軸ケーブルベア部 θ軸部 【X/Xθステージ】 Y軸部 X軸 ケーブル 中型(タイプC)・大型(タイプD)の2種類から選択となります。 X軸部 ベア部 中型(タイプC) 大型(タイプD) 詳細寸法は、P.18~P.20をご参照ください。 IGUS製 型式2500.05.055型 低発塵仕様 IGUS製 型式2500.09.055型 低発塵仕様 ≪中型・大型ケーブルベアタイプ XYθステージイメージ図≫ (曲げ半径R=55mm、 容積は下図参照) (曲げ半径R=55mm、 容積は下図参照) Y軸ケーブルベア部 57 89 (1 5) (22) (1 5) (15) (54) (15) θ軸部 Y軸部 X軸 ケーブル ベア部 X軸部 詳細寸法は、P.15~P.17をご参照ください。 中型ケーブルベア断面(タイプC) 大型ケーブルベア断面(タイプD) ①該当ステージ型式 NST-D10B3/10A3APNA NST-D20B3/20A3APNA NST-D25B4/25A4APNA NST-D30B4/30A4APNA NST-D35B4/35A4APNA 【XY/XYθステージ】 X軸 : IGUS製 型式B15.07.038型 低発塵仕様 Y軸 : IGUS製 型式B17.03.048型 低発塵仕様 ジャバラ無し:中型(タイプA)・大型(タイプB)・ローシルエット型(タイプG)の3種類から選択となります。 (曲げ半径R=38mm、 容積は下図参照) (曲げ半径R=48mm、 容積は下図参照) ジャバラ付き:中型(タイプE)・大型(タイプF)の2種類から選択となります。 曲げ半径R 32 中型(ジャバラ無し・・・タイプA、ジャバラ付き・・・タイプE) 15 15 100 X軸 : IGUS製 型式2500.07.055型 低発塵仕様 X軸 : IGUS製 型式2500.05.055型 低発塵仕様 (3 1) (35) (3 1) (曲げ半径R=55mm、 容積は下図参照) (曲げ半径R=55mm、 容積は下図参照) 77 57 (15) (42) (15) (1 5) (22) (1 5) X軸ローシルエット型ケーブルベア断面(タイプG) Y軸ローシルエット型ケーブルベア断面(タイプG) ②該当ステージ型式 NST-D50B5/40A5APNA NST-D60B5/45A5PNA X軸中型ケーブルベア断面(タイプA/E) Y軸中型ケーブルベア断面(タイプA/E) X軸 : IGUS製 型式2500.07.055型 低発塵仕様 Y軸 : IGUS製 型式B17.03.048型 低発塵仕様 (曲げ半径R=55mm、 容積は下図参照) (曲げ半径R=48mm、 容積は下図参照) 曲げ半径R 大型(ジャバラ無し・・・タイプB、ジャバラ付き・・・タイプF) 32 77 15 15 X軸 : IGUS製 型式2500.10.055型 低発塵仕様 Y軸 : IGUS製 型式2500.09.055型 低発塵仕様 (15) (42) (15) (曲げ半径R=55mm、 容積は下図参照) (曲げ半径R=55mm、 容積は下図参照) 103 89 (1 5) (68) (1 5) (15) (54) (15) X軸ローシルエット型ケーブルベア断面(タイプG) Y軸ローシルエット型ケーブルベア断面(タイプG) ※ 高さを低くする為に、ケーブルベアの屈曲半径が小さくなっており、またケーブルベアを横置きで使用する為、他のタイプより 発塵の量が多くなりますので、ご使用の際は、ご注意ください。 X軸大型ケーブルベア断面(タイプB/F) Y軸大型ケーブルベア断面(タイプB/F) ※ 縦仕切りは、横仕切りをバランスよく保持可能な範囲内で任意の位置に移動することができます。 ※ ステージに組み込んだ場合のサイズは、各X/XYステージ外形図をご参照ください。 ※ お客様にてケーブルを追加配線する場合は、ケーブルベアの曲げR、容積率に注意してください。 29 ※ 縦仕切りは、横仕切りをバランスよく保持可能な範囲内で任意の位置に移動することができます。 30 11.25 11.25 25 11.25 11.25 曲げ半径R 25 11.25 11.25 曲げ半径R 25 曲げ半径R 11.25 11.25 25 11.25 11.25 曲げ半径R 25 曲げ半径R 11.25 11.25 25 曲げ半径R 11.25 11.25 25 曲げ半径R 17.5 曲げ半径R 38 38 (9) (16) (9) (9) (16) (9) ー ー τリニアステ ジオプション τリニアステ ジオプション
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ケーブルの選択 X/XY(θ)ステージ各軸のエンコーダ、モータ、±OT、ZLS ケーブルの中継方法及び長さの選択ができます。 中継ケーブル一体タイプ 中継ケーブル分割タイプ ●イメージ図 ●イメージ図 ケーブル長選択 ステージ内中継ケーブル ケーブル長選択 ※2 エンコーダ エンコーダ ⑦:エンコーダケーブル ①:エンコーダケーブル ⑥ 磁極センサ 磁極センサ ②:モータケーブル ⑧ ⑨:モータケーブル コイルユニット コイルユニット サーボドライバ サーボドライバ ③:+OTケーブル ⑩ +OTセンサ +OTセンサ ⑪:±OT・ZLS ケーブル ④:-OTケーブル -OTセンサ -OTセンサ ZLS ⑤:ZLSケーブル ※1 ZLS ケーブルベア部 ケーブル中継部 ※1 ※1:1軸 Xステージの場合は、ケーブルベアを通さずにステージベース部より直接、配線が引き出されます。 ケーブルベア部 ※2:ステージ内中継ケーブルのケーブル長は、ステージベース端面より、1000mmとなります。 リニアステージ本体部 ※1:1軸 Xステージの場合は、ケーブルベアを通さずにステージベース部より直接、配線が引き出されます。 リニアステージ本体部 ●特徴 ●特徴 ・配線経路に中継部が無い為、ケーブルの収まりが良くなります。 ・ケーブル交換時は、該当する配線のみの交換となる為、交換作業が容易になります。 ・ケーブル交換時は、全配線が交換となります。 ・配線経路に中継コネクタが存在する為、中継部で多少のスペースが必要となります。 ・選択されたケーブル長でステージ内を配線する為、ステージ末端からの仕上がりの長さは、ご注文長さからステージ内の ・選択されたケーブル長の中継ケーブルをステージ末端より接続する為、ステージ末端からのケーブル長の正確な指定が可能です。  配線経路長を差し引いた長さとなります。おおよその長さは設定できますので、弊社営業員へご相談ください。 ●各ケーブルの選択 ●各ケーブルの選択 ①:エンコーダケーブル ②:モーターケーブル ⑥⑦:エンコーダケーブル ⑧⑨:モータケーブル エンコーダ種類 エンコーダ ご手配 ケーブル長 ケーブル型式 組合せドライバ容量 シールド有無 モータケーブル長 ご手配 エンコーダ種類 エンコーダ ご手配 組合せドライバ容量 モータケーブル長 ご手配 リニア/θ軸 ケーブル型式 ケーブル長 ケーブル型式 リニア/θ軸 ケーブル型式 INC NCR-XBGBA シールド 3・5・10・15 NCR-XBBBA INC NCR-XBGMA NCR-XBG5A 3・5・10・15 NCR-XBEHA NCR-XBEAA テープスケール 3・5・10m -□□□ 無し 20・30 m -□□□ テープスケール 3・5・10m -050 + -□□□ 800W以下 -050 + -□□□ (約9.5mm) (約6.5mm) (約9.5mm) (約9.5mm) 20・30m (約7mm) (約7mm) 800W以下 INC NCR-XBCZA シールド 3・5・10・15 NCR-XBBCA INC NCR-XBG2A NCR-XBG5A NCR-XBERA NCR-XBEAA ガラススケール 3・5・10m -□□□ 付き 20・30 m -□□□ ガラススケール 3・5・10m -050 + -□□□ 1.5/2.2kW 3・5・10・15 -050 + -□□□ ※1 (約9.5mm) (約7mm) ※1 (約9.5mm) (約9.5mm) 20・30m (約7mm) (約7mm) 3・5・10・15 NCR-XBCPA シールド 3・5・10・15 NCR-XBBEA 3・5・10・15 NCR-XBG3A NCR-XBCPA シールド付き ステージ内中継ケーブル ABS -□□□ 無し -□□□ ABS -050 + -□□□ 20・30m (約8.5mm) 20・30 m (約6.5mm) 20・30m (約8.5mm) (約8.5mm) 1.5/2.2kW NCR-XBBFA θ軸 3・5 NCR-XBCNA シールド 3・5・10・15 -□□□ θ軸 NCR-XBG4A NCR-XBG5A (τDISC -□□□ 付き 20・30 m (約7mm) (τDISC 3・5・10m -050 + -□□□ D/ND-s(INC )) 10・15m (約9.5mm) D/ND-s(INC)) (約9.5mm) (約9.5mm) θ軸 NCR-XBGGA 3・5・10 NCR-XBGNA NCR-XBCPA (τDISC ND-s(A BS)) 3・5・10m -□□□ θ軸 (τDISC ND-s(A BS)) -050 + -□□□ (約8.5mm) 15・20m (約9.5mm) (約9.5mm) ステージ内中継ケーブル ③④:±OTケーブル ※2 ⑤:ZLSケーブル ※2 ※3 ⑩⑪:±OT・ZLSケーブル ※2 ※3 ジャバラ有無 ±OT ご手配 ZLS ご手配 ケーブル長 ケーブル型式 ケーブル長 ケーブル型式 ジャバラ有無 ±OT・ZLS ご手配 ケーブル長 ケーブル型式 +OT NCR-XBA6A NCR-XBA8A 3・5・10・15 -□□□ 3・5・10・15 -□□□ NCR-XBA9A 20・30m (約5.5mm) 20・30 m (約5.5 mm) NCR-XBAAA ※  記載のケーブル長以外も1m単位で対応可能です。ジャバラ ジャバラ 3・5・10m -050    担当営業にご相談ください。 無し + -□□□ -OT NCR-XBA7A 無し (約5mm×3本 でコネクタまとめ) (約7mm) ※  ケーブル型式□□□内は、ケーブル長を表します。EX) 5m ⇒ 0503・5・10・15 -□□□ ※  記載のケーブル長以外も1m単位で対応可能です。担当営業にご相談ください。 20・30m (約5.5mm) ※  各ケーブルは、耐屈曲性となります。※  ケーブル型式□□□内は、ケーブル長を表します。EX) 5m ⇒ 050 NCR-XBAPA NCR-XBAAA ※  ケーブル型式下欄の( )内数値は、仕上がり外径です。 +OT NCR-XBAGA ※  各ケーブルは、耐屈曲性となります。 ジャバラ 付き 3・5・10m -050 (約5mm×3本 + -□□□ ※1 INCガラススケールは、Xステージのみの対応となります。3・5・10・15 -□□□ ※  ケーブル型式下欄の( )内数値は仕上がり外径です。 20・30m (約5.5mm) でコネクタまとめ) (約7mm) ※2 θ軸には、±OT、ZLSセンサは使用しません。 ジャバラ ※1 INCガラススケールは、Xステージのみの対応となります。 付き ※2 θ軸には、±OT、ZLSセンサは使用しません。 ステージ内中継ケーブル ※3 ZLSケーブルは、ジャバラ無しステージのみの対応となります。 -OT NCR-XBAHA 31 3・5・10・15 -□□□ ※3 ZLSケーブルは、ジャバラ無しステージのみの対応となります。 32 20・30m (約5.5mm) ー ー τリニアステ ジオプション τリニアステ ジオプション
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■位位置置決め決精め度精校正度シ校ス正テムシステム(オプション) ■位置決め精度校正システム(オプション) ◎校正システム対象製品 τリニアステージをお客様装置に設置し、負荷積載後の測定点にて、 日機電装製τリニアステージ X ステージ NST-A シリーズ 位置決め精度を保証するシステムです。(オプション) XYステージ NST-D シリーズ ※ Xθ及び XYθステージにつきましては、別途営業員にご相談ください。 ※ステージ出荷時に位置決め補正オプションを適用していない製品も対応可能です。 ◎システム内容  但し、繰返し位置決め精度を出荷時に規定しているステージのみとなります。  ①日機電装τリニアステージをお客様の装置に組み込んだ状態で、レーザー測定器等により   位置精度測定を実施し、その測定データをもとに位置決め補正データの作成を行います。 ◎測定環境温度 環境温度 22℃± 2℃範囲内  ②補正データをサーボドライバに格納し、位置決めの校正を行います。 測定時の温度変化 ⊿ T℃以下(温度変化量はお客様の設備の温調能力に依存します) ステージ自体の温度は、設置環境の温度に馴染んだ状態とします。 ◎測定風景イメージ ◎測定可能長 測定可能なストロークは、MAX 4mまでとなります。 ※測定長に関しては、分解能、測定ポイント数等が関わる為、詳細はご相談ください。 ◎位置決め精度保証値 保証値算定 = K1+(⊿ T× 7L / 1000)× K2+K3[μm] L :測定ストローク長 [mm] K1 :リニアエンコーダ分解能が 0.1、0.05μmの場合 ・・・ 1 リニアエンコーダ分解能が 1、0.5μmの場合 ・・・ 2 リニアエンコーダ分解能が 5μmの場合 ・・・10 ⊿ T :測定時の温度変化 [℃ ] K2 :リニアエンコーダ原点位置が中央の場合 ・・・ 1 ◎位置決め精度測定データ例 リニアエンコーダ原点位置が中央以外の場合 ・・・ 2 K3 :リニアエンコーダがインクリメンタルタイプの場合 ・・・ 0 校正前位置決め実測データ 校正後位置決め実測データ リニアエンコーダがアブソリュートタイプの場合 ・・・ 2 10 10 ※エンコーダ原点位置とは、スケール上の原点マーク位置のことです。 ※位置決め精度は、測定点においての精度とします。 8.829 5 5  測定点間の任意位置の位置決め精度は、直線補間を行う為の参考値となります。位 位 置 置  測定点以外での精度が必要など、他の測定間隔をご希望の場合は、営業員までご相談ください。 決 0 決 0 ※測定点での再現性がなく、繰返し位置決め精度が悪い場合は、上記算定値での精度保証が出来ない場合があります。 め め 精 精  その際は、上記位置決め精度+繰返し位置決め精度の合算値が保証精度となります。 度 -5 度 -5 ( ( μm μm -10 -10 ≪保証値算定事例≫ -13.105 L :測定ストローク長 ・・・ 600mm -15 -15 -300 -100 100 300 -300 -100 100 300 K1 :リニアエンコーダ分解能 0.1μm ・・・ 1 ←ストローク(mm)→ ←ストローク(mm)→ ⊿ T :測定時の温度変化 ・・・ 0.5℃ ※保証値の算定は、次ページを 1 K2 :リニアエンコーダ原点位置 中央 ・・・ 1  ご参照ください。 K3 :リニアエンコーダ インクリメンタルタイプ ・・・ 0 0.5 0.297 上記条件での保証値 =K1+(⊿ T× 7L/1000)× K2+K3 0  =1+(0.5 × 7 × 600/1000)× 1+0 -0.236  =3.1[μm ] -0.5 33 34 ← → ← → ー ー τリニアステ ジオプション ) ) τリニアステ ジオプション
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■τ Linear Stage 測定方法 平行度 B ◎精度測定方法 テーブル上に固定したテストインジケータの接触子をステージ設置定盤に直接当て、テーブルを有効ストローク長移動させたときの最大値で  XY ステージ等の多軸ステージの測定については、測定対象軸以外の軸をストロークのセンタ位置に固定し、 表します。  測定対象軸のみを動作させ測定します。測定環境温度は、22℃± 0.5℃で測定します。 測定器:精密定盤、テストインジケータ 平行度B測定図 真直度 A テーブル上にストレートエッジを置き、ステージ設置定盤に固定したテストインジケータの接触子をストレートエッジに当て、値を記録します。 テーブルを有効ストローク長移動させたときの両端の値を基準線として直線で結んだ時、測定値すべてが基準線に対して平行な 2線で囲まれる領域に入り、 且つ平行線の間隔が最小となる間隔の値で表します。 測定項目:水平、垂直方向 真直度A測定図 測定器 :ストレートエッジ、テストインジケータ Certificate NIKKI DENSO 真直度測定 テストインジケータ ストレートエッジ 繰返し位置決め精度 真直度 テーブル 任意の 1点に同じ向きからの位置決めを 7回繰り返して停止位置を測定し、読みの最大差の 1/2 を求めます。この測定を原則として有効ストローク長 移動距離の中央及びほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうちの最大のものを測定値とします。反射レンズは、テーブル上の中央、分光レンズは 設置定盤上に定置し、測定を行います。 測定値 =± 1/2{max(P1,P2・・・P6,P7)-min(P1,P2・・・P6,P7)} Certificate NIKKI DENSO 測定器:レーザ測長器 精密定盤 繰返し位置決め精度測定図 位置 分光レンズ 反射レンズ 真直度 B 定盤上にストレートエッジを置き、テーブル上に固定したテストインジケータの接触子をストレートエッジに当て、値を記録します。 テーブルを有効ストローク長移動させたときの両端の値を基準線として直線で結んだとき、測定値すべてが基準線に対して平行な 2線で囲まれる領域に入り、 且つ平行線の間隔が最小となる間隔の値で表します。 測定項目:水平、垂直方向 測定器:ストレートエッジ、テストインジケータ 真直度測定 真直度B測定図 繰返し位置決め測定パターン 真直度 P1 P2 P3 ・・・ Certificate NIKKI DENSO P7 位置 位置決め精度 直角度 A 有効ストローク内で一定方向に順次位置決めを行い、各々の位置で測定値に対する指令値との差を求めたときの最大差を絶対値で表します。 テーブル上に直角マスタをどちらかストロークの短い軸を基準に固定し、基準の移動軸と直角にテストインジケータを当て、その軸の移動距離内の読みの 反射レンズは、テーブル上の中央、分光レンズは設置定盤上に定置し、測定を行います。 最大差を測定値とします。 測定器:レーザ測長器  測定図は繰返し位置決め精度測定と同様となります。 直角マスタのサイズの関係上、測定距離は、150mm以内となります。これ以上の測定の場合は 150mmでの測定値を、目的とする軸のストローク長に比例 計算で換算した値を測定値とします。 位置決め精度測定 測定器:直角マスタ、テストインジケータ 直角度A測定図 直角マスタ Certificate NIKKI DENSO 35 指令位置 36 変位 変位 誤差 絶対値|⊿L1| 絶対値|⊿L2| その他 その他
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■ X/XY ステージの原点、原点減速センサ、オーバートラベルセンサについて ロストモーション 原点位置の微調整は、組合せドライバ VCⅡシリーズをご使用の場合は、原点セット距離(オフセット距離)を設定し、 まず一つの位置について、正の向きに位置決めを行い、その位置を測定します。 次に同じ正の向きに同じ位置決め指令を与えて移動させ、その位置から負の向きに同一の指令を与えて位置決めを行い、その位置を測定します。 VPS シリーズをご使用の場合は、上位コントローラにて、原点のオフセット距離を設定してください。 さらに負の向きに位置決め指令を与えて移動させ、その位置から正の向きに同一の指令を与えて移動させて正の向きの位置決めを行い、その位置を測定します。 以下この動作および測定を繰返し、正及び負の向きでの、それぞれ 7回の位置決めの停止位置の平均値を求めます。 インクリメンタル(INC)タイプのエンコーダをご指定の場合 この測定を有効ストローク長移動距離の中央及びほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうちの最大のものをロストモーションの測定値とします。 反射レンズは、テーブル上の中央、分光レンズは設置定盤上に定置し、測定を行います。 ①原点復帰動作について 測定値 =| 1/7(P+1,P+2・・・P+6,P+7)- 1/7(P-1,P-2・・・P-6,P-7)|max   原点復帰動作は「OT戻り原点復帰方式」を推奨します。 測定器:レーザ測長器  測定図は繰返し位置決め精度測定と同様となります。   組合せドライバが VCⅡ装置の場合、OT戻り原点復帰動作機能を内蔵しております。 ロストモーション測定パターン   上位のコントローラ等で原点復帰動作を指令される場合も、同様にOT戻り原点復帰動作をすることを推奨します。 P+1 ②原点位置について P 1-1   XY軸それぞれの原点位置は、各有効ストロークのほぼ中央に原点マーカを機械的に設置しています。 P+2   原点位置の微調整について、VCⅡ装置でOT戻り原点復帰動作機能をご使用になる場合、VCⅡ装置に原点セット距離パラメータ P-2   (原点のオフセット距離)を設定し、微調整を行ってください。上位のコントローラ等で原点復帰動作を指令される場合は、上位で原点の P+3   オフセット距離を設定してください。 P-3   繰返し原点位置決め精度は、一方向からの原点復帰に限り、X/XY ステージ機械仕様に記した、繰返し位置決め精度と同等となります。 ・ ③原点減速センサ、オーバートラベルセンサ ・・   ステージ各軸には、それぞれ原点減速(ZLS)センサ、正逆側オーバートラベル(±OT)センサを設置し、配線されています。    センサ型式:PM-Y54(入光時 ON / 遮光時 ON 2 出力選択式) SUNX 社製 P+7   ※±OT:入光時ON、ZLS:遮光時ONに選択され、配線しています。 P-7   それぞれのセンサは、センサレール上の以下に示すおおよその位置に固定され、固定ボルトを緩めることによって、任意の位置にセンサを   移動し位置調整することが可能です。 姿勢精度    ± OT:有効ストロークの両端からプラス 5mm の位置    ZLS:原点位置からマイナス 30mm 以上の位置 有効ストローク内で一定方向に順次位置決めを行い、各々の位置での値を測定し、求められた値の最大差で表します。   ※ ZLS センサの位置は、FORWARD原点復帰が出来るように調整されています。 反射レンズは、テーブル上の中央、分光レンズは設置定盤上に定置し、測定を行います。 測定項目:ピッチ、ヨー メカストッパ間ストローク/2 メカストッパ間ストローク/2 測定器:レーザ測長器  測定図は繰返し位置決め精度測定と同様となります。 (5) 有効ストローク/2 有効ストローク/2 (5) 姿勢精度測定 (30以上) 原点 -OT ZLS +OT アブソリュート(ABS)タイプのエンコーダをご指定の場合 指令位置 ①原点位置について   XY軸それぞれの原点位置は、各有効ストロークのほぼ中央にアブソリュート原点位置を電気的に設置しています。 速度変動率   繰返し原点位置決め精度は、一方向からの原点復帰に限り、X/XY ステージ機械仕様に記した、繰返し位置決め精度と同等となります。 任意の指令速度で動作させたときに、その移動距離を任意のサンプリング周期で測定します。測定されたサンプリング 1区間の移動距離とサンプリング周期 ②原点減速センサ、オーバートラベルセンサ より微小区間での速度を求めます。求められた一定速度区間の速度の最大差を指令速度値V0で除算し求められた値の1/2に±をつけて百分率表示で表します。   アブソリュートタイプのエンコーダの為、原点減速(ZLS)センサは不要です。正逆側オーバートラベル(±OT)センサは設置し、配線されています。 反射レンズは、テーブル上の中央、分光レンズは設置定盤上に定置し、測定を行います。    センサ型式:磁気式スイッチ(入光時 ON 出力方式) 測定値 =±{(Vmax-Vmin)/V0/2 × 100}%   ※±OT:入光時ON、ZLS:遮光時ONに選択され、配線しています。 測定器:レーザ測長器  測定図は繰返し位置決め精度測定と同様となります。   それぞれのセンサは、センサレール上の以下に示すおおよその位置に固定され、固定ボルトを緩めることによって、任意の位置にセンサを移動し   位置調整することが可能です。 速度変動率測定    ± OT:有効ストロークの両端からプラス 5mm の位置 指令速度 (VO) (Vmax-Vmin) 37 時間 38 変位 速度 姿勢精度 P- P その他 その他