アルミの軽さ、鉄の剛性「金属セラミックス複合材料」

MMC（金属セラミックス複合材料） Metal Matrix Composites 当社は、従来の金属材料やセラミックス材料にない優れた特性を持つ金属とセラミックスの複合材料 MMCを生産しております。アルミの軽さで鉄の剛性を持ち、低熱膨張、高熱伝導で放熱性に優れ た材料です。大型部品や複雑形状にも対応が可能です。装置性能をさらに向上させたい、また形状 やスペックでお困りの方に、優れた物性を持つMMCがお役に立ちます。 SAシリーズ（鋳造） SAシリーズ（浸透） SSシリーズ（浸透） SA301 SA701 SS501 SiC 30%, アルミ 70% SiC 70%, アルミ 30% SiC 50%, Si 50% MMC SA401 SA001 SS701 SiC 40%, アルミ 60% Si 75%, アルミ 25% SiC 70%, Si 30% SS702 SiC 75%, Si 25%

SA301 SA401 SA301, SA401 は、 特　長 アルミニウム合金の中に SiCセラミックス粒子を ・ 軽量 ・ 高剛性 30または40vol%含有 ・ 低熱膨張 ・ 高熱伝導 させた複合材料です。 ・ 振動減衰性 ・ 大型、複雑形状可 砂型鋳造、ダイカストに よる鋳造法で製造しま 用　途 す。 ● 液晶製造装置、検査装置 ● 工作機械 アルミと同等の軽さで鋳鉄以上のヤング率を持ち、量産小物、大型 ● 半導体製造装置、検査装置 ● ロボット 製品、複雑形状にも対応可能です。 ● マウンター、ボンダー ● 各種放熱板 SA701 SA701は、SiC多孔体 特　長 （70vol%）にアルミニウ ムを含浸させた複合材料 ・ 軽量 ・ 高剛性 です。アルミと同等の軽 ・ 低熱膨張 ・ 高熱伝導 さでステンレスの1.3倍 ・ 振動減衰性 ・ 対セラミックス大型化 のヤング率を持ち、熱特 ・ 対セラミックス破壊靭性UP 性にも優れております。 用　途 セラミックスよりも大型化が容易で、金属を含浸することにより、破 壊靭性が上がり、割れにくくなっております。 ● 液晶製造装置、検査装置 ● 各種放熱板 ● 半導体製造装置、検査装置 ● マウンター、ボンダー ● 耐摩耗部品（粉砕機ライナー、他） SA001 SA001は、Si多孔体（75vol%）にアルミニウムを含浸させた複合 特　長 材料です。アルミ材よりも軽く、鋳鉄同等の剛性を有し、かつセラミッ クス材に近い低熱膨張性を有します。 ・ 軽量　　・ 高剛性　　・ 低熱膨張 用　途 ● 静電チャック台座　　● プローブカード部品 SS501 SS701 SS702 SS501、SS701、 特　長 SS702は、SiC多 孔 体 （50～ 75vol%）に金属 ・ 軽量 ・ 高剛性 シリコンを含浸させた複合 ・ 低熱膨張 ・ 高熱伝導 材料です。SiC比率を変 えることでニーズにマッチ 用　途 した物性を実現しました。 ● 液晶製造装置、検査装置 ● 各種放熱板 表面に欠陥がなく、半導体・液晶の製造装置や検査装置に最適です。 ● 半導体製造装置、検査装置 ● 光学系部品

特長（１） 軽量・高剛性 ・密　　度 アルミ並み 2.4 ～ 3.0 g/cm3 (※SA001はアルミより軽い） ・ヤング率 鋳鉄～ステンレス以上 120～ 350 GPa [軽い] ヤング率 （GPa） 400 MMC MMC 鉄 300 SS (SiC/Si) SUS 200 SA (SiC/Al) [たわまない] (Si/Al) Ti FC 100 Al Mg MMC アルミニウム 2 4 6 8 密度 （g/cm3） 特長（２） 優れた熱特性 ・熱膨張係数 3～ 14 ×10-6/K ・熱 伝 導 率 120～ 190 W/m・K 熱伝導率 （W/m・K） [熱伝導が良い] 400 CU 熱源 熱源 300 SA MMC SUS、鋳鉄 SS (SiC/Al) (SiC/Si) (Si/Al) 200 Al [熱膨張が小さい] 熱源 熱源 100 MMC FC MMC 銅・アルミ SUS 5 10 15 20 熱膨張係数 （10-6/K）

MMC物性比較表 MMC(金属セラミックス複合材料） アルミニウム 鋳鉄 ステンレス セラミックス 鋳造法 浸透法 AC4A 5052 SUS304 99.5% FC250 SiC SA301 SA401 SA701 SA001 SS501 SS701 SS702 T6 H34 Al2O3 セラミックス種類 SiC Si SiC Al2O3 SiC Ceramics － （vol%） 30 40 70 75 50 70 75 金属種類 Al Si Al Al Fe Fe Metal － （vol%） 70 60 30 25 50 30 25 密　度 Density JIS R1634 2.8 2.9 3.0 2.4 2.8 3.0 3.0 2.7 2.7 7.3 7.9 3.9 3.1 （g/cm3） 曲げ強度 Flexural Strength JIS R1601 --- --- 340 150 300 300 420 --- --- --- --- 440 490 （MPa） ヤング率 Young’s Modulus JIS R1602 125 150 260 120 280 330 350 75 70 115 210 370 430 （GPa） ポアソン比 Poisson’s Ratio JIS R1602 0.29 0.29 0.20 0.29 0.20 0.20 0.20 0.33 0.34 0.28 0.33 0.25 0.16 (－) 破壊靭性 Fracture Toughness JIS R1607 15 14 8 3 3 3 3 --- --- --- --- 3 3 （MPa・m1/2） 熱膨張係数 Thermal Expansion JIS R1618 14 13 7 9 3 3 3 21.0 23.4 9.8 17.3 7.7 3.1 （×10-6/K） 熱伝導率 Thermal Conductivity JIS R1611 150 155 160 120 175 190 170 138 140 50 15 33 140 （W/m・K） 比　熱 Specific Heat － 0.8 0.9 0.6 0.9 0.8 0.7 0.8 0.9 --- 0.5 0.6 --- --- （J/g・K） 体積固有抵抗 Volume Resistivity JIS C2141 --- --- 1×10-5 4×10-5 2×10-2 2×10-2 2×10-2 3×10-6 --- 7×10-5 7×10-5 >1014 104 （Ω・cm） HB 90 68 ＜18７ 硬　度 Hardness HRB 90 93 110 35 83 HRC 35 MMC材の熱膨張係数はRT～200°Cでの測定データです。 上記特性値は保証値ではありません。特性値は改良のため予告なく変更することがございます。 SA301顕微鏡写真 SA701顕微鏡写真 SS702顕微鏡写真 100μm 200μm 100μm 色の濃い部分 … SiC　　　　色の明るい部分 … アルミニウム合金または金属シリコン URL https://www.japan-fc.co.jp （改訂：2022 年 7月）