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アルミの軽さ、鉄の剛性「金属セラミックス複合材料」

製品カタログ

アルミの軽さで鉄の剛性を持ち、低熱膨張、高熱伝導を特長とする新素材MMC

当社独自の技術で生産される「MMC(Metal Matrix Composites)」は金属とセラミックスを複合した新素材です。
アルミの軽さで鉄の剛性を持ち、振動減衰性も優れた材料です。
既存材料では困難であった装置性能向上やお困り事解決にMMCがお役に立ちます。
大型部品や複雑形状にも対応が可能です。詳しくはカタログをダウンロードください。

当社は、セラミックスや複合材料を、原料調合から仕上加工まで社内一貫生産するセラミックスの総合メーカーです。豊富なラインナップより最適なソリューションをご提案致します。
お気軽にご相談ください。ご連絡をお待ちしております。

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このカタログについて

ドキュメント名 アルミの軽さ、鉄の剛性「金属セラミックス複合材料」
ドキュメント種別 製品カタログ
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このカタログの内容

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MMC(金属セラミックス複合材料) MMC物性比較表 Metal Matrix Composites MMC(金属セラミックス複合材料) アルミニウム 鋳鉄 ステンレス セラミックス 鋳造法 浸透法 AC4A 5052 SUS304 99.5%FC250 SiC SA301 SA401 SA701 SA001 SS501 SS701 SS702 T6 H34 Al2O3 当社は、従来の金属材料やセラミックス材料にない優れた特性を持つ金属とセラミックスの複合材料 セラミックス種類 SiC Si SiC Al2O3 SiC Ceramics (vol%) 30 40 70 75 50 70 75 MMCを生産しております。アルミの軽さで鉄の剛性を持ち、低熱膨張、高熱伝導で放熱性に優れ 金属種類 Al Si Al Al Fe Fe た材料です。大型部品や複雑形状にも対応が可能です。装置性能をさらに向上したい、また形状や Metal (vol%) 70 60 30 25 50 30 25 スペックでお困りの方に、優れた物性を持つMMCがお役に立ちます。 密度 Density 2.8 2.9 3.0 2.4 2.8 3.0 3.0 2.7 2.7 7.3 7.9 3.9 3.1 (g/cm3) 曲げ強度 Flexural Strength --- --- 340 150 300 300 420 --- --- --- --- 440 490 (MPa) ヤング率 Young’s Modulus 125 150 260 120 280 330 350 75 70 115 210 370 430 (GPa) ポアソン比 Poisson’s Ratio 0.29 0.29 0.20 0.29 0.20 0.20 0.20 0.33 0.34 0.28 0.33 0.25 0.16 (-) 破壊靭性 Fracture Toughness 15 14 8 3 3 3 3 --- --- --- --- 3 3 (MPa・m1/2) 熱膨張係数 Thermal Expansion 14 13 7 9 3 3 3 21.0 23.4 9.8 17.3 7.7 3.1 (×10-6/K) 熱伝導率 Thermal Conductivity 150 155 160 120 175 190 170 138 140 50 15 33 140 (W/m・K) 比熱 Specific Heat 0.8 0.9 0.6 0.9 0.8 0.7 0.8 0.9 --- 0.5 0.6 --- --- (J/g・K) 体積固有抵抗 Volume Resistivity --- --- 1×10-5 4×10-5 2×10-2 2×10-2 2×10-2 3×10-6 --- 7×10-5 7×10-5 >1014 104 (Ω・cm) HB 90 68 <187 硬度 Hardness HRB 90 93 110 35 83 HRC 35 MMC材の熱膨張係数はRT~200°Cでの測定データです。 上記特性値は保証値ではありません。特性値は改良のため予告なく変更することがございます。 SA301顕微鏡写真 SA701顕微鏡写真 SS702顕微鏡写真 SA301 SA701 SS501 SiC 30%, アルミ 70% SiC 70%, アルミ 30% SiC 50%, Si 50% 100μm 200μm 100μm MMC SA401 SA001 SS701 色の濃い部分 … SiC    色の明るい部分 … アルミニウム合金または金属シリコン SiC 40%, アルミ 60% Si 75%, アルミ 25% SiC 70%, Si 30% SS702 SiC 75%, Si 25% 本    社 〒981-3206 宮城県仙台市泉区明通三丁目10番 TEL. 022(378)7825 FAX. 022(378)7832 営 業 部 〒101-0045 東京都千代田区神田鍛冶町三丁目5番8号 (東京営業所) 神田木原ビル6階 TEL. 03(5297)1321 FAX. 03(5297)0733 URL http://www.japan-fc.co.jp 名古屋営業所 〒489-0979 愛知県瀬戸市坊金町360番地 TEL. 0561(21)2115 FAX. 0561(21)3980 (改訂:2018 年 1月)
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SA301 SA401 特長(1) 軽量・高剛性 SA301, SA401 は、 特 長 ・密  度 アルミ並み 2.4 ~ 3.0 g/cm3 (※SA001はアルミより軽い) アルミニウム合金の中に ・ヤング率 鋳鉄~ステンレス以上 120~ 350 GPa SiCセラミックス粒子を ・ 軽量 ・ 高剛性 ヤング率 30または40vol%含有 ・ 低熱膨張 ・ 高熱伝導 [軽い] (GPa) させた複合材料です。 ・ 振動減衰性 ・ 大型、複雑形状可 400 砂型鋳造、ダイカストに MMC よる鋳造法で製造致し 用 途 MMC ます。 鉄● 液晶製造装置、検査装置 ● 工作機械 SS アルミと同等の軽さで鋳鉄以上のヤング率を持ち、量産小物、大型 300● 半導体製造装置、検査装置 ● ロボット (SiC/Si) 製品、複雑形状にも対応可能です。 ● マウンター、ボンダー ● 各種放熱板 SUS 200 SA(SiC/Al) SA701 [たわまない] (Si/Al) Ti FC SA701は、SiC多孔体 特 長 100 (70vol%)にアルミニウ Al ムを含浸させた複合材料 ・ 軽量 ・ 高剛性 Mg です。アルミと同等の軽 ・ 低熱膨張 ・ 高熱伝導 MMC アルミニウ さでステンレスの1.3倍 ・ 振動減衰性 ・ 対セラミックス大型化 ム 2 4 6 8 のヤング率を持ち、熱特 ・ 対セラミックス破壊靭性UP 密度 (g/cm3) 性にも優れております。 用 途 セラミックスよりも大型化が容易で、金属を含浸することで破壊靭性 をUPさせ割れにくさを実現しております。 ● 液晶製造装置、検査装置 ● 各種放熱板 ● 半導体製造装置、検査装置 ● マウンター、ボンダー 特長(2) 優れた熱特性 ● 耐摩耗部品(粉砕機ライナー、他) ・熱膨張係数 3~ 14 ×10-6/K ・熱 伝 導 率 120~ 190 W/m・K SA001 熱伝導率 (W/m・K) SA001は、Si多孔体(75vol%)にアルミニウムを含浸させた複合 特 長 [熱伝導が良い] 400 材料です。アルミ材よりも軽く、鋳鉄同等の剛性を有し、かつセラミッ CU クス材に近い低熱膨張性を実現しております。 ・ 軽量  ・ 高剛性  ・ 低熱膨張 熱源 熱源 用 途 300 SA ● 静電チャック台座  ● プローブカード部品 MMC SUS、鋳鉄 SS (SiC/Al) (SiC/Si) (Si/Al) 200 SS501 SS701 SS702 Al[熱膨張が小さい] SS501、SS701、 特 長 熱源 熱源 100 SS702は、SiC多 孔 体 MMC (50~ 75vol%)に金属 ・ 軽量 ・ 高剛性 FC シリコンを含浸させた複合 ・ 低熱膨張 ・ 高熱伝導 MMC 銅・アルミ SUS 材料です。SiC比率を変 5 10 15 20 熱膨張係数 えることでニーズにマッチ 用 途 (10-6/K) した物性を実現しました。 ● 液晶製造装置、検査装置 ● 各種放熱板 表面に欠陥がなく、半導体・液晶の製造装置や検査装置に最適です。 ● 半導体製造装置、検査装置 ● 光学系部品
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SA301 SA401 特長(1) 軽量・高剛性 SA301, SA401 は、 特 長 ・密  度 アルミ並み 2.4 ~ 3.0 g/cm3 (※SA001はアルミより軽い) アルミニウム合金の中に ・ヤング率 鋳鉄~ステンレス以上 120~ 350 GPa SiCセラミックス粒子を ・ 軽量 ・ 高剛性 ヤング率 30または40vol%含有 ・ 低熱膨張 ・ 高熱伝導 [軽い] (GPa) させた複合材料です。 ・ 振動減衰性 ・ 大型、複雑形状可 400 砂型鋳造、ダイカストに MMC よる鋳造法で製造致し 用 途 MMC ます。 鉄● 液晶製造装置、検査装置 ● 工作機械 SS アルミと同等の軽さで鋳鉄以上のヤング率を持ち、量産小物、大型 300● 半導体製造装置、検査装置 ● ロボット (SiC/Si) 製品、複雑形状にも対応可能です。 ● マウンター、ボンダー ● 各種放熱板 SUS 200 SA(SiC/Al) SA701 [たわまない] (Si/Al) Ti FC SA701は、SiC多孔体 特 長 100 (70vol%)にアルミニウ Al ムを含浸させた複合材料 ・ 軽量 ・ 高剛性 Mg です。アルミと同等の軽 ・ 低熱膨張 ・ 高熱伝導 MMC アルミニウ さでステンレスの1.3倍 ・ 振動減衰性 ・ 対セラミックス大型化 ム 2 4 6 8 のヤング率を持ち、熱特 ・ 対セラミックス破壊靭性UP 密度 (g/cm3) 性にも優れております。 用 途 セラミックスよりも大型化が容易で、金属を含浸することで破壊靭性 をUPさせ割れにくさを実現しております。 ● 液晶製造装置、検査装置 ● 各種放熱板 ● 半導体製造装置、検査装置 ● マウンター、ボンダー 特長(2) 優れた熱特性 ● 耐摩耗部品(粉砕機ライナー、他) ・熱膨張係数 3~ 14 ×10-6/K ・熱 伝 導 率 120~ 190 W/m・K SA001 熱伝導率 (W/m・K) SA001は、Si多孔体(75vol%)にアルミニウムを含浸させた複合 特 長 [熱伝導が良い] 400 材料です。アルミ材よりも軽く、鋳鉄同等の剛性を有し、かつセラミッ CU クス材に近い低熱膨張性を実現しております。 ・ 軽量  ・ 高剛性  ・ 低熱膨張 熱源 熱源 用 途 300 SA ● 静電チャック台座  ● プローブカード部品 MMC SUS、鋳鉄 SS (SiC/Al) (SiC/Si) (Si/Al) 200 SS501 SS701 SS702 Al[熱膨張が小さい] SS501、SS701、 特 長 熱源 熱源 100 SS702は、SiC多 孔 体 MMC (50~ 75vol%)に金属 ・ 軽量 ・ 高剛性 FC シリコンを含浸させた複合 ・ 低熱膨張 ・ 高熱伝導 MMC 銅・アルミ SUS 材料です。SiC比率を変 5 10 15 20 熱膨張係数 えることでニーズにマッチ 用 途 (10-6/K) した物性を実現しました。 ● 液晶製造装置、検査装置 ● 各種放熱板 表面に欠陥がなく、半導体・液晶の製造装置や検査装置に最適です。 ● 半導体製造装置、検査装置 ● 光学系部品
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MMC(金属セラミックス複合材料) MMC物性比較表 Metal Matrix Composites MMC(金属セラミックス複合材料) アルミニウム 鋳鉄 ステンレス セラミックス 鋳造法 浸透法 AC4A 5052 SUS304 99.5%FC250 SiC SA301 SA401 SA701 SA001 SS501 SS701 SS702 T6 H34 Al2O3 当社は、従来の金属材料やセラミックス材料にない優れた特性を持つ金属とセラミックスの複合材料 セラミックス種類 SiC Si SiC Al2O3 SiC Ceramics (vol%) 30 40 70 75 50 70 75 MMCを生産しております。アルミの軽さで鉄の剛性を持ち、低熱膨張、高熱伝導で放熱性に優れ 金属種類 Al Si Al Al Fe Fe た材料です。大型部品や複雑形状にも対応が可能です。装置性能をさらに向上したい、また形状や Metal (vol%) 70 60 30 25 50 30 25 スペックでお困りの方に、優れた物性を持つMMCがお役に立ちます。 密度 Density 2.8 2.9 3.0 2.4 2.8 3.0 3.0 2.7 2.7 7.3 7.9 3.9 3.1 (g/cm3) 曲げ強度 Flexural Strength --- --- 340 150 300 300 420 --- --- --- --- 440 490 (MPa) ヤング率 Young’s Modulus 125 150 260 120 280 330 350 75 70 115 210 370 430 (GPa) ポアソン比 Poisson’s Ratio 0.29 0.29 0.20 0.29 0.20 0.20 0.20 0.33 0.34 0.28 0.33 0.25 0.16 (-) 破壊靭性 Fracture Toughness 15 14 8 3 3 3 3 --- --- --- --- 3 3 (MPa・m1/2) 熱膨張係数 Thermal Expansion 14 13 7 9 3 3 3 21.0 23.4 9.8 17.3 7.7 3.1 (×10-6/K) 熱伝導率 Thermal Conductivity 150 155 160 120 175 190 170 138 140 50 15 33 140 (W/m・K) 比熱 Specific Heat 0.8 0.9 0.6 0.9 0.8 0.7 0.8 0.9 --- 0.5 0.6 --- --- (J/g・K) 体積固有抵抗 Volume Resistivity --- --- 1×10-5 4×10-5 2×10-2 2×10-2 2×10-2 3×10-6 --- 7×10-5 7×10-5 >1014 104 (Ω・cm) HB 90 68 <187 硬度 Hardness HRB 90 93 110 35 83 HRC 35 MMC材の熱膨張係数はRT~200°Cでの測定データです。 上記特性値は保証値ではありません。特性値は改良のため予告なく変更することがございます。 SA301顕微鏡写真 SA701顕微鏡写真 SS702顕微鏡写真 SA301 SA701 SS501 SiC 30%, アルミ 70% SiC 70%, アルミ 30% SiC 50%, Si 50% 100μm 200μm 100μm MMC SA401 SA001 SS701 色の濃い部分 … SiC    色の明るい部分 … アルミニウム合金または金属シリコン SiC 40%, アルミ 60% Si 75%, アルミ 25% SiC 70%, Si 30% SS702 SiC 75%, Si 25% 本    社 〒981-3206 宮城県仙台市泉区明通三丁目10番 TEL. 022(378)7825 FAX. 022(378)7832 営 業 部 〒101-0045 東京都千代田区神田鍛冶町三丁目5番8号 (東京営業所) 神田木原ビル6階 TEL. 03(5297)1321 FAX. 03(5297)0733 URL http://www.japan-fc.co.jp 名古屋営業所 〒489-0979 愛知県瀬戸市坊金町360番地 TEL. 0561(21)2115 FAX. 0561(21)3980 (改訂:2018 年 1月)