エンジニアリングセラミックス

エンジニアリングセラミックス 材料特性値 アルミナ 材　質 炭化珪素 窒化珪素 ジルコニア（SiC） （Si3N4） （99.5%Al2O3） （99.9%Al2O3） （ZrO2） 商　標 － － NVSiC® － HSTSiN® － － － 当社は、耐熱性、耐摩耗性、耐食性に優れた特長を持つエンジニアリングセラミックス材料 材質記号 SCP 01 SCP 02 SCP 03 SNP 02 SNP 03 ALP 01 ALP 02 ZRP 01 密　　　　度 JIS R1634 3.1 3.1 3.1 3.2 3.2 3.9 3.9 6.0 （炭化珪素、窒化珪素、アルミナ、ジルコニア）を、当社独自の技術により生産しております。Density [g/cm3] 吸　水　率 Water Absorption 水中置換法 － 0 0 0 0 0 0 0 0 お客様のニーズに対応できるよう、更に優れた材料を目指すと共に日々チャレンジしています。 [%] 曲 げ 強 度 Flexural Strength JIS R1601 490 490 700 800 1030 440 450 980 [MPa] 硬　　　　度 Vickers Hardness ビッカース JIS R1610 25 25 25 15 15 16 17 13 [GPa] ヤ ン グ 率 Young's Modulus JIS R1602 430 430 436 290 307 370 370 210 [GPa] ポアソン比 Poisson's Ratio JIS R1602 0.16 0.18 0.18 0.29 0.30 0.25 0.25 0.31 [－] 破 壊 靱 性 Fracture Toughness SEPB法 JIS R1607 3 3 3 6 7 3～4 3～4 6 [MPa・m1/2] 熱膨張係数 RT～200℃ 3.1 3.1 3.1 1.6 1.6 6.3 6.3 10.0 Thermal Expansion JIS R1618 [×10－6/K] RT～800℃ 4.3 4.2 4.3 3.1 3.2 7.7 7.9 10.7 熱 伝 導 率 Thermal Conductivity RT JIS R1611 140 170 132 24 36 33 30 3 [W/m・K] 耐熱衝撃性 Thermal Shock Resistance JIS R1648 400 400 400 700 800 200～250 200～250 350 [K] 絶 縁 耐 圧 Dielectric Strength JIS C2110 － － － ＞10 ＞10 ＞10 ＞10 ＞10 [kv/mm] 体積固有抵抗 Volume Resistivity 3 端子法 JIS C2141 104 106 － ＞1014 ＞1014 ＞1014 ＞1014 ＞1012 [Ω・cm] 誘　電　率 Dielectric Constant （1MHz） － － － － 8.0 7.5 10 10 40 [－] 耐食性 高熱伝導 高強度 耐熱衝撃性 高 強 度 汎　用 高純度 高強度 特　長 高硬度 高抵抗 気孔小 軽量高強度 高信頼性 高剛性 高剛性 耐摩耗 上記特性値は、保証値ではありません。特性値は改良のため、予告なく変更することがございます。 形　状 材　質 外　径 内　径 長　さ 幅 厚　さ Al2O3 φ600 ZrO2 φ500 製 （φ400） 400（800）Si3N4 φ450 作 円 筒 SiC φ900 可 Al2O3 φ100 850ZrO2 φ60 700 能 Si3N4 φ80 500 最 円 柱 SiC φ80 800 エンジニアリングセラミックス　製造プロセス 大 Al2O3 φ600 50ZrO2 φ500 40 寸 ポンプ・シール用摺動部品、半導体・液晶製造装置用部品等をSi3N4 φ450 40 法 円 板 SiC φ900 50 Al2O3 700 500 50 原料調合から最終製品までの一貫体制により生産しております。 ZrO2 500 400 40 Si3N4 600 400 40 平 板 SiC 1000 1000 50 （　　）内につきましては仕様によります。また、上記以上の寸法につきましても別途ご相談ください。 原料混合粉砕 設計についてのお願い 製　品 造　粒 セラミックスの特徴を最大限に活かすため、部品の設計にあたっては下記内容を参考にしていただくようお願いします。 ○ 部品の肉厚は、可能であればできるだけ均一にしてください。また、厚さは一般的に5mm～20mm程度を推奨します。 検　査 一貫生産で高品質を実現 成　形 ○ 穴の位置はできるだけ壁面より離してください。また、穴間隔もできるだけ大きくしてください。 ○ 面取り部のC又はRは応力集中をさけるため、できるだけ大きくしてください。 仕上げ加工 生加工 本　　　　社　〒981-3206　宮城県仙台市泉区明通三丁目10番 TEL. 022（378）7825　FAX. 022（378）7832 焼　成 営　業　部　〒101-0045　東京都千代田区神田鍛冶町三丁目5番8号 （東京営業所） 神田木原ビル6階 TEL. 03（5297）1321　FAX. 03（5297）0733 URL http://www.japan-fc.co.jp 名古屋営業所　〒489-0979　愛知県瀬戸市坊金町360番地 TEL. 0561（21）2115　FAX. 0561（21）3980 （改訂：2018 年 1月）

炭化珪素（SiC） アルミナ（Al2O3） 特　長 特　長 ・ 高温機械強度 ・ 耐摩耗性 ・ 電気絶縁性 ・ 耐摩耗性 ・ 高熱伝導性 ・ 耐食性 ・ 耐熱性 ・ 耐食性 ・ 耐プラズマ性 用　途 ● 摺動部品（メカニカルシール、ケミカルポンプ軸受け、 用　途 　 シャフト） 炭化珪素は、耐薬品性に優れているとともに高温 アルミナは、良好な電気絶縁性を持ち、適度にバ ● 半導体製造装置部品（チャンバー部品、絶縁フランジ、● 粉砕機部品（分級機、気流式粉砕機、ビーズミル） 特性が安定しています。 ● 半導体製造装置部品（XYステージ、MOCVDトレー、 ランスのとれた最もポピュラーな材質です。 　エッチング装置部品、ウェハーチャック） ● 粉砕機部品（分級機、気流式粉砕機、ビーズミル） 専用の大型雰囲気炉を用いて、長尺・大口径品に 　 フォーカスリング、ウェハーチャック） 耐食性が高く、耐プラズマ性にも優れていること ● 一般産業用部品（レーザー加工機用ノズル、シャフト、軸受け） も対応します。 ● 成形機部品（ガラスレンズ成形機部品） からエッチング装置等にも使用されています。 ● 高精度用、精密用、耐熱用治工具（位置決め治具、組立治具） ● 耐熱部品（バーナーノズル、高温試験機部品、金属溶融用坩堝） ● 耐摩耗部品（伸線機ガイドローラー、糸道、レール、ガイド） ● 耐摩耗部品（ブラストノズル、ショットブラスト用ブレード、 ● 電気絶縁部品（絶縁碍子、スペーサー、ブッシュ） 　 埋設管防護板、釣具糸道） 窒化珪素（Si3N4） ジルコニア（ZrO2） 特　長 特　長 ・ 耐熱衝撃性 ・ 耐食性 ・ 常温機械強度 ・ 耐摩耗性 ・ 高温機械強度 ・電気絶縁性 ・ 常温破壊靱性 ・ 断熱性 ・ 耐摩耗性 ・高靭性 ・ 金属に近い熱膨張係数 用　途 用　途 窒化珪素は、耐熱衝撃性に優れた材料です。 ● 成形型部品（熱間鍛造型、各種成形型） ジルコニアは、常温において機械強度・破壊靱性 ● 成形型・治工具（各種成形型、精密位置決め治具、絶縁治具） ● 鋳造部品（低圧鋳造、各種金属溶融炉設備） ● 粉砕機部品（分級機、気流式粉砕機、ビーズミル） また高温での機械強度が高く、良好な耐摩耗性を が最も高く、熱伝導性が低いのが特長です。 ● ダイカスト機部品（プランジャー、スリーブ、グースネック） ● 工業用刃物（工業用カッター、スリッター、プラテンロール） 有していることから各種産業機器に利用されてい また、材料粒子径が小さいことから、高精度の仕 ● 溶接機部品（抵抗溶接用ガイドピン、鋼管溶接用ガイドロール） ● 光コネクター部品（フェルール、スリーブ、V溝治具） ます。 ● 粉砕機部品（分級機、気流式粉砕機、ビーズミル） 上げ加工が可能なため、精密加工部品に実用化が ● 特殊バネ（コイルバネ、板バネ） ● 耐摩耗部品（伸線機ガイドローラー、モーターシャフト、 進んでいます。 ● 民生用製品（小型絶縁ドライバー、包丁、スライサー） 　 軸受け、釣具糸道、伸線キャプスタン） ● 半導体製造装置部品（ステージ部品、リニアモータ）

炭化珪素（SiC） アルミナ（Al2O3） 特　長 特　長 ・ 高温機械強度 ・ 耐摩耗性 ・ 電気絶縁性 ・ 耐摩耗性 ・ 高熱伝導性 ・ 耐食性 ・ 耐熱性 ・ 耐食性 ・ 耐プラズマ性 用　途 ● 摺動部品（メカニカルシール、ケミカルポンプ軸受け、 用　途 　 シャフト） 炭化珪素は、耐薬品性に優れているとともに高温 アルミナは、良好な電気絶縁性を持ち、適度にバ ● 半導体製造装置部品（チャンバー部品、絶縁フランジ、● 粉砕機部品（分級機、気流式粉砕機、ビーズミル） 特性が安定しています。 ● 半導体製造装置部品（XYステージ、MOCVDトレー、 ランスのとれた最もポピュラーな材質です。 　エッチング装置部品、ウェハーチャック） ● 粉砕機部品（分級機、気流式粉砕機、ビーズミル） 専用の大型雰囲気炉を用いて、長尺・大口径品に 　 フォーカスリング、ウェハーチャック） 耐食性が高く、耐プラズマ性にも優れていること ● 一般産業用部品（レーザー加工機用ノズル、シャフト、軸受け） も対応します。 ● 成形機部品（ガラスレンズ成形機部品） からエッチング装置等にも使用されています。 ● 高精度用、精密用、耐熱用治工具（位置決め治具、組立治具） ● 耐熱部品（バーナーノズル、高温試験機部品、金属溶融用坩堝） ● 耐摩耗部品（伸線機ガイドローラー、糸道、レール、ガイド） ● 耐摩耗部品（ブラストノズル、ショットブラスト用ブレード、 ● 電気絶縁部品（絶縁碍子、スペーサー、ブッシュ） 　 埋設管防護板、釣具糸道） 窒化珪素（Si3N4） ジルコニア（ZrO2） 特　長 特　長 ・ 耐熱衝撃性 ・ 耐食性 ・ 常温機械強度 ・ 耐摩耗性 ・ 高温機械強度 ・電気絶縁性 ・ 常温破壊靱性 ・ 断熱性 ・ 耐摩耗性 ・高靭性 ・ 金属に近い熱膨張係数 用　途 用　途 窒化珪素は、耐熱衝撃性に優れた材料です。 ● 成形型部品（熱間鍛造型、各種成形型） ジルコニアは、常温において機械強度・破壊靱性 ● 成形型・治工具（各種成形型、精密位置決め治具、絶縁治具） ● 鋳造部品（低圧鋳造、各種金属溶融炉設備） ● 粉砕機部品（分級機、気流式粉砕機、ビーズミル） また高温での機械強度が高く、良好な耐摩耗性を が最も高く、熱伝導性が低いのが特長です。 ● ダイカスト機部品（プランジャー、スリーブ、グースネック） ● 工業用刃物（工業用カッター、スリッター、プラテンロール） 有していることから各種産業機器に利用されてい また、材料粒子径が小さいことから、高精度の仕 ● 溶接機部品（抵抗溶接用ガイドピン、鋼管溶接用ガイドロール） ● 光コネクター部品（フェルール、スリーブ、V溝治具） ます。 ● 粉砕機部品（分級機、気流式粉砕機、ビーズミル） 上げ加工が可能なため、精密加工部品に実用化が ● 特殊バネ（コイルバネ、板バネ） ● 耐摩耗部品（伸線機ガイドローラー、モーターシャフト、 進んでいます。 ● 民生用製品（小型絶縁ドライバー、包丁、スライサー） 　 軸受け、釣具糸道、伸線キャプスタン） ● 半導体製造装置部品（ステージ部品、リニアモータ）

エンジニアリングセラミックス 材料特性値 アルミナ 材　質 炭化珪素 窒化珪素 ジルコニア（SiC） （Si3N4） （99.5%Al2O3） （99.9%Al2O3） （ZrO2） 商　標 － － NVSiC® － HSTSiN® － － － 当社は、耐熱性、耐摩耗性、耐食性に優れた特長を持つエンジニアリングセラミックス材料 材質記号 SCP 01 SCP 02 SCP 03 SNP 02 SNP 03 ALP 01 ALP 02 ZRP 01 密　　　　度 JIS R1634 3.1 3.1 3.1 3.2 3.2 3.9 3.9 6.0 （炭化珪素、窒化珪素、アルミナ、ジルコニア）を、当社独自の技術により生産しております。Density [g/cm3] 吸　水　率 Water Absorption 水中置換法 － 0 0 0 0 0 0 0 0 お客様のニーズに対応できるよう、更に優れた材料を目指すと共に日々チャレンジしています。 [%] 曲 げ 強 度 Flexural Strength JIS R1601 490 490 700 800 1030 440 450 980 [MPa] 硬　　　　度 Vickers Hardness ビッカース JIS R1610 25 25 25 15 15 16 17 13 [GPa] ヤ ン グ 率 Young's Modulus JIS R1602 430 430 436 290 307 370 370 210 [GPa] ポアソン比 Poisson's Ratio JIS R1602 0.16 0.18 0.18 0.29 0.30 0.25 0.25 0.31 [－] 破 壊 靱 性 Fracture Toughness SEPB法 JIS R1607 3 3 3 6 7 3～4 3～4 6 [MPa・m1/2] 熱膨張係数 RT～200℃ 3.1 3.1 3.1 1.6 1.6 6.3 6.3 10.0 Thermal Expansion JIS R1618 [×10－6/K] RT～800℃ 4.3 4.2 4.3 3.1 3.2 7.7 7.9 10.7 熱 伝 導 率 Thermal Conductivity RT JIS R1611 140 170 132 24 36 33 30 3 [W/m・K] 耐熱衝撃性 Thermal Shock Resistance JIS R1648 400 400 400 700 800 200～250 200～250 350 [K] 絶 縁 耐 圧 Dielectric Strength JIS C2110 － － － ＞10 ＞10 ＞10 ＞10 ＞10 [kv/mm] 体積固有抵抗 Volume Resistivity 3 端子法 JIS C2141 104 106 － ＞1014 ＞1014 ＞1014 ＞1014 ＞1012 [Ω・cm] 誘　電　率 Dielectric Constant （1MHz） － － － － 8.0 7.5 10 10 40 [－] 耐食性 高熱伝導 高強度 耐熱衝撃性 高 強 度 汎　用 高純度 高強度 特　長 高硬度 高抵抗 気孔小 軽量高強度 高信頼性 高剛性 高剛性 耐摩耗 上記特性値は、保証値ではありません。特性値は改良のため、予告なく変更することがございます。 形　状 材　質 外　径 内　径 長　さ 幅 厚　さ Al2O3 φ600 ZrO2 φ500 製 （φ400） 400（800）Si3N4 φ450 作 円 筒 SiC φ900 可 Al2O3 φ100 850ZrO2 φ60 700 能 Si3N4 φ80 500 最 円 柱 SiC φ80 800 エンジニアリングセラミックス　製造プロセス 大 Al2O3 φ600 50ZrO2 φ500 40 寸 ポンプ・シール用摺動部品、半導体・液晶製造装置用部品等をSi3N4 φ450 40 法 円 板 SiC φ900 50 Al2O3 700 500 50 原料調合から最終製品までの一貫体制により生産しております。 ZrO2 500 400 40 Si3N4 600 400 40 平 板 SiC 1000 1000 50 （　　）内につきましては仕様によります。また、上記以上の寸法につきましても別途ご相談ください。 原料混合粉砕 設計についてのお願い 製　品 造　粒 セラミックスの特徴を最大限に活かすため、部品の設計にあたっては下記内容を参考にしていただくようお願いします。 ○ 部品の肉厚は、可能であればできるだけ均一にしてください。また、厚さは一般的に5mm～20mm程度を推奨します。 検　査 一貫生産で高品質を実現 成　形 ○ 穴の位置はできるだけ壁面より離してください。また、穴間隔もできるだけ大きくしてください。 ○ 面取り部のC又はRは応力集中をさけるため、できるだけ大きくしてください。 仕上げ加工 生加工 本　　　　社　〒981-3206　宮城県仙台市泉区明通三丁目10番 TEL. 022（378）7825　FAX. 022（378）7832 焼　成 営　業　部　〒101-0045　東京都千代田区神田鍛冶町三丁目5番8号 （東京営業所） 神田木原ビル6階 TEL. 03（5297）1321　FAX. 03（5297）0733 URL http://www.japan-fc.co.jp 名古屋営業所　〒489-0979　愛知県瀬戸市坊金町360番地 TEL. 0561（21）2115　FAX. 0561（21）3980 （改訂：2018 年 1月）