ウエハ全面をダメージレスで一括ダイシング可能なプラズマダイサー　APX300-DM

2023 ドライエッチャー プラズマ加工装置 カタログ 機種名APX300 プラズマダイサー （ダイサーモジュール） 品番 .NM-EFE4AA-D •ウエハ全面をダメージレスで一括ダイシングし、強度の高いチップ分割を 実現します。 •パナソニック独自のプロセスで、さまざまな種類の半導体ウエハの ダイシングが可能です。 •生産量に応じて、シングルチャンバーシステムからマルチチャンバー システム(注1)へ展開が可能です。 ※オプション構成やお客様仕様によっては 　機械指令及びEMC指令に適合しない 　場合があります。 機 種 名 APX300（注2） 品 番 NM-EFE4AA-D プ ラ ズ マ 源  ICPプラズマ プ ロ セ ス ガ ス 標準4系統（Max.6系統まで増設可：フッ素系ガス、Ar、O2、He等） 処理対象ウエハ※1 標準φ 200 mm、またはφ 300 mm （リングフレーム付き） 設 備 寸 法※2 W 1 350 mm × D 2 230 mm × H 2 000 mm（シングルチャンバーシステム（オプション搬送ユニット連結仕様））※3 質 量 2 330 kg（装置構成により異なります） 電 源※4 三相 AC 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 V、50 / 60 Hz 、21.0 kVA 空 圧 源 0.5 MPa ～ 0.7 MPa、250 L / min (A.N.R.) N2 源 0.1 MPa ～ 0.2 MPa、50 L / min (A.N.R.) ※1:その他のサイズのウエハにつきましては当社へご相談ください。 ※2:タッチパネル、操作パネル、シグナルタワー、配管等の突起物は含みません。ドライポンプ、チラー等の周辺機器は含みません。 ※3:搬送ユニット（オプション）は、専用カセットでの真空ロードロック供給仕様となります。 ※4:三相電源は2系統あり、その合計を表しています。ドライポンプ、チラー等の周辺機器は含みません。 (注1) 弊社指定の搬送機器との連結が必要です。 弊社営業までお問合せ下さい。 (注2) 詳細は、仕様書を参照願います。

機種名APX300 (ダイサーモジュール) 品番.NM-EFE4AA-D チップの取り数増加・全面一括での高速加工 チップ強度を向上 ブレードダイシング プラズマダイシング Ave. 357 Ave. 1514 ６0 μm 20 μm チップ強度 アップ ダイシング幅最小化 線による加工 全面一括加工 Front side (Device surface) Front side Backside TEM ダメージ チッピング フリー フリー Back side ウエハ全面一括ダイシング ダメージフリーダイシング ～ お客様の生産規模に柔軟に対応 ～シングルチャンバーシステムからマルチチャンバーシステムへ展開可能～　 シングルチャンバーシステム マルチチャンバーシステム 本体部 搬送ユニット 本体部 搬送部(注3) （オプション） 1チャンバー 1チャンバー 2チャンバー 3チャンバー (注3) 弊社指定の搬送機器との連結が必要です。 弊社営業までお問合せ下さい。 安全に関するご注意 ●ご使用の際は、取扱説明書をよくお読みの上、正しくお使いください。 ●カタログの記載商品を安全に使用して頂くために、取扱いについては稼働時、停止時に拘らず、設備付属の取扱説明書および 　設備の警告を十分確認した上で正しい作業を実施されますようお願い致します。 パナソニックグループは環境に配慮した製品づくりに取り組んでいます 詳しくは こちら ●お問い合わせは… パナソニック コネクト株式会社 プロセスオートメーション事業部 〒571-8502 大阪府門真市松葉町２番７号 このカタログの記載内容は 2023年1月1日現在のものです。 Ver.2023.1.1 © Panasonic Connect Co., Ltd. 2023 ●仕様および外観の一部を改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください。　 ●ホームページからのお問い合わせは https://industrial.panasonic.com/jp/r/fw