高精細塗布描画システム

世界最小の微小塗布性能ディスペンサー 高精細塗布描画システム ESシリーズ ES12 ES30 高粘度液剤のピコリットル塗布を実現 1000Pa･s、Φ50µmドット、50µm幅ライン 高アスペクト比のダム構造の形成 電子部品、光学部品の研究開発・試作・量産 半導体後工程、ウエハ・チップレベル量産に対応 各種ワークへ対応 パフォーマンス 2～1２インチ各種ウェハ、ガラスウェハ オートアライメント機能 インターポーザー基板 レーザー変位計によるノズルギャップ制御 ガラス基板/光学部材、金属板 トップ＆サイドビューでリアルタイム表示 プリント基板、MID、その他３Dワーク 塗布パターンのCADデータインポート 液剤対応 半導体関連・・・ダム剤、高粘度ポリイミド＆レジス 導電性材料・・・Ag/Cu/Au等各種金属（ナノ）ペー 　　　 ト、Agペースト、ボンディング剤 　　　 スト、導電性接着剤、導電インク 樹脂材料・・・・・UV硬化・エポキシ・シリコーン各種 カーボンブラックインク、酸化チタン液、ガラス 　　　 接着剤、フィラー入り樹脂液剤等 フリット液剤、その他各種インク

Ⓡ Twin-air ディスペンサ搭載 高精細塗布描画システム ESシリーズ 塗布アプリケーション例 トレイ搭載の部品（ダイレベル） ～ 各種基板（含、ウェハ）～ ガラス、その他特殊形状塗布 ●ウェハ全面塗布 ●ダム形成 ●部品外周 ●ガラス、基板端面 ●チップ封止 部品トレイ （ウェハレべル） ●ウェハ端面塗布 ●センサ・チップ ●キャビティ内部 ●ホール充填 （接着剤額縁塗り） ●ダム形成 （リフロー用等） ●PIダム形成 ●ウェハピラー形成 ●ハンダペースト、フラックス、 ●光学部品 ソルダーレジスト塗布 ●傾斜面（ライン塗布） （アパーチャ形成） 塗布・描画例（ ES30使用、トップビュー＆サイドビュー イメージ） UV硬化接着剤 700Pa・s 三段重ね塗り ハンダペーストType7 Φ50um 導電性接着剤 50Pa・s Φ50um ダム形成 100µｍ幅 UV硬化樹脂 3Pa・s 40um幅 カーボンブラックインク 100um幅 Agナノペースト 50um幅 ウェハレベルダム形成　 主な仕様 項　　目 ES12 ES30 ES45 搭載ディスペンサ Twin-air フルファンクション型　（ベーシックファンクション型へ変更可）　 ノズル内径サイズ（µm） セラミックス製 25,40,70,100,150,200（標準）、セラミックス製13,20,300 ～ 500（特注） 搭載可能ワークサイズ 注１ 120×120mm（4インチウエハ対応可能） 300×200mm（8インチウエハ対応可能） 350×350mm（12インチウエハ対応可能） X-Yステージ駆動 ACサーボモータ　ボールネジ駆動 ACサーボモータによるボールネジ駆動、　オプション選択：リニアモータ オートアライメント光学系 パターンマッチング、エッジ検出（ノズル直上トップビュー光学系、特注：オフセット光学系） 共通機能 ノズル直上トップビュー＆サイドビュー光学系、レーザー変位計、CADデータインポート オプション 注１ ノズル洗浄ユニット、Z軸ノズル原点検出センサ、捨て打ちステーション、コンソールボックス，真空ポンプ 専用オプション 4インチウエハホルダー 8インチウエハホルダー 12インチウエハホルダー FFU（HEPA） FFU　（HEPA または ULPA） FFU　（HEPA または ULPA） 特注対応（要相談） 指定ワーク用専用ホルダー 指定ワーク用専用ホルダー 指定ワーク用専用ホルダー ワーク搬送系（含、8インチウエハ） ワーク搬送系（含、12インチウエハ） 特注対応（要相談） ローダーやコンベア対応は不可 ローダー、コンベヤ対応 装置サイズ，重量 W600×D600×H1600mm 250kg W900×D1050×H1800mm 1000kg W1300×D1700×H2000mm 1500kg 注１．搭載オプションによって、搭載可能なワークのサイズは上記の数値よりも小さくなる場合があります。 ●仕様やオプションは、予告なく変更する場合があります。詳細仕様につきましては営業担当までお問合せください。 ●デモ、テストや試作を承っておりますので、ご相談ください。 株式会社エンジニアリング・ラボ ■テクニカルセンター 〒390-0843　長野県松本市高宮南8-21 　　　　　 TEL : 0263-88-9611　FAX : 0263-88-8229　　 　　　　　 E-mail : sales@eng-lab.co.jp ■本　社 〒114-0023　東京都北区滝野川7-2-13 ベルテックス5階 ■品川ショールーム 〒140-0013　東京都品川区南大井3-34-3 オフィスＡビル1階 （202601）