8インチウェハリングを搭載可能な真空チャンバーにてUV照射することで硬化効率が大幅に向上
◆真空環境下でのUV照射により 硬化処理効率UP！
◆最大８インチまでのウェハリング対応！
◆窒素パージ不要でランニングコスト削減！
◆工程ウエハ処理 に最適！
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 真空UV硬化装置 KNUV-1 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | KNE株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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KNUV-1 真 空 U V 硬 化 装 置
★ 真空環境下でのＵＶ照射により 硬化 処理効率ＵＰ！
★ 最大８インチまでのウェハリング対応！
★ 窒素パージ不要でランニングコスト削減！
★ 工程ウエハ処理 に最適！
２００mmフレーム付きウェハ
真空チャンバー
UV照射ランプ
◇真空UV照射の優位性
・酸素濃度を真空環境にして
酸素阻害による ＵＶ照射すれば 硬化不良を低減
硬化不良部分
・デバイス直下のボイドも真空環境により除去
切断後デバイス
大気圧(10万Pa)での酸素濃度（約20％）
UV粘着剤
フィルム
本機真空チャンバー圧(5Pa)での
UV照射後のチップ貼り付け部断面 酸素濃度 ⇒ ０．００１％
８インチウェハリングを搭載可能な真空チャンバーにて
ＵＶ照射することで硬化効率が大幅に向上
技術本部 092-408-9101
URL http://www.kne-hakata.com
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◇ 主要性能
・到達圧力：6.0Pa以下(ガスバラスト閉時）
※最大排気速度500L/min ドライポンプを使用
・リークレート：10.0 Pa/min以下
※ビルドアップ基準値：1.0Pa・L / sec をチャンバー容積に換算
・UV照射性能
高圧水銀ランプ採用により、短時間高出力UV照射を実現
例） 積算光量：27.5sec照射で550mJ/cm2
照射量は品種により調節可能
・プロセス時間
1プロセス 60 s 以下
※排気スタートからUV照射完了まで
◇ 参考実績
ダイシングフィルム：2385KS（日東電工社製）
UV照射時のタンク圧 ： ① 大気圧 (100,000Pa)
② 真空 （5Pa）
UV照射量 ： 550mJ/cm2
評価ポイント ： 300ｍｍウェハ上の17点
硬化率測定：IR測定による未反応硬化成分のピーク面積算出法
25.5 残存粘着力：青 硬化進行率：オレンジ
99.7
0.48
24.1 0.17
0
大気圧でのUV照射に比較して、３倍以上の硬化率の向上効果
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[ 主要諸元]
装置寸法 590 mm(W) x 480 mm(D) x 880 mm(H)
照射エリア Φ210mm ［標準］ ※最大φ300mm
装置質量 200 kg ※ポンプ含まず
電 源 単相 AC200V ±10％ 50/60Hz 1.5 kVA
エアー源 0.4 MPa以上 0.6 MPa 以下
操作部 4.3 型TFTカラー液晶モニター、非常停止、USBポート1ヶ
UVランプ 高圧水銀灯(オゾンレスタイプ)
主波長 365nm
発光長 200mm
真空ポンプ 最大排気速度：500 L/min
本カタログの内容は、2021年9月現在のものです。品質向上や機能改善のため、予告なく変更になることがあります。
KNE販売サービス株式会社
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880
1 410(蓋全開時)