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真空UV硬化装置 KNUV-1

製品カタログ

8インチウェハリングを搭載可能な真空チャンバーにてUV照射することで硬化効率が大幅に向上

◆真空環境下でのUV照射により 硬化処理効率UP!
◆最大8インチまでのウェハリング対応!
◆窒素パージ不要でランニングコスト削減!
◆工程ウエハ処理 に最適!

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このカタログについて

ドキュメント名 真空UV硬化装置 KNUV-1
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 KNE株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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KNUV-1 真 空 U V 硬 化 装 置 ★ 真空環境下でのUV照射により 硬化 処理効率UP! ★ 最大8インチまでのウェハリング対応! ★ 窒素パージ不要でランニングコスト削減! ★ 工程ウエハ処理 に最適! 200mmフレーム付きウェハ 真空チャンバー UV照射ランプ ◇真空UV照射の優位性 ・酸素濃度を真空環境にして 酸素阻害による UV照射すれば 硬化不良を低減 硬化不良部分 ・デバイス直下のボイドも真空環境により除去 切断後デバイス 大気圧(10万Pa)での酸素濃度(約20%) UV粘着剤 フィルム 本機真空チャンバー圧(5Pa)での UV照射後のチップ貼り付け部断面 酸素濃度 ⇒ 0.001% 8インチウェハリングを搭載可能な真空チャンバーにて UV照射することで硬化効率が大幅に向上 技術本部 092-408-9101 URL http://www.kne-hakata.com
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◇ 主要性能 ・到達圧力:6.0Pa以下(ガスバラスト閉時) ※最大排気速度500L/min ドライポンプを使用 ・リークレート:10.0 Pa/min以下 ※ビルドアップ基準値:1.0Pa・L / sec をチャンバー容積に換算 ・UV照射性能 高圧水銀ランプ採用により、短時間高出力UV照射を実現 例) 積算光量:27.5sec照射で550mJ/cm2 照射量は品種により調節可能 ・プロセス時間 1プロセス 60 s 以下 ※排気スタートからUV照射完了まで ◇ 参考実績 ダイシングフィルム:2385KS(日東電工社製) UV照射時のタンク圧 : ① 大気圧 (100,000Pa) ② 真空 (5Pa) UV照射量 : 550mJ/cm2 評価ポイント : 300mmウェハ上の17点 硬化率測定:IR測定による未反応硬化成分のピーク面積算出法 25.5 残存粘着力:青 硬化進行率:オレンジ 99.7 0.48 24.1 0.17 0 大気圧でのUV照射に比較して、3倍以上の硬化率の向上効果
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[ 主要諸元] 装置寸法 590 mm(W) x 480 mm(D) x 880 mm(H) 照射エリア Φ210mm [標準] ※最大φ300mm 装置質量 200 kg ※ポンプ含まず 電 源 単相 AC200V ±10% 50/60Hz 1.5 kVA エアー源 0.4 MPa以上 0.6 MPa 以下 操作部 4.3 型TFTカラー液晶モニター、非常停止、USBポート1ヶ UVランプ 高圧水銀灯(オゾンレスタイプ) 主波長 365nm 発光長 200mm 真空ポンプ 最大排気速度:500 L/min 本カタログの内容は、2021年9月現在のものです。品質向上や機能改善のため、予告なく変更になることがあります。 KNE販売サービス株式会社 KNE 株式会社 技術本部 〒818-0041 福岡県筑紫野市上古賀3-2-16 クリエイション・コア福岡 212 https://www.kne-hakata.com info@kne-hakata.com 電話 092-408-9101 880 1 410(蓋全開時)