最大25,000UPHの高速移載!
◆高精度±0.02mmの収納! ◆ソフトハンドリングダメージレス収納 極薄部品、微細部品に優しい吸着・収納 ◆剣山ユニットによるウエハチップの高速移載 ◆部品ダメージレス(単純なシート剥離の為、部品にダメージを与えない) ◆詳細はカタログ...
マスクレス面塗布を実現!
◆多品種小ロット生産への対応! ◆オンデマンド塗布 高精度:狙ったところに自在高速塗布 ◆均一塗布厚 高品質:厚み制御/凹凸面塗布 ◆40ノズル独立制御 ドット品質:高さ・速度の組合せで最適化 ◆詳細はカタログをダウンロードしご覧...
最大25,000UPHの高速移載 高精度/ ダメージレス収納 多種の外観検査(2面・...
1.16ノズルヘッドによる高速移載: 最大25,000UPH 移載ヘッドには高速自転・公転する16本のノズルを 備え、1往復のX軸動作で16個の部品を一気に移載 します。特に、移載機BITA-2では、部品姿勢認識に ラインカメラを採用し、吸着部か...
8インチウェハリングを搭載可能な真空チャンバーにてUV照射することで硬化効率が大幅に...
◆真空環境下でのUV照射により 硬化処理効率UP! ◆最大8インチまでのウェハリング対応! ◆窒素パージ不要でランニングコスト削減! ◆工程ウエハ処理 に最適! ◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
12インチリング付きウェハ処理が可能! 表面改質、無機物/有機物汚染除去! 量産前の...
★ 12インチリング付きウェハ処理が可能! ★ 表面改質、無機物/有機物汚染除去! ★ 量産前の評価、研究に最適! ★ 高速、低価格 ★ 様々なオプション機能 ★ 300mmウェハ、矩形基板への対応可