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小型プラズマクリーナー『KNPC-1』

製品カタログ

12インチリング付きウェハ処理が可能! 表面改質、無機物/有機物汚染除去! 量産前の評価、研究に最適! 高速、低価格

★ 12インチリング付きウェハ処理が可能!
★ 表面改質、無機物/有機物汚染除去!
★ 量産前の評価、研究に最適!
★ 高速、低価格
★ 様々なオプション機能
★ 300mmウェハ、矩形基板への対応可

このカタログについて

ドキュメント名 小型プラズマクリーナー『KNPC-1』
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 1.5Mb
取り扱い企業 KNE株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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KNPC-1小型プラズマクリーナー ★ 12インチリング付きウェハ処理が可能! ★ 表面改質、無機物/有機物汚染除去! ★ 量産前の評価、研究に最適! ★ 高速、低価格 適用基板~オプション選択含む ★ 様々なオプション機能 ★ 300mmウェハ、矩形基板への対応可 輻射熱を遮断しダイシングテープを保護 汚染物 Arイオン 300mmフレーム付きウェハ フレーム付きウェハ 300mmウェハ リードフレーム ガラエポ基板 ※テープ基板など各種基板への対応も可能です プラズマクリーナーの具体的用途(例:BGA基板) モールド密着性向上 ワイヤー接合強度 (対IC保護膜) IC モールド樹脂 ワイヤー 向上 モールド密着性向上 (対基板レジスト) 基板 技術本部 092-408-9101 URL http://www.kne-hakata.com
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[ 主要性能] ・到達圧力:6.0Pa以下(ガスバラスト閉時) ※最大排気速度500L/min ドライポンプを使用 ・リークレート:1.07 Pa/min以下 ※ビルドアップ基準値:0.1Pa・L / sec をチャンバー容積に換算 ・RFパワー制御:13.56MHz/100~1,000W ※設定値±5%又は±5wのいづれか大きい値 整合範囲 ワイドレンジオートチューニング ウェハ時整合挙動軌跡例 矩形基板時整合挙動軌跡例 スミスチャート上の本装置整合範囲 ・プロセスガス流量制御:設定値に対して±10%以内 ・エッチング性能 独自技術により業界プラズマクリーナーに比べて短時間で処理可能! 無機物エッチングレート:平均20nm/min以上±20% 有機物エッチングレート:平均500nm/min以上±20% テストチップをφ300電極上5ポイントに配置 ※φ280円周上4点及び中央1点に配置 ※矩形電極[オプション]時は□300コーナー4点及び中央1点に配置 ・プロセス時間 量産機並みのプロセス時間で処理可能! 1プロセス 30 s 以下 ※排気スタート~ガス導入~放電~ベント完了まで 処理時間 8 s 設定時
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[ 主要諸元] 装置寸法 690 mm(W) x 580 mm(D) x 880 mm(H) 処理エリア Φ300mm [標準] ※□350mm[選択オプション] 装置質量 350 kg ※ポンプ含まず 電 源 単相 AC200V ±10% 50/60Hz 3.0 kVA エアー源 0.4 MPa以上 0.6 MPa 以下 操作部 4.3 型TFTカラー液晶モニター、非常停止、USBポート1ヶ RF電源 最大1kW : 13.56MHz ※総合通信局への申請が必要です ガス源 Ar1系統標準:0.1~0.15MPa ※O2[追加オプション] 真空ポンプ 最大排気速度:500 L/min 本カタログの内容は、2021年9月現在のものです。品質向上や機能改善のため、予告なく変更になることがあります。 KNE販売サービス株式会社 KNE 株式会社 技術本部 〒818-0041 福岡県筑紫野市上古賀3-2-16 クリエイション・コア福岡 212 https://www.kne-hakata.com info@kne-hakata.com 電話 092-408-9101 880 1 410 (蓋全開時)