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画像検査装置 導入事例

事例紹介

このカタログについて

ドキュメント名 画像検査装置 導入事例
ドキュメント種別 事例紹介
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取り扱い企業 ジャパンシステム株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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画像検査装置 導 入 事 例 事例紹介企 業 半導体デバイスメーカー様  プリンタメーカー様  電子部品メーカー様
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事例 1 半導体デバイスメーカー S 社 1時間かけていた検査を10分で! CLIP MICRO 対物レンズと分解能 測定視野 対物レンズ倍率 分解能 測定視野 ×5 0.68μm 5440μm ×10 0.34μm 2720μm ×20 0.17μm 1360μm ×50 0.068μm 680μm 撮像部 構成 カメラ解像度 16384画素/LINE 計測部、制御PC、ディスプレイ センサー方式 モノクロ CMOSセンサー 電源仕様 AC100V,110V 50,60Hz 5A 測定部 寸法 測定方式 オートフォーカス顕微鏡 440(W)×700(D)×800(H)mm 対物レンズ ×5,10,20,50から2種選択 重量 90kg 線幅 10μm~ 20μmのパターンが数百本あるウエハーのパターン形状および 線のカケ等を、工業用顕微鏡を用いて 1 枚数十分から 1 時間程度かけて 人間の 目でチェックしていましたが、とても集中力の必要な作業で熟練を要します。 厳しい作業のため人の入れ替わりも多く、 熟練度によってばらつきがある等の 課題があり、自動化が望まれておりました。 弊社ではオートフォーカスの顕微鏡と精密ステージ、ウエハー CADデータから 検査レシピを作成するソフトを開発し、わずか 10 分で検査可能としました。 また、CAD データから検査レシピを作成するため、品種切り替えにも短時間で 対応可能となりました。
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事例 2 プリンタメーカー S 社 1日かかっていた検査が数秒で完了! CLIP 撮像部 電源仕様 カメラ解像度 16384画素/LINE AC100V,110V 50,60Hz 5A センサー方式 モノクロ CMOSセンサー 寸法 照明部 計測部 光源 RGB3色LED 700(W)×700(D)×730(H)mm 点灯切替速度 100μsec 制御部 制御I/F USB 250(W)×500(D)×550(H)mm 測定部 重量 スキャンスピード 300μsec/Line 70kg 計測サイズ 300mm(幅)×240mm スキャン時間 4秒 構成 計測部、制御PC、照明制御BOX、ディスプレイ 開発部門にて、品質確認作業の効率化をしたいというご相談でした。 耐久試験での印字品質の推移を定量化するために行っている計測作業では、 人がメジャーを用いて目視検査しており、作業完了まで数日かかる場合も あるため、大幅な検査スピード UP が望まれておりました。 CLIP を用いた自動測定により、印字位置±50μm、ピッチ測定±20μm という測定精度で、数時間~数日を要していた作業が数秒~数時間で完了 する大幅な時間短縮に成功しました。(A4 用紙 1 枚であれば 5 秒で計測) また、弊社独自の検査レシピ編集ツールで、多種多様な計測パターンにも 高度な専門知識無しにユーザー側で対応可能となりました。
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事例 3 電子部品メーカー K 社 様々な会社で失敗した検査に成功! CLIP MULTI 透過光測定部 フィルム穴測定 スキャンステージY軸 撮像部1 駆動方式 リニアモータ駆動 カメラ解像度 16384画素/LINE 計測サイズ(可動範囲) 220mm センサー方式 モノクロ CMOSセンサー 精度(単一方向) 1μm以下 分解能 1μm/dot スキャンスピード 200mm/sec 照明部1 スキャンステージX軸 光源 白色LED 高輝度LINE照明 リニアモータ駆動 発光面 200mm×13mm 駆動方式 または 反射光測定部 コート面測定 ステップモータ駆動 撮像部2 計測サイズ(可動範囲) 140mm カメラ解像度 16384画素/LINE 精度(単一方向) 25μm以下 センサー方式 モノクロ CMOSセンサー スキャンスピード 100mm/sec 分解能 3.5μm/dot 制御I/F 照明部2 USB 光源 RGB3色LED 電源仕様 点灯切替速度 100μsec AC100V,110V 50,60Hz 構成 寸法 計測部、制御PC、照明制御BOX、ディスプレイ 600(W)×1000(D)×1630(H)mm 100mm×200mmのフィルム上にある 20μm程度の穴のサイズおよび 形状、コーティングのムラ、キズなどの検査希望でした。 今までの目視検査では人間による基準のばらつきや人の定着の問題があり、 自動化が必須のテーマとなっていましたが、1枚当たりの検査時間は数分 におさめる必要があり、弊社にご依頼いただく前に何社かへ依頼されても 市販品の組み合わせでは希望通りの装置は完成しなかったそうです。 弊社ではラインカメラおよび透過光光源検査とフルカラー対応した反射光 光源のライン照明 (特許取得済 )を用いた CLIP MULTI をカスタマイズし、 独自のソフト処理を加え、要望を満たす検査装置として完成いたしました。
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1台から対応可能! 自動検査装置 特注製作 します!! 具体的なイメージが無くても大丈夫。 私たちが一緒に形にしていきます。 まずはご相談ください!! Mail:info@jpnsys.co.jp 〒192-0364 TEL :042-677-1511 東京都八王子市南大沢 1丁目 23-10 URL:https://www.jpnsys.co.jp FAX:042-677-1512