VAT株式会社のカタログ一覧

コンパクトな真空封止用バルブ、高真空のアプリケーション用

◆バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない ◆ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 ◆分解、クリーニング後の調整不要 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ。

CVDなどの高速で高度なプロセスに最適 ◆優れた圧力制御能力 ◆サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） ◆サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） ◆コンタミの多いプロセスへの優れた適応性 ◆詳細はカタログを...

初期排気、ベント時の乱気流を抑止し、パーティクルの発生・基板の振動抑制用

◆大きな差圧対応 ◆絞り開口部はメモリでの設定が可能 ◆アングルおよびインラインボディ ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

半導体製造装置のロードロックチャンバーおよびプロセスチャンバーの真空封止用

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適 ◆real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 ◆パーティクルフリー、ショックフリー ◆シール材に合わせてシール力を調整可能 ◆低ショック ◆詳細はカタログ...

PVセルおよび大型成膜装置用。

多数のPECVDアプリケーションでの実績あり。 ◆保有コストが低い ◆短い開閉時間による高いスループット ◆お客様指定のデザイン ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

PVセルおよび大型成膜装置用

お客様指定のデザインに柔軟に対応（例: 水冷、加熱プロセスからの保護） ◆短い開閉時間による高いスループット ◆過酷なプロセスおよび高温用の設計 ◆バルブのフランジ面間距離が小さい ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ

FPDおよびPV製造装置用 ◆ショックフリーなL字動作 ◆パーティクルフリー、バイブレーションフリーな動作 ◆保有コストが低い ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

SEMI、FPD、産業分野の圧力制御および真空封止用バルブ。

特にスパッタ・エッチングプロセスに最適。 ◆優れた圧力制御能力 ◆リミットスイッチ付き ◆サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用) ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

15.0 真空/15.1 高真空/15.2 超高真空の真空封止用バルブ

パーティクル発生が極小、低振動を必要とする真空装置用 ◆ショックが極小 ◆パーティクル発生が少ない ◆真空部と機構は隔離 ◆Vulcanizedゲートシール ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

SEMI、FPDプロセスの圧力制御および真空封止用バルブ

特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適 ◆高速、パーティクルフリーな動作 ◆正確な圧力制御 ◆サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用） ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。