VAT株式会社のカタログ一覧

研究開発および産業の低真空アプリケーションの標準バルブ

◆手動式・圧空作動式 ◆低コスト ◆二分割ボディ ◆メンテナンス容易 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

（極） UHV アプリケーションの真空プロセス用

◆シールは FLEX VATRING 方式 ◆シール面の変形は弾性変形の範囲内 ◆標準的な六角レンチ、トルク管理不要 ◆コンダクタンス大 ◆FLEX VATRING は2回まで交換可能 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

半導体製造プロセスにおけるEFEMとロードロックチャンバーの大気側の真空封止に最適

◆シリーズ07.5より更に低発塵性能が向上 ◆ウェハーに近い駆動機構はグリスフリーを実現 ◆弁体背面のトーションバー機構による均等なシール性能を有するL字型動作 ◆アクチュエータ内で発生したパーティクルを排出するための排気ポートを装備 ◆D-Su...

SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ特に高速で高度なプロセ...

【特長】・ボディ材質：アルミニウムまたはステンレススチール・コンパクトデザイン・高速動作・搭載型コントローラ・極めて短い制御応答時間・サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出）・ポジションインジケータ付き・サービ...

溶接ベローズ

【特徴】・高気密性・クリーン・パーティクルフリー・お客様毎にカスタマイズしたソリューション VAT溶接ベローズの主な特長は高気密性、クリーン度と繰り返し寿命にあります。 ◆お客様のご要求に柔軟に応じつつ、より実際のご使用環境・...