VAT株式会社のカタログ一覧

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセス...

◆ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 ◆PEEK材でできた差圧タブ ◆メンテナンスフリーのアクチュエータ ◆簡単なゲート交換 ◆低ショック ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

極高真空、高温、過酷な条件に対応

◆世界の研究機関で多数の採用実績あり ◆“Hard on hard“シーリング ◆頑丈 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

縦型炉を使用するLPCVD、ALD等の高温、高圧での圧力制御および真空封止用ハ...

◆自動学習機能 ◆閉時間1秒 ◆短い制御応答時間 ◆簡易メンテナンス ◆200° Cまでベーク可能(任意) ◆EtherCAT ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

シンプルな絞り用アプリケーション。高度な圧力調整が求められないプロセスに最適。

◆超高速動作 ◆ウィンドウズでのオペレーション可能な搭載型ソフトウェア ◆遠隔操作用アナログ / デジタルインターフェイス ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

コンパクトな真空遮断バルブゲートバルブの代替品

◆頑丈でコンパクトなポンプ用真空遮断バルブ ◆差圧での動作が可能 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用

◆水冷部と真空部との間に溶接部やロー付け部なし ◆工業用 ◆UHV対応 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ

◆高度なエッチングプロセスに最適 ◆パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする ◆卓越した圧力制御の実績 ◆サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA) ソフトウェアの接続用） ◆...

加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護

◆77.1フラップシャッター/77.3スロットシャッター ◆高い信頼性 ◆メンテナンス不要 ◆研究機関向け ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

特に堆積物の多いアプリケーションに最適

◆最大差圧で開閉 ◆セルフクリーニング式ウェッジシールで過酷なプロセスにも対応 ◆頑丈 ◆容易なメンテナンス ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。

大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用

◆過酷な環境にも対応（粉末および腐食に対しての高い耐性） ◆最大級コンダクタンス ◆開位置でのゲートシールを保護 ◆開および閉位置での機械的ロック ◆パーティクル発生が少ない ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。