角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION　SERIES 04.3/05.3

SERIES 04.3 / 05.3 角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION SERIES 04.3: ゲート 半導体製造装置のロードロックチャンバー およびプロセスチャンバーの真空封止用。 エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 特長 開口サイズ 50 x 336 mm to 80 x 500 mm (1.97“ x 13.23“ to 3.15“ x 19.69“) アクチュエータ 圧空作動式：複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質 表面処理なしまたは硬質アルマイト加工アルミニウム シール技術 L-MOTION: VATカタログ参照 技術データ リーク量 1) 2) ボディ シート 　シール面: シール 　メタル（表面処理なし） FKM (Viton®) 1・10-9 1・10-9 mbar ls-1 　硬質アルマイト加工アルミニウム FKM (Viton®) 1・10-5 1・10-4 mbar ls-1 SERIES 05.3: インサート 　ニッケルメッキアルミニウム FKM (Viton®) 1・10-9 1・10-9 mbar ls-1 　メタル（表面処理なし） FFKM (FKM Zalak 5100) 1・10-8 1・10-7 mbar ls-1 　硬質アルマイト加工アルミニウム FFKM (FKM Zalak 5100) 1・10-5 1・10-4 mbar ls-1 　ニッケルメッキアルミニウム FFKM (FKM Zalak 5100) 1・10-8 1・10-7 mbar ls-1 使用圧力範囲 　メタル（表面処理なし） < 1・10-9 mbar to 1.1 bar (abs) 　硬質アルマイト加工アルミニウム < 1・10-6 mbar to 1.1 bar (abs) 　ニッケルメッキアルミニウム < 1・10-9 mbar to 1.1 bar (abs) 許容最大差圧 3) ゲート: 1.1 bar バルブを開けるとき: ≤ 30 mbar 第一回サービスまでの up to 56 x 496 mm: ≥ 3 million サイクル数 1) 3) 4) DN 80 x 500 mm: ≥ 2 million 許容温度 3) バルブボディ、ゲート: ≤ 120 °C アクチュエータ: ≤ 80 °C 加熱および冷却速度 ≤ 40 °C h-1 材質 バルブボディ、ゲート EN AW-5083 (3.3547), サービスカバー: EN AW-6061 (3.3211), EN AW-6082 (3.2315) ベローズエンドピース、 – r eal L-MOTIONによるゲートシールの シャフト: AISI 316L (1.4404) 　均一な押し付けおよび長寿命化 ベローズ: AISI 633 (AM 350) – パ ーティクルフリー、 ショックフリー - 次項に続く - – シ ール材に合わせてシール力を調整可能 1) 室温（25℃）で、クリーンな条件で。 – 低ショック 2) 測定条件： 　・ボディ：30s, He濃度≥20% 　・シート：15s, He濃度≥30% リーク量自動検出,　dp=0.1MPa 3) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 SERIES 04.3 / 05.3 角型ゲートバルブ /インサート L-MOTION

SERIES 04.3 / 05.3 角型ゲートバルブ /インサート L-MOTION オプション 技術データ バルブ シール ゲート、サービスカバー: FKM (Viton®) － お客様指定のシール材料 軸シール ベローズ － 加熱/冷却機構 － ステンレススチールボディおよびゲート 取付け方向 アクチュエータ上向または下向 － 2重リミットスイッチ インパルス電磁弁 24 V DC, 2.5 W （その他はお問い合わせ下さい。） その他はお問い合わせ下さい リミットスイッチ： 電圧: ≤ 50 V AC/DC 接点容量 電流: ≤ 0.1 A, ≤ 5 mA 接続: 9 pin subminiature D 圧空接続 クイックコネクタ O. D. 6 mm 圧空アクチュエータ 50 x 336: 4 – 7 bar / 58 – 102 psi の作動圧力範囲 50 x 480, 80 x 500: 5 – 7 bar / 73 – 102 psi 圧空アクチュエータ 50 x 336, 50 x 480: 0.12 l / 0.004 ft3 の容量 80 x 500: 0.36 l / 0.012 ft3 開/閉時間 50 x 336, 50 x 480: < 1 s 80 x 500: < 2 s Functional principle Valve 04.3 closed optically closed open Insert 05.3 1 closed optically closed open 2 3 4 4 5 5 7 6 7 8 8 1 Service cove r 3 Body sea l 5 Gate sea l 7 Shaft 2 Service cover se al 4 Gate 6 Valve bod y 8 Bellow s バルブシート側 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com