UHVアングルバルブ　SERIES 28.4

SERIES 28.4 UHVアングルバルブ 極めて少ないアウトガス量が要求される UHVアプリケーションの排気およびベント用 特長 サイズ DN 16 – 63 mm (⅝“ – 2½“) アクチュエータ 手動式：取外し可能なハンドホイール式 圧空作動式: 単動シリンダースプリングによる 閉動作(NC) ボディ材質 ステンレススチール 軸シール ベローズ 標準フランジ CF-R 技術データ 手動式 圧空作動式: DN 40 リーク量 バルブボディ < 5 · 10-10 mbar ls-1 バルブシート < 1 · 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲 5 · 10-10 mbar to 5 bar (abs) プレートにかけ得る許容 バルブ開方向 ≤ 2 bar 最大差圧 バルブ閉方向 ≤ 5 bar バルブを開けるときの許容 ≤ 1 bar 最大差圧 第1回サービスまでのサイ 3 million クル数 許容温度 1) バルブボディ ≤ 150 °C 手動アクチュエータ ≤ 120 °C 圧空アクチュエータ ≤ 150 °C 電磁弁 ≤ 80 °C リミットスイッチ ≤ 80 °C 材質 バルブボディDN 16,40 AISI 304 (1.4301) バルブボディDN 63 AISI 316L (1.4404, 1.4435) プレート、ベローズ AISI 316L (1.4404, 1.4435) シール ボンネット メタル プレート FKM (Viton®) 圧空作動式: DN 63 軸シール ベローズ 取り付け方向 自由 電磁弁 24 V DC (others on request) リミットスイッチ: 電圧 5 – 50 V AC / DC 接点容量 電流 5 – 100 mA – 極めて少ないアウトガス量 バルブの開閉位置表示 機械的な目視位置表示付き – 大きな差圧対応 – CF回転フランジ - 次項に続く - 1) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる SERIES 28.4 UHVアングルバルブ

SERIES 28.4 UHVアングルバルブ オプション 技術データ アクチュエータ コンダクタンス（分子流） DN 16 5 ls-1 － 耐熱手動アクチュエータ 200℃ DN 40 45 ls-1 － 耐熱圧空アクチュエータ 150℃ DN 63 160 ls-1 － 耐熱リミットスイッチ: 120℃または150℃ 手動式アクチュエータの DN 16 3.6 n スピンドル回転数/ストローク DN 40 4.5 n DN 63 6.6 n バルブ － お客様指定のフランジ 圧空アクチュエータの DN 16 4 – 8 bar / 58 – 116 psi － ISO-KF、ISO-Kフランジ 作動圧力範囲 DN 40 4 – 8 bar / 58 – 116 psi － 標準以外のシール材 DN 63 4 – 8 bar / 58 – 116 psi － お客様指定のボディ 圧空アクチュエータの容量 DN 16 0.004 l / 0.0001 ft3 DN 40 0.035 l / 0.0012 ft3 DN 63 0.112 l / 0.0040 ft3 圧空アクチュエータの閉時間 DN 16 0.10 s DN 40 0.55 s DN 63 0.70 s Functional principle closed open 2 4 3 1 Plate seal 2 Bonnet seal 3 Bellows 1 4 Valve body バルブシート側 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com