VAT株式会社のカタログ一覧
VAT株式会社のカタログ一覧
長年、圧倒的なバルブ技術力で真空分野に貢献！未来の5G、AI...
研究開発から量産装置まで、真空～極高真空の多種多様な装置・設備にてご使用頂けるバルブ...
世界・日本シェア圧倒的No.1! ※VLSI Research 2021より 研究開発から量産装置まで、真空～極高真空の多種多様な装置・設備にてご使用頂けるバルブ製品を、この1冊にすべて集約！ コマースでもお気軽にご購入いただけます→https:...
ミニUHVゲートバルブ SERIES 01.0
UHVから高度なアプリケーションまでの多用途バルブ
◆潤滑材不要 ◆パーティクル発生が少ない ◆ショック低減 ◆Vulcanizedシール ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
UHVアングルバルブ SERIES 28.4
極めて少ないアウトガス量が要求されるUHVアプリケーションの排気およびベント用
◆極めて少ないアウトガス量 ◆大きな差圧対応 ◆CF回転フランジ ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
UHVゲートバルブ SERIES 10.8
研究開発および産業のUHVアプリケーションの標準バルブ
◆潤滑剤不要 ◆DN 63-200用 Vulcanizedシール ◆メンテナンスが容易 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
【真空バルブのリーディングカンパニー VAT】UH...
研究開発および産業のUHVアプリケー ションの標準バルブ
【特徴】 ・潤滑剤が不要 ・Vulcanizedゲートシール付き DN63−200 ・メンテナンスが簡単 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
ポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ Lゲートバルブ SERI...
半導体や表面分析アプリケーションに最適
◆LゲートバルブSERIES 92.0Lゲートバルブ半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプチャンバー用真空遮断バルブ ◆低コスト ◆メンテナンスが容易 ◆パーティクル発生が少ない ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
コンボコントロールバルブ SERIES 95.1/95.2
ダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ
◆優れた圧力制御能力 ◆サービス用のアクセスが簡単 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
振子式バルブコントロールシステム SERIES 65.0
SEMI、FPDプロセスのダウンストリーム圧力制御および真空封止用バルブ
特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適 ◆高速、パーティクルフリー、ショックフリーな動作 ◆極めて短い制御応答時間 ◆サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX2接続用） ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
大型角型ゲートバルブ TWINVAT SERIES 06.1
最大300x3800mmの開口を備えたFPD製造装置用の軽量バルブ
◆軽量コンポーネントによる高速動作速度 ◆メンテナンス中のシステム停止時間なし ◆3つの異なるサービスポジション ◆メンテナンス中の安全モード ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
高真空アングルバルブ（ベローズ軸シール） SERIES 26...
高真空アプリケーションの排気、ベント用
◆アングルおよびインラインボディ ◆ベローズ ◆大きな差圧対応 ◆長いサイクルライフ ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
振子式高真空バルブ SERIES 16.2
コンパクトな真空封止用バルブ、高真空のアプリケーション用
◆バルブの開閉時に振動・パーティクルの発生が少ない ◆ボディ分割構造により容易で迅速なメンテナンスが可能 ◆分解、クリーニング後の調整不要 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
バタフライコントロールシステム SERIES 61.2
SEMI、FPD、PV、SOLAR、産業分野の圧力制御用バルブ。
CVDなどの高速で高度なプロセスに最適 ◆優れた圧力制御能力 ◆サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） ◆サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） ◆コンタミの多いプロセスへの優れた適応性 ◆詳細はカタログを...
ソフト排気用アングルバルブ SERIES 29.0
初期排気、ベント時の乱気流を抑止し、パーティクルの発生・基板の振動抑制用
◆大きな差圧対応 ◆絞り開口部はメモリでの設定が可能 ◆アングルおよびインラインボディ ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION SERIES...
半導体製造装置のロードロックチャンバーおよびプロセスチャンバーの真空封止用
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適 ◆real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 ◆パーティクルフリー、 ショックフリー ◆シール材に合わせてシール力を調整可能 ◆低ショック ◆詳細はカタログ...
大型角型ゲートバルブ FLAPVAT SERIES 06.8
PVセルおよび大型成膜装置用。
多数のPECVDアプリケーションでの実績あり。 ◆保有コストが低い ◆短い開閉時間による高いスループット ◆お客様指定のデザイン ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
大型角型ゲートバルブ SOLVAT SERIES 06.6
PVセルおよび大型成膜装置用
お客様指定のデザインに柔軟に対応（例: 水冷、加熱プロセスからの保護） ◆短い開閉時間による高いスループット ◆過酷なプロセスおよび高温用の設計 ◆バルブのフランジ面間距離が小さい ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
大型ドアー L-VAT SERIES 07.8
優れたパーティクル性能を備えたショックフリーL-MOTIONバルブ
FPDおよびPV製造装置用 ◆ショックフリーなL字動作 ◆パーティクルフリー、 バイブレーションフリーな動作 ◆保有コストが低い ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
コントロールゲートバルブ SERIES 64.2
SEMI、FPD、産業分野の圧力制御および真空封止用バルブ。
特にスパッタ・エッチングプロセスに最適。 ◆優れた圧力制御能力 ◆リミットスイッチ付き ◆サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用) ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
PARTICLE-FREEゲートバルブ SERIES 15....
15.0 真空/15.1 高真空/15.2 超高真空の真空封止用バルブ
パーティクル発生が極小、低振動を必要とする真空装置用 ◆ショックが極小 ◆パーティクル発生が少ない ◆真空部と機構は隔離 ◆Vulcanizedゲートシール ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
振子式コントロールバルブ SERIES 65.5
SEMI、FPDプロセスの圧力制御および真空封止用バルブ
特に過酷なエッチング、クリーニングプロセスに最適 ◆高速、パーティクルフリーな動作 ◆正確な圧力制御 ◆サービスポート装備（PC接続用とCPAソフトウェア用） ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
真空封止用 角型ゲート/インサート MONOVAT SERI...
200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロックおよびプロセス...
◆ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 ◆PEEK材でできた差圧タブ ◆メンテナンスフリーのアクチュエータ ◆簡単なゲート交換 ◆低ショック ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
耐・放射線性能 オールメタルゲートバルブ SERIES 48...
極高真空、高温、過酷な条件に対応
◆世界の研究機関で多数の採用実績あり ◆“Hard on hard“シーリング ◆頑丈 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
コントロールアングルバルブ SERIES 62.0
縦型炉を使用するLPCVD、ALD等の高温、高圧での 圧力制御および真空封止用ハ...
◆自動学習機能 ◆閉時間1秒 ◆短い制御応答時間 ◆簡易メンテナンス ◆200° Cまでベーク可能(任意) ◆EtherCAT ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
バタフライコントロールバルブ«ポジション制御用» SERIE...
シンプルな絞り用アプリケーション。高度な圧力調整が求められないプロセスに最適。
◆超高速動作 ◆ウィンドウズでのオペレーション可能な搭載型ソフトウェア ◆遠隔操作用アナログ / デジタルインターフェイス ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
バタフライバルブ SERIES 21.0
コンパクトな真空遮断バルブゲートバルブの代替品
◆頑丈でコンパクトなポンプ用真空遮断バルブ ◆差圧での動作が可能 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
ビームストッパー/ ビームストッパーインサート SERIES...
フォトンストッパー等の多様なアプリケーション用
◆水冷部と真空部との間に溶接部やロー付け部なし ◆工業用 ◆UHV対応 ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
圧力制御・真空封止用 均等排気バルブ SERIES 67.0
SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ
◆高度なエッチングプロセスに最適 ◆パーティクルフリーな動作で均等排気を可能にする ◆卓越した圧力制御の実績 ◆サービスポート装備（USBでPCとControl Performance Analyzer (CPA) ソフトウェアの接続用） ◆...
緊急遮断シャッターシステム SERIES 77.1 / 77...
加速器やストレージリングの真空系を突然の大気侵入から保護
◆77.1フラップシャッター/77.3スロットシャッター ◆高い信頼性 ◆メンテナンス不要 ◆研究機関向け ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
真空封止アプリケーション用 高真空ゲートバルブ SERIES...
特に堆積物の多いアプリケーションに最適
◆最大差圧で開閉 ◆セルフクリーニング式ウェッジシールで過酷なプロセスにも対応 ◆頑丈 ◆容易なメンテナンス ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
高真空シリンダーバルブ SERIES 25.0 / 25.1...
大きなコンダクタンスが要求される高真空アプリケーションの排気およびベント用
◆過酷な環境にも対応（粉末および腐食に対しての高い耐性） ◆最大級コンダクタンス ◆開位置でのゲートシールを保護 ◆開および閉位置での機械的ロック ◆パーティクル発生が少ない ◆詳細はカタログをダウンロードしてご覧下さい。