ドイツPI社製・6軸ヘキサポッドステージのご紹介。「パラレルキネマティック駆動でコン...
ドイツPI社製ハイスペック6軸ステージのパンフレットが完成しました。 6軸ステージの仕様や制御、それぞれの製品の比較ができるパンフレットです。 他社にはない高性能なラインナップをぜひご覧ください!! ■応用事例のご紹介 1.ALMA望遠鏡配列...
PI社のピエゾはすべて自社生産。他社と違い長寿命をうたうPICMA®セラミック使用。...
・精密位置決め市場を牽引するドイツPI社のピエゾステージ。 ・ナノポジショニングステージとスキャナでは、ナノメートルの精度の分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測の基準としての用途や微細プロセス、干渉計、...
メカニカルベアリングによる可動部のブレなどは、エアーベアリングを使うことで解決します...
摩擦がなく高精度の位置決め 非常に優れた速度安定性 最大5 µrad/100 mmの非常に優れたガイド精度 ガントリー向けのアクティブヨーイング制御 直接駆動リニアモーターおよびトルクモーターによりスムーズな高速スキャンに対応 ACS Mot...
6軸駆動のヘキサポッドステージは、従来の積み重ねにはできない、”回転中心””座標系”を任意に設定することができます。駆動アクチュエータには、DCサーボ、ボイスコイルがあり、カスタマイズでピエゾ駆動、ステッピングモータなども対応実績。サブミクロンの再現性、...
グラナイト(石)加工専門メーカ
2021年にPIグループになった、ピー・ヂー・ダブリュー株式会社(PGW)社は、25年に渡り、グラナイト(石)の精密加工・組立を専門に長年提供しています。またグラナイトを用いた位置決め機器システムの開発設計・製造も行っています。FPD、半導体など向けを得...
ハイパフォーマンス、コンパクトXYナノポジショニングシステム
・スキャン用途や高精度な位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・最大300 mm × 300 mmの移動範囲 ・最大積載量 147 N ・ロープロファイル ・分解能:1 nm
顕微鏡対物レンズ用高精度ポジショナー&スキャナー
・最大動作量 100µm、400µm、800μmの3タイプ ・モータードライブよりも大幅に速い応答性と長寿命 ・サブナノメートルの分解能での対物レンズの微細な位置決め ・静電容量式センサーによる直接位置測定: 最高の直線性
ピエゾベースの対物フォーカスドライブシリーズ
ライフサイエンス、材料顕微鏡、品質保証、半導体製造など、様々な用途において、対物レンズの垂直方向の位置決めシステムは、ますます重要な役割を果たしています。ピエゾを用いたレバー増幅型の垂直軸は、約20年前からこの課題に対する標準的なソリューションとして証明...
精密位置決め装置選定時におさえておきたいプロセスをご紹介し、最適な製品をご案内してお...
製造装置や検査装置、光学機器などに欠かせない「位置決め技術」。特に半導体製造装置や光学機器ではナノレベルの精度が求められており、選定の難易度は増すばかり。最適なものになかなかたどり着けないという方も多いのではないでしょうか。 本ガイドブックでは、各...
ピエゾ、各種モータを駆動源とした製品の紹介。各駆動品の特長や比較一覧にしております
・スペースが限られているアプリケーションでは、小さなステージやアクチュエータが不可欠です。特に、 PI 社 のコンパクト精密位置決め製品は、最先端の研究開発、超高真空アプリケーションや非磁性環境、微小部品のマイクロアセンブリ、産業用アプリケーションでの小...