長距離動作のPIFOC対物レンズスキャナー

長距離動作のPIFOC対物レンズスキャナー 顕微鏡対物レンズ用高精度ポジショナー＆スキャナー P-725.xCDE2 ・最大800μmの移動範囲 ・モータードライブよりも大幅に速い応答性と長寿命 ・サブナノメートルの分解能での対物レンズの微細な 位置決め ・静電容量式センサーによる直接位置測定： 最高の直 線性 ・Metamorph®イメージングソフトウェアとの互換性 ・Ø 29 mmの大きな開口部 Application fields ・超解像度顕微鏡 ・ライトディスク顕微鏡 ・共焦点顕微鏡 ・2光子顕微鏡 ・3Dイメージング ・スクリーニング ・インターフェロメトリー ・計測技術 ・オートフォーカスシステム ・バイオテクノロジー ・半導体検査 PICMA® ピエゾアクチュエーターによる優れた寿命 特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミックで絶縁されています。これにより、湿気や リーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁 されたアクチュエータと比較して、最大で10倍の寿命を実現します。1,000億サイクルで一度も故障していないこ とが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、非接触でサブナノメートル分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯の帯 域幅を保証します。 遊びのないフレクシャーガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も必要ありません。剛性が高いため高負荷に対応 でき、衝撃や振動にも強く、広い温度範囲で使用できます。 Page 1 15.11.2021 WWW.PI.WS

Motion Unit Toleran- ce P-725.1CDE2 P-725.4CDE2 P-725.8CDE2 Active axes Z Z Z Travel range in Z µm +20 / -0 % 100 400 800 Travel range in Z, open loop µm ±20% 120 420 840 Linearity error in Z % 0.01 0.01 0.02 Flatness (Linear crosstalk in X with motion in Z) nm Typ. Straightness (Linear cros- stalk in Y with motion in Z) nm Typ. Yaw (Rotational crosstalk in θX with motion in Z) µrad ± 10 ± 10 ± 50 Pitch (Rotational crosstalk in θY with motion in Z) µrad ± 10 ± 45 ± 50 Roll (Rotational crosstalk in θZ with motion in Z) µrad Typ. ___ Positioning Unit Toleran- ce P-725.1CDE2 P-725.4CDE2 P-725.8CDE2 Integrated sensor Capacitive, direct position measu- Capacitive, direct position measu- Capacitive, direct position measu- ring ring ring System resolution in Z nm Resolution in Z, open loop nm Typ. 0.1 0.1 0.4 Unidirectional repeatabili- ty in Z µm Typ. Bidirectional repeatability in Z nm Typ. Point repeatabilitiy, 10% step, 1 sigma nm 10 10 50 Minimum incremental motion in Z nm 1 4 5 Settling time for 10% step in Z ms ±10 % 14 22 39 Position noise in Z nm Max. 0.1 0.1 0.4 Sensor noise, 1 sigma nm 0.2 0.2 0.8 ___ Drive Properties Unit Toleran- ce P-725.1CDE2 P-725.4CDE2 P-725.8CDE2 Drive type PICMA® PICMA® PICMA® Electrical capacitance in Z µF ±20% 3.2 6.4 12.8 Operating frequency Hz ___ Page 2 15.11.2021 WWW.PI.WS

Mechanical Properties Unit Toleran- ce P-725.1CDE2 P-725.4CDE2 P-725.8CDE2 Guide Flexure guide with lever amplifica- Flexure guide with lever amplifica- Flexure guide with lever amplifica- tion tion tion Stiffness in Z N/µm ±20 % 0.5 0.25 0.07 Resonant frequency in Z, under load with 150 g Hz ±20% 290 175 110 Resonant frequency in Z, unloaded Hz ±20% 680 400 230 Mechanical interface Objective diameter mm Max. 39 39 39 Permissible push force in X N Max. Permissible push force in Y N Max. Permissible push force in Z N Max. 100 100 100 Permissible pull force in X N Max. Permissible pull force in Y N Max. Permissible pull force in Z N Max. 20 20 20 Permissible torque in θx N·m Max. Permissible torque in θY N·m Max. Permissible torque in θZ N·m Max. Overall mass g ±5 % 280 280 350 Mass without cable g Material Stainless steel, aluminum Stainless steel, aluminum Stainless steel, aluminum ___ Miscellaneous Unit Toleran- ce P-725.1CDE2 P-725.4CDE2 P-725.8CDE2 Connector D-sub 7W2 (m) D-sub 7W2 (m) D-sub 7W2 (m) Sensor connector Vacuum class hPa E-709.1C1L - economic choice, sui- E-709.1C1L - economic choice, sui- E-709.1C1L - economic choice, sui- Recommended controllers table for most use cases; table for most use cases; table for most use cases; / drivers E-754.1CD - high performance choi- E-754.1CD - high performance choi- E-754.1CD - high performance choi- ce for highest precision ce for highest precision ce for highest precision Cable length m +50 / -0 mm 1.5 1.5 1.5 Operating temperature range °C 10 to 70 10 to 70 10 to 70 ___ Position noise: 1 sigma Settling time: 1 % error band, 150 g load The objective is not included in the scope of delivery. ___ Page 3 15.11.2021 WWW.PI.WS

Drawings / Images Fast step-and-settle: Due to its stiff design, the P-725.1CDE2 PIFOC can make a 10-µm step with an error band of 1% in only 14 ms (150 g load, with E-709.1C1L controller). Fast step-and-settle: Due to its stiff design, the P-725.4CDE2 PIFOC can make a 40-µm step with an error band of 1% in only 22 ms (150 g load, with E-709.1C1L controller). Fast step-and-settle: Due to its stiff design, the P-725.8CDE2 PIFOC can make a 80-µm step with an error band of 1% in only 39 ms (150 g load, with E-709.1C1L controller). Page 4 15.11.2021 WWW.PI.WS

Drawings / Images Threaded adapter and spacers for P-725.xCDE2 Page 5 15.11.2021 WWW.PI.WS

Drawings / Images P-725.1CDE2 and P-725.4CDE2, dimensions in mm (please order the adapter and spacers separately) Page 6 15.11.2021 WWW.PI.WS

Drawings / Images P-725.8CDE2, dimensions in mm (please order the adapter and spacers separately) Page 7 15.11.2021 WWW.PI.WS

Drawings / Images P-725.4CDE2 P-725.8CDE2 Page 8 15.11.2021 WWW.PI.WS

Drawings / Images P-725.8CDE2 with P-725.03x thread adapters and P-725.03S spacer inserted between the revolving nosepiece of the microscope and the objective Order Information P-725.1CDE2 PIFOC piezo nanofocusing system for long travel ranges and fast step-and-settle, 100 µm, capacitive sensors, D-sub connectors P-725.4CDE2 PIFOC piezo nanofocusing system for long travel ranges and fast step-and-settle, 400 µm, capacitive sensors, D-sub connectors P-725.8CDE2 PIFOC piezo nanofocusing system for long travel ranges and fast step-and-settle, 800 µm, capacitive sensors, D-sub connectors Page 9 15.11.2021 WWW.PI.WS