アニール炉
アニール炉
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セラミック・トップ・ヒーター Max1800℃ 超高真空 ...
CTH
Max1800℃ φ1〜φ12inch 超高真空対応 CVD, PVD真空薄膜用 均熱ウエハー加熱ヒーター
セラミック・トップ・ヒーターは、大気圧・真空・プロセスガス中での各種薄膜実験・...
【MiniLab-WCF/WMF】超高温ウエハーアニール炉 Max...
MiniLab-WCF, -WMF
φ2〜8inchウエハー高温焼成専用機 コンパクト・簡単操作 2200℃まで均一なアニール処...
安全性・操作性を重視した、『ウエハー焼成』専用R&D用超高温実験炉。 ◆主な特徴◆...
【MiniLab-CF, -MF】超高温小型実験炉 Max2900℃
MiniLab-CF, MiniLab-MF
小片試料を最高2900℃まで加熱実験ができるR&D用超高温小型実験炉。
◆モデル◆ ・MiniLab-CF（カーボン炉：真空・不活性ガス中 Max2900℃） ・MiniLab-MF...
SHシリーズ 基板加熱ヒーター
SH-IN, SH-BN
CVD, PVD（蒸着, スパッタ, PLD, ALD等）均熱性・再現性に優れた高真空 超高温ウエハ...
大学・官公庁研究機関、半導体・真空装置メーカーなどで真空薄膜実験用に多数の採用...
【ホットステージ】基板加熱機構 Max1800℃
HS
超高温基板加熱ユニットに、上下昇降・回転、RF/DC基板バイアスの全てが1台で可能! '...
◉ 超高真空・不活性ガス雰囲気中・その他各種プロセスガス雰囲気に対応 ◉ 基板上下...