PTM-200 ポンプミキサー (半導体・マイクロエレクトロニクス用)

100 リトルのユーザタンク容量向けの最大 0.16 MPa 又は 20 l/minのポンプミキサー

ベアリングレス・シールレス・パルスレス・ノンパーティクル・コンタミフリー

PTM-200 ポンプミキサーはミキシング機能とポンピング機能を一台でおこなう、革新的なシステムです。システムは摩耗する恐れのある軸受がなく、液漏れの恐れのある軸封も使用しない、画期的なシステムです。磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。インペラとケーシングは、共に耐薬液性の高い高純度フッ素樹脂で造られています。これらはロ-タ磁石と共にポンプヘッドを構成しています。流量と吐出圧は、インペラの回転数を電子回路によりコントロールすることにより、正確に制御されますので脈動がありません。混合流量はインペラの回転数及び混合孔の寸法ならびに孔数に依存して決まります。

ポンプミキサーヘッドは、インペラ、ミキサーケーシング及びこれらをタンクに取り付けるミキサーフランジとともに供給されます。タンクの一部分であるミキサーリッドの設計仕様については、Levitronix®にご要求ください。

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PTM-200 ポンプミキサー (半導体・マイクロエレクトロニクス用)の情報・製品仕様

主な用途	半導体ウェットプロセス CMP スラリーの希釈混合と供給太陽電池製造 FPD 製造ハードディスク基板製造印刷用インク、研磨液化学薬品製造、製薬・医薬製造
URL	http://www.levitronix.com/ja/ptm-200.html