マイケルソン干渉計
MI-μ1020、SP-530
微小域の密度分布・平面度測定・段差膜厚測定等を非接触で高精度に測定可能
平行光をビームスプリッターにより2つの光路に分割し、2つに分かれた光束をそれぞれ2枚の平面鏡で反射させ、元の光路を通りビームスプリッターで重ねる事により干渉縞が生じる。
一方は高精度平面鏡で、他方は被検面で反射させる事により、平面度測定や段差測定も可能となる。 また、白色光を使い白色干渉縞（カラーフリンジ）を解析する事で、不連続な干渉縞も観測が可能となり、フィゾー式では困難な微小域の密度分布・平面度測定・段差膜厚測定等を非接触で高精度に測定が可能。
製品ラインナップ
■MI-μシリーズ
顕微鏡と干渉計の機能を備えたベーシックタイプ
■MI-F2シリーズ
ファイバーのクリープ面の測定を簡易化した光ファイバー顕微干渉計
■SP-530シリーズ
広視野表面形状の3次元測定
企業情報
株式会社溝尻光学工業所
株式会社溝尻光学工業所は創業以来90年の実績で培った技術力を基に、他社ではできない特注・カスタマイズ測定機をご提供しております。 測定にお困りの際には、まずはお気軽にご相談頂ければあらゆる可能性をご...
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