マイクロスキャニングステージ
MSS-150C
薄型・軽量・大移動量 顕微鏡用途に対応するXY自動ステージ
顕微鏡搭載用のXY自動ステージです。薄型・軽量でありながら精度は妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。±25mmから±150mmまで5種類の移動量をもつ製品を用意しています。薄型・軽量でありながら精度は妥協しておりません。標準付属のアルミプレートを取り外し、オプションのガラスプレートを使用すると透過照明にも対応します。±25mmから±150mmまで5種類の移動量をもつ製品を用意しています。
| 主な用途 | ウェハをはじめとする各種試料の顕微鏡用途 |
|---|---|
| URL | http://www.chuo.co.jp/ |
| 移動方向 | XY軸2方向 |
| 移動量 | ±75mm |
| ステージ面 | 280mm×230mm |
| 使用モータ | PK523HPA相当（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相） |
| 分解能 | 0.002mm |
| 移動ガイド | V溝とクロスローラ |
| 移動精度 | 真直度（水平）0.010mm、（垂直）0.015mm |
| 位置決め精度（1/10ストローク） | X軸0.010mm、Y軸0.010mm |
| 繰り返し精度 | ±0.002mm |
| ロストモーション | 0.003mm |
| 耐荷重 | 49N(5kgf) |
| 最高速度（8,000pps時） | 16mm/s |
| 主要材質/表面処理 | アルミ合金/黒アルマイト梨地 |
| 標準付属品 | アルミプレート |
| 適合ケーブル | ACB-STM2、ACB-STM3 |
| 推奨コントローラドライバ | QT-AMH2A、QT-AMH2A(K) |
| RoHS指令対応状況 | RoHS指令適合品 |
企業情報
中央精機株式会社
精密位置決めユニット、光学機械器具の製造および販売 ・メカニカルステージ（自動ステージ、手動ステージ） ・オプティカルアクセサリ（光学実験器具） ・オプティカルエレメント（光学部品） ・工作顕微鏡「ツ...
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