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HS
超高温基板加熱ユニットに、上下昇降・回転、RF/DC基板バイアスの全てが1台で可能! '...
◉ 超高真空・不活性ガス雰囲気中・その他各種プロセスガス雰囲気に対応 ◉ 基板上下...
SH-IN, SH-BN
CVD, PVD(蒸着, スパッタ, PLD, ALD等)均熱性・再現性に優れた高真空 超高温ウエハ...
大学・公的研究機関、半導体・真空装置メーカーなどで真空薄膜実験用に多数の採用実...
CTH
Max1800℃ φ1〜φ12inch 超高真空対応 CVD, PVD真空薄膜用 均熱ウエハー加熱ヒーター
セラミック・トップ・ヒーターは、大気圧・真空・プロセスガス中での各種薄膜実験・...
MiniLab-026, -060, -080, -090, -125
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。...
MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じ...
nanoPVD-S10A
最高性能 優れた膜質 コストパフォーマンスに優れたR&D用卓上型マグネトロンスパッタ...
◉ nanoPVDは、最大1000layer, 50filmのレシピを作成する事が可能。 ユーザの作成し...