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レーザドップラ振動計 LV-1800

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ドキュメント名 レーザドップラ振動計 LV-1800
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このカタログの内容

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●LV-1800 外形寸法図(単位:mm) LV-1800 検出部 変換部 52.5 152.5 27 (25.5) 36 116.5 センサヘッド収納部 ケーブル巻き取り部 レーザドップラ振動計 質量 750g 2-M4 ∅4 深5 G7 25 10 29 2 (2) 410 (2) M8 深8 M8 32.5 深8 平面図 ●LV-1800 周波数特性グラフ ●振幅検出範囲 LPF=OFF( fc=3 MHz ) 周波数特性 LPF=50 kHz ゲイン周波数特性 45 5 0 -45 -90 0 -135 -180 -225 -5 -270 -315 -360 -10 0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k 0 周波数[Hz] -5 LPF=100 kHz ゲイン周波数特性 5 -10 -15 -20 0 -25 -30 0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k 1 M 10 M -5 Dynamic & High-Resolution 周波数[Hz] HPF=100 Hz ゲイン周波数特性 5 -10 0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k 周波数[Hz] LPF=1 MHz ゲイン周波数特性 0 5 -5 0 -10 10 100 1 k 10 k 100 k -5 周波数[Hz] -10 0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k 1 M 10 M 周波数[Hz] ●適合規格 ●説明及び警告ラベルの貼り付け 本器は以下の規格にしたがって設計、検査されています。 「JIS C 6802」「IEC 60825-1:2007」「FDA(CDRH) 21CFR L A S E R R A D I AT I O N D O N O T S TA R E I N T O B E A M 1040.10 and 1040.11 except for deviations pursuant to Laser 1 m W M A X . C W H e - N e 6 3 3 n m C L A S S 2 L A S E R P R O D U C T Notice No.50」「CEマーキング(低電圧指令:EN61010-1)(EMC指令: I E C 6 0 8 2 5 - 1 : 2 0 0 7 EN61326-1)」「FCC(Part 15B)」「CANADA EMI規制(ICES-003)」 ※Microsoft® Windows®は米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。 その他記載されている会社名、 製品名は各社の商標または登録商標です。 お客様へのお願い  当社製品(役務を含む)を輸出または国外へ持出す際の注意について 当社製品(役務を含む)を輸出または国外へ持出す場合は、外為法(外国為替及び外国貿易法)の規定により、リスト規制該当品であれば、経済産業大臣へ輸出許可申請の手続きを 行ってください。また非該当品であれば、通関上何らかの書類が必要となります。尚、非該当品であってもキャッチオール規制に該当する場合は、経済産業大臣へ輸出許可申請が必要と なります。お問い合わせは、当社の最寄りの営業所または輸出管理担当窓口(電話045-476-9707)までご連絡ください。 ●記載事項は変更になる場合がありますので、ご注文の際はご確認ください。 注意 ●機器を正しく安全にお使いいただくために、ご使用前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。 ●代理店・販売店 〒222-8507 神奈川県横浜市港北区新横浜3‒9‒3 TEL(. 045)935‒3888 お客様相談室 フリーダイヤル 0120-388841 受付時間 : 9:00~12:00/13:00~18:00(土・日・祝日を除く) 北 関 東(028)684‒2400 浜 松(053)462‒5611 九 州(092)432‒2335 埼 玉(048)474‒8311 中 部(0565)41‒3551 海 外(045)476-9725 首 都 圏(045)935-3838 関 西(06)6386‒3141 沼 津(055)988‒3738 広 島(082)246‒1777 ホームページアドレス https://www.onosokki.co.jp/ E‒mailアドレス webinfo@onosokki.co.jp CAT.NO.1654-10 Printed in Japan( U()LI) '22.11月改訂 GAIN[dB] GAIN[dB] PHASE[deg] GAIN[dB] GAIN[dB] GAIN[dB] (17) (14) 120 (12) 273 (52) (16) 325 32 (R) 4 G7 53 (30.5) 22.5 ∅3 8 ∅16
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止まらない進化が非接触 振動計測を深化させる レーザドップラ振動計 LV-1800 ハンドリングの良い小型・軽量センサ センサはレーザ光源と分離。小 型・軽量で設置の制約なく、全 方位にレーザ光の照射ができ ます。また豊富に用意されたオ プションで奥まった箇所や狭 い部位の振幅検出も可能にし ます。 センサセとン位サと置T決Vめカメ用ラカをメ一ラを体一化体化 焦点位置も検出状況もひと目で把握 LV-1800はセンサと高レー感ザ度光ディのジ位イ置タ決ルめTV用カの センサには検 出 状 況を示す メ高ラ感※度1をデ一ィ体ジタ化ル設カ計メ。ラ検※出1を感一度体の化低設下計なし。検で出 SIGNAL LEVELインジケータと 感対度象の物低やレ下ーなしザで光対の象照物射や部レ位ーをザP光Cの※2照で射確部 レーザ光の焦点位置を示す距離目 収納も移動も簡単 位認をでWきまinすdo。wまsた® LPVC-※021で5確5対認で物きレまンすズ。まやた 盛りを装備。センサ設置に必要な 本体にセンサ収納と3 mの LV--0115815B 照対明物レユンニズットやをLV組-0み1合85わ 照せる明事ユでニッ 情報を手元に集約し、すばやく確 ケーブル巻き取り部位を装 トMをE組MみS(合Mわiせcるro事 EでleMcEtMroS (MMeichroa nEilcecatlr o 実なセッティングを可能にしました。 備。収納や保管、現場間の MSyesctehmansi)cやal微 S小ys物te体mへs)のやレ微ー小ザ物照体射へと振のレ幅ー 移動も安全に行えます。オプ ザ検照出を射可と振能幅にし検ま出すを。可能にします。 ションのLV-0350 収納トラン ※ 1L VLV-0-108118 1位 位置置決決めめ用用内内蔵蔵カカメラメラ、L、VL-V0-108158 5照 照明明ユユニッニトッオト     プオシプョンショ。ン。 クにはLV-1800本体の他、 ※2W Wininddoowwss/7® 7(SP1以降)/ 10 ファン・レスで自己振動対策 大型マグネットスタンドや照明 ユニットなど主要なオプションを収納し、保管や送付が可能です。 LV-1800はファン・レスの自然空冷で自己振動対策を実施。検出 対象に本体やセンサから振動ノイズが伝わるのを防ぎ、微小振幅の 検出に影響を与えません。 オプション+計測で強力ソリューション 検出感度を大幅に向上 4つの速度レンジで幅広い振幅をカバー 豊富な現場経験から生まれたLV-1800と専用オプション類は、 新設計の干渉光学系は従来機 LV-1800の検出可能な速度振幅は 様々な検出シーンを実現可能にします。また小野測器の波形解析 に比べ+20 dBmもの検出感度 受光信号 0.05 μm/s※~10 m/s。超音波ツー 現場を選ばないクラス2のレーザ光 装置とソフトウェアは波形から対象の挙動や特徴を可視化し、強力 20 dBm の向上を達成し、検出対象や 向上! ルや圧電素子の高速振幅から、薄膜 でスムーズなソリューションをご提供いたします。 制限を大きく緩和。センサの設置 やMEMS、セラミックコンデンサの発す LV-1800のレーザ光は安全基準でクラス2です。1 mW未満の可 やセッティングが容易になりま る極微小振幅まで幅広い対象の挙動 視光レーザを使用しています。以下の安全規格に適合していますの した。 を検出できます。 で、グローバルな現場でご使用いただけます。 ■「JIS C 6802」 ■「IEC 60825-1:2007」「FDA(CDRH) 21CFR 1040.10 and ※最小分解能はLV-0800 1040.11 except for deviations pursuant to Laser Notice No.50」  微小速度レンジボード装着での最大復調時 ■「CEマーキング(低電圧指令:EN61010-1)(EMC指令:EN61326-1)」 ■「FCC(Part 15B)」 ■「CANADA EMI規制(ICES-003)」 2 3
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LASER 無負荷・ 非接触を可能にする レーザドップラ振動計 LV-1800は、レーザ光のドップラ・シフトを利用して無負荷・非接触で振動の速度振幅を 基板に実装された部品の振幅・共振点計測 検出する振動センサです。接触型の振動センサでは困難な、高速・高周波・透明・薄膜・微小物体の計測、非 レーザドップラ振動計は高空間分解能のため、振動試験時に電子 接触検出を可能にします。 基板に実装された電子部品の振幅をピンポイントで検出することが できます。各々で質量の違う部品や基板の振動モードによって、印 加した指定加速度以上に部品が振幅し想定外の負荷が部品に掛 レーザドップラ振動計 センサ LV-1800 かっているケースなども確認する事ができます。 ヘッド O-Solution 【アプリケーション事例】 Power 0 20 USB3.0ケーブル -10 10 基盤実装部品の振動、共振点計測・EV/HEVのインバータやコンデンサ、リアクトルの振動計測、ガラス越し計測・ -20 CH1 加速検出器 (一定の振幅に加速器を制御) 加速度検出器 NP series 速度振幅(m/s) -30 -10 透明、薄膜等フィルムの振動計測・CD、DVD、BD等光メディアピックアップの共振点計測・HDD各種構成部品の 電子機器 -40 CH2 -20 基板 CH2 -50 レーザドップラ -30 振動計 評価・携帯端末等のマイクロホン、レシーバの評価・超音波溶着機、ワイヤーボンダのツール振幅計測・圧電素子、 Sig_OUT -60 -40 -70 -50 CH1 -80 -60 MEMS等の計測・超音波モータの挙動計測 加振アンプ -90 -70 DS-5000 -100 -80 10 100 1kPz Hz 超音波ツールの振幅計測 薄膜振動の計測 超音波溶着機やボンディングマシンのツール振幅など、20 kHz超の 無負荷、非接触が特長のLV-1800は薄膜の振幅計測に最適です。 ボンディングマシン 超音波ヘッド部 周波数で高速振幅する対象の振幅計測を可能にします。振幅値や周 映像出力 携帯端末のマイクロホンの振動膜やレシーバ、スピーカのコーン紙、液 (USB2.0)※ 波数解析で溶着品質や機器メンテナンス時期の判断が可能です。 晶用フィルムなどの透明膜の振幅計測も可能です。 レーザドップラ振動計 センサヘッド LV-1800 検出部位と振幅データを 同時に表示 センサヘッド PC 映像出力 (USB2.0)※ DS-5000 O-Solution レーザドップラ振動計 LV-1800 計測用マイクロホンの 振動膜振幅計測 計測処理用ソフトウェア 高速サンプリングユニット ※画像表示はLV-0181 位置決め用内蔵カメラ(OP)搭載時 ※画像表示はLV-0181 位置決め用内蔵カメラ(OP)搭載時 ガラス越し計測 微小構造物の計測 レーザドップラ振動計は焦点位置にない透明体は検出しません。その LV-1800のレーザスポット径は標準で約φ20 μm、LV-0151B 対物 恒温槽 観測窓 特徴を使い、真空チャンバーや恒温槽に入った物体の振幅をガラス越 レンズを装着することで約φ3 μmの微小スポット径に絞る事が可能で 映像出力 基板 しにレーザ照射し、検出する事が可能です。 (USB2.0)※ す。この高い空間分解能でMEMS(Micro Electro Mechanical レーザドップラ振動計 Systems)を代表とする微小構造物の振幅など、従来は困難だった検 LV-1800① センサヘッド レーザドップラ振動計 出を可能にします。 LV-1800 治具 センサヘッド 映像出力(USB2.0)※ +LV-0181 位置決め用内蔵カメラ(OP) レーザ LV-0185 ドップラ振動計 計測対象 照明ユニット(OP) LV-1800② 対物レンズ(OP) 2軸、2ch差動 演算により 恒温槽のファンや DS-5000 O-Solution コンプレッサの O-Solution DS-5000 振動をキャンセル 棚板 ※画像表示はLV-0181 位置決め用内蔵カメラ(OP)搭載時 微小構造物 ※画像表示はLV-0181 位置決め用内蔵カメラ(OP)搭載時 4 5 dBm/sr( 10dB)
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LV-0181 位置決め用内蔵カメラ LV-0185 照明ユニット LV-0181 位置決め用内蔵カメラは、LV-1800のセンサに内蔵される高感度な ■LV-0181 位置決め用内蔵カメラ 仕様 LV-0185 照明ユニットは、レーザ光と同軸落射で検出対象を照明するオプション ディジタルカメラです。レーザ光の焦点と画像のピントが共通の同軸・共焦点のカ コネクタタイプ USB2.0 本体側 mini-Bタイプ です。対物レンズ装着時に同じワーキング・ディスタンスで検出部位を集光照明 メラはUSB2.0出力でWindows® PCに検出部位を画像表示し、小さな測定対 し、LV-0181 位置決め用内蔵カメラの画像を鮮明化。照明の当たらない箇所や 象の確認やレーザ照射をスピーディに行う事ができます。またLV-0151B 対物レ 撮像素子 CMOSカラーセンサ 1/4インチ 微小な検出部位へのレーザ照射・位置決めを容易にします。 ンズやLV-0185 照明ユニットとの組み合わせも可能です。 画素数 30万画素 以上 画像サイズ VGA(640×480) フレームレート 30フレーム/秒 最小撮像範囲 WD=100 mm(最短)時:10 mm×7.5 mm(TYP.) 機能 露出/ゲイン/ホワイトバランス(自動) 使用環境 標準対応 Windows®7(SP1以降)/10 Display True Color 24 ビット以上 カメラ焦点 レーザ光焦点と共有 付属品 LV-0181 Camera Monitor ソフトウエア CD-ROM USBケーブル( CF-0703)1.5 m 10 0 m ケーブル 1.5 m(付属の延長ケーブル使用時) m10 10-1 m 1 1 m 0 -2 ■LV-0185 照明ユニット 仕様 コントロール 可変調整 1 変 0 -3  位 LV-0800 微小速度レンジボード 1 0 ( -4 m μm ) LV-0150B(5×)/0151B(10×) 使用温度範囲 0~40 ℃(結露なきこと) 1 1 0 -5 対応対物レンズ 10 -6 1 LV-0152B(20×) 使用湿度範囲 30~80 %RH(結露なきこと) LV-0800 微小速度レンジボードは、0.001( m/s)/Vレンジ追加用オプション 0 1 -7 10 m/s 10 m 1 1 n 0 -8 10 照明方式 LEDによる白色冷光同軸落射照明 入力電圧 AC 100~240 V 50/60 Hz です。セラミックコンデンサの振幅や材料中の超音波伝播の検出など、通常の 0 - n m 1 m/s 9 10 0.0 1 10 -10 測定レンジでは検出の難しい微少な振幅の検出を可能にします。LV-0800の追 速 10 発光部 白色LEDによる冷光照明 -1 -1 消費電力(VA) AC 100 V時 3.5 VA/AC 240 V時 9.0 VA 10 1 加で0.05 μm/s~10 m/sの速度振幅を4レンジでカバーします。 度 -2 10 8 (m/s) 10 7 1 mm/s -3 10 10 6 10 2 ) 5 /s -4 10 10 (m ■仕様 4 度 10 速 3 加 -5 10 10速度レンジ :0.001(m/s)/ V(0.01 m/s 0-(p MAX)) 2 微小物体振動・計測システム 10 1 μm/s -6 最小分解能: 0.05 μm/s ※最大復調時 10 0.3 μm/s 標準速度レンジ時 周波数範囲: 0.3~200 kH(z fc=-3 dB) -7 LV-1800にLV-0181 位置決め用内蔵カメラ、各種対物レンズを装着する事で、 10 0.05 μm/s 微小速度レンジ時オプション -8 (LV-0800)搭載時 レーザ光のマイクロ・スポット化と画像観察を可能にします。微小構造物へのレー 10 0 1 2 3 4 5 6 7 10 10 10 10 10 10 10 10 z 1 Hz H 周波数(Hz) ザ照射を可能にするシステム構成です。 1 k Hz Hz M 1 3 M 測定レンジは上記枠内です。 【構成例】 LV-0112 変位出力ボード / LV-0111 加速度出力ボード 使用対物レンズ 仕様 LV-0181 観察画像 ※対象スケール:100 μm/目盛 ・レーザドップラ振動計 LV-1800 LV-0150B LV-0112 変位出力ボード/LV-0111 加速度出力ボードは、LV-1800 【共通仕様】 ・位置決め用内蔵カメラ LV-0181 倍率:5倍 WD:36.1 mm に内蔵する事で検出した速度振幅(m/s)を、変位振幅(m)もしくは加 信号源 :速度信号は内部で受信し変換 ・対物レンズ LV-0152B ・照明ユニット LV-0185 スポット径:φ4 μm以下 速度振幅(m/s2)に変換し、オプションコネクタより出力します。速度振 出力形態 :アナログ電圧 変換アダプタ付属 幅と変位もしくは加速度振幅の同時観測が可能です。 出力電圧 :±10 V(MAX) ※最低入力インピーダンス100 kΩ以上 ・大型マグネットスタンド LV-0030 LV-1800にはLV-0112 変位出力ボード、LV-0111 加速度出力ボー DCオフセット: 20 mV以内 ・XY軸微動ステージ LV-0015 LV-0151B ドのいずれか1枚が搭載可能です。 最大振幅 :各設定レンジの10倍(0-p) ・Z軸微動ステージ LV-0016 倍率:10倍 WD:38.8 mm 振幅変換誤差 :±5 %以内 スポット径:φ3 μm以下 振幅出力極性 :センサ側に接近時+電圧 ※画像表示用にPCが必要です。 ■LV-0112 変位出力ボード 仕様 変換アダプタ付属 LV-1800 変位設定レンジ ■LV-0111 加速度出力ボード 仕様 LV-0152B 倍率:20倍 設定レンジ 1 Hz~20 kHz 10 Hz~50 kHz 1 kHz~200 kHz LV-1800 加速度設定レンジ WD:22.5 mm スポット径:φ2.5 μm以下 1.0(m/s)/V 100 mm/V 1 mm/V 10 μm/V 設定レンジ 1 Hz~2 kHz 1 Hz~20 kHz 100 Hz~400 kHz 変換アダプタ付属 0.1(m/s)/V 10 mm/V 100 μm/V 1 μm/V 1.0(m/s)/V 10(3 m/s2)/V 10(5 m/s2)/V 10(7 m/s2)/V ※20倍を超える対物レンズについては別途お問い合わせください。 0.01(m/s)/V 1 mm/V 10 μm/V 100 nm/V 0.1(m/s)/V 10(2 m/s2)/V 10(4 m/s2)/V 10(6 m/s2)/V 0.001(m/s)/V 0.1 mm/V 1 μm/V 10 nm/V 0.01(m/s)/V 10( m/s2)/V 10(3 m/s2)/V 10(5 m/s2)/V 6 7
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LV-3800 三次元光学ユニット LV-0383 三次元顕微鏡ユニット LV-0121A ディジタル変位計 輸出貨物:リスト規制該当品 LV-0121A ディジタル変位計は、レーザドップラ振動計LV-1800/1710/ 1720/1720A に接続する事で、DC からの変位(m)を最大1 MHz サ ンプリング、0.155 nm の高分解能で検出する事ができます。変位はアナ ログとディジタルで出力され、LV-0930 変位解析ソフトウェアを使う事で 速度振幅(m/s)、加速度振幅(m/s2)変換、2軸差動変位計測など多彩 な解析が可能です。 ■用途 ・DCオフセットを含む変位振幅の評価 ・MEMSや圧電素子の微小変位計測 ・カンチレバー構造の変位評価 ・エアシリンダやアクチュエータの変位評価 ■システム構成例 光学ユニット/ポール/基台のみ 光学ユニット/ポール/基台のみ ※レーザドップラ振動計は含まれません。 ※レーザドップラ振動計は含まれません。 ディジタル変位計 LV-0121A LV-3800 三次元光学ユニットは、レーザドップラ振動計にて、 LV-0383 三次元顕微鏡ユニットは、レーザドップラ振動計用の光学 + XYZ3方向に発生する振動検出を非接触で可能にする光学ユ ユニットです。MEMSや圧電素子、微小構造体の検出を可能にしま レーザドップラ振動計 接続セット LV-0041 ディジタル変位出力 ニットです。接触式での検出が困難な超音波機器や素子の振動・ す。同軸落射照明と倍率の異なる2台のディジタルビデオカメラ LV-1800 USB 2.0 伸長状態やせん断方向の振動検出を可能にします。 (LV-0181装着時)で素早く正確なレーザ光の照射位置決めと、静 止画像記録が可能です。 変位出力(m/V) ※Z方向のみ検出する顕微鏡ユニット LV-0381もございます。 ±10 V 速度出力((m/s)/V) 変位解析ソフトウェア ■システム構成例(三次元計測時) ±10 V LV-0930 レーザドップラ振動計 ●変位 ●速度 ●加速度 ●変位&速度グラフ LV-1800×3 DS-5000 ベクトル演算実施 速度出力 ※オプションのLV-0930 変位解析ソフトウェアを使用する事で、変位から速度、加速度への変換やCSVへの出力が可能になります。 ×3 O-Solution ■LV-0121A ディジタル変位計 仕様 アナログ出力 その他入出力 ア ナ ロ グ 出 力 ±10 V( 入力インピーダンス100 kΩ以上にて) 変位ゼロリセット信号入力/ TRIG信号入力 DC:DC~100 kHz(fc=-3 dB) 遮 断 周 波 数 コネクタタイプ:R03-R5F AC:0.3 Hz~100 kHz(fc=-3 dB) 外部リセット信号:無電圧a接点信号入力/closeにてRESET動作 直 線 性 直線性±0.1 %/F.S(温度係数:±0.025 %/F.S/℃) TRIG 信号:TTL(+5 V信号) ■LV-3800/0383/0381 仕様 アナログリップル 2 mVp-p以下 Hi=5~ 3.5 V / Lo=1.5 ~ 0 V 出力インピーダンス 50 Ω(最低入力インピーダンス100 kΩ以上) EXT信 号 入 力 LV-0930使用時使用可能 ユニット型名 LV-3800 LV-0383 LV-0381 出 力 端 子 C02型(BNC) A:外部リセット信号入力 アナログ変位レンジ B:外部リセット信号COM 対応レーザセンサ LV-1800/1710/1720/1720A LV-1710/1720/1720Aは販売終了製品 2.5 m/s(全レンジ) ピンアサイン C:TRIG信号入力 測定距離 165 mm 38.9 mm(対物レンズ10 x 固定) 最 大 計 測 速 度 レーザドップラ振動計 LV-1700シリーズまたはLV-1800接続時 D:TRIG信号COM 検出光学系 レ ン ジ 表 示 選択レンジを7セグメントLEDで表示 E:̶ スポット径 35 μm以下 4.5 μm以下 使用対物レンズによって変化※ 最大測定範囲 アナログ最小分解能 ディジタル分解能 同期用コネクタ(2台接続時) 対象観察装置 CMOSカメラ LV-0181 位置決め用内蔵カメラ 1280 x 960(USB 2.0出力) 0.1 μm/V ±1 μm 0.15 nm SYNCHRONOUS RESET信号 上下ストローク 30 mm 1 μm/V ±10 μm 0.3 nm 信 号 入 出 力 信号 CLK信号 5 μm/V ±50 μm 1.5 nm 粗動ストローク 36 mm/回転 フォーカシングユニット 10 μm/V ±100 μm 3 nm TRIG信号 微動ストローク 0.2 mm/回転 設 定 レ ン ジ 100 μm/V ±1 mm 30 nm 0.155 nm DOPPLER信 号 2 mm/V ±20 mm 618 nm レーザドップラ振動計 LV-1700シリーズまたはLV-1800接続用 オーバーハング量 100 mm R E F 信 号 0.1 m/V ±1.0 m 30 μm ベース アルミ(着磁用スチールプレート付属) 0.5 m/V ±5.0 m 154 μm 適合規格 1 m/V ±10 m 309 μm 低電圧指令 2014/35/EU 規格 EN 61010-1(専用ACアダプタ使用時において適合) 基台 サイズ 300 mm(W)×315 mm(D) レンジオーバー表示 各レンジ100 %以上で赤色LED点灯 CEマ ー キ ン グ EMC 指令 2014/30/EU 規格 EN 61326-1 向き固定 0(°鉛直下向き)/90°/180°/270° 0° リ セ ッ ト 表 示 変位ゼロリセット操作・入力時に緑色LED点灯 RoHS 指令 2011/65/EU 規格 EN IEC 63000 レーザ製品の放射安全基準 レーザ安全クラス クラス3R クラス2 アナログ出力 : 1 MHz固定 一般仕様 挟み角 17° 45° - ディジタル出力 : 変位解析ソフトウェア(LV-0930)にて可変可能 使 用 電 源 DC9~18 V 挟み角調整 ±1° - サンプリング周波数 1 MHz, 500 kHz, 200 kHz, 100 kHz, 50 kHz, 20 kHz, 電 源 コ ネ ク タ DCジャック(EIAJ TYPE5) 外側:-電極 内側:+電極 三次元光学系 拡張性 2軸 二次元が可能 - 10 kHz, 5 kHz, 2 kHz, 1 kHz, 500 Hz, 200 Hz, 100 Hz, 消 費 電 力 約10 VA(ACアダプタ使用時) レーザ焦点 各軸装着のレーザドップラにて実施 50 Hz, 20 Hz, 10 Hz, 5 Hz, 2 Hz, 1 Hz, 0.5 Hz 使 用 温 度 範 囲 5~40 ℃ ディジタル出力 保 存 温 度 範 囲 -10~50 ℃ 使用環境 使用環境 対応検出器に準ずる 規 格 USB Ver.2.0(Full Speed) 外 形 寸 法 58(W)×222(D)×135(H) mm(突起部含まず) 質量 約15.5 kg(装着センサを含まず)  約17 kg (装着センサを含まず) 約15 kg( 装着センサを含まず) コネクタタイプ mini-Bタイプ 質 量 約1.6 kg ※P7をご参照ください。 ※LV-1800との接続には別途LV-0041(LV-1800用接続セット)が必要です。 ※LV-1700シリーズとの接続には別途LV-0040(LV-1700用接続セット)が必要です。 8 9
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LV-0930 変位解析ソフトウェア 液中計測用治具 受注生産品 LV-0121A ディジタル変位計にはディジタル変位出力を装備。 LV-0930 変位解析ソフトウェアを使用する事で、LV-1800+LV-0121A ディジ 超音波洗浄槽の振動分布や洗浄中の部品の タル変位計で検出した振動振幅を最大1 MHzサンプリング、0.155 nm分解能のディジタル変位値(m)としてUSB2.0で出力し、解析す 挙動など、接触検出では難しい液体内での振 る事ができます。 LV-0930 変位解析ソフトウェア上では、変位(m)から速度(m/s)、加速度(m/s2)への変換を始め、移動平均、差動演算、 動・超音波振動の検出をLV-1800と専用治具 FFT解析などを信号劣化なく解析する事ができ、各種の波形変換、解析結果はCSVで出力する事が可能です。表計算ソフトウェアや時系列デー を組み合わせることで可能にします※。専用の液 タ解析ツールOscopeシリーズにCSVデータを読み込んで、更に踏み込んだデータ処理もできます。 中計測用治具はチューブ型と溶剤などに対応し た石英ロッド型の2タイプを準備。液中にレーザ ■動特性解析 測定物がどのような変位で動作したか、また速度、加速度の変化など動特性解析が可能です。 光を効率良く導光・受光する事ができます。 チューブ型 石英ロッド型 ●変位 ●速度 変位→速度変換 ※レーザ光が液体内部を透過し対象からの散乱光を受光 できる等の条件が必要です。 ■システム構成例 ●速度 液中計測用治具 センサヘッド ポータブル2ch/4ch FFTアナライザ CF-9200/9400 レーザドップラ振動計 LV-1800 ●加速度 変位→加速度変換 変位&加速度グラフ 速度出力 超音波洗浄槽 LV-0160 20 MHzユニット 受注生産品 LV-1800に接続する事で最大20 MHzの速度振幅検出が可能となります。 ■周波数解析 ■差分、ピッチング & ヨーイング計測(2ch使用) ■±%グラフ ■用途 計測対象の変位に重畳する変位変動成分の LV-0930 変位解析ソフトウェアを用いると、 スキャナや塗布装置の評価などで、等速度制御 ・圧電素子や水晶振動子、セラミックコンデンサなどの高周波計測 周波数解析を行う事ができます。 USB出力より計測データを読み込み動作や位 が±何%に入っているかを簡単に確認できます。 置決め計測を解析する事ができます。 ■LV-0160 20 MHzユニット 仕様 測定速度範囲 2 mm/s ~ 5 m/s 測定速度レンジ 2(m/s)/V 測定周波数範囲 1 Hz ~ 20 MHz 速度信号出力 アナログ電圧±2.5 V(入力インピーダンス 100 kΩ以上にて) 出力インピーダンス 75 Ω 電源 AC100 ~ 240 V( 50/60 Hz) 40 VA MAX 使用温度範囲 0 ~ 40 ℃ 外形寸法 420(W)×100(H)×500(D)mm(突起部含まず) 質量 約7 kg ※LV-0160をLV-1800に接続するには引き取り改造が必要です。 ■LV-0930 変位解析ソフトウェア 仕様 ■システム構成例 環境補正入力 温度、気圧、湿度、波長 時間計測 サンプリング周波数:1 MHz, 500 kHz, 200 kHz, 100 kHz, 50 kHz, 20 kHz, 10 kHz, 5 kHz, 2 kHz, 1 kHz, 500 Hz, 200 Hz, 100 Hz, 50 Hz, 20 Hz, 10 Hz, 5 Hz, 2 Hz, 1 Hz, 0.5 Hz点数最高:65535 点 時間̶変位、時間̶速度、時間̶加速度、±%グラフ、 ピッチング&ヨーイング、角度、差分計算、移動平均、周波数解析 解析機能 ディジタルフィルタによる波形処理 レーザドップラ振動計 20 MHzユニット 高速オシロスコープ 位置決め精度試験最大4chまで同時サンプリング可能 LV-1800 LV-0160 OS MicrosoftⓇ WindowsⓇ 10(64 ビット版のみ) CPU IntelⓇ CoreTM i3 2 GHz 以上 ディスプレイ解像度 1024×768(XGA)以上 メモリ 4 GB 以上 速度出力 ハードディスク 空き容量1 GB 以上 インタフェース USB 2.0(Full Speed) ※Oscopeシリーズは別途詳しいカタログをご用意しておりますので、ご請求ください。 10 11
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システム 変位出力ボード LV-0150B / 0151B / 0152B 対物レンズ LV-0350 収納トランク カメラネジアダプタ LV-0112 LV-1800のレンズ先端に装着する事で LV-1800の本体他、大型マグネットスタンド LV-0019 レーザスポット径を20 μm以下に絞る事 などのオプションを収納可能なトランクです。 波形解析/収録装置※2 ※ボードの装着は変位/加速度いずれかの選択になります FFTアナライザ ができます。観察倍率やスポット径に応じ 収納可能品 細型90度反射ミラ- て、3種類の対物レンズを選択できます。 ・LV-1800×1 LV-0105 加速度出力ボード ~40 kHz / 100 kHz 各レンズの倍率やワーキングディスタン ・LV-0030(+LV-0015/0016)×1 90度反射ミラ- LV-0111 LV-0301 ス、スポット径はP7をご参照ください。 ・対物レンズ×2 ・LV-0185×1 ※装着用変換アダプタ付属 ・LV-0018A×1 ※先端部を交換 ※他の倍率についてはお問い合わせください。 ※ユーティリティスペース有り 微小速度レンジボード LV-0800 DS-5000 ※写真はイメージです。 位置決め用内蔵カメラ LV-0181 20 MHzユニット LV-0160 ~ 40 kHz 速度出力 (アナログ) 照明ユニット LV-0301 90度反射ミラー LV-0105 細型90度反射ミラー LV-0185 レーザドップラ振動計 DR-7100 LV-0301 90度反射ミラーの先端をφ LV-1800 4 mmに変換します。 卓上型除振台 速度出力(アナログ) ロッド先端径:φ4 mm LV-0200/0201 変位 もしくは 加速度出力(アナログ) ※LV-0105 細型90度反射ミラーを使用するには、  LV-0301 90度反射ミラーが必要です。 LV-1800のレンズ先端に装着する事でレーザ光を90度曲げ、360 CF-4700A 度回転する事ができます。隙間にミラーを入れて奥まった場所の検出 ディジタル変位計 反射マーク LV-0012 対物レンズ LV-0121A が可能です。 ~100 kHz LV-1800用接続セット ※LV-1800との接続には LV-0041 ロッド先端径:φ10 mm A4サイズ 10枚/セット LV-0041 ( LV-1800用接続セット)が必要です。 ・USBケーブル ・MX-101 BNC-BNC信号ケーブル 1.5 m×2 変位出力(アナログ) LV-0150B/0151B/ ・ACアダプタ CF-9200/9400 LV-0200 卓上型除振台 自動レベリングタイプ LV-0201 卓上型除振台 手動レベリングタイプ XY軸微動ステージ 0152B 床から伝わって来る暗振動を低減して 床圧縮から空伝気がわ不って要で来設る置暗場振所動をを選低ば減ないし除て LV-0015 S/N比を向上させます。フィルタ付きレ 検振台出で精す度。を床向から上伝させわるます暗。振動を低減して ギュレータが付属します。天板は大型マグ フSィ/Nル比タを付向き上レさギせュまレすータ。天が板付は属大しま型すマ。グ 変位出力 (ディジタル) オシロスコープ ネットスタンドの設置が可能なSUSです。 ネットスタンドの設置が可能なSUSです。 外形寸法: 500×600×56 mm 外形寸法: 500×600×56 mm Z軸微動ステージ LV-0016 最大搭載質量: 120 kg 最外大形搭寸載質法量:: 510200× k6g00×56 mm 映像出力(USB2.0)※1 質量 :約29 kg 質最大量搭 載質量:: 1約2209 k gkg 変位解析ソフトウェア レベリング: 0.3~0.7 MPaの圧縮空気 レ質ベ量リ ング:: 約0.32~9 k0g.7 MPaの圧縮空気 大型マグネットスタンド LV-0930 LV-0030 または窒素ガスで自動 レ ベリング : 手また押はしポ窒ン素プガでス手で動作動 ※1 画像表示はLV-0181 位置決め用内蔵カメラ(OP)搭載時 ※2 詳細はFFTアナライザ各種カタログをご参照ください。 LV-0030 大型マグネットスタンド LV-0018A スチールプレート LV-0019 カメラネジアダプタ 大型三脚 センサ懸架用の専用マグネットスタンド 大型三脚の雲台上や着磁しない机上 LV-1800のセンサを大型三脚の雲台 定盤が無い場所でセンサやスタンドの です。クロスクランプで自由なレーザ照 でLV-0030 大型マグネットスタンドの (1/4インチ ネジ)に装着するアダプタ 設置に使用します。LV-0018Aスチー 射が可能です。LV-0015/0016 微動 足場として使う事ができます。また です。 ルプレート、LV-0019カメラネジアダプ ステージと組み合わせれば検出位置の LV-0015/0016 微動ステージを直接 タと一緒にご使用ください。 微小調整が可能です。 ネジで固定することでステージやセン サの落下を防ぐ事ができます。 LV-0015 XY軸微動ステージ LV-0016 Z軸微動ステージ LV-0160 20 MHzユニット 受注生産品 液中計測用治具 受注生産品 LV-0030 大型マグネットスタンドとの LV-0030 大型マグネットスタンドとの組 LV-1800に接続する事で最大20 MHz 液体内部に効率良くレーザ光を照射・ 組み合わせでXY方向の微小な位置決 み合わせで上下方向の微少な移動が可 の速度振幅検出が可能となります。 受光する為の治具です。チューブ型と溶 めが可能です。単品使用による試料の 能です。レーザ光や画像の焦点合わせ、 セラミックコンデンサや圧電素子、水晶 剤などに対応した石英ロッド型の2タイ 位置決めにも使用できます。 位置決めを容易に行うことができます。 振動子など3 MHzを超える高周波帯域 プを準備。センサへの直接装着及び治 ※LV-0030にLV-0016のみを装着時はアダプタプ ステージ面 :60×60 mm の計測が可能です。 具のみ別懸架を選択できます。  レートが別途必要です。 ※詳細はP.11をご参照ください。 ※詳細は別途ご相談願います。 移動量 :±6.5 mm ステージ面: 60×60 mm 移動量 :0~13 mm 12 13
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LV-1800 レーザドップラ振動計 仕様 1.検出部 2.変換部 検波復調方式 光ヘテロダイン検波 速度復調 50 kHz 光源 He-Neレーザ λ=約633 nm 100 kHz ローパス・フィルタ(LPF) fc=-3 dB 射出出力 1 mW 未満 1 MHz ※ レーザ光 レーザ安全クラス Class 2 ※P15 適合規格をご参照ください OFF(3 MHz) ※0.001(m/s) /Vレンジ使用時は選択不可。 約20 μm 以下 焦点位置100 mm時 φ=1/e2 映像出力 ディジタル 最小レーザスポット径 約3 μm 以下(LV-0151B 装着時) WD=約38.8 mm 位置決め用映像出力 規格 USB2.0 可変焦点式 100 mm~10 m(∞) (オプション) 表示 LED(白色)点灯 ※LV-0181装着時 標準レンズ 距離目盛り 100 mm~10 m(∞) 可干渉距離マーク有り コネクタタイプ USB mini-Bタイプ アタッチメントサイズ M22×0.5 深さ5.5 mm 前面パネルスイッチにてON/OFF 電源投入でのレーザ放射開始仕様(盤モード)は出荷時設定にて可能 装着 センサ内組み込み式 出荷時組み込み ※引き取りにて後付け可能 レーザON・インジケータ レーザ放射時LED(緑色)点灯 インタフェース USB2.0 変換部 USB mini-Bコネクタより出力 レーザ放射制御 接点入力 接点開放でレーザ放射停止 撮像素子 CMOSカラー 1/4 inch 遮光シャッタ レセプタクル:RM12BRB-2S コネクタ形態 画素数 約30万画素 プラグ:RM12BPE-2PH(短絡済み) 画像サイズ VGA 640×480 検出部収納 変換部に収納 収納装置 フレームレート 30フレーム/秒 ケーブル収納 変換部に巻き取り収納 位置決め用内蔵カメラ 10 mm×7.5 mm(TYP) WD=100 mm(最短)時 W 410 mm LV-0181(オプション) 最小撮像範囲 2.1 mm×1.6 mm(TYP) LV-0151B 対物レンズ装着時 外形寸法 H 120 mm 突起部含まず 撮像位置 インジケータ面に正対時に正立像(回転可) D 324 mm 露出 自動 質量 約8.1 kg センサ・ケーブルを含む ホワイトバランス 自動 動作温度範囲 0~40 ℃ ゲイン 自動 動作湿度範囲 30~80 % 結露なきこと 動作環境 Windows® 7(SP1以降)/ 10 Display True Color 24 ビット以上 保存温度範囲 -10~50 ℃ カメラ焦点 対物レンズにて調整 レーザスポットと共焦点 AC 100~240 V 入力電圧 背面部位 ×1 50/60 Hz M8 深さ8 mm ※LV-0030 大型マグネットスタンド専用 懸架用ネジ穴 側面部位 ×1 消費電力 60 VA 検出部懸架 側面部位 ×2 M4 深さ5 mm 冷却方式 自然空冷(無振動冷却) 三脚設置 LV-0019 カメラネジアダプタ使用 オプション シグナルレベルインジケータ 10セグメント LEDアレイ表示 変換部レベルインジケータ表示と連動 復調感度モニタ 3.適合規格 ERRORインジケータ LED表示(赤色) JIS C 6802 クラス2 ケーブル長 3 m レーザ安全 FDA(CDRH) 21CFR 1040.10 and 1040.11 except for deviations pursuant to Laser Notice No.50 信号ケーブル 太さ φ=10.5 mm 変換部に巻き取り収納 IEC 60825-1:2007 被覆 耐油被覆 適合規格 FCC(Part15B) 最小曲げ半径 R=40 mm 以上 EMC CANADA EMI規制(ICES-003) W 53 mm EN61326-1:2013 class A Table2 外形寸法 H 52.5 mm 突起部含まず 安全 EN61010-1:2010 D 152.5 mm 質量 約750 g オプション(LV-0181)装備状態にて/ケーブルを含まず 4.付属品 製品名 個数 備考 2.変換部 AC電源ケーブル 1 周波数範囲 0.3 Hz~3 MHz(fc=-3 dB) ※各速度レンジ共通 セーフティロックコネクタ 1 短絡処理済み 0.001( m/s) /V(オプション)0.3 Hz~200 kHz(fc=-3 dB) 出力信号ケーブル 2 MX-101 BNC-BNC 1.5 m 最大検出速度 10 m/s 0-p( 20 m/s p-p) レンズキャップ 1 レンズ先端に付属 最小速度分解能 0.3 μm/s 以下(0.01( m/s) /V時) 0.05 μm/s 以下( LV-0800装着時) 光再帰性反射材(反射マーク) 1 LV-0012 A4 サイズ 検出速度 ±10 V( 20 Vp-p) 入力インピーダンス100 kΩ以上時 予備ヒューズ 1 本体AC インレットに内蔵 T3.15 A AC250 V 振幅対出力電圧極性 センサ側に接近時+電圧 取扱説明書 1 DCオフセット 20 mV以内 出力 出力インピーダンス 50 Ω ■対象振幅:出力電圧の極性 ■LV-0181 位置決め用内蔵カメラ撮像サイズ ■作動距離とスポット径の関係 最低入力インピーダンス 100 kΩ以上 近 60 120 コネクタ形態 C02型(BNC) 50 縦40 100 1.0( m/s)/V 10 m/s 0-(p 20 m/s p-p) +V 幅30 (mm) 0.1( m/s)/V 1 m/s 0-(p 2 m/s p-p) 20 80 10 速度レンジ 0.01( m/s)/V 0.1 m/s 0-(p 0.2 m/s p-p) 0 60 60 0.001( m/s)/V( オプション) 0.01 m/s 0-(p 0.02 m/s p-p) ※詳細は、P6 LV-0800 微小速度レンジボードをご参照ください 0 t 50 オーバー・インジケータ 検出速度上限 +5 %OverでLED(赤色)点灯 40 横40 幅30 シグナルレベル・インジケータ 20セグメント LEDアレイ表示 検出部レベル表示と連動 (mm) 20 -V 20 0~10 V 10 0 0 出力インピーダンス 50 Ω 100 300 500 700 900 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 復調感度モニタ MONITOR出力 最低入力インピーダンス 100 kΩ 以上 遠 計測距離 (mm) 作動距離(mm) コネクタ形態 C02型(BNC) 分解能・ダイナミックレンジ評価条件 ERROR・インジケータ LED(赤色)点灯表示 LPF:100 kHzON 100 Hz コーナーキューブ使用による最大復調時 ハイパス・フィルタ(HPF) fc=-3 dB FFTアナライザパワースペクトル観測 OFF(0.3 Hz) 1 kHzレンジ 1 kHz、2048ライン、256回加算平均時 ※ 各フィルタの周波数特性はグラフをご参照ください 14 15 スポット径(μm)
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●LV-1800 外形寸法図(単位:mm) LV-1800 検出部 変換部 52.5 152.5 27 (25.5) 36 116.5 センサヘッド収納部 ケーブル巻き取り部 レーザドップラ振動計 質量 750g 2-M4 ∅4 深5 G7 25 10 29 2 (2) 410 (2) M8 深8 M8 32.5 深8 平面図 ●LV-1800 周波数特性グラフ ●振幅検出範囲 LPF=OFF( fc=3 MHz ) 周波数特性 LPF=50 kHz ゲイン周波数特性 45 5 0 -45 -90 0 -135 -180 -225 -5 -270 -315 -360 -10 0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k 0 周波数[Hz] -5 LPF=100 kHz ゲイン周波数特性 5 -10 -15 -20 0 -25 -30 0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k 1 M 10 M -5 Dynamic & High-Resolution 周波数[Hz] HPF=100 Hz ゲイン周波数特性 5 -10 0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k 周波数[Hz] LPF=1 MHz ゲイン周波数特性 0 5 -5 0 -10 10 100 1 k 10 k 100 k -5 周波数[Hz] -10 0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k 1 M 10 M 周波数[Hz] ●適合規格 ●説明及び警告ラベルの貼り付け 本器は以下の規格にしたがって設計、検査されています。 「JIS C 6802」「IEC 60825-1:2007」「FDA(CDRH) 21CFR L A S E R R A D I AT I O N D O N O T S TA R E I N T O B E A M 1040.10 and 1040.11 except for deviations pursuant to Laser 1 m W M A X . C W H e - N e 6 3 3 n m C L A S S 2 L A S E R P R O D U C T Notice No.50」「CEマーキング(低電圧指令:EN61010-1)(EMC指令: I E C 6 0 8 2 5 - 1 : 2 0 0 7 EN61326-1)」「FCC(Part 15B)」「CANADA EMI規制(ICES-003)」 ※Microsoft® Windows®は米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。 その他記載されている会社名、 製品名は各社の商標または登録商標です。 お客様へのお願い  当社製品(役務を含む)を輸出または国外へ持出す際の注意について 当社製品(役務を含む)を輸出または国外へ持出す場合は、外為法(外国為替及び外国貿易法)の規定により、リスト規制該当品であれば、経済産業大臣へ輸出許可申請の手続きを 行ってください。また非該当品であれば、通関上何らかの書類が必要となります。尚、非該当品であってもキャッチオール規制に該当する場合は、経済産業大臣へ輸出許可申請が必要と なります。お問い合わせは、当社の最寄りの営業所または輸出管理担当窓口(電話045-476-9707)までご連絡ください。 ●記載事項は変更になる場合がありますので、ご注文の際はご確認ください。 注意 ●機器を正しく安全にお使いいただくために、ご使用前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。 ●代理店・販売店 〒222-8507 神奈川県横浜市港北区新横浜3‒9‒3 TEL(. 045)935‒3888 お客様相談室 フリーダイヤル 0120-388841 受付時間 : 9:00~12:00/13:00~18:00(土・日・祝日を除く) 北 関 東(028)684‒2400 浜 松(053)462‒5611 九 州(092)432‒2335 埼 玉(048)474‒8311 中 部(0565)41‒3551 海 外(045)476-9725 首 都 圏(045)935-3838 関 西(06)6386‒3141 沼 津(055)988‒3738 広 島(082)246‒1777 ホームページアドレス https://www.onosokki.co.jp/ E‒mailアドレス webinfo@onosokki.co.jp CAT.NO.1654-10 Printed in Japan( U()LI) '22.11月改訂 GAIN[dB] GAIN[dB] PHASE[deg] GAIN[dB] GAIN[dB] GAIN[dB] (17) (14) 120 (12) 273 (52) (16) 325 32 (R) 4 G7 53 (30.5) 22.5 ∅3 8 ∅16