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このカタログについて
| ドキュメント名 | レーザドップラ振動計 LV-1800 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 4.6Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社小野測器 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
Page1
●LV-1800 外形寸法図(単位:mm) LV-1800
検出部 変換部 レーザードップラー振動計
52.5 152.5
27 (25.5) 36 116.5 センサーヘッド収納部 ケーブル巻き取り部
質量
750g
2-M4
深5
∅4
G7 25
10 29 2
(2) 410 (2)
M8
深8
M8
32.5 深8
平面図
●LV-1800 周波数特性グラフ ●振幅検出範囲
LPF=OFF( fc=3 MHz ) 周波数特性 LPF=50 kHz ゲイン周波数特性
45 5
0
-45
-90 0
-135
-180
-225 -5
-270
-315
-360 -10
0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k
0 周波数[Hz] Dynamic & High-Resolution
-5 LPF=100 kHz ゲイン周波数特性
5
-10
-15
-20 0
-25
-30
0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k 1 M 10 M -5
周波数[Hz]
HPF=100 Hz ゲイン周波数特性
5 -10
0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k
周波数[Hz]
LPF=1 MHz ゲイン周波数特性
0
5
-5
0
-10
10 100 1 k 10 k 100 k -5
周波数[Hz]
-10
0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k 1 M 10 M
周波数[Hz]
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沼 津(055)988‒3738 広 島(082)246‒1777
ホームページアドレス https://www.onosokki.co.jp/
E‒mailアドレス webinfo@onosokki.co.jp
CAT.NO.1654-11 Printed in Japan( LI) '25.2月改訂
GAIN[dB] GAIN[dB] PHASE[deg]
GAIN[dB] GAIN[dB] GAIN[dB]
(17)
(14) 120 (12) 273 (52)
(16) 325
32
(R)
4 G7
53
(30.5) 22.5
8
∅3
∅16
Page2
止まらない進化が非接触 振動計測を深化させる
レーザードップラー振動計
LV-1800
ハンドリングの良い小型・軽量センサー
センサーはレーザー光源と分離。
小型・軽量で設置の制約なく、
全方位にレーザー光の照射が
できます。また豊富に用意された
オプションで奥まった箇所や狭い
部位の振幅検出も可能にし
ます。
センサーと位置決め用カメラを一体化 焦点位置も検出状況もひと目で把握
LV-1800はセンサーとレーザー光の位置決め用 センサーには検出状況を示す
の高感度デジタルカメラ※1を一体化設計。検出 SIGNAL LEVELインジケーター
感度の低下なしで対象物やレーザー光の照射 とレーザー光の焦点位置を示す 収納も移動も簡単
部位をWindows® PC※2で確認できます。また 距離目盛りを装備。センサー設置
本体にセンサー収納と3 m
LV-0151B 対物レンズやLV-0185 照明 に必要な情報を手元に集約し、す
のケーブル巻き取り部位を装
ユニットを組み合わせる事でMEMS(Micro ばやく確実なセッティングを可能
備。収納や保管、現場間の
Electro Mechanical Systems)や微小物体 にしました。
移動も安全に行えます。オプ
へのレーザー照射と振幅検出を可能にします。
ションのLV-0350 収納トラン
※1 LV-0181 位置決め用内蔵カメラ、LV-0185 照明ユニット
オプション。 クにはLV-1800本体の他、
※2 Windows® 10、11 大型マグネットスタンドや照明
ファン・レスで自己振動対策 ユニットなど主要なオプションを収納し、保管や送付が可能です。
LV-1800はファン・レスの自然空冷で自己振動対策を実施。検出
対象に本体やセンサーから振動ノイズが伝わるのを防ぎ、微小振幅 オプション+計測で強力ソリューション
4つの速度レンジで幅広い振幅をカバー の検出に影響を与えません。
検出感度を大幅に向上
豊富な現場経験から生まれたLV-1800と専用オプション類は、
新設計の干渉光学系は従来機 LV-1800の検出可能な速度振幅は 様々な検出シーンを実現可能にします。また小野測器の波形解析
に比べ+20 dBmもの検出感度 受光信号 0.05 μm/s※~10 m/s。超音波ツー 装置とソフトウェアは波形から対象の挙動や特徴を可視化し、強力
20 dBm
の向上を達成し、検出対象や 向上! ルや圧電素子の高速振幅から、薄膜 現場を選ばないクラス2のレーザー光 でスムーズなソリューションをご提供いたします。
制限を大きく緩和。センサーの設 やMEMS、セラミックコンデンサーの発
置やセッティングが容易になり する極微小振幅まで幅広い対象の挙 LV-1800のレーザー光は安全基準でクラス2です。1 mW未満の
ました。 動を検出できます。 可視光レーザーを使用しています。以下の安全規格に適合していま
すので、グローバルな現場でご使用いただけます。
※最小分解能はLV-0800
微小速度レンジボード装着での最大復調時 ■「JIS C 6802」
■「IEC 60825-1:2007」「FDA(CDRH) 21CFR 1040.10 and 1040.11
2 3
Page3
LASER 無負荷・ 非接触を可能にする
レーザードップラー振動計 LV-1800は、レーザー光のドップラー・シフトを利用して無負荷・非接触で振動の速度 基板に実装された部品の振幅・共振点計測
振幅を検出する振動センサーです。接触型の振動センサーでは困難な、高速・高周波・透明・薄膜・微小物体の レーザードップラー振動計は高空間分解能のため、振動試験時に
計測、非接触検出を可能にします。 電子基板に実装された電子部品の振幅をピンポイントで検出する
ことができます。各々で質量の違う部品や基板の振動モードによっ
て、印加した指定加速度以上に部品が振幅し想定外の負荷が部品
レーザードップラー振動計
センサー LV-1800 に掛かっているケースなども確認する事ができます。
ヘッド O-Solution
【アプリケーション事例】 Power
0 20
USB3.0ケーブル -10 10
基盤実装部品の振動、共振点計測・EV/HEVのインバーターやコンデンサー、リアクトルの振動計測、ガラス越し計 -20 CH1 加速検出器
(一定の振幅に加速器を制御)
加速度検出器 NP series 速度振幅(m/s) -30 -10
測・透明、薄膜等フィルムの振動計測・CD、DVD、BD等光メディアピックアップの共振点計測・HDD各種構成部 電子機器 -40
CH2 -20
基板 CH2
-50 レーザードップラー -30
振動計
Sig_OUT -60 -40
品の評価・携帯端末等のマイクロホン、レシーバーの評価・超音波溶着機、ボンディングマシンのツール振幅計測・ -70 -50
CH1 -80 -60
圧電素子、MEMS等の計測・超音波モーターの挙動計測 加振アンプ -90 -70
DS-5000 -100 -80
10 100 1kPz
Hz
超音波ツールの振幅計測 薄膜振動の計測
超音波溶着機やボンディングマシンのツール振幅など、20 kHz超の 無負荷、非接触が特長のLV-1800は薄膜の振幅計測に最適です。
ボンディングマシン
超音波ヘッド部 周波数で高速振幅する対象の振幅計測を可能にします。振幅値や 映像出力 携帯端末のマイクロホンの振動膜やレシーバー、スピーカーのコーン
(USB2.0)※
周波数解析で溶着品質や機器メンテナンス時期の判断が可能です。 紙、液晶用フィルムなどの透明膜の振幅計測も可能です。
レーザードップラー振動計
センサーヘッド LV-1800
検出部位と振幅データを
同時に表示
センサーヘッド
PC
映像出力
(USB2.0)※
DS-5000 O-Solution
レーザードップラー振動計
LV-1800 計測用マイクロホンの
振動膜振幅計測
計測処理用ソフトウェア
高速サンプリングユニット
※画像表示はLV-0181 位置決め用内蔵カメラ(OP)搭載時 ※画像表示はLV-0181 位置決め用内蔵カメラ(OP)搭載時
ガラス越し計測 微小構造物の計測
レーザードップラー振動計は焦点位置にない透明体は検出しません。 LV-1800のレーザースポット径は標準で約φ20 μm、LV-0151B 対
恒温槽
観測窓 その特徴を使い、真空チャンバーや恒温槽に入った物体の振幅をガラス 物レンズを装着することで約φ3 μmの微小スポット径に絞る事が可能
映像出力
基板 越しにレーザー照射し、検出する事が可能です。
(USB2.0)※
です。この高い空間分解能でMEMS(Micro Electro Mechanical
レーザードップラー振動計 Systems)を代表とする微小構造物の振幅など、従来は困難だった検
LV-1800① センサーヘッド レーザードップラー振動計 出を可能にします。
LV-1800
治具
センサーヘッド
映像出力(USB2.0)※ +LV-0181
位置決め用内蔵カメラ(OP)
レーザー LV-0185
ドップラー振動計 計測対象 照明ユニット(OP)
LV-1800②
対物レンズ(OP)
2軸、2ch差動
演算により
恒温槽のファンや DS-5000 O-Solution
コンプレッサーの
O-Solution DS-5000 振動をキャンセル 棚板
※画像表示はLV-0181 位置決め用内蔵カメラ(OP)搭載時 微小構造物 ※画像表示はLV-0181 位置決め用内蔵カメラ(OP)搭載時
4 5
dBm/sr( 10dB)
Page4
LV-0181 位置決め用内蔵カメラ LV-0185 照明ユニット
LV-0181 位置決め用内蔵カメラは、LV-1800のセンサーに内蔵される高感度 ■LV-0181 位置決め用内蔵カメラ 仕様 LV-0185 照明ユニットは、レーザー光と同軸落射で検出対象を照明するオプショ
なデジタルカメラです。レーザー光の焦点と画像のピントが共通の同軸・共焦点の コネクタータイプ USB2.0 本体側 mini-Bタイプ ンです。対物レンズ装着時に同じワーキング・ディスタンスで検出部位を集光照明
カメラはUSB2.0出力でWindows® PCに検出部位を画像表示し、小さな測定 し、LV-0181 位置決め用内蔵カメラの画像を鮮明化。照明の当たらない箇所や
対象の確認やレーザー照射をスピーディに行う事ができます。またLV-0151B 対 撮像素子 CMOSカラーセンサー 1/4インチ 微小な検出部位へのレーザー照射・位置決めを容易にします。
物レンズやLV-0185 照明ユニットとの組み合わせも可能です。 画素数 30万画素 以上
画像サイズ VGA(640×480)
フレームレート 30フレーム/秒
最小撮像範囲 WD=100 mm(最短)時:10 mm×7.5 mm(TYP.)
機能 露出/ゲイン/ホワイトバランス(自動)
標準対応OS Windows® 10、11
カメラ焦点 レーザー光焦点と共有
付属品 LV-0181 Camera Monitor ソフトウェア CD-ROM
USBケーブル( CF-0703)
10 0 m ケーブル 1.5 m(付属の延長ケーブル使用時)
10
m10 -1 m
1 1
m
0 -2 ■LV-0185 照明ユニット 仕様 コントロール 可変調整
1 変
0 -3 位
LV-0800 微小速度レンジボード 1
0 (
-4 m
)
1
μm LV-0150B(5×)/0151B(10×) 使用温度範囲 0~40 ℃(結露なきこと)
10 -5 対応対物レンズ
10 -6
1 LV-0152B(20×) 使用湿度範囲 30~80 %RH(結露なきこと)
LV-0800 微小速度レンジボードは、0.001( m/s)/Vレンジ追加用オプション 0
1 -7
10 m/s 10 nm10 1 -8
10 照明方式 LEDによる白色冷光同軸落射照明 入力電圧 AC 100~240 V 50/60 Hz
です。セラミックコンデンサーの振幅や材料中の超音波伝播の検出など、通常 0 -
1 m/s nm9
10
0.0
1
10 -10
の測定レンジでは検出の難しい微少な振幅の検出を可能にします。LV-0800の 速 10 発光部 白色LEDによる冷光照明
-1 -1 消費電力(VA) AC 100 V時 3.5 VA/AC 240 V時 9.0 VA
10 1
追加で0.05 μm/s~10 m/sの速度振幅を4レンジでカバーします。 度
-2
10 8
(m/s) 10
7
-3
10 101 mm/s
6
10
2 )
5 /s
-4
10 10 (m
■仕様 4 度
10 速
3 加
-5
10 10速度レンジ :0.001(m/s)/ V(0.01 m/s 0-(p MAX)) 2
10
微小物体振動・計測システム
1 μm/s -6
最小分解能: 0.05 μm/s ※最大復調時 10
0.3 μm/s 標準速度レンジ時
周波数範囲: 0.3~200 kH(z fc=-3 dB) -7 LV-1800にLV-0181 位置決め用内蔵カメラ、各種対物レンズを装着する事で、
10
0.05 μm/s
微小速度レンジ時オプション
-8
10 (LV-0800)搭載時 レーザー光のマイクロ・スポット化と画像観察を可能にします。微小構造物への
0 1 2 3 4 5 6 7
10 10 10 10 10 10 10 10
H Hz Hz
1
Hz
z 周波数(Hz) レーザー照射を可能にするシステム構成です。
1
k
1
M
3
M 測定レンジは上記枠内です。
【構成例】
LV-0112 変位出力ボード / LV-0111 加速度出力ボード 使用対物レンズ 仕様 LV-0181 観察画像
※対象スケール:100 μm/目盛
・レーザードップラー振動計 LV-1800 LV-0150B
LV-0112 変位出力ボード/LV-0111 加速度出力ボードは、LV-1800 【共通仕様】 ・位置決め用内蔵カメラ LV-0181 倍率:5倍
WD:36.1 mm
に内蔵する事で検出した速度振幅(m/s)を、変位振幅(m)もしくは加 信号源 :速度信号は内部で受信し変換 ・対物レンズ LV-0152B
・照明ユニット LV-0185 スポット径:φ4 μm以下
速度振幅(m/s2)に変換し、オプションコネクターより出力します。速度 出力形態 :アナログ電圧 変換アダプター付属
振幅と変位もしくは加速度振幅の同時観測が可能です。 出力電圧 :±10 V(MAX) ※最低入力インピーダンス100 kΩ以上 ・大型マグネットスタンド LV-0030
LV-1800にはLV-0112 変位出力ボード、LV-0111 加速度出力ボー DCオフセット: 20 mV以内 ・XY軸微動ステージ LV-0015 LV-0151B
ドのいずれか1枚が搭載可能です。 最大振幅 :各設定レンジの10倍(0-p) ・Z軸微動ステージ LV-0016 倍率:10倍
WD:38.8 mm
振幅変換誤差 :±5 %以内 スポット径:φ3 μm以下
振幅出力極性 :センサー側に接近時+電圧 ※画像表示用にPCが必要です。
■LV-0112 変位出力ボード 仕様 変換アダプター付属
LV-1800 変位設定レンジ ■LV-0111 加速度出力ボード 仕様 LV-0152B
倍率:20倍
設定レンジ 1 Hz~20 kHz 10 Hz~50 kHz 1 kHz~200 kHz LV-1800 加速度設定レンジ WD:22.5 mm
スポット径:φ2.5 μm以下
1.0(m/s)/V 100 mm/V 1 mm/V 10 μm/V 設定レンジ 1 Hz~2 kHz 1 Hz~20 kHz 100 Hz~400 kHz 変換アダプター付属
0.1(m/s)/V 10 mm/V 100 μm/V 1 μm/V 1.0(m/s)/V 10(3 m/s2)/V 10(5 m/s2)/V 10(7 m/s2)/V
※20倍を超える対物レンズについては別途お問い合わせください。
0.01(m/s)/V 1 mm/V 10 μm/V 100 nm/V 0.1(m/s)/V 10(2 m/s2)/V 10(4 m/s2)/V 10(6 m/s2)/V
0.001(m/s)/V 0.1 mm/V 1 μm/V 10 nm/V 0.01(m/s)/V 10( m/s2)/V 10(3 m/s2)/V 10(5 m/s2)/V
6 7
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LV-3800 三次元光学ユニット LV-0383 三次元顕微鏡ユニット LV-0121A デジタル変位計 輸出貨物:リスト規制該当品
LV-0121A デジタル変位計は、レーザードップラー振動計LV-1800に
接続する事で、DC からの変位(m)を最大1 MHz サンプリング、0.155 nm
の高分解能で検出する事ができます。変位はアナログとデジタルで出力
され、LV-0930 変位解析ソフトウェアを使う事で速度振幅(m/s)、加速度
振幅(m/s2)変換、2軸差動変位計測など多彩な解析が可能です。
■用途
・DCオフセットを含む変位振幅の評価
・MEMSや圧電素子の微小変位計測
・カンチレバー構造の変位評価
・エアシリンダーやアクチュエーターの変位評価
■システム構成例
光学ユニット/ポール/基台のみ 光学ユニット/ポール/基台のみ
※レーザードップラー振動計は含まれません。 ※レーザードップラー振動計は含まれません。
デジタル変位計 LV-0121A
LV-3800 三次元光学ユニットは、レーザードップラー振動計にて、 LV-0383 三次元顕微鏡ユニットは、レーザードップラー振動計用の +
XYZ3方向に発生する振動検出を非接触で可能にする光学ユニット 光学ユニットです。MEMSや圧電素子、微小構造体の検出を可能に レーザードップラー振動計 接続セット LV-0041 デジタル変位出力
です。接触式での検出が困難な超音波機器や素子の振動・伸長 します。同軸落射照明と倍率の異なる2台のデジタルビデオカメラ LV-1800 USB 2.0
状態やせん断方向の振動検出を可能にします。 (LV-0181装着時)で素早く正確なレーザー光の照射位置決めと、
静止画像記録が可能です。 変位出力(m/V)
※Z方向のみ検出する顕微鏡ユニット LV-0381もございます。 ±10 V
速度出力((m/s)/V) 変位解析ソフトウェア
■システム構成例(三次元計測時) ±10 V LV-0930
レーザードップラー振動計 ●変位 ●速度 ●加速度 ●変位&速度グラフ
LV-1800×3
DS-5000 ベクトル演算実施
速度出力 ※オプションのLV-0930 変位解析ソフトウェアを使用する事で、変位から速度、加速度への変換やCSVへの出力が可能になります。
×3
O-Solution ■LV-0121A デジタル変位計 仕様
アナログ出力 その他入出力
ア ナ ロ グ 出 力 ±10 V( 入力インピーダンス100 kΩ以上にて) 変位ゼロリセット信号入力/ TRIG信号入力
DC:DC~100 kHz(fc=-3 dB)
遮 断 周 波 数 コネクタータイプ:R03-R5F
AC:0.3 Hz~100 kHz(fc=-3 dB) 外部リセット信号:無電圧a接点信号入力/closeにてRESET動作
直 線 性 直線性±0.1 %/F.S(温度係数:±0.025 %/F.S/℃) TRIG 信号:TTL(+5 V信号)
■LV-3800/0383/0381 仕様 アナログリップル 2 mVp-p以下 Hi=5~ 3.5 V / Lo=1.5 ~ 0 V
出力インピーダンス 50 Ω(最低入力インピーダンス100 kΩ以上) EXT信 号 入 力 LV-0930使用時使用可能
ユニット型名 LV-3800 LV-0383 LV-0381 出 力 端 子 C02型(BNC) A:外部リセット信号入力
アナログ変位レンジ B:外部リセット信号COM
測定距離 165 mm 38.8 mm(対物レンズ10 x 固定)
検出光学系 使用対物レンズによって変化(P7参照) 2.5 m/s(全レンジ) ピンアサイン C:TRIG信号入力
スポット径 35 μm以下 4.5 μm以下 最 大 計 測 速 度
※レーザードップラー振動計 LV-1800接続時 D:TRIG信号COM
対象観察装置 CMOSカメラ LV-0181 位置決め用内蔵カメラ 1280 × 1024(USB 3.0出力) レ ン ジ 表 示 選択レンジを7セグメントLEDで表示 E:̶
上下ストローク 30 mm 最大測定範囲 アナログ最小分解能 デジタル分解能 同期用コネクター(2台接続時)
粗動ストローク 36 mm/回転 0.1 μm/V ±1 μm 0.15 nm SYNCHRONOUS RESET信号
フォーカシングユニット 1 μm/V ±10 μm 0.3 nm 信 号 入 出 力
微動ストローク 0.2 mm/回転 信号 CLK信号
5 μm/V ±50 μm 1.5 nm
オーバーハング量 100 mm 10 μm/V ±100 μm 3 nm TRIG信号
設 定 レ ン ジ 100 μm/V ±1 mm 30 nm 0.155 nm DOPPLER信 号
ベース アルミ(着磁用スチールプレート付属) 2 mm/V ±20 mm 618 nm レーザードップラー振動計 LV-1800接続用
R E F 信 号
基台 サイズ 300 mm(W)×315 mm(D) 0.1 m/V ±1.0 m 30 μm
0.5 m/V ±5.0 m 154 μm 適合規格
向き固定 0(°鉛直下向き)/90°/180°/270° 0° 1 m/V ±10 m 309 μm 低電圧指令 2014/35/EU 規格 EN 61010-1(専用ACアダプター使用時において適合)
レーザー製品の放射安全基準 レーザー安全クラス クラス3R レンジオーバー表示 各レンジ100 %以上で赤色LED点灯 CEマ ー キ ン グ EMC 指令 2014/30/EU 規格 EN 61326-1
挟み角 17° 45° リ セ ッ ト 表 示 変位ゼロリセット操作・入力時に緑色LED点灯 RoHS 指令 2011/65/EU 規格 EN IEC 63000
挟み角調整 ±1° アナログ出力 : 1 MHz固定 一般仕様
デジタル出力 : 変位解析ソフトウェア(LV-0930)にて可変可能 使 用 電 源 DC9~18 V
三次元光学系 拡張性 2軸 二次元が可能
サンプリング周波数 1 MHz, 500 kHz, 200 kHz, 100 kHz, 50 kHz, 20 kHz, 電 源コネクター DCジャック(EIAJ TYPE5) 外側:-電極 内側:+電極
レーザー焦点 各軸装着のレーザードップラーにて実施 10 kHz, 5 kHz, 2 kHz, 1 kHz, 500 Hz, 200 Hz, 100 Hz, 消 費 電 力 約10 VA(ACアダプター使用時)
使用環境 使用環境 対応検出器に準ずる 50 Hz, 20 Hz, 10 Hz, 5 Hz, 2 Hz, 1 Hz, 0.5 Hz 使 用 温 度 範 囲 5~40 ℃
質量 約15.5 kg(装着センサーを含まず) 約17 kg (装着センサーを含まず) デジタル出力 保 存 温 度 範 囲 -10~50 ℃
規 格 USB Ver.2.0(Full Speed) 外 形 寸 法 58(W)×222(D)×135(H) mm(突起部含まず)
コネクタータイプ mini-Bタイプ 質 量 約1.6 kg
※LV-1800との接続には別途LV-0041(LV-1800用接続セット)が必要です。
8 9
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LV-0930 変位解析ソフトウェア 液中計測用治具 受注生産品
LV-0121A デジタル変位計にはデジタル変位出力を装備、 LV-0930 変位解析ソフトウェアを使用する事で、LV-1800+LV-0121A デジタル 超音波洗浄槽の振動分布や洗浄中の部品の
変位計で検出した振動振幅を最大1 MHzサンプリング、0.155 nm分解能のデジタル変位値(m)としてUSB2.0で出力し、解析する事が 挙動など、接触検出では難しい液体内での振
できます。 LV-0930 変位解析ソフトウェア上では、変位(m)から速度(m/s)、加速度(m/s2)への変換を始め、移動平均、差動演算、FFT解 動・超音波振動の検出をLV-1800と専用治具
析などを信号劣化なく解析する事ができ、各種の波形変換、解析結果はCSVで出力する事が可能です。音振動解析ソフトウェアO-Solutionや表 を組み合わせることで可能にします※。専用の液
計算ソフトウェアにCSVデータを読み込んで、更に踏み込んだデータ処理もできます。 中計測用治具はチューブ型と溶剤などに対応し
た石英ロッド型の2タイプを準備。液中にレー
■動特性解析 測定物がどのような変位で動作したか、また速度、加速度の変化など動特性解析が可能です。 ザー光を効率良く導光・受光する事ができます。
チューブ型 石英ロッド型
●変位 ●速度 変位→速度変換
※レーザー光が液体内部を透過し対象からの散乱光を受
光できる等の条件が必要です。
■システム構成例
●速度
液中計測用治具
センサー
ヘッド ポータブル2ch/4ch
FFTアナライザー
CF-9200A/9400A
レーザードップラー振動計
LV-1800
●加速度 変位→加速度変換 変位&加速度グラフ
速度出力
超音波洗浄槽
LV-0160 20 MHzユニット 受注生産品
LV-1800に接続する事で最大20 MHzの速度振幅検出が可能となります。
■周波数解析 ■差分、ピッチング & ヨーイング計測(2ch使用) ■±%グラフ ■用途
計測対象の変位に重畳する変位変動成分の LV-0930 変位解析ソフトウェアを用いると、 スキャナーや塗布装置の評価などで、等速度 ・圧電素子や水晶振動子、セラミックコンデンサーなどの高周波計測
周波数解析を行う事ができます。 USB出力より計測データを読み込み動作や位 制御が±何%に入っているかを簡単に確認で
置決め計測を解析する事ができます。 きます。
■LV-0160 20 MHzユニット 仕様
測定速度範囲 2 mm/s ~ 5 m/s
測定速度レンジ 2(m/s)/V
測定周波数範囲 1 Hz ~ 20 MHz
速度信号出力 アナログ電圧±2.5 V(入力インピーダンス 100 kΩ以上にて)
出力インピーダンス 75 Ω
電源 AC100 ~ 240 V( 50/60 Hz) 40 VA MAX
使用温度範囲 0 ~ 40 ℃
外形寸法 420(W)×100(H)×500(D)mm(突起部含まず)
質量 約7 kg
※LV-0160をLV-1800に接続するには引き取り改造が必要です。
■LV-0930 変位解析ソフトウェア 仕様 ■システム構成例
環境補正入力 温度、気圧、湿度、波長
時間計測 サンプリング周波数:1 MHz, 500 kHz, 200 kHz, 100 kHz, 50 kHz, 20 kHz, 10 kHz, 5 kHz, 2 kHz, 1 kHz, 500 Hz, 200 Hz, 100 Hz,
50 Hz, 20 Hz, 10 Hz, 5 Hz, 2 Hz, 1 Hz, 0.5 Hz点数最高:65535 点
時間̶変位、時間̶速度、時間̶加速度、±%グラフ、 ピッチング&ヨーイング、角度、差分計算、移動平均、周波数解析
解析機能 デジタルフィルターによる波形処理 レーザードップラー振動計 20 MHzユニット 高速オシロスコープ
位置決め精度試験最大4chまで同時サンプリング可能 LV-1800 LV-0160
OS MicrosoftⓇ WindowsⓇ 10(64 ビット版のみ)、11
CPU IntelⓇ CoreTM i3 2 GHz 以上
ディスプレイ解像度 1024×768(XGA)以上
メモリ 4 GB 以上 速度出力
ハードディスク 空き容量1 GB 以上
インタフェース USB 2.0(Full Speed)
※音振動解析ソフトウェア O-Solutionは別途詳しいカタログをご用意しておりますので、ご請求ください。
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システム
変位出力ボード LV-0150B / 0151B / 0152B 対物レンズ LV-0350 収納トランク
カメラネジアダプター LV-0112 LV-1800のレンズ先端に装着する事で LV-1800の本体他、大型マグネットスタンド
LV-0019 レーザースポット径を20 μm以下に絞る などのオプションを収納可能なトランクです。
波形解析/収録装置※2
※ボードの装着は変位/加速度いずれかの選択になります FFTアナライザー 事ができます。観察倍率やスポット径に 収納可能品
細型90度反射ミラ- 応じて、3種類の対物レンズを選択できま ・LV-1800×1
LV-0105 加速度出力ボード ~40 kHz / 100 kHz す。 ・LV-0030(+LV-0015/0016)×1
90度反射ミラ- LV-0111
LV-0301 各レンズの倍率やワーキングディスタン ・対物レンズ×2
・LV-0185×1
ス、スポット径はP7をご参照ください。 ・LV-0018A×1
※先端部を交換 ※装着用変換アダプター付属 ※ユーティリティスペース有り
微小速度レンジボード ※他の倍率についてはお問い合わせください。
LV-0800 DS-5000 ※写真はイメージです。
位置決め用内蔵カメラ
LV-0181 20 MHzユニット
LV-0160 ~ 40 kHz
速度出力
(アナログ)
照明ユニット LV-0301 90度反射ミラー LV-0105 細型90度反射ミラー
LV-0185 レーザードップラー振動計 DR-7100 LV-0301 90度反射ミラーの先端を
LV-1800 φ4 mmに変換します。
卓上型除振台 速度出力(アナログ) ロッド先端径:φ4 mm
LV-0200/0201
変位 もしくは 加速度出力(アナログ) ※LV-0105 細型90度反射ミラーを使用するには、
LV-0301 90度反射ミラーが必要です。
LV-1800のレンズ先端に装着する事でレーザー光を90度曲げ、
CF-4700A 360度回転する事ができます。隙間にミラーを入れて奥まった場所の
デジタル変位計
反射マーク
LV-0012 対物レンズ LV-0121A 検出が可能です。
~100 kHz
LV-1800用接続セット ※LV-1800との接続には LV-0041 ロッド先端径:φ10 mm
A4サイズ 10枚/セット LV-0041 ( LV-1800用接続セット)が必要です。
・USBケーブル
・MX-101 BNC-BNC信号ケーブル
1.5 m×2 変位出力(アナログ)
LV-0150B/0151B/ ・ACアダプター CF-9200A/9400A LV-0200 卓上型除振台 自動レベリングタイプ LV-0201 卓上型除振台 手動レベリングタイプ
XY軸微動ステージ 0152B 床から伝わって来る暗振動を低減してS/N 圧縮空気が不要で設置場所を選ばない除
LV-0015 比を向上させます。フィルター付きレギュ 振台です。床から伝わる暗振動を低減して
レーターが付属します。天板は大型マグネッ S/N比を向上させます。天板は大型マグ
変位出力 トスタンドの設置が可能なSUSです。 ネットスタンドの設置が可能なSUSです。
(デジタル) オシロスコープ
外形寸法: 500×600×56 mm
Z軸微動ステージ
LV-0016 最大搭載質量: 120 kg 外形寸法: 500×600×56 mm
映像出力(USB2.0)※1 質量 :約29 kg 最大搭載質量: 120 kg
変位解析ソフトウェア 質量 :約29 kg
大型マグネットスタンド LV-0930 レベリング: 0.3~0.7 MPaの圧縮空気
LV-0030 または窒素ガスで自動 レベリング :手押しポンプで手動
※1 画像表示はLV-0181 位置決め用内蔵カメラ(OP)搭載時 ※2 詳細はFFTアナライザー各種カタログをご参照ください。
LV-0030 大型マグネットスタンド LV-0018A スチールプレート LV-0019 カメラネジアダプター 大型三脚
センサー懸架用の専用マグネットスタンド 大型三脚の雲台上や着磁しない机上 LV-1800のセンサーを大型三脚の雲 定盤が無い場所でセンサーやスタンドの
です。クロスクランプで自由なレーザー でLV-0030 大型マグネットスタンドの 台(1/4インチ ネジ)に装着するアダプ 設置に使用します。LV-0018Aスチー
照射が可能です。LV-0015/0016 微 足場として使う事ができます。また ターです。 ルプレート、LV-0019カメラネジアダプ
動ステージと組み合わせれば検出位置 LV-0015/0016 微動ステージを直接 ターと一緒にご使用ください。
の微小調整が可能です。 ネジで固定することでステージやセン
サーの落下を防ぐ事ができます。
LV-0015 XY軸微動ステージ LV-0016 Z軸微動ステージ LV-0160 20 MHzユニット 受注生産品 液中計測用治具 受注生産品
LV-0030 大型マグネットスタンドとの LV-0030 大型マグネットスタンドとの LV-1800に接続する事で最大20 MHz 液体内部に効率良くレーザー光を照
組み合わせでXY方向の微小な位置決 組み合わせで上下方向の微少な移動が の速度振幅検出が可能となります。 射・受光する為の治具です。チューブ型
めが可能です。単品使用による試料の 可能です。レーザー光や画像の焦点合 セラミックコンデンサーや圧電素子、水 と溶剤などに対応した石英ロッド型の2
位置決めにも使用できます。 わせ、位置決めを容易に行うことができま 晶振動子など3 MHzを超える高周波帯 タイプを準備。センサーへの直接装着
ステージ面 :60×60 mm す。 域の計測が可能です。 及び治具のみ別懸架を選択できます。
※LV-0030にLV-0016のみを装着時はアダプター ※詳細はP.11をご参照ください。 ※詳細は別途ご相談願います。
移動量 :±6.5 mm プレートが別途必要です。
ステージ面: 60×60 mm
移動量 :0~13 mm
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LV-1800 レーザードップラー振動計 仕様
1.検出部 2.変換部
検波復調方式 光ヘテロダイン検波 速度復調 50 kHz
光源 He-Neレーザー λ=約633 nm 100 kHz
ローパス・フィルター(LPF) fc=-3 dB
射出出力 1 mW 未満 1 MHz ※
レーザー光 レーザー安全クラス クラス2 ※P15 適合規格をご参照ください OFF(3 MHz) ※0.001(m/s) /Vレンジ使用時は選択不可。
約20 μm 以下 焦点位置100 mm時 φ=1/e2 映像出力 デジタル
最小レーザースポット径
約3 μm 以下(LV-0151B 装着時) WD=約38.8 mm 位置決め用映像出力 規格 USB2.0
可変焦点式 100 mm~10 m(∞) (オプション) 表示 LED(白色)点灯 ※LV-0181装着時
標準レンズ 距離目盛り 100 mm~10 m(∞) 可干渉距離マーク有り コネクタータイプ USB mini-Bタイプ
アタッチメントサイズ M22×0.5 深さ5.5 mm 前面パネルスイッチにてON/OFF 電源投入でのレーザー放射開始仕様(盤モード)は出荷時設定にて可能
装着 センサー内組み込み式 出荷時組み込み ※引き取りにて後付け可能 レーザーON・インジケーター レーザー放射時LED(緑色)点灯
インタフェース USB2.0 変換部 USB mini-Bコネクターより出力 レーザー放射制御 接点入力 接点開放でレーザー放射停止
撮像素子 CMOSカラー 1/4 inch 遮光シャッター レセプタクル:RM12BRB-2S
コネクター形態
画素数 約30万画素 プラグ:RM12BPE-2PH(短絡済み)
画像サイズ VGA 640×480 検出部収納 変換部に収納
収納装置
フレームレート 30フレーム/秒 ケーブル収納 変換部に巻き取り収納
位置決め用内蔵カメラ 10 mm×7.5 mm(TYP) WD=100 mm(最短)時 W 410 mm
LV-0181(オプション) 最小撮像範囲
2.1 mm×1.6 mm(TYP) LV-0151B 対物レンズ装着時 外形寸法 H 120 mm 突起部含まず
撮像位置 インジケーター面に正対時に正立像(回転可) D 324 mm
露出 自動 質量 約8.1 kg センサー・ケーブルを含む
ホワイトバランス 自動 動作温度範囲 0~40 ℃
ゲイン 自動 動作湿度範囲 30~80 % 結露なきこと
動作環境 Windows® 10、11 保存温度範囲 -10~50 ℃
カメラ焦点 対物レンズにて調整 レーザースポットと共焦点 AC 100~240 V
入力電圧
背面部位 ×1 50/60 Hz
M8 深さ8 mm ※LV-0030 大型マグネットスタンド専用
懸架用ネジ穴 側面部位 ×1 消費電力 60 VA
検出部懸架 側面部位 ×2 M4 深さ5 mm 冷却方式 自然空冷(無振動冷却)
三脚設置 LV-0019 カメラネジアダプター使用 オプション
シグナルレベルインジケーター 10セグメント LEDアレイ表示 変換部レベルインジケーター表示と連動
復調感度モニタ 3.適合規格
ERRORインジケーター LED表示(赤色) IEC 60825-1:2007:2014
ケーブル長 3 m
レーザー安全 EN 60825-1:2007:2014/A11:2021
信号ケーブル 太さ φ=10.5 mm
変換部に巻き取り収納 FDA (CDRH) 21CFR 1040.10 and 1040.11 except forconformance with IEC 60825-1 Ed.3.,
被覆 耐油被覆 as described inLaser Notice No. 56
最小曲げ半径 R=40 mm 以上
W 53 mm 低電圧指令 2014/35/EU規格 EN 61010-1
EN 60825-1
外形寸法 H 52.5 mm 突起部含まず CEマーキング
EMC 指令 2014/30/EU規格 EN 61326-1
D 152.5 mm RoHS 指令 2011/65/EU規格 EN IEC 63000
質量 約750 g オプション(LV-0181)装備状態にて/ケーブルを含まず
4.付属品
2.変換部 製品名 個数 備考
周波数範囲 0.3 Hz~3 MHz(fc=-3 dB) ※各速度レンジ共通 AC電源ケーブル 1
0.001( m/s) /V(オプション)0.3 Hz~200 kHz(fc=-3 dB) セーフティロックコネクター 1 短絡処理済み
最大検出速度 10 m/s 0-p( 20 m/s p-p) 出力信号ケーブル 2 MX-101 BNC-BNC 1.5 m
最小速度分解能※ 0.3 μm/s 以下(0.01( m/s) /V時) 0.05 μm/s 以下( LV-0800装着時) レンズキャップ 1 レンズ先端に付属
検出速度 ±10 V( 20 Vp-p) 入力インピーダンス100 kΩ以上時 光再帰性反射材(反射マーク) 1 LV-0012 A4 サイズ
振幅対出力電圧極性 センサー側に接近時+電圧 予備ヒューズ 1 本体AC インレットに内蔵 T3.15 A AC250 V
DCオフセット 20 mV以内
出力 取扱説明書 1
出力インピーダンス 50 Ω
最低入力インピーダンス 100 kΩ以上
コネクター形態 C02型(BNC) ■対象振幅:出力電圧の極性 ■LV-0181 位置決め用内蔵カメラ撮像サイズ ■作動距離とスポット径の関係
1.0( m/s)/V 10 m/s 0-(p 20 m/s p-p) 近 60 120
0.1( m/s)/V 1 m/s 0-(p 2 m/s p-p) 50
縦40 100
速度レンジ 0.01( m/s)/V 0.1 m/s 0-(p 0.2 m/s p-p) +V 幅30
(mm)
0.001( m/s)/V( オプション) 0.01 m/s 20
0-(p 0.02 m/s p-p) ※詳細は、P6 LV-0800 微小速度レンジボードをご参照ください 80
10
オーバー・インジケーター 検出速度上限 +5 %OverでLED(赤色)点灯 0
60 60
シグナルレベル・インジケーター 20セグメント LEDアレイ表示 検出部レベル表示と連動 0 t 50
0~10 V 40
横40
幅30
出力インピーダンス 50 Ω (mm)
20
-V 20
復調感度モニタ MONITOR出力
最低入力インピーダンス 100 kΩ 以上 10
0 0
コネクター形態 C02型(BNC) 100 300 500 700 900
50 100 150 200 250 300 350 400 450 500
ERROR・インジケーター LED(赤色)点灯表示 遠 計測距離 (mm) 作動距離(mm)
100 Hz
ハイパス・フィルター(HPF) fc=-3 dB
OFF(0.3 Hz)
※分解能評価条件 LPF:100 kHzON/コーナーキューブ使用による最大復調時/FFTアナライザーパワースペクトル観測/1 kHzレンジ 1 kHz、800ライン、256回加算平均時
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スポット径(μm)
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●LV-1800 外形寸法図(単位:mm) LV-1800
検出部 変換部 レーザードップラー振動計
52.5 152.5
27 (25.5) 36 116.5 センサーヘッド収納部 ケーブル巻き取り部
質量
750g
2-M4
深5
∅4
G7 25
10 29 2
(2) 410 (2)
M8
深8
M8
32.5 深8
平面図
●LV-1800 周波数特性グラフ ●振幅検出範囲
LPF=OFF( fc=3 MHz ) 周波数特性 LPF=50 kHz ゲイン周波数特性
45 5
0
-45
-90 0
-135
-180
-225 -5
-270
-315
-360 -10
0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k
0 周波数[Hz] Dynamic & High-Resolution
-5 LPF=100 kHz ゲイン周波数特性
5
-10
-15
-20 0
-25
-30
0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k 1 M 10 M -5
周波数[Hz]
HPF=100 Hz ゲイン周波数特性
5 -10
0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k
周波数[Hz]
LPF=1 MHz ゲイン周波数特性
0
5
-5
0
-10
10 100 1 k 10 k 100 k -5
周波数[Hz]
-10
0.1 1 10 100 1 k 10 k 100 k 1 M 10 M
周波数[Hz]
※Microsoft® Windows®は米国Microsoft Corporationの米国およびその他の国における登録商標です。 その他記載されている会社名、 製品名は各社の商標または登録商標です。
お客様へのお願い ■ 輸出または国外へ持ち出す際のご注意
当社製品(役務を含む)を輸出または国外へ持出す場合は、外為法(外国為替及び外国貿易法)の規定により、リスト規制該当品であれば、経済産業大臣へ輸出許可申請の手続きを
行ってください。なお、非該当品であってもキャッチオール規制に該当する場合は、経済産業大臣へ輸出許可申請が必要となります。当社製品の該非判定書をお求めの際は、当社ホー
ムページの該非判定書発行依頼ページよりご依頼ください。お問い合わせは、最寄りの当社営業所または当社総務人事グループ(045-935-3888)までご連絡ください。
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CAT.NO.1654-11 Printed in Japan( LI) '25.2月改訂
GAIN[dB] GAIN[dB] PHASE[deg]
GAIN[dB] GAIN[dB] GAIN[dB]
(17)
(14) 120 (12) 273 (52)
(16) 325
32
(R)
4 G7
53
(30.5) 22.5
8
∅3
∅16