研究開発・基礎研究分野に最適なコンポーネント・各種実験装置をご提案いたします。
【掲載製品】
◆nanoPVD-S10A 卓上型マグネトロンスパッタリング装置
◆nanoPVD-T15A 卓上型有機膜・金属膜蒸着装置
◆nanoCVD 卓上グラフェン合成装置
◆nanoCVD-WPG ウエハースケールグラフェン合成装置
◆MAG series マグネトロンスパッタリングカソード など
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このカタログについて
| ドキュメント名 | R&D用薄膜実験装置・コンポーネント |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 3.1Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | テルモセラ・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ
このカタログの内容
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High-performance magnetron sputtering cathode
MAG seriesマグネトロンスパッタリングカソード
High-vacuum magnetron sputtering sources
DC, RF, PulsedDC, HiPIMSに対応 NEW!
高真空、メンテナンス性に優れたマグネトロンカソード
ターゲットサイズ：Φ2”,Φ3”,Φ4（” 厚さ：1/16"～1/4”）
各種フランジ接続, 水冷式, 傾斜（45°）ヘッドオプション
高純度スパッリングターゲット材料
Φ1inchサイズからご要望の材質のターゲット材に対応致します。
Moorfield Nanotechnology社（英）の長年のプロセス経験より、最適・安価な材料をご提案致します。
◉ Standard Materials: Al, Cr, Cu, Ni, Fe,
◉ Precious Metals; Au, Pt, Ag, Pd, Ir, Ru,
◉ Oxides; SiO2, Al2O3, BaO,
◉ Nitrides; AlN, BN, CrN, HfN, etc..
〒103-0027 東京都中央区日本橋3-2-14 新槇町ビル別館町第一 2F Tel：03-6214-3033 Fax：03-6214-3035 sales@thermocera.com
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前面スライドドア 背面メンテナンス用開閉ドア 空圧式開閉補助
026グローブボックス組立図 026ヒンジ開閉式チャンバー