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半導体製造設備の課題解決事例3選

製品カタログ

パーティクル発生や、SEMI規格準拠など、お客様の課題を機構部品で解決した事例をイラスト付きでご紹介!

この冊子は、お客様の課題に対してスガツネ工業の機構部品で解決した事例をご紹介しております。

こんな課題をお持ちの方におすすめ!▼
・パーティクルの発生を抑制したい
・搬送設備で車輪の帯電や磨耗粉が発生する
・設備納入先にSEMI規格を求められる
といった、半導体製造設備、装置の課題解決に繋がった事例を3点ご紹介します!

このカタログについて

ドキュメント名 半導体製造設備の課題解決事例3選
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 54.6Mb
取り扱い企業 スガツネ工業株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

このカタログの内容

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アジャスター機能付きキャスターでワ機ン構ア部ク品シにョよンる設置 アジャ課キ題を解ャ決スター AJC型 周辺の 半導体半製造装置導業界 体製造 製品情報 Semiconductor Industry 現場の 小ロット多品種生産の現場では、ロボットの作業工程の変更回安全数対策が課多作業く効率な部り品数ま削題減すがデザイ、ンそのたびに工場のレイアウト変更を行うため、その都度移動した設備や架台を固定するア 解決 搬ジ送設ャ備スでタ車ー輪のの設帯置電がや必摩要耗に粉がな発り生まする。一般的なア ジャスターはボルト式が多く、ボルトを回す手間と時間は、現場の大き事な51負担53に 帯電防止素例なっています。材配合、亀裂�・剥離に強く、解決 摩耗粉の発生も防ぐハイスペックウ選レタンローラー 重いカバーもヒンジだけで軽々持ち上がる! 解決 高耐久ウレタンローラー/ベアリング 前後両方向に引き出せるスライドレールで効率よパくワワーアーシスクトヒをンジ供 給 製品 Powermax(パワーマックス) HG-PA230型 製品情報 製品情報 チップマウンターをはじめ、装置内部で機器が稼働するいわゆる FA機器は、装置内部に機構部品を取り付けるスペースが少ない ことから、重い装製置品カ情バ報ーやメン製テ品ナ情報ンス扉の開閉を補助するた めのステーを設置することができず、作業者の負担が課題となっ OHTなどの搬送設備の車輪部で発生する静電気は、半導体製 ロボットが稼働する製造ラインでは、安全柵を介してワークを供給する必要があります。人がワークを供給する 小ロット多品種生産の現場では 造の不具合の要因となっています。また、車輪の亀裂・剥離で た、めロ稼ボ働エッリトアのに作入る業に工は程、そのの変都更度ロ回ボ数ットがを多停く止なさりせなまけすれがば、なそりのませたんび。そにの工た場びのにロレボイッアトウの作業が止 ト変更を行うため、その都度移動した設備や架台を固定するアジャスターの設置が必要になります。一般的なア 発生する摩耗粉もクリーンルームの大敵として対策が求められ � アクションでOK ています。 機 重量用スライドレール S G -AS N型 器 業 界 を使用したワーク供給用のトレー は、前後に引き出せる構造のため 安全柵を動かAすfこtとeなrくワークの 受け渡しが可能で、ロボットの停止 や安全柵の上げ下事げ例のと詳細いった時間 機 Powe rmaxは、亀裂・剥離に強くク、摩リ耗ー粉ンのヒ発ン生ジも防ぐハイス のロスなく効率よく作業を行うこ 器 パワーアシストヒンジ HG -PA2 3 0型は、スプリングの反力を利用した構造により重い上蓋や扉を業軽々と持ち上 げることができます。ステーなどの部品を削減でき、装置の内部もスッキリとレイアウトすることがで界きます。閉じ ペックウレタン製品です。素材の特H殊G配-C合Vに型より、収縮時の熱の る際にもソフトクローズ機能でゆっくり閉まるため、重い上蓋で指を挟む心配もなく安全に作業いただけます。 蓄積を最小限に抑え亀裂・剥離の原因となる膨張を防いでお り、従来の汎用ウレタンと比較して摩耗量を1 /2 0に抑えまし た。塵一つ樹許さ脂れなキいクリャーンッループムでも、多数の実績を誇りま す。また、帯金電を属防ぐ粉特殊が材料飛を配散合し、超な高耐い久で!ありながら 帯電防止機能も備えた、これまでにないウレタンです。車輪の交 No.447 カタログ 換頻度を減らすと同時に、静電気対策が可能。電子部品などの アジャキャスター AJC型は、アジャスターの機能を備えたキャスターです。ボルト締め不要、レバー操作ワンアク ションでアジャスターを設置できるためレイアウト変更時の作業負担や時間を低減できます。操作レバーが筐体の 搬送にも最適です。 設置 / /
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84 課題を解決 半導体製造装置業界 Semiconductor Industry 01 安全対策 作業効率 部品数削減 デザイン パーティクルの発生を抑制したい 樹脂パーツと樹脂カバーによってパーティクルの発生を防止 解決 パーティクルとは、nmレベルの微細な粒子のことで、ウェーハに付着して製造不良を起こすなど半導体製造工 程において悪影響を及ぼす物質です。 業 パーティクルの低減は、この業界における重要な課題の一つとなっています。 界 課 題 扉開閉時、樹脂キャ After ップが筐体に干渉し 摺動部を樹脂キャッ ない形状です。アル プでカバーし、金属 半 導 ミフレームにも取付 同士の摩擦を防止 体 製 可能です。 造 装 置 業 界 解 決 製 品 クリーンヒンジ HG-CV型 製品情報 扉を開状態で保持す After るステーです。開時 摺動部の樹脂パー 保持位置から全開位 ツが金属同士の摩 置まで扉を持ち上げ 擦を防止 ると解除します。 解 決 ステンレス クリーンステー 製 品 LB-CV215A 製品情報 取付面は吸着面に対 After して、2方向(平行・ 吸着面を樹脂で覆う 垂直)から選べます。 ことで、金属同士の 摩擦を防止 解 決 クリーンマグネットキャッチ 製 品 MC-JM63G型 製品情報 No.447 カタログ 2024-07-24 時点の情報です
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85 01 安全対策 作業効率 部品数削減 デザイン パーティクルの発生を抑制したい 樹脂パーツと樹脂カバーによってパーティクルの発生を防止 解決 パーティクルとは、nmレベルの微細な粒子のことで、ウェーハに付着して製造不良を起こすなど半導体製造工 程において悪影響を及ぼす物質です。 パーティクルの低減は、この業界における重要な課題の一つとなっています。 業 界 課 題 After 掛け代の調整が可能で、許容 フック接触部 荷重330kgfの強力なファ に 樹 脂 コ ー ティングをほ 半 スナーです。 どこし、回転 導 体 軸に樹脂ブッ 製 シュを使用 造 解 決 ステンレス クリーンファスナー 装 製 品 STF-CV150型 置 製品情報 業 界 扉を任意の角度で保持するこ After とができ、作業性を向上しま 扉の角度を保 す。軸の向きを垂直にしても 持するため、 使用できます。 不意な扉の開 閉による金属 同士の接触を 解 決 クリーントルクヒンジ 防止 製 品 HG-CVT型 製品情報 ISO14644-1洗浄度クラス4をクリアした電動昇降装置 解決 クリーンルームの規格ISO After 14644-1洗浄度クラス4相 当の低発塵を実現した、クリ ーンルームタイプの電動昇降 装置です。高耐荷重のため、 セル生産台やコンベアの高さ 調整に最適です。 解 決 電動昇降装置 マルチリフト 製 品 ML-2-CL型 クリーンルームタイプ 製品情報 No.447 カタログ 2024-07-24 時点の情報です
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86 課題を解決 半導体製造装置業界 Semiconductor Industry 02 安全対策 作業効率 部品数削減 デザイン 搬送設備で車輪の帯電や摩耗粉が発生する 帯電防止素材配合、亀裂・剥離に強く、 解決 摩耗粉の発生も防ぐハイスペックウレタンローラー 解 決 高耐久ウレタンローラー/ベアリング 製 品 Powermax(パワーマックス) 業 製品情報 界 課 題 OHTなどの搬送設備の車輪部で発生する静電気は、半導体製 造の不具合の要因となっています。また、車輪の亀裂・剥離で 発生する摩耗粉もクリーンルームの大敵として対策が求められ 半 ています。 導 体 製 造 After 装 置 Powermaxは、亀裂・剥離に強く、摩耗粉の発生も防ぐハイス 業 ペックウレタン製品です。素材の特殊配合により、収縮時の熱の 界 蓄積を最小限に抑え亀裂・剥離の原因となる膨張を防いでお り、従来の汎用ウレタンと比較して摩耗量を1/20に抑えまし た。塵一つ許されないクリーンルームでも、多数の実績を誇りま す。また、帯電を防ぐ特殊材料を配合し、超高耐久でありながら 帯電防止機能も備えた、これまでにないウレタンです。車輪の交 換頻度を減らすと同時に、静電気対策が可能。電子部品などの 搬送にも最適です。 ●耐久性3倍  ●摩耗量が1/20  回転加圧試験結果 テーバー摩耗試験後の摩耗量 [ 自 社 基 準:車 輪 径 φ [ASTM D4060-14] 500mm、負荷荷重5tf、 Powermax:8mg、 走行時間72時間(連続走 従来のハイスペックウレタン:20〜50mg、 行)、走行速度11km/h] 従来の汎用ウレタン:170mg Powermaxは亀裂・剥離 が一切発生せず、従来品は 5時間以内に温度が60℃ 以上上昇し破裂した。 汎用ウレタン Powermax No.447 カタログ 2024-07-24 時点の情報です
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87 03 安全対策 作業効率 部品数削減 デザイン 設備納入先からSEMI規格※を求められる バリエーション豊富なSEMI規格準拠製品で顧客ニーズに対応 解決 半導体製造装置のガイドラインであるSEMI規格に対応するため、使用可能な部品の選定に手間がかかっています。 下記のようにSEMI規格に準拠したハンドルを豊富に揃えており、多様な顧客ニーズへの対応をお手伝いします。 業 界 課 解 決 ステンレスハンドル 題 製 品 MG型 製品情報 半 After ●他にもさまざまなハンドルをラインアップ 導 体 製 造 装 置 業 界 作業用手袋着用時でも握りやすい 解 決 オールステンレス埋込取手 製 品 HH-KPR150型 製品情報 After ●他にもさまざまな埋込取手をラインアップ 埋め込むことで出っ張らないため、動線確 保にも役立ちます ※SEMI規格 SEMI規格とは、半導体産業の国際工業規格の統一を目的に定めた規格のことです(Semiconductor Equipment and Materials Internationalの略称)。 この中に環境・健康・安全を定めたものがあり、ハンドルについても規定があります。  No.447 カタログ 2024-07-24 時点の情報です