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薬液用エアオペレイトバルブ AMDZ/AMD/AMG/GAMD-3Rシリーズ

製品カタログ

さまざまな仕様に対応するオールインワンモデル!

これからのスタンダードタイプはこれ!

◆AMD Part3シリーズのコンセプトである「標準化」を更に追求
◆流体圧力:0.5MPa 流体温度:120℃対応
◆アクチュエータオプション
・インジケータ付き
・流量調整付
・センサ付
◆各種継手対応
◆仕様圧力範囲を拡大
◆標準で様々な薬液に対応

◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

このカタログについて

ドキュメント名 薬液用エアオペレイトバルブ AMDZ/AMD/AMG/GAMD-3Rシリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
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このカタログの内容

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薬液用エアオペレイトバルブ AMDZ※3R Series 仕様 項 目 AMDZ※3R 使用流体 純水、薬液、空気、N2ガス(注1) 流体温度 ℃ 5〜120( 注2、注3) 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.5 使用圧力(B→A) MPa 0〜0.5 弁座漏れ cm3/min 0 (ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.5 周囲温度 ℃ 0〜60 頻度 30回/分以下 取付姿勢 自在 ODφ6チューブ接続(フィッティング一体形) 接続方式 OD1/4”チューブ接続(フィッティング一体形) オリフィス径 φ4 φ3.5 Cv値 (注4) 0.25 0.22 操作圧力 MPa NC・NO:0.4〜0.5、 複動:0.3〜0.4 操作部 操作ポート Rc1/8(使用操作ポート NC:Yポート NO:Xポート 複動:X、Yポート) 注1:製品構成材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト43ページをご参照ください。) 注2:フッ酸、もしくはフッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注3:接続方式がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 注4:Cv値は温度23℃の時の値です。 構造図及び部品リスト 使用圧力 B→A (Bポート側圧力[MPa]) 流体温度5〜120℃ 0.5 0.4 0.3 Bポート B A Aポート 0.2 0.1 A→B (Aポート側圧力[MPa]) 0 部品名称 材 質 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 アクチュエータ PVDF 他 ダイアフラム PTFE ボディ PFA、PTFE 取付板 PVDF 1
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AMDZ※3R Series 形番表示方法、外形寸法図 形番表示方法 ロ 接続方式(注) 6UP 8BUP 6UR 8BUR AMDZ 1 3R 6UP Z0 N 4 X スーパー300タイプ F-LOCK ピラーフィッティング 60シリーズ Pシリーズ一体形 フィッティング一体形 ヘ 取付方法 φ6 1/4” φ6 1/4”機種形番 × × × × φ4 5/32” φ4 5/32” ロ 接続方式 ホ 操作ポート方向 チ チ チ チ ュ ュ ュ ュ ニ ボディオプション ー ー ー ー ブ ブ ブ ブ ハ アクチュエータオプション 接 接 接 接続 続 続 続 記号 内容                 オリフィス径 φ4 φ3.5 イ 作動方式 ハ アクチュエータオプション 1 NC(ノーマルクローズ) Z0 ON・OFFのみ ● ● ● ● 2 NO(ノーマルオープン) ニ ボディオプション ボディ材質 3 複動 N ノーマルボディ PFA PTFE ホ 操作ポート方向 4 3 ● ● ● ● 1 4 バルブを上から眺め、 方向に 形番選定にあたっての注意事項 ● ● ● ●流体が流れることを示し、 は 2 2 注:F -LOCK60シリーズフィッティングの場 1 操作ポート方向を示します。 ● ● ● ● 合は受注生産品となります。 3 ● ● ● ● 他の接続方式についてはお問い合わせく ヘ ださい。 取付方法 X 底面取付 ● ● ● ● 外形寸法図 H 4点フランジ取付 ● ● ● ● ● Z0 ON・OFFのみ+ N ノーマルボディ 3 ・AMDZ※3R-※-Z0N※※ 接続方式 A 6UP 60 8BUP 60 6UR 82 2 4 8BUR 84 Bポート側 Aポート側 22 8 1 ● H 4点フランジ取付 R視 操作ポート方向(R視図) ・AMDZ※3R-※-※※※H 操作ポートRc1/8 (NCのタイプ) Bポート Aポート B A B A (A) 27 ● X 底面取付 22 4-4.5 12 ・AMDZ※3R-※-※※※X 8-フルR 2-M6深6 2 22 14±0.3 17 39 54 61 4-3.5 6 30 36
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薬液用エアオペレイトバルブ AMD3※3R Series 仕様 項 目 AMD3※3R ボディオプション N(ノーマルボディ) B(バイパス付ボディ) 使用流体 薬液、純水、空気、N2ガス(注1) 流体温度 ℃ 5〜120(注3、注4) 5〜90 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 使用圧力(B→A) MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 弁座漏れ cm3/min 0(ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 周囲温度 ℃ 0〜60(センサ付の場合 0〜50) 頻度 30回/分以下 取付姿勢 自在 接続方式 ODφ10・φ12チューブ接続(フィッティング一体形)OD3/8"・1/2"チューブ接続(フィッティング一体形) オリフィス径 (注5) φ6 φ7 φ8 φ9 φ10 Cv値 (注6) 0.7 1 1.25 1.6 1.8 バイパスオリフィス径 − φ2.3 操作圧力 MPa NC・NO:0.35〜0.5 複動:0.3〜0.4 操作部 操作ポート Rc1/8(使用操作ポート NC:Yポート NO:Xポート 複動:X、Yポート) センサ 31〜32ページをご参照ください。 注1:製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト43ページをご参照ください。)    フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液の場合は、バイパス付ボディは使用できません。 注2:流量特性については、33、34ページをご参照ください。 注3:フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注4:接続方式がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 注5:各機種毎のオリフィス径は形番表示方法にて確認してください。 注6:Cv値は温度23℃の時の値です。 構造図及び部品リスト 使用圧力 B→A(Bポート側圧力[MPa]) 流体温度5〜120℃ 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 Bポート B A Aポート A→B (Aポート側圧力[MPa]) 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 ノーマルボディ B→A(Bポート側圧力[MPa]) 部品名称 材 質 0.3 流体温度5〜90℃ アクチュエータ PVDF 他 ダイアフラム PTFE 0.2 ボディ PFA、PTFE 0.1 取付板 PVDF A→B (Aポート側圧力[MPa]) 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 バイパス付ボディ 3
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AMD3※3R Series 形番表示方法 形番表示方法 AMD3 1 3R 10UP 00 N 4 F ロ 接続方式(注1) 10UP 10BUP 12UP 15BUP 10UR 10BUR 12UR 15BUR スーパー300タイプ F-LOCK ハ アクチュエータ ヘ 取付方法機種形番 オプション ピラーフィッティング 60シリーズ Pシリーズ一体形 フィッティング一体形 ロ 接続方式 ホ 操作ポート方向 φ10 3/8″ φ12 1/2″ φ10 3/8″ φ12 1/2″ イ 作動方式 × × × × × × × ×φ8 1/4″ φ10 3/8″ φ8 1/4″ φ10 3/8″ 1 NC(ノーマルクローズ) ニ ボディ チ チ チ チ チ チ チ チ 2 NO(ノーマルオープン) オプション ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュ ュー ー ー ー ー ー ー ー 3 複動 ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ ブ接 接 接 接 接 接 接 接 続 続 続 続 続 続 続 続 記号 オリフィス径内容 φ8 φ10 φ7 φ6 φ9 ハ アクチュエータオプション 00 ON・OFFのみ(インジケータ付) ● ● ● ● ● ● ● ● 10 流量調整付 ● ● ● ● ● ● ● ● センサ付 トランジスタ ケーブル方向(注2) ケーブル長さ A1 1m ● ● ● ● ● ● ● ● 操作ポート側 A3 3m ● ● ● ● ● ● ● ● NPN B1 1m ● ● ● ● ● ● ● ● 操作ポートの反対側 B3 3m ● ● ● ● ● ● ● ● C1 操作ポート側 1m ● ● ● ● ● ● ● ● PNP D1 操作ポートの反対側 1m ● ● ● ● ● ● ● ● 二 ボディオプション ボディ材質 N ノーマルボディ PFA PFA PTFE PTFE B バイパス付ボディ PTFE PFA PTFE PTFE ホ 操作ポート方向(注2) 4 ● ● ● ● ● ● ● ● 3 バルブを上から眺め、 1 4 方向に流体が流れる ● ● ● ● ● ● ● ● 2 2 ことを示し、 は操作 ● ● ● ● ● ● ● ● 1 ポート方向を示します。 3 ● ● ● ● ● ● ● ● 使用圧力 ヘ 取付方法(注2) F フランジ取付 ● ● ● ● ● ● ● ● H 4点フランジ取付 ● ● ● ● ● ● ● ● X 底面取付 ● ● ● ● ● ● ● ● 形番選定にあたっての注意事項 注1:F-LOCK60シリーズフィッティング及びボディ材質がPTFEの場合は受注生産品となります。 他の接続方式についてはお問い合わせください。 注2:操作ポート方向、センサケーブル方向、取付板は外形寸法図をご参照ください。 4
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AMD3※3R Series 外形寸法図 ● 00 ON・OFFのみ(インジケータ付)+ N ノーマルボディ ・AMD3※3R- ※1 -00N※※ 36 10 3 2 4 Bポート側 Aポート側 1 R視図 操作ポート方向(R視図) 操作ポートRc1/8 (NCの場合) Bポート B A Aポート (A) ※1 ( 接続方式) A 10UP 86 10BUP 86 12UP 94 15BUP 94 10UR 110 ● 00 ON・OFFのみ(インジケータ付)+ B バイパス付ボディ 10BUR 114 ・AMD3※3R-※-00B※※ 12UR 110 15BUR 114 Bポート B A Aポート 5 (MAX 71) 36 21 21 49 49 78 78 85 85 (87) (87)
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AMD3※3R Series 外形寸法図 外形寸法図 ● 10 流量調整付 ● A※ センサ付 A ・AMD3※3R-※-10※※※   B※ ・AMD3※3R-※-BC※※※※   C※ D   D※ B※ A※ D※ ケーブル方向 操作ポートの反対側 C※ ケーブル方向 操作ポート側 B A B A ● F フランジ取付 ● H 4点フランジ取付 ● X 底面取付 ・AMD3※3R-※-※※※F ・AMD3※3R-※-※※※H ・AMD3※3R-※-※※※X B A B A B A 50 50 36 4−フルR 2-8 22 8−フルR 36 4-8 22 36 22±0.3 4−M6深9 6 8.5 2-7 36 50 62 8.5 4-7 (MAX 108) 50 62 22±0.3 92 36
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薬液用エアオペレイトバルブ AMD4※3R Series 仕様 項 目 AMD4※3R ボディオプション N(ノーマルボディ) B(バイパス付ボディ) 使用流体 薬液、純水、空気、N2ガス(注1) 流体温度 ℃ 5〜120(注3、注4) 5〜90 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 使用圧力(B→A) MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 弁座漏れ cm3/min 0(ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 周囲温度 ℃ 0〜60(センサ付の場合 0〜50) 頻度 20回/分以下 取付姿勢 自在 接続方式 OD3/4"チューブ接続(フィッティング一体形) オリフィス径 (注5) φ15 φ16 Cv値 (注6) 4.5 5 バイパスオリフィス径 − φ6 操作圧力 MPa NC・NO:0.35〜0.5 複動:0.3〜0.4 操作部 操作ポート Rc1/8(使用操作ポート NC:Yポート NO:Xポート 複動:X、Yポート) センサ 31〜32ページをご参照ください。 注1:製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト43ページをご参照ください。) フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液の場合は、バイパス付ボディは使用できません。 注2:流量特性については、33、34ページをご参照ください。 注3:フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注4:接続方式がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 注5:各機種毎のオリフィス径は形番表示方法にて確認してください。 注6:Cv値は温度23℃の時の値です。 構造図及び部品リスト 使用圧力 B→A(Bポート側圧力[MPa]) 流体温度5〜120℃ 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 Bポート B A Aポート A→B(Aポート側圧力[MPa]) 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 ノーマルボディ B→A(Bポート側圧力[MPa]) 部品名称 材 質 0.3 流体温度5〜90℃ アクチュエータ PVDF 他 0.2 ダイアフラム PTFE ボディ PFA、PTFE 0.1 取付板 PVDF A→B (Aポート側圧力[MPa]) 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 バイパス付ボディ 7
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AMD4※3R Series 形番表示方法 形番表示方法 AMD4 1 3R 20BUP 00 N 4 F ロ 接続方式(注1) 取付方法 20BUP 20BURヘ 機種形番 ロ 接続方式 スーパー300タイプ F-LOCK ハ アクチュエータ オプション ピラーフィッティング 60シリーズ Pシリーズ一体形 フィッティング一体形 イ 作動方式 ホ 操作ポート方向 1 NC(ノーマルクローズ) 3/4″ 3/4″× × 2 NO(ノーマルオープン) ニ ボディ 5/8″ 5/8″ オプション チ チ 3 複動 ュ ュー ー ブ ブ 接 接 続 続 記号 オリフィス径内容 φ16 φ15 ハ アクチュエータオプション 00 ON・OFFのみ(インジケータ付) ● ● 10 流量調整付 ● ● センサ付 トランジスタ ケーブル方向(注2) ケーブル長さ A1 1m ● ● 操作ポート側 A3 3m ● ● NPN B1 1m ● ● 操作ポートの反対側 B3 3m ● ● C1 操作ポート側 1m ● ● PNP D1 操作ポートの反対側 1m ● ● 二 ボディオプション ボディ材質 N ノーマルボディ PFA PTFE B バイパス付ボディ PFA PTFE ホ 操作ポート方向(注2) 4 ● ● 3 バルブを上から眺め、 1 4 方向に流体が流れる ● ● 2 2 ことを示し、 は操作 ● ●ポート方向を示します。 3 1 ● ● 使用圧力 ヘ 取付方法(注2) F フランジ取付 ● ● H 4点フランジ取付 ● ● X 底面取付 ● ● 形番選定にあたっての注意事項 注1:F-LOCK60シリーズフィッティングの場合は受注生産品となります。 他の接続方式についてはお問い合わせください。 注2:操作ポート方向、センサケーブル方向、取付板は外形寸法図をご参照ください。 8
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AMD4※3R Series 外形寸法図 ● 00 ON・OFFのみ(インジケータ付)+ N ノーマルボディ ・AMD4※3R- ※1 -00N※※ 46 8 3 2 4 Bポート側 Aポート側 1 操作ポート方向(R視図) R視 操作ポートRc1/8 (NCの場合) Bポート B A Aポート (A) ※1 ( 接続方式) A 20BUP 118 ● 00 ON・OFFのみ(インジケータ付)+ B バイパス付ボディ 20BUR 134 ・AMD4※3R-※-00B※※ Bポート B A Aポート 9 (MAX 91) 46 27 27 62 62 101 101 108 108 (112) (112)
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AMD4※3R Series 外形寸法図 外形寸法図 ● 10 流量調整付 ● A※ センサ付 A ・AMD4※3R-※-10※※※   B※ ・AMD4※3R-※-BC※※※※   C※ D   D※ B※ A※ D※ ケーブル方向 操作ポートの反対側 C※ ケーブル方向 操作ポート側 B A B A ● F フランジ取付 ● H 4点フランジ取付 ● X 底面取付 ・AMD4※3R-※-※※※F ・AMD4※3R-※-※※※H ・AMD4※3R-※-※※※X B A B A B A 66 66 46 46 4−フルR 2-11 28 8−フルR 4-11 28 46 28±0.3 4−M8深10 10 9 2-9 46 64 82 9 4-9 (MAX 131) 64 82 115 28±0.3 46
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薬液用エアオペレイトバルブ AMD5※3R Series 仕様 項 目 AMD5※3R ボディオプション N(ノーマルボディ) B(バイパス付ボディ) 使用流体 薬液、純水、空気、N2ガス(注1) 流体温度 ℃ 5〜120(注3、注4) 5〜90 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 使用圧力(B→A) MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 弁座漏れ cm3/min 0(ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.5 下図「使用圧力」参照 周囲温度 ℃ 0〜60(センサ付の場合 0〜50) 頻度 20回/分以下 取付姿勢 自在 接続方式 ODφ25チューブ接続(フィッティング一体形) OD1"チューブ接続(フィッティング一体形) オリフィス径 φ20 Cv値 (注5) 8 バイパスオリフィス径 − φ6 操作圧力 MPa NC・NO:0.35〜0.5 複動:0.3〜0.4 操作部 操作ポート Rc1/8( 使用操作ポート NC:Yポート NO:Xポート 複動:X、Yポート) センサ 31〜32ページをご参照ください。 注1:製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト43ページをご参照ください。) フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液の場合は、バイパス付ボディは使用できません。 注2:流量特性については、33、34ページをご参照ください。 注3:フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注4:接続方式がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 注5:Cv値は温度23℃の時の値です。 構造図及び部品リスト 使用圧力 B→A(Bポート側圧力[MPa]) 流体温度5〜120℃ 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 A→B Bポート B A Aポート (Aポート側圧力[MPa]) 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 ノーマルボディ B→A(Bポート側圧力[MPa]) 部品名称 材 質 0.3 流体温度5〜90℃ アクチュエータ PVDF 他 0.2 ダイアフラム PTFE ボディ PFA、PTFE 0.1 取付板 PVDF A→B (Aポート側圧力[MPa]) 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 バイパス付ボディ 11
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AMD5※3R Series 形番表示方法 形番表示方法 AMD5 1 3R 25BUP 00 N 4 F ロ 接続方式(注1) 取付方法 25UP 25BUP 25UR 25BURヘ 機種形番 ロ 接続方式 スーパー300タイプ F-LOCK ハ アクチュエータ ピラーフィッティング 60シリーズ オプション Pシリーズ一体形 フィッティング一体形 イ 作動方式 ホ 操作ポート方向 1 NC(ノーマルクローズ) φ25 1″ φ25 1″× × × × 2 NO(ノーマルオープン) ニ ボディ φ22 7/8″ φ22 7/8″チ チ チ チ 3 複動 オプション ュ ュ ュ ュー ー ー ー ブ ブ ブ ブ 接 接 接 接 続 続 続 続 記号 オリフィス径内容 φ20 ハ アクチュエータオプション 00 ON・OFFのみ(インジケータ付) ● ● ● ● 10 流量調整付 ● ● ● ● センサ付 トランジスタ ケーブル方向(注2) ケーブル長さ A1 1m ● ● ● ● 操作ポート側 A3 3m ● ● ● ● NPN B1 1m ● ● ● ● 操作ポートの反対側 B3 3m ● ● ● ● C1 操作ポート側 1m ● ● ● ● PNP D1 操作ポートの反対側 1m ● ● ● ● 二 ボディオプション ボディ材質 N ノーマルボディ PFA PTFE B バイパス付ボディ PTFE PTFE ホ 操作ポート方向(注2) 4 3 ● ● ● ●バルブを上から眺め、 1 4 方向に流体が流れる ● ● ● ● 2 2 ことを示し、 は操作 ● ● ● ●1 ポート方向を示します。3 ● ● ● ● 使用圧力 ヘ 取付方法(注2) F フランジ取付 ● ● ● ● H 4点フランジ取付 ● ● ● ● X 底面取付 ● ● ● ● 形番選定にあたっての注意事項 注1:F-LOCK60シリーズフィッティング及びボディ材質がPTFEの場合は受注生産品となります。 他の接続方式についてはお問い合わせください。 注2:操作ポート方向、センサケーブル方向、取付板は外形寸法図をご参照ください。 12
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AMD5※3R Series 外形寸法図 ● 00 ON・OFFのみ(インジケータ付)+ N ノーマルボディ ・AMD5※3R- ※1 -00N※※ 60 8 3 2 4 Bポート側 Aポート側 1 操作ポート方向(R視図) R視 操作ポートRc1/8 (NCの場合) Bポート B A Aポート (A) ※1 ( 接続方式) A 25UP 146 25BUP 146 25UR 159 25BUR 162 ● 00 ON・OFFのみ(インジケータ付)+ B パイバス付ボディ ・AMD5※3R-※-00B※※ 操作ポートRc1/8 (NCの場合) Bポート B A Aポート 13 60 (MAX 103) 35 35 84 84 127 127 134 134 (139) (139)
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AMD5※3R Series 外形寸法図 外形寸法図 ● 10 流量調整付 ● A※ センサ付 A ・AMD5※3R-※-10※※※   B※ ・AMD5※3R-※-BC※※※※   C※ D   D※ B※ A※ D※ ケーブル方向 操作ポートの反対側 C※ ケーブル方向 操作ポート側 B A B A ● F フランジ取付 ● H 4点フランジ取付 ● X 底面取付 ・AMD5※3R-※-※※※F ・AMD5※3R-※-※※※H ・AMD5※3R-※-※※※X B A B A B A 78 61 61 4−フルR 2-3 40 4-11 40 61 8−フルR 40±0.3 4−M8深13 14 10 2-9 61 78 97 10 (MAX 166) 4-9 78 97 40±0.3 141 61
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薬液用エアオペレイトバルブ(3ポート弁) AMGZ03R Series 受注生産品 仕様 項 目 AMGZ03R 使用流体 純水、薬液、空気、N2ガス(注1) 流体温度 ℃ 5〜120( 注2、注3) 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.5 使用圧力(B→A) MPa 0〜0.5 弁座漏れ cm3/min 0 (ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.5 周囲温度 ℃ 0〜60 頻度 30回/分以下 取付姿勢 自在 ODφ6チューブ接続(フィッティング一体形) 接続方式 OD1/4”チューブ接続(フィッティング一体形) オリフィス径 φ4 φ3.5 操作圧力 MPa NC・NO:0.4〜0.5 操作部 操作ポート Rc1/8 注1:製品構成材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト43ページをご参照ください。) 注2:フッ酸、もしくはフッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注3:接続方式がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 構造図及び部品リスト 使用圧力 B→A (Bポート側圧力[MPa]) 流体温度5〜120℃ 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 A→B (Aポート側圧力[MPa]) 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 部品名称 材 質 アクチュエータ PVDF 他 ダイアフラム PTFE ボディ PTFE 取付板 PVDF 15
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AMGZ03R Series 形番表示方法、外形寸法図 形番表示方法 イ 接続方式(注) 6UP 8BUP 6UR 8BUR AMGZ03R 6UP Z0 L スーパー300タイプ F-LOCK ピラーフィッティング 60シリーズ Pシリーズ一体形 フィッティング一体形 機種形番 イ 接続方式 ハ Aポート位置 φ6 1/4” φ6 1/4”× × × × φ4 5/32” φ4 5/32” チ チ チ チ ロ アクチュエータオプション ュ ュ ュ ュ ー ー ー ー ブ ブ ブ ブ 接 接 接 接 続 続 続 続 記号 内容                 オリフィス径 φ4 φ3.5 ボディ材質 PTFE ロ アクチュエータオプション Z0 ON・OFFのみ ● ● ● ● ハ Aポート位置 形番選定にあたっての注意事項 L 左側 ● ● ● ● 注:他 の接続方式についてはお問い合わせください。 R 右側 ● ● ● ● 外形寸法図 ●AMGZ03R- ※1 -Z0R ※:A ポート位置によってNCとNOの 並び方が違いますので、ご注意   ください。 Aポート   Aポート側に近いバルブがNC、   他方がNOとなります。 Aポート位置:L A NC NO B B Aポート位置:R A 11 22.5 44.5 (A) NO NC B B NO NC 操作ポートRc1/8 操作ポートRc1/8 4-M6深6 接続方式 ※1 A 6UP 19 8BUP 19 6UR 30 8BUR 31 22.5±0.5 16 14±0.3 Bポート Bポート 17 39 54 61 8 (A) 22
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薬液用エアオペレイトバルブ(3ポート弁) AMG34503R Series 受注生産品 ●オリフィス:AMG303R φ6〜φ10  オリフィス:AMG403R φ15〜φ16  オリフィス:AMG503R φ20 ※対象:AMG403R、503R 仕様 項 目 AMG303R AMG403R AMG503R 使用流体 薬液、純水、空気、N2ガス(注1) 流体温度 ℃ 5〜120(注2、注3) 耐圧力 MPa 1.0 使用圧力(A→B) MPa 0〜0.5 使用圧力(B→A) MPa 0〜0.5 弁座漏れ cm3/min 0(ただし、水圧にて) 背圧 MPa 0〜0.5 周囲温度 ℃ 0〜60(センサ付の場合 0〜50) 頻度 30回/分以下 20回/分以下 取付姿勢 自在 ODφ10・φ12チューブ接続 ODφ25チューブ接続 接続方式 (フィッティング一体形) OD3/4"チューブ接続 (フィッティング一体形)OD3/8"・1/2"チューブ接続 (フィッティング一体形) OD1"チューブ接続 (フィッティング一体形) (フィッティング一体形) オリフィス径 (注4) φ6〜φ10 φ15〜φ16 φ20 操作圧力 MPa NC・NO:0.35〜0.5 操作部 操作ポート Rc1/8 センサ 31〜32ページをご参照ください。 注1:製品構造材料と使用流体、周囲雰囲気との適合性をご確認の上ご使用ください。(適合性チェックリスト43ページをご参照ください。) 注2:フッ酸、もしくは、フッ酸を含む薬液は、5〜80℃の範囲でご使用ください。 注3:接続継手がF-LOCK60シリーズフィッティングの場合は5〜100℃となります。 注4:各機種毎のオリフィス径は形番表示方法にて確認してください。 構造図及び部品リスト 使用圧力 ●AMG303R、AMG403R、AMG503R B→A(Bポート側圧力[MPa]) 0.5 流体温度 5〜120℃ 0.4 0.3 0.2 0.1 A→B (Aポート側圧力 0 [MPa]) 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 部品名称 材 質 アクチュエータ PVDF 他 ダイアフラム PTFE ボディ PTFE 取付板 PVDF 17